基板處理裝置及基板處理裝置的管理方法

專利名稱：基板處理裝置及基板處理裝置的管理方法
技術領域：
本發明涉及一種對基板進行各種處理的基板處理裝置及基板處理裝置的管理方法。
背景技術：
從前，為了對半導體晶片、光掩模用玻璃基板、液晶顯示裝置用玻璃基板、光盤用玻璃基板等的基板進行各種處理，使用了基板處理裝置。例如在半導體器件的制造工藝中，為了提高生產效率而將一連串處理的每個單元化，使用著綜合了多個處理單元的基板處理裝置。
在這樣的基板處理裝置中，通常對1個基板連續進行多個不同的處理。為此，設置了清洗處理單元、曝光處理單元等各種處理單元、和在處理單元之間搬送基板的基板搬送機器人等。
在上述基板處理裝置中，例如為了進行處理單元和基板搬送機器人的維護工作而設置有工作者可進入到基板處理裝置內部的門。
在該基板處理裝置中設有聯鎖功能，在工作者不小心打開上述門而進入到基板處理裝置內部時，在門打開的同時切斷基板處理裝置全部的電源，使工作者不會置于被基板搬送機器人卷入等的危險之中。該聯鎖功能通過設在門上的聯鎖開關而動作。
但是，在門打開的同時聯鎖功能動作，切斷基板處理裝置全部的電源時，也有工作者不能進行處理單元和基板搬送機器人的維護工作的情況。作為維護工作的一例，例如有基板搬送機器人的示教(示教動作)等。
因此，在上述基板處理裝置中設置有聯鎖解除開關，能暫時解除聯鎖功能，即使在門打開時也不切斷基板處理裝置全部的電源。
可是，在上述那樣的處理單元和基板搬送機器人中，因動作而給工作者帶來危險的情況和即使動作也不給工作者帶來危險的情況混在一起。
例如，在使用藥液的處理單元中，有時所使用的藥液會對人體產生傷害。另外，在使用激光的處理單元中，有時該激光會使人體受損傷。而且，在基板搬送機器人，工作者不小心接近時有被基板搬送機器人的動作卷入的情況。
將這樣的對于工作者有危險性的處理單元或基板搬送機器人等稱為危險源。以前，對于這樣的各個危險源設置了安全裝置(例如，參照特開2000-252345號公報)。
以前對于上述那樣的危險源，為了確保工作者的安全，只有接受過針對各危險源的教育的擔當者(危險源擔當者)進行維護工作。
但是，從前在危險源擔當者解除聯鎖功能而進行特定的危險源的維護工作時，成為在其他危險源也動作的狀態下進行工作。因此，從前的安全裝置在多個危險源同時動作時，并不一定能可靠地確保工作者的安全。
而且，從前的基板處理裝置，即使對于危險源以外的處理單元或基板搬送機器人進行伴隨著動作的維護工作時，由于危險源擔當者以外的擔當者不能解除聯鎖功能，所以危險源擔當者以外的工作者也不能進行維護工作。
因而，對于危險源以外的處理單元或基板搬送機器人的維護工作，操作擔當者也被限制，在維護工作的低效率化方面受到指責。

發明內容
本發明的目的在于提供一種在可靠地確保工作者安全的同時能實現高效率的維護工作的基板處理裝置及基板處理裝置的管理方法。
本發明一個方面的基板處理裝置，具有多個動作部，其設置在包含有對基板進行規定的處理的處理空間和用于搬送基板的搬送空間的裝置空間內，對基板進行規定的處理動作或搬送動作；門，其使人可進入到裝置空間中；停止裝置，其在門被打開時，使多個動作部停止；無效設定裝置，其用于在將停止裝置的動作設定為無效狀態的同時，將多個動作部中預先確定的動作部設定為停止狀態；動作指令裝置，其用于使通過無效設定裝置而被設定為停止狀態的預先確定的動作部再動作。
在該基板處理裝置中，在打開門時，通過停止裝置停止多個動作部，但工作者能通過無效設定裝置將停止裝置的動作設定為停止狀態，同時使多個動作部中預先確定的動作部為停止狀態。由此，能防止因預先確定的動作部動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。并且，在針對預先確定的動作部以外進行維護工作時，由于預先確定的動作部停止，所以工作者即使對于預先確定的動作部沒有接受特別教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
工作者通過動作指令裝置對預先確定的動作部的再動作進行指令時，預先確定的動作部再動作。因而，工作者能進行預先確定的動作部的維護工作。
動作指令裝置還具有第1操作部，其用于對被設定為停止狀態的預先確定的動作部的再動作進行指令，第1操作部設置在裝置空間內也可以。由此，工作者通過在裝置空間內部操作第1操作部，能對預定確定的動作部的再動作進行指令。其結果，工作者能準確地識別成為對象的動作部。
無效設定裝置具有第2操作部，其用于對停止裝置的動作和預先確定的動作部的動作的設定進行指令，第2操作部設置在裝置空間外也可以。由此，工作者通過在裝置空間的外部操作第2操作部，能對停止裝置的動作和預先確定的動作部的動作的設定進行指令。其結果，防止對工作者的危險。
還可以具有控制部，其響應無效設定裝置的設定，將停止裝置的動作控制為無效狀態，同時將預先確定的動作部控制為停止狀態，響應動作指令裝置的再動作的指令，使預先確定的動作部再動作。
這時，控制部響應無效設定裝置的設定，將停止裝置的動作控制為無效狀態，同時將預先確定的動作部控制為停止狀態，由此能防止因預先確定的動作部動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。
在工作者通過動作指令裝置而對預先確定的動作部的再動作進行指令時，預先確定的動作部再動作。因而，工作者能進行預先確定的動作部的維護工作。
也可以在多個動作部預先設定危險度級別，預先確定的動作部具有比其他動作部高的危險度級別。
這時，由于門被打開，通過停止裝置使多個動作部停止，但能通過無效設定裝置將停止裝置的動作設定為無效狀態，同時將多個動作部中具有高的危險度級別的動作部設定為停止狀態。由此，能防止因具有高的危險度級別的動作部動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。在要對具有低的危險度級別的動作部進行維護工作時，由于具有高的危險度級別的動作部停止，所以工作者即使針對具有高的危險度級別的動作部沒有接受特別教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
而且，在工作者通過動作指令裝置對具有高的危險度級別的動作部的再動作進行指令時，具有高的危險度級別的動作部再動作。因而，工作者能進行具有高的危險度級別的動作部的維護工作。
預先確定的動作部也可以包含有搬送基板的搬送裝置。
這時，由于門被打開，通過停止裝置而停止多個動作部，但能通過無效設定裝置將停止裝置的動作設定為無效狀態，同時能將多個動作部中搬送基板的搬送裝置設定為停止狀態。由此，能防止因搬送裝置動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。在要對搬送裝置以外的動作部進行維護工作時，由于搬送裝置停止，所以工作者即使針對搬送裝置沒有接受特別教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
工作者通過動作指令裝置而對搬送裝置的再動作進行指令時，搬送裝置再動作。因而，工作者能進行搬送裝置的維護工作。
預先確定的動作部也可以包含有進行使用了藥品的處理的處理裝置。
這時，由于門被打開，通過停止裝置停止多個動作部，但能夠通過無效設定裝置將停止裝置的動作設定為無效狀態，同時將多個動作部中進行使用了藥品的處理的處理裝置設定為停止狀態。由此，能防止因進行使用了藥品的處理的處理裝置動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。在要對進行使用了藥品的處理的處理裝置以外的動作部進行維護工作時，由于進行使用了藥品的處理的處理裝置停止，所以工作者即使對進行使用了藥品的處理的處理裝置沒有接受特別的教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
并且，在工作者通過動作指令裝置對進行使用了藥品的處理的處理裝置再動作進行指令時，進行使用了藥品的處理的處理裝置再動作。因而，工作者能對進行使用了藥品的處理的處理裝置進行維護工作。
預先確定的動作部也可以包含有進行使用了激光的處理的處理裝置。
這時，由于門被打開，通過停止裝置停止多個動作部，但能通過無效設定裝置將停止裝置的動作設定為無效狀態，同時將多個動作部中進行使用了激光的處理的處理裝置設定為停止狀態。由此，能防止因進行使用了激光的處理的處理裝置動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。在要對進行使用了激光的處理的處理裝置以外的動作部進行維護工作時，由于進行使用了激光的處理的處理裝置停止著，所以工作者即使對進行使用了激光的處理的處理裝置沒有接受特別的教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
工作者通過動作指令裝置對進行使用了激光的處理的處理裝置的再動作進行指令時，進行使用了激光的處理的處理裝置再動作。因而，工作者能對進行使用了激光的處理的處理裝置進行維護工作。
也可以是預先確定的動作部包含有多個動作部，上述動作指令裝置包含有分別設置在上述多個動作部的多個動作指令裝置。
這時，由于多個動作指令裝置分別設置于多個動作部，所以能防止工作者錯誤地使成為自己維護工作的對象的動作部以外的動作部再動作。
根據本發明其他方面的基板處理裝置，具有多個動作部，其設置在包含有對基板進行規定的處理的處理空間和用于搬送基板的搬送空間的裝置空間內，對基板進行規定的處理動作或搬送動作；門，其使人可進入到裝置空間中；停止裝置，其在門被打開時，使多個動作部停止；無效設定裝置，其在從門的打開起經過規定的時間后，在將停止裝置的動作設定為無效狀態的同時，將多個動作部中預先確定的動作部設定為停止狀態；動作指令裝置，其用于使通過無效設定裝置而被設定為停止狀態的預先確定的動作部再動作。
在該基板處理裝置中，在打開門時，通過停止裝置停止多個動作部，但通過無效設定裝置在從打開門起經過規定的時間后，將停止裝置的動作設定為無效狀態，同時將多個動作部中預先確定的動作部設定為停止狀態。由此，能防止因預先確定的動作部動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。并且，在要對預先確定的動作部以外進行維護工作時，由于預先確定的動作部停止著，所以工作者即使針對預先確定的動作部沒有接受特別的教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
在工作者通過動作指令裝置對預先確定的動作部的再動作進行指令時，預先確定的動作部再動作。因而，工作者能進行預先確定的動作部的維護工作。
動作指令裝置也可以還具有第1操作部，其用于對被設定為停止狀態的預先確定的動作部的再動作進行指令，第1操作部設置在裝置空間內。由此，工作者通過在裝置空間的內部操作第1操作部，能對預先確定的動作部的再動作進行指令。其結果，工作者能準確地識別成為對象的動作部。
還可以具有控制部，其響應無效設定裝置的設定，將停止裝置的動作控制為無效狀態，同時將預先確定的動作部控制為停止狀態，響應動作指令裝置的再動作的指令，使預先確定的動作部再動作。
這時，控制部響應無效設定裝置的設定，將停止裝置的動作控制為無效狀態，同時將預先確定的動作部控制為停止狀態，由此能防止因預先確定的動作部動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。
而且，在工作者通過動作指令裝置對預先確定的動作部的再動作進行指令時，預先確定的動作部再動作。因而，工作者能進行預先確定的動作部的維護工作。
也可以在多個動作部預先設定危險度級別，預先確定的動作部具有比其他動作部高的危險度級別。
這時，由于門被打開，通過停止裝置使多個動作部停止，但能通過無效設定裝置將停止裝置的動作設定為無效狀態，同時將多個動作部中具有高的危險度級別的動作部設定為停止狀態。由此，能防止因具有高的危險度級別的動作部動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。在要對具有低的危險度級別的動作部進行維護工作時，由于具有高的危險度級別的動作部停止，所以工作者即使針對具有高的危險度級別的動作部沒有接受特別教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
而且，在工作者通過動作指令裝置對具有高的危險度級別的動作部的再動作進行指令時，具有高的危險度級別的動作部再動作。因而，工作者能進行具有高的危險度級別的動作部的維護工作。
預先確定的動作部也可以包含有搬送基板的搬送裝置。
這時，由于門被打開，通過停止裝置而停止多個動作部，但能通過無效設定裝置將停止裝置的動作設定為無效狀態，同時能將多個動作部中搬送基板的搬送裝置設定為停止狀態。由此，能防止因搬送裝置動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。在要對搬送裝置以外的動作部進行維護工作時，由于搬送裝置停止，所以工作者即使針對搬送裝置沒有接受特別教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
工作者通過動作指令裝置而對搬送裝置的再動作進行指令時，搬送裝置再動作。因而，工作者能進行搬送裝置的維護工作。
預先確定的動作部也可以包含有進行使用了藥品的處理的處理裝置。
這時，由于門被打開，通過停止裝置停止多個動作部，但能夠通過無效設定裝置將停止裝置的動作設定為無效狀態，同時將多個動作部中進行使用了藥品的處理的處理裝置設定為停止狀態。由此，能防止因進行使用了藥品的處理的處理裝置動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。在要對進行使用了藥品的處理的處理裝置以外的動作部進行維護工作時，由于進行使用了藥品的處理的處理裝置停止，所以工作者即使對進行使用了藥品的處理的處理裝置沒有接受特別的教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
并且，在工作者通過動作指令裝置對進行使用了藥品的處理的處理裝置再動作進行指令時，進行使用了藥品的處理的處理裝置再動作。因而，工作者能對進行使用了藥品的處理的處理裝置進行維護工作。
預先確定的動作部也可以包含有進行使用了激光的處理的處理裝置。
這時，由于門被打開，通過停止裝置停止多個動作部，但能通過無效設定裝置將停止裝置的動作設定為無效狀態，同時將多個動作部中進行使用了激光的處理的處理裝置設定為停止狀態。由此，能防止因進行使用了激光的處理的處理裝置動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。在要對進行使用了激光的處理的處理裝置以外的動作部進行維護工作時，由于進行使用了激光的處理的處理裝置停止著，所以工作者即使對進行使用了激光的處理的處理裝置沒有接受特別的教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
工作者通過動作指令裝置對進行使用了激光的處理的處理裝置的再動作進行指令時，進行使用了激光的處理的處理裝置再動作。因而，工作者能對進行使用了激光的處理的處理裝置進行維護工作。
也可以是預先確定的動作部包含有多個動作部，上述動作指令裝置包含有分別設置在上述多個動作部的多個動作指令裝置。
這時，由于多個動作指令裝置分別設置于多個動作部，所以能防止工作者錯誤地使成為自己維護工作的對象的動作部以外的動作部再動作。
根據本發明其他方面的基板處理裝置的管理方法，該基板處理裝置具有設置在包含有對基板進行規定的處理的處理空間和用于搬送基板的搬送空間的裝置空間內、對基板進行規定的處理動作或搬送動作的多個動作部；使人可進入到裝置空間中的門；在門被打開時使多個動作部停止的停止裝置，其中，具有在將停止裝置的動作設定為無效狀態的同時將多個動作部中預先確定的動作部設定為停止狀態的步驟；使被設定為停止狀態的預先確定的動作部再動作的步驟。
在該基板處理裝置的管理方法中，在打開門時，通過停止裝置使多個動作部停止，但能將停止裝置的動作設定為無效狀態，同時將多個動作部中預先確定的動作部設定為停止狀態。由此，能防止因預先確定的動作部動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。在要對預先確定的動作部以外進行維護工作時，由于預先確定的動作部停止著，所以工作者即使針對預先確定的動作部沒有接受特別的教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
而且，由于預先確定的動作部再動作，所以工作者能進行預先確定的動作部的維護工作。
根據本發明其他方面的基板處理裝置的管理方法，該基板處理裝置具有設置在包含有對基板進行規定的處理的處理空間和用于搬送基板的搬送空間的裝置空間內、對基板進行規定的處理動作或搬送動作的多個動作部；使人可進入到裝置空間中的門；在門被打開時使多個動作部停止的停止裝置，其中，具有在從門的打開起經過規定的時間后、在將停止裝置的動作設定為無效狀態的同時將多個動作部中預先確定的動作部設定為停止狀態的步驟；使被設定為停止狀態的預先確定的動作部再動作的步驟。
在該基板處理裝置的管理方法中，在門被打開時，通過停止裝置使多個動作部停止，但從門打開起經過規定的時間后，能將停止裝置的動作設定為無效狀態，同時將多個動作部中預先確定的動作部設定為停止狀態。由此，能防止因預先確定的動作部動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。在要對預先確定的動作部以外進行維護工作時，由于預先確定的動作部停止著，所以工作者即使針對預先確定的動作部沒有接受特別的教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
而且，由于使預先確定的動作部再動作，工作者能進行預先確定的動作部的維護工作。


圖1是本發明一實施例的基板處理裝置的平面圖；圖2A～圖2C是表示本發明一實施例的聯鎖解除部和再動作指令部的一例的視圖；圖3A、圖3B是表示聯鎖功能有效動作時的基板處理裝置整體的電源狀態的視圖；圖4A～圖4C是表示選擇性解除功能有效動作時的基板處理裝置整體的電源狀態的視圖；圖5A、圖5B是表示選擇性解除功能和再動作指令功能有效動作時的基板處理裝置整體的電源狀態的視圖；圖6是用于說明本發明一實施例的危險度級別的一例的視圖；圖7是表示圖1的基板處理裝置的控制系統的結構的框圖。
具體實施例方式
下面，根據圖1～圖7說明本發明一實施例的基板處理裝置及基板處理裝置的管理方法。
在下面的說明中，所謂基板是指半導體晶片、液晶顯示裝置用玻璃基板、PDP(等離子顯示面板)用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、光盤用基板等。
圖1是本發明一實施例的基板處理裝置的平面圖。如圖1所示，基板處理裝置100有處理區域A、B，在處理區域A、B之間有搬送區域C。在各處理區域A、B中配置有用于對基板W進行特定的處理的多個處理單元。并且，在搬送區域C中配置有用于搬送基板W的分度器機器人IR和基板搬送機器人CR。
在下面的說明中，將多個處理單元、分度器機器人IR和基板搬送機器人CR統稱為動作部。動作部只要是對基板進行動作的部分即可，但不限于這些。
在基板處理裝置100中，工作者除了進行調整在處理區域A、B和搬送區域C配置的動作部的動作狀態的示教以外，對各動作部進行各種的維護工作。
將包括處理區域A、B和搬送區域C的空間稱為裝置空間500。設置有隔斷壁501，分別將處理區域A、B和搬送區域C隔離。
在基板處理裝置100的側面的規定位置設置有工作者進入到裝置空間500內用的門D1、D2、D3、D4、D5。門D1與分度器機器人IR和基板搬送機器人CR對應安裝，門D2～D5與各處理單元對應安裝。
在各個門D1～D5設置有對應于由工作者引起的打開而切斷基板處理裝100全部的電源(以下稱為聯鎖功能)用的聯鎖開關IN1、IN2、IN3、IN4、IN5。例如，通過工作者打開門D1～D5中的任一個，從而對應的聯鎖開關IN1～IN5動作，基板處理裝置500全部的電源被切斷。
并且，在門D1～D5的各個附近，設置著聯鎖解除部R1、R2、R3、R4、R5，其用于將聯鎖功能設定為無效，同時使裝置空間500內的各動作部中特定的動作部的電源成為斷開狀態，將其他的動作部的電源維持為接通狀態(下面稱為選擇性解除功能)。
這里，特定的動作部根據其動作對工作者人體帶來的影響而確定。例如，特定的動作部有其動作對人體帶來損害的危險的部分。
工作者通過操作聯鎖解除R1～R5中的任一個，能有效設定選擇性解除功能。由此，將聯鎖功能設定為無效，使特定的動作部的電源為斷開狀態，將其他的動作部的電源維持為接通狀態。其結果，工作者不會置于由特定的動作部動作而產生的危險中，能打開門D1～D5而進入到裝置空間500內。
在將這樣的選擇性解除功能設定為有效的狀態下，由于特定的動作部的電源成為斷開狀態，同時不會對人體帶來損害的其他的動作部的電源維持在接通狀態，所以工作者即使針對特定的動作部沒有接受特別的教育，也能進行其他的動作部的維護工作。關于選擇性解除功能和特定的動作部的詳細情況將在后面敘述。
在基板處理裝置100的側面的規定位置，設置著再動作指令部SI、SC、S2、S3，其用于使通過選擇性解除功能而成為斷開狀態的特定的動作部的電源處于接通狀態(以下稱為再動作指令功能)。
這些再動作指令部SI、SC、S2、S3與每個特定的動作部對應設置。關于該對應關系將在后面敘述。
工作者在由于聯鎖功能而使基板處理裝置100全部的電源處于斷開狀態時，通過操作與成為維護工作對象的特定的動作部建立對應的再動作指令部SI、SC、S2、S3中的任意一個，將再動作指令功能設定為有效。能使特定的動作部的電源再次成為接通狀態而進行維護工作。
每個再動作指令部SI、SC、S2、S3僅將與自己建立對應的特定的動作部的電源設定為接通狀態。因而，在工作者操作再動作指令部SI、SC、S2、S3的其中之一時，僅與已操作的再動作指令部對應的特定的動作部的電源為接通狀態。其結果，由于維護工作的對象以外的特定的動作部不動作，所以能確保工作者的安全。
這里，針對配置在處理區域A、B和搬送區域C的各動作部進行說明。
在處理區域A配置著控制部4、流體箱部2a、2b、藥液處理部5a、5b。各藥液處理部5a、5b相當于上述處理單元，同時也相當于特定的動作部。
圖1的流體箱部2a、2b分別容納有與向藥液處理部5a、5b供給藥液和從藥液處理部5a、5b進行排液相關的配管、接頭、閥、流量計、穩壓器、泵、溫度調節器、處理液儲存罐等流體相關設備。
在藥液處理部5a、5b，使用藥液進行清洗處理(以下稱為藥液處理)。在本實施例中，作為藥液而使用氟酸水溶液等。
在藥液處理部5a的外側側面設置有門D2、聯鎖開關IN2和聯鎖解除部R2。在藥液處理部5a的內側側面與藥液處理部5a對應而設置有再動作指令部S2。進而，在藥液處理部5b的外側側面設置有門D3、聯鎖開關IN3和聯鎖解除部R3。并且，在藥液處理部5b的內側側面與藥液處理部5b對應而設置有再動作指令部S3。
即，聯鎖解除部R2、R3設置在裝置空間500的外部。再動作指令部S2、S3設置在裝置空間500的內部。
在處理區域B配置有流體箱部2c、2d和純水處理部5c、5d。各純水處理部5c、5d相當于上述處理單元，同時相當于特定的動作部以外的動作部。
圖1的流體箱部2c、2d分別容納有與向純水處理部5c、5d供給純水和從純水處理部5c、5d進行排液相關的配管、接頭、閥、流量計、穩壓器、泵、溫度調節器、處理液儲存罐等的流體相關設備。
在純水處理部5c、5d，使用純水進行清洗處理。這時，用純水洗掉藥液處理后殘留在基板W上的藥液。
在純水處理部5c的外側側面設置有門D4、聯鎖開關IN4和聯鎖解除部R4。在純水處理部5d的外側側面設置有門D5、聯鎖開關IN5和聯鎖解除部R5。
即，這些聯鎖解除部R4、R5設置在裝置空間500的外部。
在搬送區域C配置有分度器機器人IR和基板搬送機器人CR。各分度器機器人IR和基板搬送機器人CR相當于上述特定的動作部。
在處理區域A、B的一端部側配置有進行基板W的搬入和搬出的分度器ID，在分度器ID的內部設置有分度器機器人IR。在分度器ID載置著容納基板W的托架1。在本實施例中，作為托架1，使用以密封狀態容納基板W的FOUP(Front Opening Unified Pod前開口聯合倉)，但不限定于此，也可以使用SMIF(Standard Mechanical Inter Face標準機械連接)倉、OC(OpenCassette敞口盒)等。
分度器ID的分度器機器人IR沿箭頭U的方向移動，從托架1取出基板W，交接給基板搬送機器人CR，相反從基板搬送機器人CR接收進行了一連串處理后的基板W，返回托架1。
基板搬送機器人CR將從分度器機器人IR交接來的基板W搬送到指定的處理單元，或者將從處理單元接收的基板W搬送到其他的處理單元或分度器機器人IR。
在分度器ID的外側側面設置有門D1、聯鎖開關IN1和聯鎖解除部R1。在分度器ID的內側側面，分別對應于分度器機器人IR和基板搬送機器人CR而設置有再動作指令部SI、SC。
即，聯鎖解除部R1設置在裝置空間500的外部。再動作指令部SI、SC設置在裝置空間500的內部。并且，該再動作指令部SI、SC也可以設置在對應的分度器機器人IR和基板搬送機器人CR的附近(基板處理裝置100的側面和隔斷壁501的規定位置)。
在本實施例中，在藥液處理部5a、5b中的任一個中，對基板W進行藥液處理后，由基板搬送機器人CR將基板W從藥液處理部5a、5b搬出，搬入到純水處理部5c、5d中的任意一個中。
控制部4由包含CPU(中央運算處理裝置)的計算機等構成，控制處理區域A、B的各處理單元的動作、搬送區域C的基板搬送機器人CR的動作和分度器ID的分度器機器人IR的動作。關于控制部4的詳細情況將在后面敘述。
這里，說明聯鎖解除部R1～R5和再動作指令部SI、SC、S2、S3的構成。
圖2A～圖2C是表示本發明一實施例的聯鎖解除部R1～R5和再動作指令部SI、SC、S2、S3一例的視圖。
如圖2A所示，聯鎖解除部R1～R5設有用于插入選擇性解除鑰匙RK的插入孔IK，同時具有2個轉換位置P1、P2。在轉換位置P1，選擇性解除功能變為無效，在轉換位置P2，選擇性解除功能有效。
工作者通過將選擇性解除鑰匙RK插入到插入孔IK中并旋轉選擇性解除鑰匙RK，能將選擇性解除鑰匙RK設定在轉換位置P1、P2中的任意一處。由此，能轉換選擇性解除功能的有效和無效。
如圖2B所示，再動作指令部SI、SC相鄰設置，其設有用于插入再動作指令鑰匙SK的插入孔IK，同時具有2個轉換位置P1、P2。在轉換位置P1，再動作指令功能無效，而在轉換位置P2，再動作指令功有效。
工作者通過將再動作指令鑰匙SK插入到插入孔IK中并旋轉再動作指令鑰匙SK，能將再動作指令鑰匙設定在轉換位置P1、P2中的任意一處。由此，對于與再動作指令部SI、SC建立對應的聯鎖機器人IR和基板搬送機器人CR、即特定的動作部，能轉換再動作指令功能的有效和無效。
如圖2C所示，再動作指令部S2、S3被設置在各自對應的特定的動作部附近，設有用于插入再動作指令鑰匙SK的插入孔IK，同時具有2個轉換位置P1、P2。在轉換位置P1，再動作指令功能無效，在轉換位置P2，再動作指令功能有效。
工作者通過將再動作指令鑰匙SK插入到插入孔IK中并旋轉再動作指令鑰匙SK，能將再動作指令鑰匙SK設定在轉換位置P1、P2中的任意一處。由此，對于與再動作指令部S2、S3建立對應的藥液處理部5a、5b、即特定的動作部，能轉換再動作指令功能的有效和無效。
每個聯鎖解除部R1～R5和再動作指令部SI、SC、S2、S3并不一定必須具有上述的構成，只要能夠對各功能進行有效和無效的轉換即可，也可以是按鈕等。
圖1的基板處理裝置100，代替設有聯鎖解除部R1～R5，也可以具有自動進行聯鎖功能和選擇性解除功能的轉換的以下那種構成。
隨著門D1～D5的打開，通過聯鎖開關IN1～IN5而聯鎖功能動作，而預定該聯鎖功能有效動作的時間，設定經過規定時間(例如30秒)后，選擇性解除功能自動動作。
這時，工作者即使打開門D1～D5而聯鎖功能動作，若在規定時間(例如30秒)內關閉門D1～D5時，則聯鎖功能變為無效，同時選擇性解除功能不能有效動作。其結果，由聯鎖功能使基板處理裝置100全部的電源成斷開狀態后，基板處理裝置100全部的電源再次成為接通狀態。
另一方面，工作者打開門D1～D5而使聯鎖功能動作，在規定時間(例如30秒)內沒有關閉門D1～D5時，在規定時間(例如30秒)后，選擇性解除功能有效動作。其結果，特定的動作部的電源維持斷開狀態，同時其他動作部的電源成為接通狀態。
在這種構成中，由工作者操作再動作指令部SI、SC、S2、S3而進行的再動作指令功能，也可以是不管選擇性解除功能是否有效動作，即使在聯鎖功能動作時也有效動作。
根據圖3～圖5，說明由聯鎖功能、選擇性解除功能和再動作指令功能引起的基板處理裝置100整體的電源狀態。
圖3A、圖3B是表示聯鎖功能有效動作時的基板處理裝置100整體的電源狀態的視圖。
如圖3A所示，假設基板處理裝置100全部的動作部(藥液處理部5a、5b，純水處理部5c、5d、分度器機器人IR和基板搬送機器人CR)的電源是接通狀態的情況。
這里，如圖3B所示，在打開門D1(門D1～D5中的任意一個)時，在門D1打開的同時聯鎖功能有效動作。由此，基板處理裝置100全部的動作部的電源成為斷開狀態。
圖4A～圖4C是表示選擇性解除功能有效動作時的基板處理裝置100整體的電源狀態的視圖。
如圖4A所示，假設基板處理裝置100全部的動作部的電源是接通狀態的情況。
這里，如圖4B所示，在聯鎖解除部R1～R5中的任意一個中，在有效設定選擇性解除功能時，特定的動作部、即藥液處理部5a、5b、分度器機器人IR和基板搬送機器人CR的電源成為斷開狀態。并且，其他動作部、即純水處理部5c、5d的電源維持在接通狀態。
進而，如圖4C所示，由于通過選擇性解除功能使聯鎖功能無效，所以即使在門D1(門D1～D5中的任意一個)被打開時，各動作部的電源狀態不變化。即，純水處理部5c、5d的電源不變為斷開狀態。
圖5A、圖5B是表示選擇性解除功能和再動作指令功能有效動作時的基板處理裝置100整體的電源狀態的視圖。
如圖5A所示，在聯鎖解除部R1～R5中的任意一個中，通過有效設定選擇性解除功能，假設特定的動作部的電源是斷開狀態，其他動作部的電源是接通狀態的情況。
這時，如上述那樣，即使門D1～D5中的任意一個被打開，圖5A所示的電源狀態不變化。
這里，如圖5B所示，工作者在裝置空間500內部的再動作指令部SI，有效設定再動作指令功能時，作為與再動作指令部SI建立對應的特定的動作部的分度器機器人IR的電源再次變為接通狀態。另一方面，分度器機器人IR以外的各動作部維持圖5A所示的電源狀態。
同樣，通過工作者對各再動作指令部SC、S2、S3有效設定再動作指令功能，從而能夠僅使與各再動作指令部建立對應的特定的動作部再次成為接通狀態。
對特定的動作部進行說明。這里，在本實施例的基板處理裝置100中，對各動作部確定危險度級別。所謂危險度級別，例如根據該動作部的動作對工作者人體帶來傷害的可能性而確定。
在本實施例的基板處理裝置100中，成為危險度級別對象的動作部是分度器機器人IR、基板搬送機器人CR、藥液處理部5a、5b和純水處理部5c、5d。
除了這些，在基板處理裝置100的處理區域A、B和搬送區域C中，作為動作部也可以設置使用激光的處理部等。
通過使用激光的處理部，例如進行在基板W的周邊部照射規定的激光等的處理。在這種激光中，按照JIS(日本工業標準)C6802進行等級區分。在該等級區分中，例如規定等級2的激光具有由于人體防御反應而可回避傷害的程度的輸出。
圖6是用于說明本發明一實施例的危險度級別的一例的視圖。
如圖6所示，各動作部按照從各動作部的動作對人體帶來影響小的起的順序，分類成“級別1”、“級別2”、“級別3”和“級別4”的危險度級別。
作為級別1的動作部，被分類為即使在其動作時也不會對人體帶來傷害的動作部、例如純水處理部。
作為級別2的動作部，被分類為即使在其動作時對人體帶來傷害的可能性低的動作部、例如使用使人體受到損害的可能性低的藥液的藥液處理部。
作為級別3的動作部，被分類為在其動作時有可能使人體受到損害的動作部，例如用使人體受到損害的可能性高的藥液的藥液處理部和使用等級2以上的激光的處理部。
作為級別4的動作部，被分類為在其動作時使人體受到損害的可能性非常高的動作部，例如搬送基板W的各種搬送機器人。
由此，如下面那樣設定圖1的基板處理裝置100各動作部的危險度級別。純水處理部5c、5d是級別1，用使人體受到損害的可能性高的氟酸水溶液的藥液處理部5a、5b是級別3，分度器機器人IR和基板搬送機器人CR是級別4。
特定的動作部，例如通過在上述4個危險度級別中設定成為界限的級別而確定。
若根據圖6，在將成為界限的級別設為危險度級別3以上時，用使人體受到損害的可能性高的藥液的藥液處理部、使用等級2以上的激光的處理部、各種搬送機器人是特定的動作部。
即，在圖1的基板處理裝置100中，藥液處理部5a、5b、分度器機器人IR和基板搬送機器人CR成為特定的動作部。
這種危險度級別不限于圖6的例子，也可以分類為更多的級別，與其相對應，也可以自由設定成為界限的級別。
在上述說明中，危險度級別根據該動作部的動作使工作者的人體受到損害的可能性來確定，但不限于這樣，也可以根據由該動作部的動作而假設的對工作者人體的損害程度或頻率來確定。
圖7是表示圖1的基板處理裝置100的控制系統的構成的框圖。
控制部4控制分度器機器人IR和基板搬送機器人CR的基板搬送動作，控制藥液處理部5a、5b的清洗動作和純水處理部5c、5d的清洗動作。
控制部4響應聯鎖開關IN1～IN5的動作，控制分度器機器人IR、基板搬送機器人CR、藥液處理部5a、5b和純水處理部5c、5d的電源。
控制部4響應因工作者操作聯鎖解除部R1～R5而使選擇性解除功能有效的情況的信號，在不響應聯鎖開關IN1～IN5動作的同時，將藥液處理部5a、5b、分度器機器人IR和基板搬送機器人CR的電源控制為斷開狀態，將純水處理部5c、5d的電源維持在接通狀態。
另外，控制部4在上述選擇性解除功能有效動作時，響應于因工作者操作再動作指令部SI、SC、S2、S3中的任意一個而使再動作指令功能有效的情況的信號，將與所操作的再動作指令部建立對應的特定的動作部的電源再次控制為接通狀態。
如上述那樣，也可以在基板處理裝置100中設置使用激光的處理部，代替藥液處理部5a、5b和純水處理部5c、5d。
如上述那樣，在基板處理裝置100沒有聯鎖解除部R1～R5的構成時，控制部4響應聯鎖開關IN1～IN5的動作，控制分度器機器人IR、基板搬送機器人CR、藥液處理部5a、5d和純水處理部5c、5d的電源，同時對規定時間進行計算。
并且，控制部4由于經過規定的時間，而將藥液處理部5a、5b、分度器機器人IR和基板搬送機器人CR的電源控制為斷開狀態，將純水處理部5c、5d的電源維持在接通狀態。
在本實施例的基板處理裝置100中，在打開門D1～D5時，用聯鎖功能使基板處理裝置100整體的各動作部的電源成斷開狀態，但工作者在打開門D1～D5之前，通過操作聯鎖解除部R1～R5，將聯鎖功能設定為無效狀態，同時使特定的動作部的電源為斷開狀態。由此，防止因特定的動作部動作而產生的對工作者的危險，確保工作者安全。
在要對其他動作部進行維護工作時，由于特定的動作部的電源成斷開狀態，所以工作者即使針對特定的動作部沒有接受特別的教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
在工作者通過操作再動作指令部SI、SC、S2、S3而使再動作指令功能動作時，特定的動作部的電源再次成為接通狀態。因而，工作者能進行特定的功能部的維護工作。
如上述那樣，本實施例的基板處理裝置100也可以具有自動進行聯鎖功能和選擇性解除功能的轉換的構成。
這時，在打開門D1～D5時，通過聯鎖功能而使基板處理裝置100整體的各動作部的電源成為斷開狀態，但在從門D1～D5的打開經過規定時間后，將聯鎖功能設定為無效狀態，同時特定的動作部的電源成斷開狀態，其他動作部的電源成接通狀態。由此，能防止因特定的動作部動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。在要對其他動作部進行維護工作時，由于特定的動作部停止著，所以即使工作者針對特定的動作部沒有接受特別的教育，也能安全進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
在工作者通過操作再動作指令部SI、SC、S2、S3使再動作指令功能動作時，特定的動作部的電源再次成為接通狀態。因而，工作者能進行特定的動作部的維護工作。
在本實施例中，對基板處理裝置100的多個動作部預先設定危險度級別。并且，通過設定特定的危險度級別，能根據使工作者的人體受到損害的可能性對特定的動作部和其他的動作部進行分類。
這時，通過打開門D1～D5，由聯鎖功能使基板處理裝置100整體的多個動作部成為斷開狀態，但工作者在打開門D1～D5之前或打開了門D1～D5之后，通過選擇性解除功能將聯鎖功能設定為無效狀態，同時將多個動作部中具有高危險度級別的特定的動作部的電源設定為斷開狀態。由此，防止因具有高危險度級別的特定的動作部動作而產生的對工作者的危險，確保工作者的安全。
在要對具有低危險度級別的其他動作部進行維護工作時，由于具有高危險度級別的特定的動作部的電源成為斷開狀態，所以即使工作者針對具有高危險度級別的特定的動作部沒有接受特別的教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
在工作者通過操作再動作指令部SI、SC、S2、S3而使再動作指令功能動作時，具有高危險度級別的特定的動作部的電源再次成為接通狀態。因而，工作者能進行具有高危險度級別的特定的動作部的維護工作。
在本實施例中，特定的動作部包含分度器機器人IR和基板搬送機器人CR。這時，工作者通過再動作指令功能而能進行分度器機器人IR和基板搬送機器人CR的維護工作。
在要對分度器機器人IR和基板搬送機器人CR以外的動作部進行維護工作時，即使針對分度器機器人IR和基板搬送機器人CR沒有接受特別的教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
并且，特定的動作部包含藥液處理部5a、5b。這時，工作者通過再動作指令功能而可以進行藥液處理部5a、5b的維護工作。
在要對藥液處理部5a、5b以外的動作部進行維護工作時，即使針對藥液處理部5a、5b沒有接受特別教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
而且，特定的動作部包含使用等級2以上的激光的處理部。這時，工作者通過再動作指令功能而可以進行使用激光的處理部的維護工作。
而在要對使用激光的處理部以外的動作部進行維護工作時，即使針對使用激光的處理部沒有接受特別的教育，也能安全地進行維護工作。其結果，實現高效率的維護工作。
圖1的基板處理裝置100具備多個特定的動作部，在每個特定的動作部設置有再動作指令部SI、SC、S2、S3。
這時，通過在每個特定的動作部設置再動作指令部SI、SC、S2、S3，能防止工作者使成為自己維護工作的對象的特定的動作部以外的特定的動作部錯誤地再動作。
以上，在本發明一實施例中，基板處理裝置100相當于基板處理裝置，處理區域A、B相當于處理空間，搬送區域C相當于搬送空間，裝置空間500相當于裝置空間，門D1～D5相當于門，聯鎖開關IN1～IN5、聯鎖功能和控制部4相當于停止裝置。
并且，基板處理裝置100整體的各動作部、藥液處理部5a、5b、純水處理部5c、5d、分度器機器人IR、基板搬送機器人CR和使用激光的處理部相當于多個動作部，特定的動作部、藥液處理部5a、5b、分度器機器人IR、基板搬送機器人CR和使用激光的處理部相當于預先確定的動作部，聯鎖開關IN1～IN5、選擇性解除鑰匙RK、聯鎖解除部R1～R5、選擇性解除功能和控制部4相當于無效設定裝置，再動作指令鑰匙SK、再動作指令部SI、SC、S2、S3、再動作指令功能和控制部4相當于動作指令裝置。
而且，分度器機器人IR和基板搬送機器人CR相當于搬送裝置，藥液處理部5a、5b相當于使用藥品進行處理的處理裝置，使用激光的處理部相當于進行使用了激光的處理的處理裝置。
再動作指令鑰匙SK和再動作指令部SI、SC、S2、S3相當于第1操作部，選擇性解除鑰匙RK和聯鎖解除部R1～R5相當于第2操作部。
權利要求
1.一種基板處理裝置，具有多個動作部，其設置在包含有對基板進行規定的處理的處理空間和用于搬送基板的搬送空間的裝置空間內，對基板進行規定的處理動作或搬送動作；門，其使人可進入到上述裝置空間中；停止裝置，其在上述門被打開時，使上述多個動作部停止；無效設定裝置，其用于在將上述停止裝置的動作設定為無效狀態的同時，將上述多個動作部中預先確定的動作部設定為停止狀態；動作指令裝置，其用于使通過上述無效設定裝置而被設定為停止狀態的上述預先確定的動作部再動作。
2.如權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述動作指令裝置還具有第1操作部，其用于對被設定為停止狀態的上述預先確定的動作部的再動作進行指令，上述第1操作部設置在上述裝置空間內。
3.如權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述無效設定裝置還具有第2操作部，其用于對上述停止裝置的動作和上述預先確定的動作部的動作的設定進行指令，上述第2操作部設置在上述裝置空間外。
4.如權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，還具有控制部，其響應上述無效設定裝置的設定，將上述停止裝置的動作控制為無效狀態，同時將上述預先確定的動作部控制為停止狀態，響應上述動作指令裝置的再動作的指令，使上述預先確定的動作部再動作。
5.如權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，對上述多個動作部預先設定危險度級別，上述預先確定的動作部具有比其他動作部高的危險度級別。
6.如權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述預先確定的動作部包含有搬送基板的搬送裝置。
7.如權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述預先確定的動作部包含有進行使用了藥品的處理的處理裝置。
8.如權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述預先確定的動作部包含有進行使用了激光的處理的處理裝置。
9.如權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述預先確定的動作部包含有多個動作部，上述動作指令裝置包含有分別設置于上述多個動作部的多個動作指令裝置。
10.一種基板處理裝置，具有多個動作部，其設置在包含有對基板進行規定的處理的處理空間和用于搬送基板的搬送空間的裝置空間內，對基板進行規定的處理動作或搬送動作；門，其使人可進入到上述裝置空間中；停止裝置，其在上述門被打開時，使上述多個動作部停止；無效設定裝置，其在從上述門的打開起經過規定的時間后，在將上述停止裝置的動作設定為無效狀態的同時，將上述多個動作部中預先確定的動作部設定為停止狀態；動作指令裝置，其用于使通過上述無效設定裝置而被設定為停止狀態的上述預先確定的動作部再動作。
11.如權利要求10所述的基板處理裝置，其特征在于，上述動作指令裝置還具有第1操作部，其用于對被設定為停止狀態的上述預先確定的動作部的再動作進行指令，上述第1操作部設置在上述裝置空間內。
12.如權利要求10所述的基板處理裝置，其特征在于，還具有控制部，其響應上述無效設定裝置的設定，將上述停止裝置的動作控制為無效狀態，同時將上述預先確定的動作部控制為停止狀態，響應上述動作指令裝置的再動作的指令，使上述預先確定的動作部再動作。
13.如權利要求10所述的基板處理裝置，其特征在于，對上述多個動作部預先設定危險度級別，上述預先確定的動作部具有比其他動作部高的危險度級別。
14.如權利要求10所述的基板處理裝置，其特征在于，上述預先確定的動作部包含有搬送基板的搬送裝置。
15.如權利要求10所述的基板處理裝置，其特征在于，上述預先確定的動作部包含有進行使用了藥品的處理的處理裝置。
16.如權利要求10所述的基板處理裝置，其特征在于，上述預先確定的動作部包含有進行使用了激光的處理的處理裝置。
17.如權利要求10所述的基板處理裝置，其特征在于，上述預先確定的動作部包含有多個動作部，上述動作指令裝置包含有分別設置于上述多個動作部的多個動作指令裝置。
18.一種基板處理裝置的管理方法，該基板處理裝置具有設置在包含有對基板進行規定的處理的處理空間和用于搬送基板的搬送空間的裝置空間內、對基板進行規定的處理動作或搬送動作的多個動作部；使人可進入到上述裝置空間中的門；在上述門被打開時使上述多個動作部停止的停止裝置，其特征在于，具有在將上述停止裝置的動作設定為無效狀態的同時將上述多個動作部中預先確定的動作部設定為停止狀態的步驟；使被設定為停止狀態的上述預先確定的動作部再動作的步驟。
19.一種基板處理裝置的管理方法，該基板處理裝置具有設置在包含有對基板進行規定的處理的處理空間和用于搬送基板的搬送空間的裝置空間內、對基板進行規定的處理動作或搬送動作的多個動作部；使人可進入到上述裝置空間中的門；在上述門被打開時使上述多個動作部停止的停止裝置，其特征在于，具有在從上述門的打開起經過規定的時間后、在將上述停止裝置的動作設定為無效狀態的同時將上述多個動作部中預先確定的動作部設定為停止狀態的步驟；使被設定為停止狀態的上述預先確定的動作部再動作的步驟。
全文摘要
本發明涉及一種基板處理裝置及基板處理裝置的管理方法，在基板處理裝置中對各動作部進行各式各樣的維護工作。在裝置空間的側面規定位置設置有門，在各個門設置著聯鎖開關。在每個門的附近設置有聯鎖解除部，其用于將聯鎖開關的功能設定為無效，使裝置空間內各動作部中特定的動作部的電源為斷開狀態，將其他動作部的電源維持為接通狀態。在裝置空間的側面的規定位置設置著再動作指令部，其用于通過聯鎖解除部的操作，使成為斷開狀態的特定的動作部的電源成為接通狀態。
文檔編號H01L21/00GK1626418SQ20041010029
公開日2005年6月15日 申請日期2004年12月10日 優先權日2003年12月10日
發明者稻田龍彥, 十野浩之 申請人:大日本網目版制造株式會社