專利名稱：基板支承用槽棒及使用該槽棒的基板載具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種平面顯示器制程所用的基板載具，特別是關(guān)于一種基板支承用槽棒及使用該槽棒的基板載具。
背景技術(shù)：
平面顯示器制程中，玻璃基板的運送與搬移需要特殊的載具。該載具一般具有多個槽體結(jié)構(gòu)，以支承多個玻璃基板，使其可以同時運送。
一種現(xiàn)有技術(shù)的基板載具揭露于1996年3月4日公告的日本特公平08-021612號，其所揭示的基板載具包括如圖1與圖2所示的槽板2，該槽板2包括一板體21與多個自該板體21伸出的支承板22。該多個支承板22又包括向該基板載具內(nèi)突伸的支承板22X與向該基板載具外突伸的支承板22Y。其中，該支承板22X的上表面末端具有突出部23，該突出部23的最高部位是平滑曲面。
該突出部23用以托持玻璃基板B，而且可減少基板B邊緣與該槽板2摩擦所產(chǎn)生的粉屑。但是，該槽板2的設(shè)計無法解決靜電累積問題，而且因為該槽板2是一板體結(jié)構(gòu)，在結(jié)構(gòu)設(shè)計上造成材料的浪費。
另一種現(xiàn)有技術(shù)的基板載具揭露于1995年10月21日公告的臺灣專利第260822號，其所揭示的基板載具包括如圖3所示的側(cè)板3，該側(cè)板3包括一背壁部31與多個自該背壁部31突出的棚架片32。該側(cè)板3以金屬體M做為骨架，該背壁部31的棚架片32與鄰近棚架片32的部分是由樹脂體形成，其中，該背壁部31中央縱方向的突出部3X是由防塵性樹脂形成，其余部分則是由配合導(dǎo)電性物質(zhì)的樹脂形成。
該側(cè)板3不易因摩擦而產(chǎn)生粉屑，同時具衰減靜電累積的功能。但是，其整體結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，增加制造成本。
發(fā)明內(nèi)容為克服現(xiàn)有技術(shù)的基板載具使用材料較多的問題，本發(fā)明提供一種可節(jié)省材料使用量的基板支承用槽棒。
本發(fā)明還提供一種使用上述基板支承用槽棒的基板載具。
本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是提供一種基板支承用槽棒，其包括一樹脂體與一金屬棒，該樹脂體包括一具有軸向貫穿孔的柱狀本體與自該本體一側(cè)以間隔平行突出的多個支承板，該金屬棒插設(shè)在該本體的貫穿孔內(nèi)，以增加該槽棒的支承強度，其中，該支承板的末端具有突出部，該突出部用以托持基板。
本發(fā)明的基板載具包括至少兩對基板支承用槽棒與兩框架，各基板支承用槽棒包括一樹脂體與一金屬棒，該樹脂體包括一具有軸向貫穿孔的柱狀本體與自該本體一側(cè)以間隔平行突出的多個支承板，該支承板的末端具有突出部，該突出部用以托持基板，該金屬棒插設(shè)在該本體的貫穿孔內(nèi)，以增加該槽棒的支承強度，該框架與該至少兩對基板支承用槽棒構(gòu)成箱形，而且該至少兩對基板支承用槽棒連結(jié)在該框架上，并使其支承板相互對應(yīng)形成收容基板的空間。
相較于現(xiàn)有技術(shù)，因本發(fā)明的槽棒為柱體結(jié)構(gòu)，可節(jié)省大量樹脂材料、降低成本。而且，因為支承板末端具有突出部，該基板僅與該突出部接觸，而基板的邊緣不與支承板與本體接觸，可減少摩擦產(chǎn)生的粉屑。
圖1是一種現(xiàn)有技術(shù)的基板支承用槽板的主視圖。
圖2是圖1所示槽板的側(cè)視圖。
圖3是又一種現(xiàn)有技術(shù)的基板支承用槽板的立體圖。
圖4是本發(fā)明基板支承用槽棒的立體分解圖。
圖5是本發(fā)明基板支承用槽棒與基板配合的示意圖，其支承板與本體軸向垂直設(shè)置。
圖6是本發(fā)明基板支承用槽棒與基板配合的示意圖，其支承板與本體軸向傾斜設(shè)置。
圖7是本發(fā)明基板載具的立體示意圖。
圖8是本發(fā)明基板載具的基板支承用槽棒與框架配合示意圖。
具體實施方式如圖4所示，本發(fā)明的基板支承用槽棒4包括一樹脂體41與一金屬棒43。該樹脂體41包括一具有軸向貫穿孔413的柱狀本體411與自該本體411一側(cè)間隔平行突出的多個支承板415。
該本體411是具縱向開口的筒狀結(jié)構(gòu)，其橫截面呈C形，以節(jié)省材料；該本體411也可設(shè)計為橫截面為O形的圓筒結(jié)構(gòu)。該金屬棒43包括兩端部431，而且各端部431具兩平行的側(cè)面(未標(biāo)示)與一螺孔433。該金屬棒43插設(shè)在該本體411的貫穿孔413內(nèi)，以增加該槽棒4的支承強度。
一起參照圖5，該支承板415是具有一定厚度的方形板，其相互間隔形成多個收容槽417。而且該支承板415的末端具有突出部4151，該突出部4151用以托持基板45。該突出部4151可為直徑大于支承板415厚度的圓柱體，當(dāng)然，也可僅使突出部4151的最高部位為平滑曲面。該支承板415與本體411軸向垂直設(shè)置。當(dāng)然，也可如圖6所示，將支承板415′傾斜設(shè)置。
該支承板415僅沿本體411一側(cè)設(shè)置，可大量減少材料、節(jié)約成本。又因為基板45插入收容槽417時，僅有突出部4151與基板45的一底面接觸，可減少摩擦產(chǎn)生的粉屑。
該樹脂體41內(nèi)通過摻雜碳纖維(Carbon Fiber)或碳粉末(CarbonPowder)等導(dǎo)電性物質(zhì)而具導(dǎo)電性，又因為該金屬棒43可導(dǎo)靜電，因此整個槽棒4在使用中不會累積靜電，從而具有靜電防止功能。
一起參照圖7，本發(fā)明的基板載具5采用一對框架51將如上所述的至少兩對槽棒4安裝在其相對側(cè)面并構(gòu)成箱形，進而形成收容基板45的空間。其中，該至少兩對基板支承用槽棒4的支承板415相互對應(yīng)，每組位于同一平面的收容槽417所對應(yīng)形成的空間可收容一基板45。
再如圖8所示，是本發(fā)明基板載具的框架51與槽棒4的連接示意圖。其中，框架51與槽棒4連接處設(shè)有卡槽511與通孔513。該卡槽511是通過兩平行側(cè)面形成，而且該兩側(cè)面的間距與金屬棒4端部431的兩平行側(cè)面的間距相當(dāng)。該端部431插入框架51的凹槽511，再通過一螺絲(圖未示)穿過通孔513并與螺孔433(圖未示)配合，進而鎖固該槽棒4在框架51上。該卡槽511可防止金屬棒43相對于框架51的轉(zhuǎn)動。為進一步防止樹脂體41相對于金屬棒43轉(zhuǎn)動，也可通過螺絲或銷釘將其固定。
因為本發(fā)明基板載具所采用的槽棒為柱體結(jié)構(gòu)，而非現(xiàn)有技術(shù)槽板的板體結(jié)構(gòu)，可節(jié)省大量樹脂材料，降低成本。又因為槽棒的樹脂體具有導(dǎo)電性，整個基板載具在使用中也具有防靜電功能。
權(quán)利要求
1.一種基板支承用槽棒，其特征在于該槽棒包括一樹脂體與一金屬棒，該樹脂體包括一具有軸向貫穿孔的柱狀本體與自該本體一側(cè)以間隔平行突出的多個支承板，該金屬棒插設(shè)在該本體的貫穿孔內(nèi)，該支承板的末端具有突出部，該突出部用以托持基板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支承用槽棒，其特征在于該樹脂體內(nèi)摻雜有導(dǎo)電性物質(zhì)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板支承用槽棒，其特征在于該導(dǎo)電性物質(zhì)是碳纖維或碳粉末。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支承用槽棒，其特征在于該支承板是具有一定厚度的方形板，該突出部是直徑大于支承板厚度的圓柱體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支承用槽棒，其特征在于該突出部的最高部位是平滑曲面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支承用槽棒，其特征在于該支承板與本體軸向垂直設(shè)置或傾斜設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支承用槽棒，其特征在于該本體是具有縱向開口的筒狀結(jié)構(gòu)，其橫截面是C形。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支承用槽棒，其特征在于該本體是圓筒結(jié)構(gòu)，其橫截面是O形。
9.一種基板載具，其包括至少兩對基板支承用槽棒與一對框架，其特征在于各基板支承用槽棒包括一樹脂體與一金屬棒，該樹脂體包括一具有軸向貫穿孔的柱狀本體與自該本體一側(cè)以間隔平行突出的多個支承板，該金屬棒插設(shè)在該本體的貫穿孔內(nèi)，以增加該槽棒的支承強度，該框架與該基板支承用槽棒構(gòu)成為箱形，而且該至少兩對基板支承用槽棒的支承板連結(jié)在該框架上，并使其支承板相互對應(yīng)形成收容基板的空間，該支承板的末端具有突出部，該突出部用以托持基板。
全文摘要
本發(fā)明公開一種基板支承用槽棒及使用該槽棒的基板載具。該基板支承用槽棒包括一樹脂體與一金屬棒，該樹脂體包括一具有軸向貫穿孔的柱狀本體與自該本體一側(cè)以間隔平行突出的多個支承板，該金屬棒插設(shè)在該本體的貫穿孔內(nèi)，以增加該槽棒的支承強度，該支承板的末端具有突出部，該突出部用以托持基板。
文檔編號H01L21/68GK1581458SQ03140130
公開日2005年2月16日 申請日期2003年8月6日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月6日
發(fā)明者黃俊凱, 田維正 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 沛鑫半導(dǎo)體工業(yè)股份有限公司