專利名稱：用于傳送托盤的裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及托盤，更具體地說，涉及一種用于傳送位于垂直位置的托盤并且能夠感知托盤的進入和卸下的裝置。
背景技術：
電致發光顯示設備是一種類型的平板顯示器，它能夠根據用于形成發光層的原材料而分類為無機電致發光顯示設備或者有機電致發光顯示設備。有機電致發光顯示設備具有某些優于無機電致發光顯示設備的優點。具體地說，有機電致發光設備可以通過低電壓驅動、重量輕、厚度薄、視角寬且具有短至微秒的圖像顯示反應時間。
有機電致發光顯示設備的有機電致發光(EL)設備可以包括在基板上按層形成的陽極、有機材料層和陰極。有機材料層包括通過使空穴與電子復合而發光的有機發光層。為了將空穴和電子有效傳輸到有機發光層來發光，可以在陰極和有機發光層之間形成電子注入層和電子傳輸層，而且可以在陽極和有機發光層之間形成空穴注入層和空穴傳輸層。所增加的這些層能夠提高有機EL設備的發光效率。
采用上述結構的有機電致發光設備可以通過諸如真空淀積法、離子電鍍法和噴鍍法之類的物理汽相淀積法，或者利用氣體反應的化學汽相淀積法制備。在這些方法中，真空淀積法被廣泛運用。在于真空室內進行的真空淀積法中，有機材料在淀積源中被汽化，并且有機材料蒸汽從淀積源噴出而淀積到基板上。
隨著顯示器逐漸變大，基板的尺寸也隨之增加。因此，淀積系統已經發展為淀積源能夠在真空室內上下運動，并噴射有機材料蒸汽以便在較大的基板上形成有機材料層。
在這種淀積系統中，淀積源可以通過軸向轉動的驅動軸驅動而上下運動。當淀積源上下運動時，淀積源噴射出通過汽化有機材料形成的有機材料蒸汽。
隨著基板逐漸變大，用于使位于垂直狀態的基板和罩板對準的垂直對準系統也得到了發展。垂直對準系統能夠防止大基板在淀積過程中彎曲，從而提供更高質量的淀積。
為了使基板垂直定位，可以安裝基板托盤固定器并使之往復運動。附著到基板上的固定部件從該基板托盤固定器突出。另外，可以垂直布置一固定板。
而且，可以控制和改善諸如基板的傳送速度和位置等條件，以便使傳送裝置能夠感知基板的進入和卸下。另外，還可以包括用于傳送該連接到玻璃基板和罩板上的垂直托盤的傳送裝置，以及用于垂直固定該托盤的導引裝置。
發明內容
本發明提供一種用于傳送處于垂直位置時的托盤并且能夠感知托盤的進入和卸下的裝置。
本發明的其它特征將在以下描述中進行說明，且其中的部分特征可從這些描述中清楚地看到，或者通過實施本發明來獲悉。
本發明公開一種用于傳送托盤的裝置，該裝置包括包括多個滑輪以形成傳送路徑的傳送單元，與第一滑輪連接的驅動源，以及具有安裝在該托盤的傳送路徑上以感知托盤的進入和卸下的傳感器的傳感單元。此外，第一滑輪或者第二滑輪接觸托盤的底面，基板和罩板被固定到該托盤。
本發明還公開一種用于傳送托盤的裝置，包括接觸垂直托盤的第一導引單元，用以驅動該第一導引單元的驅動單元，以及用以導引該第一導引單元的第二導引單元。
可以理解，上面的概要描述和下面的詳細描述都是示例性和解釋性的，目的在于進一步解釋權利要求所保護的本發明。
以下所包括的附圖用于進一步幫助理解本發明，并且被并入說明書中構成說明書的一部分，這些附圖用于例示本發明的實施例，并與說明書一起用以解釋本發明的原理。
圖1示出位于真空淀積系統的緩沖區域中的淀積源的示意圖，在該真空淀積系統中安裝有根據本發明一實施例的用于傳送托盤的裝置。
圖2示出位于真空淀積系統的層形成區域中的淀積源的示意圖，在該真空淀積系統中安裝有根據本發明一實施例的用于傳送托盤的裝置。
圖3示出根據本發明第一實施例的用于傳送托盤的裝置的示意性透視圖。
圖4示出圖1所示用于傳送托盤的裝置的傳感單元的一個實施例的示意性局部側視圖。
圖5示出圖1所示傳感單元的另一個實施例的示意性側視圖。
圖6示出用于例示圖4或圖5所示傳感單元以及外圍設備之間的連接的框圖。
圖7示出根據本發明第二實施例的用于傳送托盤的裝置的示意性透視圖。
圖8示出圖7所示傳送裝置的截面圖。
圖9示出根據本發明一實施例的托盤的頂部區域的局部放大視圖。
圖10示出根據本發明第三實施例的用于傳送托盤的裝置的示意性透視圖。
圖11示出輥子的鋸齒形布置的透視圖。
具體實施例方式
下面將參照示出本發明實施例的附圖更加全面地描述本發明。然而，本發明可以通過多種不同形式進行實現，而不應被理解為僅限于這里所闡述的實施例。相反，提供這些實施例是為了公開充分，以及向本領域的技術人員全面傳達本發明的范圍。在附圖中，為了清楚起見，將層和區域的尺寸以及相對尺寸進行了夸大。相同的附圖標記表示相同或類似的部件。
圖1示出位于真空淀積系統的緩沖區域中的淀積源的示意圖，在該真空淀積系統中安裝有根據本發明一實施例的用于傳送托盤的裝置。圖2示出位于真空淀積系統的層形成區域中的淀積源的示意圖，在該真空淀積系統中安裝有根據本發明一實施例的用于傳送托盤的裝置。
參見圖1，在真空淀積系統100的真空室10中布置有在其上形成有機材料層的基板30、置于基板30前方的罩板40、以及與罩板40隔開的淀積源20。罩板40和基板30通過對準系統(未示出)對準，并且被固定到卡盤50上，以使罩板40和基板30分開較小的距離。
罩板40分為圖案形成部分(由虛線所示)以及有待通過例如焊接過程等被緊固到罩板框上(未示出)的固定部分。圖案形成部分對應于基板30上有待形成有機材料層的部分。類似地，真空室10分為層形成區域B和緩沖區域A，其中，層形成區域B對應于在其中安裝罩板40和基板30的區域，而緩沖區域A對應于除層形成區域B之外的整個真空室。
淀積源20可以安裝到通過運動裝置(未示出)轉動的驅動軸上。淀積源20能夠根據該驅動軸的轉動方向而向上運動到層形成區域B中(如圖2所示)以及向下運動。
圖3示出根據本發明第一實施例的用于傳送托盤的裝置的示意性透視圖。圖4示出圖1所示用于傳送托盤的裝置的傳感單元的一個實施例的示意性局部側視圖。圖5示出圖1所示傳感單元的另一個實施例的示意性側視圖。圖6示出用于例示圖4或圖5所示傳感單元與外圍設備之間的連接的框圖。
如圖3所示，用于傳送托盤的裝置100包括傳送單元110，該傳送單元110包括多個被布置與托盤112的底面接觸以傳送托盤112的滑輪114。該裝置100還包括傳感單元120，該傳感單元120包括位于托盤112的傳送路徑上以感知托盤112進入和卸下的傳感器。雖然未在圖3中示出，但是基板和罩板被緊固到托盤112上。
托盤112被設置在桿形固定部件302之上，而且多個滑輪114被設置在托盤112下，以使托盤112通過滑輪114的轉動被傳送。滑輪114能夠通過發動機轉動，從而傳送托盤112。
如圖4和圖5所示，傳感器可以是如圖4所示的接觸式傳感器122，或者是如圖5所示的非接觸式傳感器124。
在接觸式傳感器122被用作該傳感器的情況下，接觸式傳感器122可被置于和托盤112的底面接觸的滑輪114之間，并可接觸托盤。
接觸式傳感器122可以被布置為使托盤112的底面與該傳感器122的頭部接觸。傳感器122可以被布置為使其頭部頂面與托盤112的底面一致，或者稍高于托盤112的底面。在頭部被置于稍高于托盤112的底面的情況下，當托盤112接觸該頭部時，該頭部能夠彈性偏轉或垂直運動。然后，當托盤112經過該頭部時，該頭部能夠回復到其原始位置。
在非接觸式傳感器124被用作該傳感器的情況下，非接觸式傳感器124應置于托盤112的下方，并且能夠感知托盤112的底面的進入和卸下。
或者，該非接觸式傳感器124可以位于能夠感知托盤112的側面或者頂面的位置。
可以提供附加的安裝部件以保護非接觸式傳感器124免受外來碰撞或者外部環境影響，并且非接觸式傳感器124可以通過安裝部件安置在固定位置上，且該位置可以對應于被傳送的托盤112的側面、底面或者頂面。
能夠產生諸如超聲波、無線電波、光、紅外線、紫外線、磁及其組合的各種元素都可以用于制造非接觸式傳感器124，而且利用以上列出的元素之一的各種傳感器都能夠用作非接觸式傳感器，這些傳感器包括例如超聲波傳感器、光傳感器、光纖傳感器、紅外線傳感器、磁傳感器或者紫外線傳感器。
如圖6所示，其中提供了控制單元130，其用于接收從傳感單元120傳送的數據，以獲知托盤112的位置和運動速度以及控制處理速度。控制單元130識別托盤112的位置和運動速度，并能相應地控制傳送托盤112的傳送單元110。
下面簡要描述根據本發明第二實施例的用于傳送托盤的裝置的工作原理。
圖7示出根據本發明第二實施例的用于傳送托盤的裝置的示意性透視圖。圖8示出圖7所示傳送裝置的截面圖。圖9示出根據本發明一實施例的托盤的頂部區域的局部放大視圖。
如圖7和圖8所示，根據本發明第二實施例的用于傳送托盤的裝置200包括與垂直托盤112接觸并使該托盤保持在垂直位置的第一導引單元210；用于使該導引單元210往復運動的驅動單元220；以及用于沿一條路徑導引由驅動單元220驅動的垂直托盤112的第二導引單元230。
托盤112可以通過其它包括多個由發動機(如圖3所示的發動機116)轉動的滑輪114的驅動裝置傳送。每一個滑輪都可以具有在其外圓周面上形成的環形凹槽，并且一桿形固定部件302能夠被附著到托盤112的底面上并置于滑輪114的環形凹槽內。
另外，第一導引單元210能夠包括多個輥子212，以及在其上安裝輥子212的運動部件214。該運動部件能夠由驅動單元220驅動并且能夠往復運動。
輥子212可以布置在托盤112的兩側并且能夠與托盤112的側面接觸。輥子可以對稱布置在托盤112的兩側，或者可以以鋸齒形交替布置。鋸齒形在圖11中詳細示出。
當托盤112進入輥子212之間時，輥子212能夠沿著從托盤112向外的方向平移，以接觸托盤112，當托盤112從輥子212間離開時，輥子212能夠平移回其原始位置。
可以將運動部件214安裝并連接到驅動單元220的驅動源222上。該運動部件可以被提供在第二導引單元230的導軌232上，并且該運動部件214的運動能夠由該導軌所導引。
驅動單元220包括運動部件214和驅動源222。驅動源222可以包括汽缸或發動機，并可向運動部件214提供往復運動的力。
在將發動機用作驅動源222的情況下，該發動機的驅動力可以通過諸如帶或鏈等連接部件而傳遞至運動部件214，而在將汽缸用作驅動源222的情況下，運動部件214可以被直接安裝到該汽缸的操作桿上。
第二導引單元230可以用來提供運動路徑，運動部件214在驅動源222驅動下沿該路徑穩定平滑地運動。
驅動源222還可以被包括在導引單元230中。
如圖9所示，可以將加固部件113附著到托盤112一側或者兩側表面上輥子212所接觸的部分。從而，可以避免由于托盤112和輥子212之間的接觸所引起的摩擦和磨損。
圖10示出根據本發明第三實施例的用于傳送托盤的裝置的示意性透視圖。圖11示出輥子的鋸齒形布置狀態的透視圖。
如圖10和圖11所示，在用于傳送托盤的裝置中，多個輥子310被設置在垂直托盤的兩側，并且當該垂直托盤112在輥子之間傳送時，輥子與托盤112兩側的表面間歇性地進行接觸。
位置彼此相對的兩個輥子310之間的間距可以選擇為使輥子310允許托盤112在輥子之間傳送，并且輥子310不會妨礙托盤112的傳送。而且，位置相對的兩個輥子310之間的最大間隔可以選擇為使得在相對的兩個輥子310之間傳送的托盤112不致于大幅度傾斜，并且可以通過固定部件302保持其在滑輪114上的位置。
輥子310可以如圖10所示對稱布置在托盤112的兩側，或者可以如圖11所示以鋸齒形交替布置在托盤112的兩側。
以下簡要描述根據第三實施例的用于傳送托盤的裝置的工作原理。
在垂直托盤112進入輥子212間之前，該垂直托盤112由單獨的驅動裝置所驅動，該驅動裝置與在托盤112下方提供的滑輪114連接。一旦該垂直托盤112進入到兩個輥子212之間，托盤112的垂直狀態就由接觸托盤112上部兩側表面的多個輥子212來保持。
而且，如圖9所示，附著到托盤112兩側表面部分的加固部件113，能夠防止由于托盤112和每個輥子212之間的接觸所引起的托盤112部分的磨損。
當托盤112在輥子212之間時，由于托盤112由輥子212支撐，因此能夠避免托盤112滾動，而且托盤112能夠以增加的速度傳送。
如上所構造的本發明能夠避免對傳感單元120的損壞，并可延長傳感器的預期使用壽命。這能夠減少用新的傳感單元替換傳感單元120的開支。而且，可以提高托盤112的傳送速度，以減少傳送托盤所需的時間，同時可以降低整套處理的處理時間，從而提高生產率。
本領域的技術人員將會清楚在不背離本發明的精神和范圍的情況下，可以對本發明進行各種修改和變換。因此，本發明意在覆蓋所附權利要求及其等價替換范圍內對本發明所作的各種修改和變換。
權利要求
1.一種用于傳送托盤的裝置，包括包括多個滑輪以形成傳送路徑的傳送單元；與第一滑輪連接的驅動源；具有安裝在托盤的傳送路徑上以感知托盤的進入和卸下的傳感器的傳感單元，其中該第一滑輪或第二滑輪接觸托盤的底面，基板和罩板被固定到該托盤。
2.如權利要求1所述的裝置，其中該傳感器為非接觸式傳感器，該非接觸式傳感器包括超聲波傳感器、光傳傳感器、光纖傳感器、磁傳感器、紅外線傳感器或者紫外線傳感器。
3.如權利要求2所述的裝置，其中該非接觸式傳感器位于該托盤下方，以感知該托盤的底面。
4.如權利要求1所述的裝置，其中該非接觸式傳感器位于托盤下方，以感知該托盤的底面。
5.如權利要求1所述的裝置，其中驅動源驅動該第一滑輪轉動。
6.如權利要求1所述的裝置，進一步包括控制單元，用以接收來自該傳感單元的關于托盤的進入或卸下時間的信號，并基于所述信號控制傳送單元或驅動單元。
7.如權利要求2所述的裝置，進一步包括控制單元，用以接收來自該傳感單元的關于托盤的進入或卸下時間的信號，并基于所述信號控制傳送單元或驅動單元。
8.一種用于傳送托盤的裝置，包括接觸垂直托盤的第一導引單元；用以驅動該第一導引單元的驅動單元；以及用以導引該第一導引單元的第二導引單元。
9.如權利要求8所述的裝置，其中該驅動單元包括與該第二導引單元連接的驅動源。
10.如權利要求8所述的裝置，其中該第二導引單元包括用以形成使該托盤被沿其導引的傳送路徑的導軌。
11.如權利要求8所述的裝置，其中該第一導引單元包括多個布置在托盤的第一側面上的第一輥子；多個布置在托盤的第二側面上的第二輥子；以及安裝到所述第二導引單元的運動部件，其中所述多個第一輥子中的一個與該運動部件連接，并且該驅動單元與該運動部件連接，以使該運動部件平移。
12.如權利要求11所述的裝置，其中該驅動單元包括與所述運動部件連接的驅動源。
13.如權利要求11所述的裝置，其中該第二導引單元包括使所述運動部件嵌入，以形成使該運動部件被沿其導引的傳送路徑的導軌。
14.如權利要求11所述的裝置，其中所述多個第一輥子布置在托盤的第一側面上，并且所述多個第二輥子被與所述多個第一輥子對稱地布置在托盤的第二側面上。
15.如權利要求11所述的裝置，其中所述多個第一輥子布置在托盤的第一側面上，并且所述多個第二輥子被與所述多個第一輥子以鋸齒形交替地布置在托盤的第二側面上。
16.如權利要求11所述的裝置，進一步包括傳感單元，具有安裝在托盤的傳送路徑上以感知托盤的進入和卸下的傳感器。
17.如權利要求16所述的裝置，其中該傳感器為非接觸式傳感器，該非接觸式傳感器包括超聲波傳感器、光傳感器、光纖傳感器、磁傳感器、紅外線傳感器或者紫外線傳感器。
18.如權利要求17所述的裝置，其中該非接觸式傳感器位于托盤下方，以感知托盤的底面。
19.如權利要求11所述的裝置，其中所述多個第一輥子接觸被固定到托盤的第一側面的加固部件。
全文摘要
一種用于以高速傳送垂直托盤的裝置，該裝置能夠感知該托盤的進入和卸下。該裝置包括傳送單元，該傳送單元具有由驅動源驅動以形成傳送路徑的滑輪。這些滑輪與固定部件接觸，該固定部件被附著到固定到托盤上的基板和罩板的底邊上。該裝置還包括傳感單元，該傳感單元具有安裝在該傳送路徑下以探測托盤的進入和卸下的傳感器。該裝置還可以包括被布置以與托盤上部兩側接觸的輥子，并且這些輥子可以與嵌入沿著傳送路徑的導軌的運動部件連接，以便當托盤經過兩個輥子之間時，輥子能夠平移。這些沿托盤兩側的輥子可以對稱布置或者以鋸齒形交替布置。
文檔編號H01L21/67GK1800437SQ20061000258
公開日2006年7月12日 申請日期2006年1月5日 優先權日2005年1月5日
發明者鄭星和, 黃珉婷 申請人:三星Sdi株式會社