專利名稱：半導體加工機床檢測的自動化管理系統及方法
技術領域：
本發明提供一種用于半導體加工機床檢測的管理系統與方法，尤其涉及一種半導體加工機床檢測的自動化管理系統與方法，以避免人員作業疏忽所造成的檢測異常。
背景技術：
隨著工業社會的急速發展，各式各樣的機器設備不斷地被開發出來，以適應工業上大量生產的需要。以半導體電子元件為例，在其制作過程中便需要應用到薄膜機床、黃光機床、刻蝕機床、離子布植機床、快速高溫處理機床、化學機械研磨機床等多種不同的加工機床來逐步定義元件的圖案。為了使元件特性合于產品規格，相關業者除了對于作業環境制訂了高度潔凈度標準，對于加工機床的可靠度檢測更制定了嚴苛的規格要求，無論新進機床或是已在運轉中的加工機床都必須依照一定的檢測頻率，針對特定的檢測項目來檢測該加工機床是否符合檢測規格，以有效維護加工機床的使用壽命，同時確保產品的合格率。
參考圖1，圖1為已知半導體加工機床檢測的方法流程圖。如圖1所示，已知半導體加工機床檢測的方法流程圖1包含下列步驟步驟11定義新機床，針對機床的操作環境條件、參數等信息進行設定、建檔；步驟12由加工工程師定義新機床適用的測試列表，包括新機床的測試項目與測試規格；步驟13由作業人員進行機床的測試，利用監控板(monitor wafer)在機床中進行相關加工反應；步驟14由作業人員取得機床的量測值，并進行人工運算與人工判定；步驟15由作業人員將運算后的數據輸入數據庫；步驟16工程師通過數據庫取得機床的測試數據；
步驟17工程師將取得的測試數據整理成報表，例如每周整理一次報表，利用EXCEL等工具軟體將測試數據整理成趨勢圖；步驟18主管人員依報表的內容掌握機床狀況；步驟19結束。
由于已知方法依照上述步驟來進行機床檢測時，必須先由加工工程師人工定義機床測試列表，之后作業人員進行測試時需經過人工運算后才將測試數據輸入數據庫，且工程師需每周整理報表，主管人員對測試狀況也僅能通過工程師被動通知，因此不僅造成工程師的工作負擔，作業人員也可能因為用錯測試列表或人工計算錯誤而影響測試數據的正確性，且主管人員也無從取得即時測試數據來掌握機床狀況，因而使得機床檢測的效果大打折扣。
發明內容
因此，本發明的目的是提供一種用于半導體加工機床檢測的自動化管理系統與方法，避免人員作業疏忽造成檢測異常。
本發明的第二個目的是提供一種用于半導體加工機床檢測的自動化管理系統與方法，以改善加工機床的檢測效率。
本發明的又一目的是提供一種用于半導體加工機床檢測的自動化管理系統與方法，可以提供即時的測試數據以及數據異常通知。
根據本發明的目的，該半導體加工機床檢測的自動化管理系統包括數據庫，用于存儲至少一個加工機床的至少一個測試項目、測試規格以及測試頻率；處理單元，用于在該數據庫中選取相對應的測試規格，以便在新增該加工機床的測試數據時進行即時計算與比對，并且產生檢測結果；以及信息服務器，用于在該檢測結果異常時發送測試異常通知信息給相關工作人員。
根據本發明的由一個目的，一種半導體加工機床檢測的自動化管理方法包括在數據庫中定義至少一個加工機床，以取得該加工機床的至少一個測試項目、測試規格以及測試頻率；利用處理單元在該數據庫中選取相對應的測試規格，以便在新增該加工機床的測試數據時進行即時計算與比對，并且產生檢測結果；以及利用信息服務器在該檢測結果異常時發送測試異常通知信息給相關工作人員。
由于本發明的自動管理系統是根據數據庫中的測試規格與計算公式來對作業人員輸入的測試數據進行即時計算與結果判定，因此不僅可以有效提高檢測效率，更可以有效避免人工運算錯誤，大幅度提高檢測數據的可靠性。此外，本發明的自動管理系統包括異常數據管理功能，可以在測試結果判定異常時立刻以電子郵件方式通知相關人員，或是在機床未按照預定時間進行測試時也以電子郵件方式通知相關人員，因此相關人員可以隨時掌握機床狀況，有利于提高產品合格率。
圖1為已知半導體加工機床檢測的方法流程圖。
圖2為本發明半導體加工機床檢測的自動化管理系統的功能方塊圖。
圖3為本發明半導體加工機床檢測的自動化管理方法的流程圖。
圖4為本發明的自動化管理系統在進行“加工機床導入”操作時的方法流程圖。
圖5為本發明的自動化管理系統在進行“加工機床導入”操作時的另一實施例的方法流程圖。
圖6為本發明的自動化管理系統在進行“測試數據輸入”操作時的方法流程圖。
圖7為本發明的自動化管理系統在進行“測試數據輸入”操作時的另一實施例的方法流程圖。
圖8為本發明的自動化管理系統在進行“測試數據查詢”操作時的方法流程圖。
圖9為本發明的自動化管理系統在進行“測試數據修改/刪除”操作時的方法流程圖。
圖10為本發明的自動化管理系統在進行“測試數據修改/刪除”操作時的另一實施例的方法流程圖。
圖11為本發明的自動化管理系統在進行“異常數據查詢”操作時的方法流程圖。
圖12為本發明的自動化管理系統在進行“測試數據繪圖”操作時的方法流程圖。
圖13為本發明的自動化管理系統在進行“定期電子郵件通知”操作時的方法流程圖。
圖號說明1、3半導體加工機床檢測方法流程圖2自動化管理系統11～19已知半導體加工機床檢測步驟21數據庫22處理單元23信息服務器24用戶端31～40本發明半導體加工機床檢測步驟100～117“加工機床導入”操作步驟120～141“測試數據輸入”操作步驟150～153“測試數據查詢”操作步驟160～179“測試數據修改/刪除”操作步驟190～185“異常數據查詢”操作步驟190～194“測試數據繪圖”操作步驟200～205“定期電子郵件通知”操作步驟211測試項目欄212測試規格欄213測試數據欄214用戶數據欄221“用戶登錄”功能選項222“數據輸入”功能選項223“數據查詢”功能選項224“異常數據查詢”功能選項225“繪圖”功能選項226“定期檢查”功能選項具體實施方式
參考圖2。圖2為本發明半導體加工機床檢測的自動化管理系統2的功能方塊圖。自動化管理系統2適用于已知所有半導體加工機床，包含刻蝕機床，黃光機床，離子布植機床，以及薄膜機床等機床檢測。如圖2所示，自動化管理系統2包括數據庫21，用于存儲加工機床(包括新導入機床以及將要進行再次檢測的已存在機床)的測試項目、測試規格以及測試頻率等數據，處理單元22，用于在新增測試數據時進行即時計算與比對，以獲得檢測結果，以及信息服務器23，用于在檢測結果異常時發送測試異常通知信息給相關工作人員。其中，自動化管理系統2是一種線上管理系統，因此其用戶端24可通過互聯網絡來存取自動化管理系統2，并且收取信息服務器23所發出的測試相關信息。
數據庫21包括測試項目欄211、測試規格欄212、測試數據欄213以及用戶數據欄214。測試項目欄211是用于存儲每一部加工機床必須進行的測試項目，通常是由系統開發者或其它具有權限的加工工程師來進行測試項目的設定、更新與維護。測試規格欄212是用于存儲每個測試項目所對應的測試規格、測試規格啟用日期以及測試頻率等數據，通常是由加工工程師根據加工技術的開發與產品要求來進行測試規格、測試規格啟用日期以及測試頻率等數據的設定、更新與維護。測試數據欄213可用于存儲每一部加工機床在進行測試時所取得的測試數據。用戶數據欄214則可以用于存儲處理單元22以及數據庫21的所有用戶端24的帳號、密碼以及相對應的權限等數據。
處理單元22包括“用戶登錄”功能選項221、“數據輸入”功能選項222、“數據查詢”功能選項223、“異常數據查詢”功能選項224、“繪圖”功能選項225以及“定期檢查”功能選項226等功能操作。“用戶登錄”功能選項221會根據用戶端24輸入的帳號、密碼在用戶數據欄214中搜尋相對應的權限數據，進而使用戶端24可根據其權限使用處理單元22中的其它功能選項或存取數據庫21中的各項數據欄。“數據輸入”功能選項222是用于提供給從事加工機床測試工作的作業人員輸入機床量測數據并將數據存儲至測試數據欄213中，且此時處理單元22會自動在數據庫21的測試規格欄212中選取相對應的測試規格以及計算公式等數據來對存儲在測試數據欄213中的數據進行即時計算與比對，進而產生與這次機床檢測相對應的檢測結果。此外“數據輸入”功能選項222也可以用于使用戶端24根據其權限在數據庫21的其它數據欄中新增/刪除/修改數據。“數據查詢”功能選項223是用于提供給用戶端24設定查詢條件并取得與該查詢條件相對應的測試數據，“異常數據查詢”功能選項224是用于提供給用戶端24設定異常數據查詢條件并取得與該異常數據查詢條件相對應的測試數據，“繪圖”功能選項225是用于提供給用戶端24設定查詢條件，取得與該查詢條件相對應的測試數據，并將該測試數據繪成趨勢圖。至于“定期檢查”功能選項226則是在預定周期根據數據庫21中所存儲的測試頻率檢查測試數據欄213中是否有相對應的測試數據，并在經檢查，沒有與該測試頻率相對應的測試數據時利用信息服務器23傳送不定時測試通知信息給相關工作人員。
參考圖3，圖3為本發明半導體加工機床檢測的自動化管理方法的流程圖。如圖3所示，本發明半導體加工機床檢測的自動化管理方法流程圖3包含下列步驟步驟31在數據庫中定義加工機床，針對機床的操作環境條件、參數等信息進行設定、建檔或確認；步驟32系統開發者在數據庫中定義加工機床的測試項目；步驟33加工工程師在數據庫中定義各測試項目所對應的測試規格與測試頻率；步驟34由作業人員進行機床的測試，利用監控板在機床中進行相關加工反應；步驟35作業人員取得機床的量測值并將數據輸入數據庫，系統自動取得測試規格與公式進行即時計算與結果判定并存入數據庫，同時系統進行機床測試結果異常檢查，如有異常立即利用信息服務器傳送電子郵件通知相關工作人員；步驟36系統定期于每天04:00與16:00以電子郵件方式通知今日預定測試而尚未測試的機床；步驟37制造部人員使用異常數據查詢功能，檢查線上作業人員是否根據規定時間進行機床測試、數據庫內數據是否符合數據正確性與數據完整性原則；步驟38相關部門工程師可以使用數據查詢功能得知機床的測試歷史記錄，以有利于低合格率相關問題的分析；步驟39加工工程師與主管人員使用機床測試數據趨勢圖功能取得各機床的長期趨勢圖以有利于掌握機床狀況；步驟40結束。
參考圖4至圖13，圖4至圖13為進一步說明本發明半導體加工機床檢測的自動化管理系統與方法在操作不同功能選項時的方法流程圖。如圖4所示，當用戶端24將要在自動管理系統2上進行“加工機床導入”操作時，必須先經由處理單元22的“用戶登錄”功能選項221來確認權限，待通過權限認證后才能利用“數據輸入”功能選項222在數據庫21中定義機床數據，其步驟如下步驟100工程師在測試項目欄211中定義加工機床的測試項目，例如刻蝕機床的刻蝕率測試；步驟101工程師根據上述步驟所定義的測試項目在測試規格欄212中設定相對應的測試規格、測試規格啟用日期以及測試頻率等數據；步驟102數據寫入數據庫；步驟103結束。
為了提高自動管理系統的效率，圖5是顯示本發明的自動化管理系統2在進行“加工機床導入”操作時的另一實施例的方法流程圖。在本實施例中，自動化管理系統2在進行“加工機床導入”操作時可以先判斷導入的加工機床為新導入機床，或是與已存在機床具有相同測試項目的新導入加工機床，或是進行再次檢測的已存在機床，進而可以依照導入的加工機床屬性來對測試項目、測試規格與測試頻率等數據定義步驟作適當的簡化。此外，本實施例是以刻蝕加工機床導入的方法流程為例，然而本發明并不限于特定的加工機床導入，其它半導體加工機床導入也適用本發明的方法流程操作。如圖5所示，用戶端24在數據庫21中定義機床數據的操作步驟如下步驟110檢查數據庫中有無相同測試項目的機床，若數據庫中已有相同測試項目的機床數據，則進行步驟111，若數據庫中沒有相同測試項目的機床數據，則進行步驟112；步驟111由刻蝕加工工程師選取任一擁有相同測試項目的機床數據進行修改；步驟112由系統開發人員定義新導入機床的測試項目；步驟113在取得導入機床的測試項目后，由晶片制造部提供導入機床測試規格的啟用日期以及測試頻率；步驟114由刻蝕加工工程師提供導入機床的測試規格；步驟115由系統開發人員將機床測試規格、測試規格啟用日期以及機床測試頻率等數據輸入數據庫；步驟116在數據庫中新增一批數據；步驟117結束。
如圖6所示，當用戶端24將要在自動管理系統2上進行“測試數據輸入”操作時，其步驟如下步驟120作業人員使用“用戶登錄”功能選項22 1來登錄系統；步驟121處理單元22根據作業人員輸入的帳號、密碼進行權限管理；步驟122作業人員通過認證后可以使用“數據輸入”功能選項222將測試數據輸入數據庫；步驟123系統自動取得測試規格與公式并進行即時運算與判定，以產生檢測結果；步驟124將上述步驟取得的檢測結果存入數據庫；步驟125檢查檢測結果是否異常，若有異常則進行步驟126，若無異常則進行步驟127；步驟126利用信息服務器23即時發送電子郵件通知相關人員；步驟127結束。
圖7是顯示本發明的自動化管理系統2在進行“測試數據輸入”操作時的另一實施例的方法流程圖，在本實施例中，作業人員使用的測試列表是由自動化管理系統2自動產生，因此可以有效避免測試列表版本不符所衍生的錯誤。如圖7所示，用戶端24于處理單元22中的操作步驟如下步驟130作業人員依照制造部排定時間進行加工機床的測試并使用“用戶登錄”功能選項221來登錄系統；步驟131處理單元22根據作業人員輸入的帳號、密碼進行權限管理；步驟132作業人員通過認證后可以使用“數據輸入”功能選項222來在數據庫中選取測試機床、機床內艙(chamber)、機床測試項目；步驟133系統依所選取的測試機床、機床內艙、機床測試項目等取得與機床測試項目相對應的列表、機床測試規格；步驟134作業人員輸入機床測試所得的數據，系統根據上一步驟取得的機床測試規格進行即時運算與判定，以產生檢測結果；步驟135作業人員確認輸入數據是否為有效數據，是則進行步驟136，否則進行步驟134；步驟136系統在中央主機進行權限認證；步驟137系統在中央主機進行數據是否為有效數據確認，是則進行步驟138，否則進行步驟134；步驟138在數據庫中新增一批數據；步驟139檢查檢測結果是否異常，若有異常則進行步驟140，若無異常則進行步驟141；步驟140利用信息服務器23即時發送電子郵件通知相關人員；步驟141結束。
如圖8所示，當用戶端24將要在自動管理系統2上進行“測試數據查詢”操作時，其在通過處理單元22的權限認證后即利用“數據查詢”功能選項223執行下列步驟步驟150設定機床測試數據的查詢范圍與條件；步驟151根據所設定查詢條件到中央主機取得相關數據；步驟152輸出查詢結果；步驟153結束。
如圖9所示，當用戶端24將要在自動管理系統2上進行“測試數據修改/刪除”操作時，其在通過處理單元22的權限認證后即利用“數據查詢”功能選項223執行下列步驟步驟160使用數據查詢的功能，設定機床測試數據的查詢范圍與條件，并選擇將要修改/刪除的數據；步驟161用戶修改測試數據，并由系統進行即時運算與結果判定，或用戶刪除所選取的測試數據；步驟162系統存儲修改后的數據；步驟163結束。
圖10是顯示本發明的自動化管理系統2在進行“測試數據修改/刪除”操作時的另一實施例的方法流程圖，在本實施例中，用戶在修改/刪除測試數據時需先經由系統確認其操作權限，以有效管理數據庫中的測試數據，避免數據被隨意修改或刪除。如圖10所示，用戶端24利用“數據查詢”功能選項223執行下列步驟步驟170使用數據查詢的功能，設定機床測試數據的查詢范圍與條件，以尋找將要修改/刪除的機床測試數據；步驟171選擇將要修改/刪除的機床測試數據；步驟172系統進行權限確認；步驟173系統自動取得與所選擇的機床測試數據相對應的測試規格，若用戶將要修改數據則進行步驟174，若用戶將要刪除數據則進行步驟175；步驟174用戶進行機床測試數據修改，系統根據上一步驟取得的機床測試規格進行即時運算與結果判定，然后進行步驟176；步驟175、176系統在中央主機進行權限確認；步驟177通過權限確認后，數據庫中的此批測試數據即被刪除；步驟178通過權限確認后，修改后的測試數據即被存儲到數據庫中；步驟179結束。
如圖11所示，當用戶端24將要在自動管理系統2上進行“異常數據查詢”操作時，其在通過處理單元22的權限認證后即利用“異常數據查詢”功能選項224執行下列步驟步驟180設定異常數據的查詢范圍與條件；步驟181根據設定的查詢條件取得各機床、內艙的測試頻率；步驟182根據上一步驟取得的各機床、內艙的測試頻率計算出機床的測試日期，并根據計算出的測試日期到數據庫中檢查是否有相對應的機床測試數據，經檢查，有相對應的數據則進行步驟183，經檢查，沒有相對應的數據則進行步驟184；步驟183對相對應的機床測試數據進行數據正確性與完整性檢查；步驟184輸出查詢結果；步驟185結束。
如圖12所示，當用戶端24將要在自動管理系統2上進行“測試數據繪圖”操作時，其在通過處理單元22的權限認證后即利用“繪圖”功能選項225執行下列步驟步驟190設定數據的查詢范圍與條件；步驟191根據設定的查詢條件取得各機床、內艙的機床測試數據；步驟192依取得的機床測試數據在中央主機端進行繪圖并暫存在中央主機；步驟193將中央主機繪圖結果輸出至用戶端24；步驟194結束。
如圖13所示，利用“定期檢查”功能選項226進行“定期電子郵件通知”操作的方法步驟如下步驟200由系統開發者設定異常數據的查詢時間范圍；步驟201根據設定的查詢條件取得各機床、內艙的測試頻率；步驟202根據上一步驟取得的各機床、內艙的測試頻率計算出機床的測試日期，并根據計算出的測試日期到數據庫中檢查是否有相對應的機床測試數據，經檢查，有相對應的數據則進行步驟205，經檢查，沒有相對應的數據則進行步驟203；步驟203輸出查詢結果并存儲成網頁格式；步驟204將文件以電子郵件方式傳送相關人員；步驟205結束。
由于本發明的自動管理系統是根據數據庫中的測試規格與計算公式來對作業人員輸入的測試數據進行即時計算與結果判定，因此不僅可以有效提高檢測效率，更可以有效避免人工運算錯誤，大幅度提高檢測數據的可靠性。此外，本發明的自動管理系統包括異常數據管理功能，可以在測試結果判定異常時即立刻以電子郵件方式通知相關人員，或是在機床未按照預定時間進行測試時也以電子郵件方式通知相關人員，因此相關人員可以隨時掌握機床狀況，有利于提高產品合格率。
相比于已知的半導體加工機床檢測方法，本發明的自動管理系統與方法具有下列優點(1)可以避免人工計算規格錯誤造成運營損失；(2)自動檢查數據，確保線上作業，例如，暫時作業要領書(temporaryengineering change notice，TECN)，與系統版本一致；(3)機床測試計劃與作業人員實際執行一致；(4)只要能使用因特網資源瀏覽器(IE)瀏覽系統就可以使用本系統；(5)系統根據內定公式進行測試數據運算，不容易出錯；(6)系統根據計算結果與測試規格進行測試結果判定，不容易出錯；(7)數據搜集完整；
(8)數據保存容易；(9)數據查詢容易；(10)數據分析容易；以及(11)自動異常管理(real time mail)。
以上所述僅為本發明的較佳實施例，凡根據本發明權利要求所做的同等變化與修改，都應屬于本發明專利的覆蓋范圍。
權利要求
1.一種半導體加工機床檢測的自動化管理系統包括數據庫，用于存儲至少一個加工機床的至少一個測試項目、測試規格以及測試頻率；處理單元，用于在該數據庫中選取相對應的測試規格，以便在新增該加工機床的測試數據時進行即時計算與比對，并且產生檢測結果；以及信息服務器，用于在該檢測結果異常時發送測試異常通知信息給相關工作人員。
2.如權利要求1的自動化管理系統，其中，該加工機床包含新導入機床及/或進行再次檢測的已存在機床。
3.如權利要求2的自動化管理系統，其中，該數據庫包含測試項目欄，用于提供給系統開發者設定并存儲該加工機床的該測試項目。
4.如權利要求2的自動化管理系統，其中，該數據庫包含測試規格欄，用于提供給加工工程師根據該測試項目設定并存儲相對應的測試規格以及該測試頻率。
5.如權利要求1的自動化管理系統，其中，該數據庫包含用戶數據欄，用于存儲至少一個用戶的帳號、密碼以及相對應的權限等數據。
6.如權利要求1的自動化管理系統，其中，該數據庫包含測試數據欄，用于存儲該加工機床的該測試數據。
7.如權利要求1的自動化管理系統，其中，該處理單元包含用戶登錄功能選項，該用戶登錄功能選項是根據用戶輸入的帳號、密碼進行權限管理，以使該用戶可根據其權限使用該處理單元或存取該數據庫。
8.如權利要求1的自動化管理系統，其中，該處理單元包含數據輸入功能選項，用于提供給用戶根據其權限在該數據庫中更新數據。
9.如權利要求1的自動化管理系統，其中，該處理單元包含數據查詢功能選項，用于提供給用戶設定查詢條件并取得與該查詢條件相對應的測試數據。
10.如權利要求1的自動化管理系統，其中，該處理單元包含繪圖功能選項，用于提供給用戶設定查詢條件，取得與該查詢條件相對應的測試數據，并將該測試數據繪成趨勢圖。
11.如權利要求1的自動化管理系統，其中，該處理單元包含異常數據查詢功能選項，用于提供給用戶設定異常數據查詢條件并取得與該異常數據查詢條件相對應的測試數據。
12.如權利要求1的自動化管理系統，其中，該處理單元包含定期檢查功能選項，用于在預定周期時根據該測試頻率檢查該數據庫中是否有相對應的測試數據，并在經檢查，沒有與該測試頻率相對應的測試數據時利用該信息服務器傳送不定時測試通知信息給相關工作人員。
13.如權利要求1的自動化管理系統是一種線上管理系統，其用戶可通過互聯網絡存取該自動化管理系統。
14.如權利要求1的自動化管理系統，其中，該加工機床為刻蝕機床、黃光機床，離子布植機床，或薄膜機床。
15.一種半導體加工機床檢測的自動化管理方法包括在數據庫中定義至少一個加工機床，以取得該加工機床的至少一個測試項目、測試規格以及測試頻率；利用處理單元在該數據庫中選取相對應的測試規格，以便在新增該加工機床的測試數據時進行即時計算與比對，并且產生檢測結果；以及利用信息服務器在該檢測結果異常時發送測試異常通知信息給相關工作人員。
16.如權利要求15的自動化管理方法，其中，該加工機床是新導入機床。
17.如權利要求16的自動化管理方法，其中，該方法在定義該新導入機床的該測試項目、該測試規格以及該測試頻率時包括下列步驟由系統開發者在該數據庫的測試項目欄中設定并存儲該新導入機床的該測試項目；以及由加工工程師根據該測試項目在該數據庫的測試規格欄中設定并存儲相對應的測試規格以及該測試頻率。
18.如權利要求15的自動化管理方法，其中，該加工機床是進行再次檢測的已存在機床。
19.如權利要求18的自動化管理方法，其中，該方法在定義該已存在機床時包括下列步驟由加工工程師在該數據庫的測試項目欄中更新并存儲該已存在機床的該測試項目；以及由該加工工程師或其它加工工程師根據該測試項目在該數據庫的測試規格設定欄中更新并存儲相對應的測試規格以及該測試頻率。
20.如權利要求15的自動化管理方法，其中，該方法在新增該加工機床的該測試數據之前，該處理單元會先在該數據庫中選取相對應的測試項目、該測試規格以及該測試頻率，以產生與該加工機床相對應的數據列表，以使用戶可以有利于用該數據列表來新增該測試數據。
21.如權利要求15的自動化管理方法，其中，該方法另包含利用用戶登錄功能選項來根據用戶輸入的帳號、密碼進行權限管理，以使該用戶可根據其權限使用該處理單元或存取該數據庫。
22.如權利要求15的自動化管理方法，其中，該方法包含利用數據輸入功能選項來使用戶可以根據其權限在該數據庫中更新數據。
23.如權利要求15的自動化管理方法，其中，該方法包含利用查詢功能選項來使用戶可以設定查詢條件并取得與該查詢條件相對應的測試數據。
24.如權利要求15的自動化管理方法，其中，該方法包含利用繪圖功能選項來使用戶可以設定查詢條件，取得與該查詢條件相對應的測試數據，并利用該繪圖系統將該測試數據繪成趨勢圖。
25.如權利要求15的自動化管理方法，其中，該方法包含利用異常數據查詢功能選項來使用戶可以設定異常數據查詢條件并取得與該異常數據查詢條件相對應的測試數據。
26.如權利要求15的自動化管理方法，其中，該測試數據是存儲在該數據庫的測試數據欄中，且該方法包含利用定期檢查功能選項在預定周期根據該測試頻率檢查該數據庫中是否有相對應的測試數據，并在經檢查，沒有與該測試頻率相對應的測試數據時，利用該信息服務器傳送不定時測試通知信息給相關工作人員。
27.如權利要求15的自動化管理方法，其中，用戶可通過互聯網絡來存取該數據庫，使用該處理單元或取得該測試異常通知信息。
28.如權利要求15的自動化管理方法，其中，該加工機床為刻蝕機床、黃光機床，離子布植機床，或薄膜機床。
全文摘要
本發明提供一種用于半導體加工機床檢測的自動化管理系統，包括數據庫，用于存儲至少一個加工機床的至少一個測試項目、測試規格以及測試頻率；處理單元，用于在該數據庫中選取相對應的測試規格，以便在新增該加工機床的測試數據時進行即時計算與比對，并且產生檢測結果；以及信息服務器，用于在該檢測結果異常時發送測試異常通知信息給相關工作人員。
文檔編號H01L21/00GK1518057SQ0310164
公開日2004年8月4日 申請日期2003年1月13日 優先權日2003年1月13日
發明者林俊男, 劉鳴宇 申請人:力晶半導體股份有限公司