專利名稱：探測片搬送裝置及被接合體移動機構的制作方法
技術領域：
本發明涉及探測片搬送裝置及把被接合體移送到接合體的規定位置的移送機構。更詳細地說，涉及用于把探測片順暢地配置在探測器室內的第1個規定位置的探測片搬送裝置及可適用于該探測片搬送裝置的被接合體移送機構。
背景技術：
探測片搬送裝置，可應用于把探測片搬進及搬出探測裝置的時候。
現有的探測片搬送裝置的例子，如本申請人所申請的特開2001-24039號的圖1所示。下面說明圖7A所示的探測裝置。探測器室1內配置了承載晶片的承載臺(晶片卡盤)2、臺鉗機構4和探測片6。承載臺2可向X、Y、Z及θ方向移動。臺鉗機構4，固定在配置于晶片卡盤2上方的臺板3的大約中央的孔3A處。探測片6通過片保持體5被臺鉗機構4可裝卸地保持著。裝載室(圖中未示出)配置為鄰接探測器室1，從裝載室搬送的晶片被承載于探測器室1內的晶片卡盤2上。校正機構(圖中未示出)，通過使晶片卡盤2向X、Y、Z及θ方向移動，來對承載在晶片卡盤上的晶片和探測片6的探針6A進行校正。然后檢查晶片上形成的電路的電氣特性。
探測片搬送裝置，如圖7A所示，具有在探測器室1內可向X、Y、Z及θ方向移動的晶片卡盤2，和與該晶片卡盤2進行交接的附帶片保持體5的探測片6的交接機構7。
交接機構7，如圖7A所示，具有自由裝卸地保持附帶片保持體5的探測片6的附加器8、為了自由裝卸地保持該附加器8而在前端部分成兩股的叉狀的臂9、引導該臂9向箭頭A方向移動的一對導軌10以及固定這些導軌10的移動機構11。交接機構7的臂9，把保持有探測片6的附加器8，在固定于晶片卡盤2的附加支持體12和探測器室外之間交接。
用于裝卸探測片6的機構(臺鉗機構4，片保持體5及附加器8)，在圖7B的基礎上說明。在臺鉗機構4上，固定著第一個定位銷(例如，2根)4A。在片保持體5上形成用于嵌合第一個定位銷4A的第一個孔5A。在附加器8上，設置了第2個定位銷8A(例如，2根)。在片保持體5上形成嵌合第2個定位銷8A的第2個孔5B。片搬送裝置把探測片6搬送到臺鉗機構4的正下方之后，晶片卡盤2上升。通過第1個定位銷4A嵌合在第1個孔5A中，片保持體5接觸臺鉗機構4。臺鉗機構4把探測片6固定在臺板3上。另外，在圖7A中，13是收裝向與箭頭B相反方向折疊的交接機構7的收裝部分。
由于在圖7A中的探測片6和臺鉗機構4之間的位置配合誤差、各機械因素的熱膨脹或經過多年的變化，如圖7B所示，臺鉗機構4的第1個定位銷4A和片保持體5的第1個孔5A間產生錯位。在兩者的位置錯開的狀態下，通過晶片卡盤2上升，探測片6被壓入臺鉗機構4，片保持體5的第1個孔5A和臺鉗機構4的第1個定位銷4A之間產生過大應力。在極端的情況下，由于該應力臺鉗機構4和探測片6等有損傷的危險。這樣的問題在使用附加器、將接合體和被接合體以銷結合的情況下也發生。
本發明的其它的目的及優點，記載在以下的說明書中，其中的一部分從該公開中顯而易見，或者通過本發明的實施可得到。本發明的該目的及優點，通過與在此被特指的部件相組合能實現、得到。
發明內容
本發明的目的之一在于提供一種探測片搬送裝置，這種探測片搬送裝置在即使支持探測片的支持體(例如，片保持體)的位置，和臺鉗機構的安裝位置錯位的情況下，也能解決使兩者順暢地結合的問題、使兩者可靠地結合的問題、減輕兩者結合時發生過大應力的問題中至少一個問題。
另外，本發明的另一目的在于解決使被接合體和接合體兩者順暢地結合的問題、使兩者可靠地結合的問題、減輕兩者結合時發生過大應力的問題中至少一個問題。
根據本申請的發明的第1個方面，提供一種探測片搬送裝置，該裝置構成為在設定于探測器室內的第1個規定位置和設定于探測器室外的第2個規定位置L3之間，搬送附帶片保持體的探測片。
該探測片搬送裝置優選是具有下述(a)，更優選是具有下述(b)(a)設置在該探測器室內的該第1個規定位置的第1個定位用結合用具；將該附帶片保持體的探測片在設定于該探測器室內的交接位置，和探測器室外的第2個規定位置間移送，并在各規定位置進行交接而構成的交接機構，該片保持體具有第1個定位用被結合用具和第2個定位用被結合用具；將在探測器室內的該交接位置和探測器室內的該第1個規定位置之間移送該附帶片保持體的探測片而構成的支持體移送機構；該支持體移送機構具有為承載并支承該附帶片保持體的探測片而構成的支持體、在該支持體上通過自由搖動的支持機構而安裝的第2個定位用結合用具、使該支持體向X、Y、Z及θ方向移動而構成的支持體移動機構，該支持體移動機構在探測器室內的該交接位置和該第1個規定位置間移送該附帶片保持體的探測片，在此，由該支持體移動機構移送的附帶片保持體的探測片，通過其第1個定位用被結合用具結合在該第1個定位用結合用具上，該附帶片保持體的探測片定位在探測器室內的第1個規定位置。
(b)該第1個定位用結合用具及第2個定位用結合用具為第1個定位銷及第2個定位銷；該第1個定位用被結合用具及第2個定位用被結合用具為第1個開口部及第2個開口部；該第2個定位銷的前端部的至少一部分在實質上是球面形；該第2個定位銷通過自由搖動的支持機構安裝在該支持體上。
根據本發明的第2個方面，提供將被接合體移送到設定在接合體的規定位置而構成的被接合體移送機構。
該被接合體移送機構優選是具有下述(c)，更優選是具有下述(d)。
(c)設置在被接合體上的定位用被結合用具；為承載并保持被接合體而構成的支持體；
在該支持體上通過自由搖動的支持機構安裝的定位用結合用具542，在此，通過該第2個定位用結合用具與該被接合體的該定位用被結合用具結合，該被接合體在支持體上定位。
將該支持體向X、Y、Z及θ方向移動而構成的支持體移動機構。
(d)該定位用結合用具為定位銷；該定位銷的前端部的至少一部分在實質上是球面形；該定位用被結合用具為開口部。
根據本申請的發明的第1個方面提出的探測片搬送裝置，和根據本申請的發明的第2個方面提出的被接合體移動機構的種種，優選是具有下述(e)～(h)中的一個，或多個。
(e)該自由搖動的支持機構具有板簧543。
(f)該自由搖動的支持機構還具有限制該第2個定位銷的傾斜角度的部件。
(g)該自由搖動的支持機構的該板簧具有多個切口。
(h)該多個切口在實質上以同心圓形配置，并且為直徑不同的多個圓弧形切口。
圖1是表示本發明的探測片搬送裝置的一個實施例的主要部件的圖。
圖2是本發明的探測片搬送裝置中的自由搖動的支持體的俯視圖。
圖3是表示本發明的探測片搬送裝置中的自由搖動的支持體及第2個定位銷的圖。
圖4是表示可用于本發明的探測片搬送裝置、關于自由搖動的支持體的其它的實施例的截面圖。
圖5是表示可用于本發明的探測片搬送裝置、關于自由搖動的支持體的其它的實施例的截面圖。
圖6A及圖6B是表示圖1中所示探測片搬送裝置把探測片安裝在臺鉗機構上的動作的圖。圖6A是表示探測片的片保持體和臺鉗機構接合之前狀態的截面圖，圖6B是表示探測片的片保持體和臺鉗機構接合之后狀態的截面圖。
圖7A及圖7B是表示現有的探測片搬送裝置的一個例子的模式圖。圖7A是表示同一裝置的概要的圖，圖7B是表示定位銷的位置和定位用開口部的位置相錯的狀態的圖。
具體實施例方式
所附的圖是和說明書的一部分相關且構成其一部分，圖示出本發明的優選的實施例。另外，該圖通過上述一般的記述和下述對優選實施例的詳細說明，而有助于本發明的說明。
下面說明圖1～圖6B所示的本發明的實施方式。
本發明的片搬送裝置搬送的探測片以用于檢查半導體晶片上形成的集成電路的電氣特性的探測片，或用于檢查在此外的廣范圍的領域中的電路制品(例如，液晶顯示裝置)的電氣特性的探測片為對象。另外，本發明的被接合體移送機構，以更廣范圍的領域中的被接合體為對象。但是，從對本申請的發明更具體地說明的觀點來看，以下的說明是，本發明以用于檢查半導體晶片上形成的集成電路的電氣特性的探測片為對象來說明的。因此，本發明的對象，并不限定于在下述說明的探測片。
本實施方式的探測片搬送裝置50，如圖1所示，可具有交接機構7、配置在交接位置L2的支持體541以及在配置于探測器室內的第1個規定位置L1的臺鉗機構55之間移送探測片52的支持體移送機構54，交接機構7在探測器室51外的第2個規定位置L3和探測器室內的交接位置L2之間移送附帶片保持體56的探測片(以下，稱為‘探測片’)52。該支持體541，只要是可承載并保持來自交接機構7的探測片而構成的機構，任何的機構都可以采用。
交接機構7，只要是能把探測片52從探測器室51外的第2個規定位置L3到探測器室內的交接位置L2之間移送的機構，任何的機構都可以采用。作為該交接機構7，例如，可采用圖7A所示具有臂9的交接機構7。或者，也可采用具有真空吸附系統的交接機構，或用手動來實施交接工序的一部分或者全部的機構。
下面說明支持體移送機構54的實施例。支持體移送機構54，可配置在探測裝置的探測器室51內。支持體移送機構54的實施例可具有支持體541，支持臺57，及支持體移動機構58。支持體移動機構58在與交接機構7之間、在交接探測片的位置L2和臺鉗機構55之間使支持體541向X、Y、Z及θ方向移動而構成。
安裝著支持體541的支持臺57，可安裝在承載臺(例如，晶片卡盤)53上。支持體541和支持臺57，可呈整體構成。支持體移動機構58，通過使承載臺53向X、Y、Z及θ方向移動，把安裝在承載臺53上的支持臺57及支持體541向X、Y、Z及θ方向移動。通過該移動，探測片52也可被向同方向移送。
交接機構7，通過和支持體移送機構54協動，使附帶片保持體56的探測片52在探測器室的外面的規定位置L3，和配置在探測器室內的交接位置L2上的支持體541之間移送。支持體移動機構58通過使承載臺53移動，使安裝在承載臺53上的支持體541以及搭載在支持體541上的探測片52向臺鉗機構55移動，探測片52與臺鉗機構55接觸。在該接觸的時候，臺鉗機構55的第1個定位用結合用具(例如，第1個定位銷)55A和片保持體56的第1個定位用被結合用具(例如，第1個開口部)56A結合。
雖圖中未示出，但如特開2001-24039號公報所公開的那樣，本實施方式的支持體移送機構54，可具有用于真空吸附支持體541和片保持體56的機構，和用于真空吸附安裝在承載臺53上的支持臺57和支持體541的機構。
本實施方式的支持體移送機構54，如圖1所示，可具有形成有嵌入了承載臺53的中央孔541B的支持體541，和支持體移動機構58。在支持體541上，設置了第2個定位用結合用具542。該第2個定位用結合用具542優選是配置在支持體541的圓周方向相隔180度的兩個位置。作為第2個定位用結合用具542的實施例，可采用第2個定位銷。該第2個定位銷542，接合在片保持體56的第2個定位用被結合用具(例如，第2個開口部)56B上。
第2個定位銷542的實施例，如圖1～圖3所示，可具有球形的前端部542A。該前端部與第2個開口部的內面接觸部分的表面在實施時為球形面即可。另外，第2個定位銷542，可具有從前端部542A向下延伸的軸部542B，如果有必要的話，也可具有支持軸部542B的支持部542C。
該第2個定位銷542，可通過在支持體541的第2個開口部541A(參照圖3)的周圍自由搖動的支持機構543C(參照圖3)安裝。作為自由搖動的支持機構，任何能自由搖動地支持定位銷的機構都可以采用。作為該自由搖動的支持機構543C的實施例，可采用板簧543。支持體541的開口部541A，如圖3放大顯示所示，優選是由上面的大直徑部541C、下面的小直徑部541d和位于兩者的交界處的水平臺階部541e構成。板簧543可安裝在該臺階541e上。該板簧543如圖2及圖3所示的實施例那樣，可通過多個螺釘544和按壓環545固定在臺階541e上。第2個定位銷542的支持部542C，可以從板簧543的中央部貫通的狀態固定在板簧543上。在板簧543上可形成如圖2所示的以同心圓形配置的直徑不同的多個(例如，2個)圓弧形切口543A，543B。這些圓弧形切口543A，543B優選是配置在互相錯開90度的位置上。通過這樣的配置，第2個定位銷542可被安裝成能向所有方向搖動。圓弧形切口543A，543B的數量，長度，寬度，相互的配置關系等，根據必要的強度，搖動的程度等，可酌情設定。具有這些圓弧形切口543A，543B的板簧543，可作為把第2個定位銷542自由搖動地安裝在支持體上的支持機構的優選的例子采用。
圖4及圖5，表示本發明的第2個定位用結合用具542的其它的實施例。可以采用圖4及圖5所示的第2個定位用結合用具542，替換圖1中的第2個定位用結合用具542。通過該采用，可構成作為本發明的其它的實施例的探測片搬送裝置50。
以下，在這些圖中，在與圖2及圖3所示實施例相同或相當部分附上同一符號來說明的本實施例的結合用具。
作為限制第2個定位銷542的傾斜角度的部件的545A，可以采用任何限制第2個定位銷542的傾斜角度的機構。作為圖4所示第2個定位用結合用具542，可具有凸緣形部分541B，和按壓環545的縮徑部545A中的任何一個。另外，部件545A也可具有凸緣形部分541B和縮徑部545A的兩者。該部件545A可以配置在支持體541的開口部541A上。第2個定位銷542及板簧543，雖可以和上述實施例同樣地構成，但開口部541A及按壓環545和上述實施例有一部分不同。如圖4所示，開口部541A的小直徑部541d中，形成更小直徑的凸緣形部分541B。該凸緣形部分541B的內徑，形成得比第2定位銷542的支持部542C的外徑大一些。在按壓環545上形成厚的凸緣形的縮徑部545A。該縮徑部545A的內徑，形成得比第2個定位銷542的支持部542C大一些。開口部541A的凸緣形部分541B和按壓環545的縮徑部545A可形成大約相同的內徑。通過兩者或其中的任何一個可限制第2個定位銷542的傾斜角度。
通過限制第2定位銷542的傾斜角度，可以防止板簧543塑性形變。結果，板簧的耐久性增高。在上述實施例中，作為限制傾斜的部件，雖可采用凸緣形部分541B和縮徑部545A的至少一個，也可采用任何能限制第2個定位銷的傾斜角度的部件。
圖5，表示第2個定位銷542的其它的實施例。該實施例的第2個定位銷542，因省略了其支持部這一點，和圖1所示實施例不同。該實施例具有前端部542A和軸部542B。該前端部542A采用只有上部為球面的半球形構造。圖3，4及5所示的第2個定位銷542的前端部542A的構造，可采用球形構造，半球形構造，或其一部分為球面構造中的任何一種。
圖1所示探測片搬送裝置的動作，參照圖1，圖6A及6B說明。
(a)交接機構7把探測片52從探測器室51外的第2個規定位置L3，移送到探測器室內的交接位置L2(參照圖1)。
(b)支持體移動機構58使承載臺53位于交接位置L2的下方。支持體移動機構58貫通交接機構7的支持部(例如，叉子)的二股部分使承載臺53上升。
(c)安裝在承載臺53上的支持體541，從交接機構7接過探測片52。這時，支持體541優選是固定在支持臺57上。作為用于該固定的部件，可采用機械的安裝機構或利用真空吸著力的安裝機構。交接機構7把探測片52移送到支持體541之后，從探測器室51內向外部退出。
(d)承載臺53接過探測片52后，移動到臺鉗機構55的下面的位置，上升。如圖1及圖6B所示，承載臺53上升，接近臺鉗機構55。因承載臺53的位置配合誤差，及支持體541和臺鉗機構55的多年變化產生的尺寸誤差等，如圖6B所示，臺鉗機構55的第1個定位銷55A和片保持體56的第1個開口部56A的軸心發生錯位情況。在這種情況中，如承載臺53上升，則第1個定位銷55A和第1個開口部56A之間產生大應力。有時該應力有使臺鉗機構55和片保持體56等損傷的危險。
(e)如圖6B所示，承載臺53上升，片保持體56的第1個開口部56A的錐形面接觸到第1個定位銷55A的下端。另外，如承載臺53上升，則第1個定位銷55A和第1個開口部56A之間產生應力。該應力使探測片52的位置挪動。但是，通過支持體541的第2個定位銷542向右側或左側傾斜，可使第1個開口部56A的位置與第1個定位銷55A的前端部的位置一致。通過第1個定位銷55A的前端部和第1個開口部56A順暢地嵌合，片保持體56可和臺鉗機構55接合。
(f)臺鉗機構55把片保持體56固定。
(g)如果探測片52安裝在臺鉗機構55上，則承載臺53下降。把探測片52安裝在臺鉗機構55上的作業完成了。
通過與上述(a)～(g)相反的作業(h)～(m)，可從臺鉗機構55把探測片52取出。
(h)承載臺53移動到探測器室內的第1個規定位置L1的下面的位置后，向臺鉗機構55上升，支持體541接近探測片52。
(j)支持體541的第2個定位銷542嵌合在片保持體56的第2個開口部56B中。這時，即使在第2個開口部56B的位置和第2個定位銷542的位置不一致的情況下，第2個定位銷542的前端部542A也會進入第2個開口部56B的內部。伴隨支持體541的上升，被板簧543自由搖動地支持的第2個定位銷542傾斜。如圖6B所示，第2個定位銷542嵌入第2個開口部56B內，支持體54可和片保持體56接合。
(k)臺鉗機構55放開探測片52，探測片52被承載在支持體541上。
(l)承載臺53移動到交接位置L2，交接機構7從支持體541上接過探測片52。
(m)交接機構把探測片52向探測器室的外邊搬送。
圖1所示的支持體移動機構，也可采用圖4所示的支持體541在該情況下，探測片52也可安裝在臺鉗機構55上，或探測片可從臺鉗機構55取下。在該情況下，支持體54的開口部541A的縮徑部541B及/或按壓環545的縮徑部545A也可限制第2個定位銷542的傾斜角度。結果，板簧543彈性形變，第2個定位銷542及板簧543的耐久性可增高。圖5所示支持體541，可簡化第2個定位銷542及板簧543的構造。
如上所述，據本實施例，片保持體56的第1個開口部56A的位置，即使和臺鉗機構55的第1定位銷55A的位置不一致，隨著第1個定位銷55A嵌入第1個開口部56A內，探測片52的位置在支持體541上移動。在該移動下，被板簧543自由搖動地支持的第2個定位銷542緩緩地傾斜。通過該傾斜，探測片52相對臺鉗機構55能可靠地被安裝。可防止支持體541或臺鉗機構55等的損傷。
因第2個定位銷542的前端部542A呈球形，或者其一部分呈球面，第2個定位銷542的前端部542A在第2個開口部56B內可順暢地滑動。結果，第2個定位銷542的前端部542A，在第2個開口部56B內不受不合理的應力，第2個定位銷542可以順暢地傾斜。
把探測片52從臺鉗機構55取下的時候，即使第2個定位銷542的位置和第2個開口部56B的位置不一致，由板簧543自由搖動地支持的第2個定位銷542的前端部542A，可順暢地嵌入第2個開口部56B內。結果，不損傷支持體541和片保持體56，探測片52可從臺鉗機構55順暢地被取下。
本申請的發明所涉及的支持體移動機構54，除了臺鉗機構55和探測片52之外，在需要把被接合體56移送到接合體55的規定位置的一般的技術領域中，被接合體移送機構54可廣泛被采用。該一般的被接合體移送機構54，可具有定位用的第2個開口部56B，為承載被接合體而構成的支持體541，通過自由搖動的支持機構543C設置在支持體541上的定位用結合用具542，為把該支持體向X、Y、Z及θ方向移動而構成的支持體移動機構58。使用圖1～6的上述的說明中，明確地說明了該被接合體移送機構54。因此，本領域的技術人員可以從這些說明正確地理解被接合體移送機構，并可容易地實施。
根據本實施例，通過設置限制支持體541的開口部541A上的第2個定位銷542的傾斜角度的部件(例如，支持體541的開口部541A的縮徑部541B及/或按壓環545的縮徑部545A)，可以防止第2個定位銷542過度傾斜，板簧543可在彈性變形的范圍內形變，第2個定位銷542及板簧543等的耐久性可增高。
本發明并不限制于上述各實施例，根據需要可變更設計各構成因素。例如，第1，第2個定位銷的根數可用2根以上。這些定位銷，可用大小不同的定位銷，能可靠地固定探測片的朝向。自由搖動地支持第2個定位銷的部件，并不限制于板簧。任何可自由搖動地支持第2個定位銷的部件都可以采用。設置在板簧上的切口，并不限制于半圓形切口。任何可自由搖動地支持定位銷的切口(例如，直線狀的切口)都可以采用。本發明的支持體并不限于探測片搬送裝置，也可適用于接合體和被接合體接合的一般的情況。
根據本發明的實施例，即使在互相結合的探測片的片保持體(接合體)的位置和臺鉗機構(被接合體)的位置不一致的情況下，能夠避免或減輕在結合部產生過大應力。結果，可提供能使這兩者順暢且可靠地接合的探測片裝置及支持體移動機構。
本發明的進一步特征及變更，是該領域技術人員所能想到的。因此，本發明立足在更廣的觀點上，并不限定于特定的詳細的及在這里展示的代表實施例。因此，在不偏離權利要求定義的廣的發明概念及與其等同的解釋和范圍中，可以進行種種變更。
權利要求
1.一種探測片搬送裝置，其特征在于，其在設定于探測器室內的第1個規定位置L1和設定于探測器室外的第2個規定位置之間，搬送附帶片保持體的探測片，該探測片搬送裝置具有設置在該探測器室內的該第1個規定位置的第1個定位用結合用具；在設定于該探測器室內的交接位置和探測器室外的第2個規定位置之間，移送該附帶片保持體的探測片，并在各規定位置進行交接而構成的交接機構，該片保持體具有第1個定位用被結合用具和第2個定位用被結合用具；將該附帶片保持體的探測片在探測器室內的該交接位置和探測器室內的該第1個規定位置之間移送而構成的支持體移送機構；該支持體移送機構具有為承載并支持該附帶片保持體的探測片而構成的支持體；在該支持體上通過自由搖動的支持機構安裝的第2個定位用結合用具；使該支持體向X、Y、Z及θ方向移動而構成的支持體移動機構，該支持體移動機構在探測器室內的該交接位置和該第1個規定位置之間移送該附帶片保持體的探測片，在此，由該支持體移動機構移送的附帶片保持體的探測片，通過其第1個定位用被結合用具與該第1個定位用結合用具相結合，該附帶片保持體的探測片定位在探測器室內的第1個規定位置。
2.如權利要求1所述的探測片搬送裝置，其特征在于，該第1個定位用結合用具及第2個定位用結合用具為第1個定位銷及第2個定位銷；該第1個定位用被結合用具及該第2個定位用被結合用具為第1個開口部及第2個開口部；該第2個定位銷的前端部的至少一部分在實質上是球面形；該第2個定位銷通過自由搖動的支持機構安裝在該支持體上；
3.如權利要求2所述的探測片搬送裝置，其特征在于，該自由搖動的支持機構具有板簧。
4.如權利要求3所述的探測片搬送裝置，其特征在于，該自由搖動的支持機構，還具有限制該第2個定位銷的傾斜角度的部件。
5.如權利要求3所述的探測片搬送裝置，其特征在于，該自由搖動的支持機構的該板簧具有多個切口。
6.如權利要求5所述的探測片搬送裝置，其特征在于，該多個切口在實質上以同心圓形配置，并且是直徑不同的多個圓弧形切口。
7.一種將被接合體移送到設定在接合體的規定位置上而構成的被接合體移送機構，其特征在于，該被接合體移送機構具有設置在被接合體上的定位用被結合用具；為承載并保持被接合體而構成的支持體；由自由搖動的支持機構安裝在該支持體上的定位用結合用具，在此，通過該第2個定位用結合用具與該被接合體的該定位用被結合用具相結合，該被接合體在支持體上定位；使該支持體向X、Y、Z及θ方向移動而構成的支持體移動機構。
8.如權利要求7所述的被接合體移送機構，其特征在于，該定位用結合用具為定位銷；該定位銷的前端部的至少一部分在實質上是球面形；該定位用被結合用具為開口部。
9.如權利要求7所述的被接合體移送機構，其特征在于，該自由搖動的支持機構具有板簧。
10.如權利要求9所述的被接合體移送機構，其特征在于，該搖動自由的支持機構具有限制該定位銷的傾斜角度的部件。
11.如權利要求9所述的被接合體移送機構，其特征在于，該板簧具有多個切口。
12.如權利要求11所述的被接合體移送機構，其特征在于，該多個切口實質上以同心圓形配置，并且是直徑不同的圓弧形切口。
全文摘要
探測片搬送裝置(50)，具有用于把附帶片保持體(56)的探測片(52)搬送到探測器室(51)內的臺鉗機構(55)的移動機構。該移動機構在通過第1個定位銷(55A)裝卸附帶片保持體的探測片(52)的時候，使用搭載附帶片保持體的探測片的支持體(541)。該支持體(541)使被自由搖動地支持的部件(543A)所支持的第2個定位銷(542)與設置在片保持體(56)的第2個開口部(56B)嵌合。第2個定位銷(542)具有球形的前端部(542A)。
文檔編號H01L21/66GK1620723SQ0380010
公開日2005年5月25日 申請日期2003年4月30日 優先權日2002年5月29日
發明者鈴木勝 申請人:東京毅力科創株式會社