專利名稱：磁耦和循環風機系統裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及的是一種在高壓放電的準分子氣體激光器中使用的磁耦和循環風機系統裝置。
背景技術：
在準分子激光器中，特別是在高重復頻率的工作條件下，為了保證激光穩定可靠的工作，則激光腔內放電電極間的激光工作氣體必須在每次高壓激光工作氣體被擊穿放電后得到充分的交換，需要準分子激光工作系統配有激光氣體循環裝置。現如今，常用的準分子激光器是稀有氣體單鹵化物準分子激光器，如ArF，KrF和XeCL等，波長都處于紫外波段，在工業、醫療和科研方面都有著重要的應用。
但是準分子激光器的工作氣體之一的鹵化物具有很強的毒性，同時當激光工作氣體混入空氣時，會和空氣中的水蒸汽形成腐蝕性很高酸性物質，會對激光腔中的零件進行腐蝕，會極大影響激光器的氣體壽命和激光能量的大小，這就對準分子激光腔的密封性提出很高的要求。
本實用新型內容本實用新型的目的是給人們提供一種既能使激光工作光體得到充分的循環，同時又能滿足激光腔的密封性要求的磁耦和循環風機系統裝置。
本實用新型包括風機、磁耦和器和可調速直流無刷電機，其特征在于置于激光腔內的風機前端由聯軸器與固定于激光密封腔體的后法蘭內壁上的后軸承座連接，密封圈密封，風機后端由聯軸器與磁耦和器的磁耦和轉軸連接，磁耦和器的外磁環座塊由定位銷與可調速直流無刷電機連接。
所述的聯軸器采用對橫向、軸向和角度的偏移可進行很好的補償的螺旋線結構的聯軸器。
磁耦和器包括磁耦和轉軸、內磁環轉子和外磁環轉子，與內磁環轉軸連接的內磁環轉子包括內磁環、內磁環座塊和內磁環壓板，瓦片狀內磁瓦吸附于內磁瓦吸環外部構成內磁環裝于內磁環座塊上，置于內磁瓦罩內，由密封圈密封后裝內磁環壓板，外磁環轉子包括外磁環和外磁環座塊，瓦片狀外磁瓦吸附于外磁瓦吸環內部構成外磁環裝于外磁環座塊上，與電機固定盒連接，隔離罩置于內、外磁環間，其間由密封圈密封。
所述的密封圈采用氟橡膠“O”型密封圈，所述的內、外磁瓦均采用銣鐵磁瓦。
使用時，可調速直流無刷電機帶動外磁環轉子以規定的轉速轉動，由于內外磁環的磁場相互作用，使內磁環轉子隨著外磁環一起轉動，同時磁耦和轉軸也就隨之轉動；磁耦扣轉軸通過聯軸器和激光腔內的風機相連，那么就帶動風機轉動，這樣就可以通過外部的電機非接觸式的帶動風機轉動，為準分子激光穩定工作提供了必要的激光氣體循環。
本實用新型效果1、由于采用了抗腐蝕性能很強的氟橡膠“O”型密封圈密封，從而有效地防止了激光腔和外部環境的氣體交換，又因在磁耦和器的內磁壞轉子中增設了密封圈，使內磁環與激光工作氣體隔離從而防止了銣鐵硼磁環被激光氣體的腐蝕。
2、由于采用了瓦片狀的銣鐵硼磁瓦作為工作磁環，使內外磁環耦和緊密，不易失控，同時內外磁環的磁場相互交錯，增加了磁耦和器的扭力，從而增加了整個系統的動力。
3、由于采用了可對橫向、軸向和角度的偏移進行很好補償的螺旋線結構的聯軸器為風機和后軸承座及磁耦和器的磁耦和轉軸的連接，從而保證了風機轉動過程中動平衡性。
4、本裝置設計新穎，結構合理，成本低，利于推廣。
圖1為本實用新型結構示意圖。
圖2為聯軸器示意圖。
圖3為磁耦和器示意圖。
圖4為內外磁瓦結構示意圖。
具體實施方式
參見圖1～4，本實用新型包括風機1、磁耦和器2和可調速直流無刷電機3，置于激光腔4內的風機前端由對橫向、軸向和角度的偏移可進行很好補償的螺旋線結構的聯軸器5與固定于激光密封腔體的后法蘭內壁上的后軸承座6連接，氟橡膠“O”型密封圈7密封。風機1后端由聯軸器5與磁耦和器2的磁耦和轉軸8連接。磁耦和器2的外磁環座塊由定位銷與可調速直流無刷電機3連接。磁耦和器包括磁耦和轉軸8、內磁環轉子9和外磁環轉子10，與內磁環轉軸連接的內磁環轉子包括內磁環11、內磁環座塊12和內磁環壓板13，內徑為24mm和外徑為34mm的瓦片狀銣鐵硼內磁瓦14吸附在外徑為24mm和內徑為20mm的內磁瓦吸環15外部構成內磁環，裝于外徑為20mm的內磁環座塊上，磁環間縫隙用環氧樹脂填充，這樣既起到固定作用又作為材料熱膨脹的緩沖，為防止內磁環和所牽引的內磁環轉子中的內磁環塊間滑動，在內磁瓦吸環和內磁環座塊間填充環氧樹脂作為黏合劑。將組合好的內磁環座塊置于內磁瓦罩16內，由氟橡膠“O”型密封圈7密封后裝內磁環壓板13，即完成內磁環轉子的組裝，將其用內六角沉頭螺釘和內磁環轉軸擰緊，同時用鎖緊螺母固定。外磁環轉子10包括外磁環17和外磁環座塊18，將外徑為50mm和內徑為38mm的瓦片狀銣鐵硼外磁瓦19吸附在外徑為56.5mm和內徑為50mm的外磁瓦吸環20內部，構成外磁環裝于外磁環座塊上，磁環間縫隙用環氧樹脂填充，然后與電機固定盒21連接，隔離罩22置于內、外磁環間，其間由氟橡膠“O”型密封圈7密封。
權利要求1.一種磁耦和循環風機系統裝置，包括風機、磁耦和器和可調速直流無刷電機，其特征在于置于激光腔內的風機前端由聯軸器與固定于激光密封腔體的后法蘭內壁上的后軸承座連接，密封圈密封，風機后端由聯軸器與磁耦和器的磁耦和轉軸連接，磁耦和器的外磁環座塊由定位銷與可調速直流無刷電機連接。
2.根據權利要求1所述的磁耦和循環風機系統裝置，其特征在于所述的聯軸器采用對橫向、軸向和角度的偏移可進行很好的補償的螺旋線結構的聯軸器。
3.根據權利要求1所述的磁耦和循環風機系統裝置，其特征在于磁耦和器包括磁耦和轉軸、內磁環轉子和外磁環轉子，與內磁環轉軸連接的內磁環轉子包括內磁環、內磁環座塊和內磁環壓板，瓦片狀內磁瓦吸附于內磁瓦吸環外部構成內磁環裝于內磁環座塊上，置于內磁瓦罩內，由密封圈密封后裝內磁環壓板，外磁環轉子包括外磁環和外磁環座塊，瓦片狀外磁瓦吸附于外磁瓦吸環內部構成外磁環裝于外磁環座塊上，與電機固定盒連接，隔離罩置于內、外磁環間，其間由密封圈密封。
4.根據權利要求1或3所述的磁耦和循環風機系統裝置，其特征在于所述的密封圈采用氟橡膠“O”型密封圈，所述的內、外磁瓦均采用銣鐵磁瓦。
專利摘要本實用新型涉及一種磁耦和循環風機系統裝置，包括風機、磁耦和器和可調速直流無刷電機，其特征在于置于激光腔內的風機前端由聯軸器與固定于激光密封腔體的后法蘭內壁上的后軸承座連接，密封圈密封，風機后端由聯軸器與磁耦和器的磁耦和轉軸連接，磁耦和器的外磁環座塊由定位銷與可調速直流無刷電機連接。本裝置不僅能使激光工作體得到充分的循環，同時能滿足激光腔的密封性要求。另外該裝置設計新穎，結構合理，成本低，利于推廣。
文檔編號H01S3/00GK2689536SQ200420025689
公開日2005年3月30日 申請日期2004年3月22日 優先權日2004年3月22日
發明者鄧國慶, 余吟山, 賀龍海, 朱志強 申請人:中國科學院安徽光學精密機械研究所