專利名稱：一種氣動中央控制多點安全鎖裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種安全鎖裝置，特別地涉及一種用于離子注入機的氣動中央控制多點安全鎖裝置，屬于半導體設備領域。
背景技術：
離子注入機屬于大型設備，工作時存在高壓和其它各種對人體或環境存在危害的射線和輻射，為保證其能夠安全環保的工作，一般均設計有活動的安全防護門，為確保在運行設備的時候，所有的安全防護門關到位，通常采用普通的行程開關實現電氣聯鎖，又對各門設計獨立的機械鎖，兩者配合實現，設計復雜，操作繁瑣，且還是存在其中的單個門鎖被意外開啟而影響機器正常運行的隱患。
發明內容
本實用新型即是針對上述現有技術中存在的缺點而提出的一種氣動中央控制多點安全鎖裝置，該裝置將電氣聯鎖開關和門鎖定機械裝置合為一體，采用氣動驅動，中央控制，安裝簡單，工作可靠，可提高安裝設備的防護等級。
本實用新型采用以下技術方案來實現一種氣動中央控制多點安全鎖裝置，包括一手動氣閥、一電動氣閥、一氣路分配多通接頭和一個或一個以上氣動鎖，所述的手動氣閥通過氣路與電動氣閥連接；所述的氣動鎖并聯于氣路分配多通接頭的輸出端，氣路分配多通接頭的輸入端與電動氣閥氣路連接，各個氣動鎖的行程開關觸點串連，且與外部控制系統也串連。
所述的氣動鎖與氣路分配多通接頭之間可以設置有一常開狀態手動安全氣閥；所述的電動氣閥為常斷狀態。
本實用新型具有如下顯著優點1.通過氣路控制，使得控制電路簡單、可靠；2.氣路連接中設置有安全氣閥，提高了機器的應急處理能力。
圖1為本實用新型一種氣動中央控制多點安全鎖裝置的結構連接示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步的介紹，但不作為對本實用新型的限定。
一種氣動中央控制多點安全鎖裝置，其包括一手動氣閥1、一電動氣閥2、一氣路分配多通接頭3、若干安全氣閥4和若干個氣動鎖5。其中手動氣閥1是整個系統的中央鎖定和開鎖閥，電動氣閥2是和機器控制系統聯鎖用電磁閥，其電控端c-d與外部控制系統相連，電動氣閥2為常斷狀態，此時手動氣閥1不能完成鎖定，氣路分配多通接頭3通過氣路連接電動氣閥2和各個氣動鎖5的控制端，將中央控制氣路分配到各控制支路，氣動鎖5接受氣動控制，完成鎖定，同時可給出門關到位且鎖定的聯鎖觸點信號e-f、g-h，且聯鎖觸點e-f、g-h串連，各聯鎖觸點串連后通過觸點a-b與外部控制系統連接，因而只要有一個鎖定觸點中存在一個未完全實現鎖定的動作，則外部控制系統即可檢測到此聯鎖存在，禁止執行相關動作，實現安全聯鎖，安全氣閥4為手控常開閥，串接在某些必要的鎖定支路中，當遇到緊急或特殊情況需打開相應的安全門時，則可快速拍下安全氣閥4，打開相應門鎖開門，此時串接的安全聯鎖觸點被破壞，機器控制系統則立即執行相應的安全應急處理，如停止輸出工作高壓等，保證進入人員的安全。
本實用新型的特定實施例已對本實用新型的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本實用新型精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本實用新型專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
權利要求1.一種氣動中央控制多點安全鎖裝置，其特征在于該裝置包括一手動氣閥、一電動氣閥、一氣路分配多通接頭和一個或一個以上氣動鎖，所述的手動氣閥通過氣路與電動氣閥連接；所述的氣動鎖并聯于氣路分配多通接頭的輸出端，氣路分配多通接頭的輸入端與電動氣閥氣路連接，各個氣動鎖的行程開關觸點串連，且與外部控制系統也串連。
2.如權利要求1所述的一種氣動中央控制多點安全鎖裝置，其特征在于所述的氣動鎖與氣路分配多通接頭之間可以設置有一常開狀態手動安全氣閥。
3.如權利要求1所述的一種氣動中央控制多點安全鎖裝置，其特征在于所述的電動氣閥為常斷狀態。
專利摘要本實用新型公開了一種氣動中央控制多點安全鎖裝置，包括一手動氣閥、一電動氣閥、一氣路分配多通接頭和一個或一個以上氣動鎖，所述的手動氣閥通過氣路與電動氣閥連接；所述的氣動鎖并聯于氣路分配多通接頭的輸出端，氣路分配多通接頭的輸入端與電動氣閥氣路連接，各個氣動鎖的行程開關觸點串連，且與外部控制系統也串連；所述的氣動鎖與氣路分配多通接頭之間可以設置有一常開狀態手動安全氣閥；所述的電動氣閥為常斷狀態。本實用新型通過氣路控制，使得控制電路簡單、可靠；氣路連接中設置有安全氣閥，提高了設備的應急處理能力。
文檔編號H01L21/265GK2849953SQ200520017069
公開日2006年12月20日 申請日期2005年4月25日 優先權日2005年4月25日
發明者彭立波, 郭建輝, 孫雪平, 唐景庚, 許波濤 申請人:北京中科信電子裝備有限公司