專利名稱：探針測試卡的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種探針測試卡，特別是關于一種電路板上電極構造的改良，借助創新的排列，令制作時可采用復制方式來配線，易于規劃，容易偵錯，且可增進工作效率的一種探針測試卡。
公知芯片在測試時，是將芯片測試機臺(IC tester)經過特殊的設計，在其檢測頭裝上一探針測試卡(Probe card)，而該探針測試卡的構造如
圖1及圖2所示，是在一電路板1a上設有圓形排列的復數個電極2a，而該電極2a則分別連接有以金線制成細如毛發的探針3a，使得該探針3a的另一端懸空，能用來偵測晶圓4a上芯片5a的接點(pad)6a，以便直接對該芯片5a輸入信號或偵讀輸出值，再透過電子顯微鏡和機器手臂的控制，使得所有在同一晶圓4a上的芯片5a可以逐一地被測試。
但是，該探針3a連接時往往造成下列的問題1、常須要割線或跳線，才可制造出順序性的配線來(如圖3所示)。
2、跳線后制作時常焊錯，以致制造工時增長且成本增高。
3、電氣特性無法確時掌握，以致復制時困難度增加。
4、除錯工時增長。
5、線上維修保養困難。
于是，由上可知，上述公知的探針測試卡，在實際使用上，顯然具有不便與缺點存在，而可待加以改善。
因此，本實用新型設計人有感上述缺點可改善，乃特潛心研究并配合學理的運用，終于提出一種設計合理且有效改善上述缺點的本實用新型。
本實用新型的主要目的，在于將圓形排列方式的電極改成采用平行排列方式，來避免繁雜的聯機方式，使得探針連接時易于處理，并可大大增進制作的功效。
為了達成上述目的，本實用新型主要是提供一種探針測試卡，包括一電路板、復數個電極及復數條探針，其中，該電極設于該電路板上，呈平行方向排列，可為縱向平行、橫向平行或斜向平行方向的排列方式，而該探針的一端分別連接該電極，另一端則懸空，可用以偵測芯片。
為了使貴審查員能更進一步了解本實用新型為達成預定目的所采取的技術、手段及功效，請參閱以下有關本實用新型的詳細說明與附圖，相信本實用新型的目的、特征與特點，當可由此得一深入且具體的了解，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本實用新型的保護范圍加以限制。
圖面說明圖1為公知探針測試卡實施形態的斜視圖。
圖2為公知探針測試卡的平面圖。
圖3為公知須割線或跳線的探針測試卡的平面圖。
圖4為本實用新型規劃連接芯片C1的平面圖。
圖5為本實用新型規劃連接全部芯片的平面圖。
圖6為本實用新型第二實施例的平面圖。
圖7為本實用新型第三實施例的平面圖。
圖8為本實用新型第四實施例的平面圖。
附圖標記說明公知1a電路板2a電極3a探針 4a晶圓5a芯片 6a接點本實用新型1電路板 2 電極3探針 4 芯片5接腳請同時參閱圖4及圖5所示，本實用新型是一種探針測試卡，是在一電路板1上設有縱向水平排列的256個電極2(分別為電極0～255)，各電極2分別連接探針3的一端，使得該探針3的另一端懸空，且以并行處理的方式來偵測晶圓(圖中未示出)上的芯片4(分別為芯片C1～C8)。
據此，該探針3連接時，可先選取電極0～17中的14個電極2，分別連接探針3，使得該探針3的另一端對應至待測芯片C1的14個接腳5，然后，重復上述的連接方式，使電極32～49中所選取的14個電極2分別連接探針3，使得該探針3的另一端對應至待測芯片C2的14個接腳5，依此類推，便可得到良好的配線規劃，而不會發生傳統割線或跳線的困擾，且容易偵錯。
此外，如圖6所示，為本實用新型的第二實施例，芯片4有32個接腳5，則同樣的可以選取電極0～49中32個電極2，分別連接探針3，使得該探針3的另一端對應至待測芯片C1的32個接腳5，然后，重復上述的連接方式，將電極64～144中所選取的32個電極2分別連接探針3，使得該探針3的另一端對應至待測芯片C2的32個接腳，依此類推，便可得到良好的配線規劃，故，使用者可依據待測芯片4的接腳5總數來選取適合的電極2數目的探針測試卡來作測試。
又，如圖7及圖8所示，為本實用新型的第三實施例及第四實施例，該電極2呈縱向平行方式或斜向平行方式排列，其探針3連接方式與上述相同；另一方面，在第四實施例中，為配合晶圓上芯片4的排列方式，其采用并行處理斜向測試方式來測試該芯片4。
由上可知，本實用新型探針測試卡具有如下的特點(1)配線明顯易見。
(2)縮短探針測試卡的制造時間。
(3)增加并行處理數目。
(4)由于電氣特性掌握性好且軟件撰寫容易，大幅降低工時，故可增加效率及產值。
(5)降低芯片量產測試成本。
綜上所述，本實用新型完全符合專利申請的要件，故依法提出申請，敬請詳查并請早日授與專利，以保障本實用新型設計人的權益。
以上所述，僅為本實用新型最佳的具體實施例的詳細說明，但本實用新型的特征并不局限于此，并非用以限制本實用新型，本實用新型的所有保護范圍應以權利要求書為準，凡符合本實用新型權利要求的精神與其類似變化的實施例，皆應包含于本實用新型的保護范圍中，任何熟悉該項技藝者在本實用新型的領域內，可輕易思及的變化或修飾皆可涵蓋在本實用新型的保護范圍。
權利要求1.一種探針測試卡，包括一電路板；復數個電極，設于該電路板上；及復數條探針，其一端分別連接該電極，另一端懸空可用以偵測芯片；其特征在于該電極呈平行方向排列。
2.如權利要求1所述的探針測試卡，其特征在于所述電極呈縱向平行方向排列。
3.如權利要求1所述的探針測試卡，其特征在于所述電極呈橫向平行方向排列。
4.如權利要求1所述的探針測試卡，其特征在于所述電極呈斜向平行方向排列。
專利摘要本實用新型提供了一種探針測試卡,包括一電路板、復數個電極及復數條探針,其中該復數個電極設于該電路板上,且該探針的一端分別連接該電極,另一端懸空,可用以偵測芯片,而本實用新型的特征是在于該電極可呈縱向、橫向或斜向平行方向排列,使該探針連接時好規劃,制造出順序性的配線,不易有跳線及割線的情形發生,且維修保養容易,進而減少除錯工時。
文檔編號H01L21/66GK2466661SQ01203939
公開日2001年12月19日 申請日期2001年2月5日 優先權日2001年2月5日
發明者陳文祺 申請人:陳文祺