具有閉鎖門的輸送組件的制作方法

專利名稱：具有閉鎖門的輸送組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種晶片容器，特別是涉及一種具有門的可密封的晶片封閉件，在門上帶有閉鎖件機構(gòu)。
背景技術(shù)：
為了在容器中封閉晶片，專業(yè)人員采用了多種方法。為儲存和運送晶片，一些容器具有剛性體，在剛性體上具有用于容納晶片的沿豎直方向設(shè)置的槽、以及具有柔性的扣接蓋。這些容器通常不適用于不能暴露于外界大氣的晶片。
對于尺寸范圍是200mm或者更小的晶片，采用圖1中所示的通常稱為SMIF(標(biāo)準(zhǔn)化機械連接裝置)的容器20，以便提供清潔密封的微小環(huán)境，該環(huán)境可使晶片輸送進入加工設(shè)備，而不使晶片暴露在外界大氣條件下。從美國專利US-4,532,970和US-4,534,389中可以看到這些容器的實施例。這種SMIF容器通常采用透明的容器部份34，其中具有位于下方的門支架部分35，所述門支架部分35的結(jié)構(gòu)如同設(shè)置在開口底部52的凸緣，還有可閉鎖的門36，由門36封閉和開啟底部。門的支架部份35可以夾持到加工設(shè)備上，門在加工設(shè)備上固定到位于下方的SMIF容器門上。兩個門可以從殼體同時向下進入所述加工設(shè)備中的密封加工環(huán)境內(nèi)。分開的H形狀運載器38位于SMIF容器門36的頂部表面40上，并裝載有晶片，運載器與容器向下，以便使用和加工所述晶片。
半導(dǎo)體加工工業(yè)已經(jīng)發(fā)展朝向利用大批量的晶片，特別是尺寸為300mm的晶片。借助工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)的發(fā)展，采用這種晶片的輸送組件，可以利用前面開啟的門，這種門從輸送組件向下降落。參照附圖2，其中描繪了這種前面開啟的封閉件。這種封閉件具有在容器中部分34中的相類似的元件，沒有分開的可移出的運載器。
常規(guī)的用于可密封封閉件的門封閉件和閉鎖機構(gòu)的結(jié)構(gòu)是現(xiàn)有技術(shù)中已公知的。通常，這些典型的結(jié)構(gòu)具有缺點，即不容易拆裝，具有許多移動部件，并且采用金屬部件包括緊固件。在半導(dǎo)體晶片運載器和容器中不希望采用金屬緊固件或其他金屬部件。金屬部件會產(chǎn)生大量的擦傷或刮傷晶片的破壞顆粒。采用金屬緊固件組裝的輸送組件會產(chǎn)生對晶片的擦傷或刮傷。因此，需要避免在晶片封閉件中使用金屬緊固件或其它金屬部件。
雖然，如上面所述的封閉件用于相當(dāng)清潔的環(huán)境中，在長時間內(nèi)，在封閉件中，在始終需要清潔的門的封閉件內(nèi)部，會積累污染物。這種污染物可以通過部件之間的摩擦產(chǎn)生，例如，如上所述操縱門的閉鎖機構(gòu)產(chǎn)生，通過在晶片支架上裝載或卸載晶片產(chǎn)生，以及通過在容器部份安裝或拆卸門產(chǎn)生。由于在常規(guī)的閉鎖機構(gòu)中部件多，為拆卸門造成困難，由于使用金屬緊固件很難清潔這種門。因此非常希望一種可以容易拆卸的門，其具有容易拆卸的閉鎖機構(gòu)，并且具有最少量的移動部件。
對于比較大的晶片運載器需要比較大的門，需要將閉鎖機構(gòu)固定在門中。在理想狀態(tài)下，這種封閉機構(gòu)的機械構(gòu)造簡單，具有少量的運動部件，并且沒有金屬部件。
最近，前面開啟的輸送組件已經(jīng)得到發(fā)展，其可以基本上滿足上面所述的要求。例如參考授予Nyseth、Krampotich和本發(fā)明申請的所有人的美國專利US-5,915,562。并且，參考08/904,660號申請，收益費用已經(jīng)支付給Eggum，Wiseman，Mikkelsen，Adams，Bores，并且受讓于本發(fā)明申請的所有人。美國專利US-5,915,562和08/904,660號申請在本文中作為參考。這些閉鎖機構(gòu)，以及其他晶片運載器的閉鎖機構(gòu)在現(xiàn)有技術(shù)中是已知的，其中通常采用可以轉(zhuǎn)動的凸輪元件。這些凸輪元件典型的由普通的圓形塑料盤形成，具有構(gòu)成凸輪表面的長形的凹陷部份。
在現(xiàn)有技術(shù)的運載器中這種閉鎖機構(gòu)被封閉在門的封閉件中。這種封閉件通常被隔離，其中包含了許多由閉鎖機構(gòu)產(chǎn)生的顆粒。這些顆?？梢苑e累，最終需要被取出或者予以清潔。按照傳統(tǒng)的方式，包括晶片容器的晶片運載器需要采用水溶液進行清潔，并且采用壓縮空氣或氣體進行干燥。這種清潔操作是保持大批量生產(chǎn)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。為了有效地完成清潔操作，需要拆除門或者至少取下蓋子，以暴露閉鎖機構(gòu)。這種操作勞動強度高而且乏味。要想不取下蓋子對內(nèi)部進行清潔是很困難的。而且，如果清洗是在封閉的閉鎖機構(gòu)中完成，要干燥封閉的閉鎖機構(gòu)也存在很多問題。
可以轉(zhuǎn)動的凸輪元件在符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化中特別有用，以便自動打開300mm晶片運載器的門。參照用于FIMS門的臨時規(guī)范的SEMI E62，這種臨時規(guī)范可從SEMICONDUCTOR EQUIPMENT MANUFACTURERSINSTITUTE，MOUNTAIN VIEW，CALIFORNIA獲得。這些標(biāo)準(zhǔn)需要采用兩個平行間隔的工具，其稱為“閉鎖鍵”，這種閉鎖鍵可以自動插入門中。兩個工具同時順時針轉(zhuǎn)動以便打開門。為了滿足這些標(biāo)準(zhǔn)，常規(guī)的用于300mm晶片的前面開啟的輸送組件，或者運送組件采用兩個分開的閉鎖機構(gòu)，門的各個側(cè)面各設(shè)有一個閉鎖機構(gòu)。
這種閉鎖機構(gòu)也可以由人工操作，利用手柄也可以轉(zhuǎn)動內(nèi)部的凸輪元件。傳統(tǒng)的300mm晶片輸送裝置具有這種人工操縱的手柄，其需要兩個手柄中的每一個，以便分開轉(zhuǎn)動，然后通過拉動人工手柄，由人工取下門。這種由操作者的各只手分開的轉(zhuǎn)動運動是不對稱而且笨拙的，通常是違反人體直覺的動作。此外，很難知道每個轉(zhuǎn)動手柄是否轉(zhuǎn)動了完全閉鎖或者完全開鎖所需要的轉(zhuǎn)數(shù)。
雖然，這種可以轉(zhuǎn)動的凸輪元件可以在晶片運載器的門中產(chǎn)生作用，仍然存在著一些缺點。這種可以轉(zhuǎn)動的凸輪元件很難設(shè)計和制造，通常需要相當(dāng)大的圓形凸輪元件，以便提供合理的機械效率。要減小這種凸輪元件的尺寸，將降低機械效率。此外，當(dāng)轉(zhuǎn)動運動被轉(zhuǎn)換為直線運動時，凸輪元件不能平穩(wěn)運行，這種不規(guī)則運動不能適用于閉鎖和開鎖。特別是，當(dāng)人工轉(zhuǎn)動這些可以轉(zhuǎn)動的凸輪元件時，在閉鎖部份充分延伸或退回以前，可能出現(xiàn)意外停止運動。
此外，這種可以轉(zhuǎn)動的凸輪元件不利于提供附加的非轉(zhuǎn)動人工抓握的閉鎖/開鎖手柄。假設(shè)轉(zhuǎn)動的附加手柄是已知的。但是，這種手柄的轉(zhuǎn)動提供了非常不穩(wěn)定的操作裝置，其導(dǎo)致不平穩(wěn)而且笨重地從封閉件部份的門開口移動和取出門。這種不平穩(wěn)的操作可能導(dǎo)致門和封閉件在門的開口意外接觸，由此產(chǎn)生劃傷顆粒，損壞容器中的晶片，在晶片運載器中出現(xiàn)顆粒，或者出現(xiàn)其他不良結(jié)果。具有閉鎖機構(gòu)的晶片容器的門應(yīng)當(dāng)具有理想地抓握把手，以便人工操作非轉(zhuǎn)動條件下的閉鎖機構(gòu)。
因此，需要一種人工操縱的門，它能夠平穩(wěn)、容易地按照直覺進行操作，并且具有簡單的機械結(jié)構(gòu)。此外，需要這種門符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化，以便對門進行自動化操作。

發(fā)明內(nèi)容
一種晶片容器，其具有由門的接收支架構(gòu)成的前面開口，門的尺寸適合于門的接收支架。門的接收支架具有位于相對側(cè)的開口槽，利用兩個閉鎖聯(lián)動裝置分別使兩個閉鎖部份，從各相對的門的側(cè)面邊緣部份伸展、上升、下降、退回進入門接收支架的閉鎖插座中，或者從閉鎖插座中退出。在優(yōu)選實施例中，各閉鎖機構(gòu)利用帶有連接手柄的滑動板，并且暴露在門的前面?；瑒影逵幸粚μ嵘?lián)動裝置，所述提升聯(lián)動裝置與一對閉鎖聯(lián)動裝置協(xié)同作用。移動手柄使得閉鎖部分首先朝著第一方向向外延伸進入閉鎖插座，然后，借助在重疊的聯(lián)動裝置上的斜面凸輪表面和凸輪隨動件的表面，使得閉鎖部份沿著垂直于第一方向的第二方向移動，向內(nèi)拉門使門密封容器部分。滑動板包括與小齒輪嚙合的齒條部件。從門的前面板上，借助閉鎖鍵可以連通小齒輪，因此能夠自動驅(qū)動閉鎖機構(gòu)。因此閉鎖機構(gòu)設(shè)有非轉(zhuǎn)動的抓握手柄，它為操縱閉鎖機構(gòu)提供第二裝置。在優(yōu)選的實施例中，整個閉鎖機構(gòu)暴露在門的前面。
本發(fā)明優(yōu)選實施例的目的和優(yōu)點是，提供非轉(zhuǎn)動的裝置以便操作閉鎖機構(gòu)。
本發(fā)明優(yōu)選實施例的目的和優(yōu)點是，閉鎖機構(gòu)暴露在門的前面上，便于對閉鎖機構(gòu)進行清潔和干燥，可以觀察到正確的運行過程，如果需要維修，并可設(shè)置容易進入的閉鎖機構(gòu)。
本發(fā)明優(yōu)選實施例的目的和優(yōu)點是，沒有門的封閉件。只具有最少數(shù)量的元件，組裝簡單而且成本低廉。
本發(fā)明優(yōu)選實施例的目的和優(yōu)點是，能夠直觀地通過人工使閉鎖門運動，即，朝門邊緣向外移動手柄，使閉鎖緊部份伸展。向內(nèi)移動手柄，使閉鎖部分退回。
本發(fā)明優(yōu)選實施例的再一個目的和優(yōu)點是，由人工驅(qū)動的門的閉鎖機構(gòu)也可以自動驅(qū)動。
本發(fā)明優(yōu)選實施例的特征和優(yōu)點是，與利用轉(zhuǎn)動凸輪元件的機構(gòu)相比較，本發(fā)明的閉鎖機構(gòu)運行特別平穩(wěn)。
本發(fā)明優(yōu)選實施例的特征和優(yōu)點是，采用的閉鎖機構(gòu)中包括最少數(shù)量的元件，其機械構(gòu)造簡單，而且提供有效可靠的閉鎖動作。
本發(fā)明優(yōu)選實施例的另一特征和優(yōu)點是，閉鎖機構(gòu)位于門的內(nèi)部，因此由門的機構(gòu)產(chǎn)生最小數(shù)量和分散的顆粒。
在本文中采用的“基本上”其含義包括如指出的準(zhǔn)確的數(shù)量、質(zhì)量或者位置。在本文中采用的“連接”不需要元件之間直接連接或者接觸，元件的連接可以借助機械或耦合器連接。


圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的SMIF容器的立體圖；圖2是現(xiàn)有技術(shù)中的輸送組件的立體圖；圖3是現(xiàn)有技術(shù)中的輸送組件的立體圖，其中輸送組件具有人工操縱的手柄和用于自動閉鎖鍵的開口；圖4是本發(fā)明的晶片容器的立體圖；圖5是按照本發(fā)明的晶片容器的門組件的、從前側(cè)觀察的分解圖；圖6是本發(fā)明的閉鎖機構(gòu)的、從后側(cè)觀察的分解圖；圖7是本發(fā)明組裝的門前面的主視圖；圖8是本發(fā)明的閉鎖機構(gòu)中的閉鎖部分處于收回位置的橫截面視圖；圖9是本發(fā)明的閉鎖機構(gòu)中的閉鎖部分處于伸展位置的橫截面視圖；圖10a是本發(fā)明的晶片運載器的門的前面立體圖；圖10b是本發(fā)明的晶片運載器的門的后面立體圖。
具體實施例方式
在圖1和2分別所示的現(xiàn)有技術(shù)中的具有底部開口的SMIG容器20、和具有前側(cè)開口的輸送組件30非常適用于本發(fā)明。各可密封的封閉物分別具有容器部分34和協(xié)同作用的門36。SMIF容器20還有分開的晶片運載器38，所述晶片運載器38是具有現(xiàn)有技術(shù)中已知的H條(H-bar)形狀的運載器，這種具有H條形狀的運載器安置在門36的頂部表面40上。
各容器部分34和各封閉物具有頂側(cè)面46、前側(cè)面48和底側(cè)面50。在SMIF容器中，底側(cè)面50是開口，以便接收晶片38和門36。
門具有向內(nèi)的側(cè)面52和向外的側(cè)面53，其邊緣55包括封閉件56，封閉件56具有開口的內(nèi)部58，其中包含了閉鎖機構(gòu)60，圖1和2描繪了其部分元件。所述閉鎖機構(gòu)包括閉鎖部分62，其可以延伸到槽66的外側(cè)，以便接合到位于容器部分34的門支架部分74中的閉鎖部分接收器68。參照附圖3，其中描繪了現(xiàn)有技術(shù)的晶片容器，這種晶片容器具有手柄80，所述手柄80可以向外擺動以便于轉(zhuǎn)動。所述手柄80分別連接到各自位于門封閉件中可轉(zhuǎn)動的凸輪元件上。如圖4所示，其中描繪了與本發(fā)明相結(jié)合的晶片容器90，通常其包括容器部分92，以及協(xié)同作用的門94。容器部分92具有多個晶片槽100，以便基本上沿著水平面插入或取出晶片W。由晶片支撐架102構(gòu)成晶片槽100。通常，容器部分具有前開口106，封閉的頂部108，封閉的左側(cè)面110，封閉的后側(cè)面112，封閉的右側(cè)面114和封閉的底116。這種容器通常有位于封閉的底部的設(shè)備連接裝置(未圖示)。
門94座落于門接收支架120內(nèi)，并且與其相互接合，接收支架120可以與外殼124成為一個整體，或者不是一個整體。門支架120有兩對相對置的支架元件，一對沿豎直方向設(shè)置的支架元件130、132，和一對沿水平方向設(shè)置的支架元件136、138。沿豎直方向設(shè)置的支架元件130、132各有一對接收器150，其形狀如同孔或槽，孔或槽用于將門閉鎖和接合在容器部分上。門可以有活動的晶片限制裝置，例如美國專利US-5,915,562中公開的裝置，該文件中公開的內(nèi)容在本文中作為參考，而且其被動裝置是現(xiàn)有技術(shù)中公知的。
門可以包括前蓋160，其形狀如同平板，它適合于固定，例如采用序列號08/904,660中公開的彈性元件進行固定，在上述文件中公開的內(nèi)容在本文中作為參考。還包括殼體162，其形成封閉件164。兩個驅(qū)動部分由人工手柄170、172構(gòu)成，它們通過前蓋160中的孔174、176延伸。閉鎖鍵孔180、182提供自動的入口，到構(gòu)成鍵接收器的附加驅(qū)動部分。閉鎖部分184、185穿過門邊緣188中的孔186、187伸展或收縮。
參照圖5～9，門的封閉件164有兩個腔體190、192，以便分別容納兩個成不同鏡像設(shè)置的閉鎖機構(gòu)200、202。在此實施例中，門具有單獨的機構(gòu)蓋203、204。在圖5中，第一或左側(cè)閉鎖機構(gòu)202被分解示出，第二或右側(cè)閉鎖機構(gòu)200以組裝的形式示出。圖6表示從圖5中分解的左側(cè)閉鎖機構(gòu)的相對的或內(nèi)側(cè)面視圖。各閉鎖機構(gòu)通常具有驅(qū)動部分205，運動移動部分206和閉鎖部分207。
在所述的優(yōu)選實施例中，各閉鎖機構(gòu)包括滑動驅(qū)動部分210，所述滑動驅(qū)動部分210包括各自的人工手柄170、172；連接部份218；一對連接連桿224，其結(jié)構(gòu)為齒條224；以及中央孔225。提升聯(lián)動裝置包括凸輪表面226或者第二提升部份，其結(jié)構(gòu)為斜面；橫向?qū)虿?32、234；中央導(dǎo)向槽236；以及定位器240、242，定位器的結(jié)構(gòu)呈柱狀。提升聯(lián)動機構(gòu)220、222與閉鎖臂250、252協(xié)同作用，所述閉鎖臂250、252包括閉鎖部份184、185和導(dǎo)向元件258、259，所述導(dǎo)向元件的結(jié)構(gòu)為導(dǎo)向柱，導(dǎo)向柱從閉鎖臂中延伸。導(dǎo)向柱位于橫向?qū)虿?32、234內(nèi)，并且受橫向?qū)虿?32、234的限制。閉鎖臂250、252還具有阻擋元件268，其具有粗壯的結(jié)構(gòu)形狀。所述阻擋元件268從閉鎖臂250、252的前面274向外延伸。閉鎖臂250、252的后側(cè)具有第一提升部份276，其結(jié)構(gòu)如同凸輪隨動件，凸輪隨動件具有傾斜的配合表面277，配合表面277與提升聯(lián)動裝置上的第二提升部分相互接合，以便為閉鎖部件提供向內(nèi)或向外的運動。蓋子元件203、204保持上述元件就位，并且可以使非金屬螺釘理想地固定在柱元件284中的螺釘孔282內(nèi)。
齒輪元件290構(gòu)成為小齒輪結(jié)構(gòu)，其可轉(zhuǎn)動地安裝在柱元件294上。齒輪元件290與連接部份218上的齒條224相互嚙合，以便當(dāng)柱元件294轉(zhuǎn)動時，齒條224沿水平方向運動。齒輪元件290具有鍵接收器，其結(jié)構(gòu)為閉鎖鍵槽298，以便容納自動的閉鎖鍵300。鍵接收器構(gòu)成第一驅(qū)動部份，人工手柄構(gòu)成第二驅(qū)動部份，兩驅(qū)動部份驅(qū)動包括齒條和齒輪機構(gòu)以及聯(lián)動裝置的運動傳動部件。在本發(fā)明限定的范圍內(nèi)，還可以采用其他運動傳動部件。
閉鎖機構(gòu)的運行過程類似于美國專利申請08/891,645中附圖17、18a、19a、19b、20、21所示的閉鎖機構(gòu)，盡管其中沒有采用可以轉(zhuǎn)動的凸輪元件，其中公開的內(nèi)容在本文中作為參考。采用具有固定的提升聯(lián)動裝置的滑動手柄部份，以便使聯(lián)動裝置產(chǎn)生橫向運動。在美國專利申請08/891,645中，閉鎖臂也可與轉(zhuǎn)動的凸輪元件接合。在此實施例中，閉鎖臂被固定在提升聯(lián)動裝置中，并且由蓋子203、204的結(jié)構(gòu)限制和控制閉鎖臂的上、下移動門機構(gòu)100的單獨部件可以采用合適的碳纖維聚碳酸酯材料制造，以便提供靜耗損特性。前面板和門的封閉件采用聚碳酸酯材料制成。閉鎖元件可以采用合適的塑料材料成型，例如，采用尼龍或者PEEK。
權(quán)利要求
1.一種晶片容器，包括a)用于夾持晶片的容器部份，該容器部份具有開口的內(nèi)部，構(gòu)成門開口的大致矩形的門支架，在門支架上具有閉鎖插座；b)門可位于門支架中，以便覆蓋門開口，門具有前面并包括外座部分，其尺寸適合于和大致矩形的門支架接合；閉鎖機構(gòu)包括暴露在門前面板的外的手柄，所述手柄可以沿橫向方向運動；閉鎖部份，用以延伸進入閉鎖插座，或者從閉鎖插座中退回；和在閉鎖部份和手柄之間連接有運動傳遞部分，以便將手柄的橫向運動轉(zhuǎn)換成為閉鎖部分的伸展和退回動作。
2.按照權(quán)利要求1所述的晶片容器，其中閉鎖機構(gòu)不設(shè)置在門的封閉件內(nèi)。
3.按照權(quán)利要求1所述的晶片容器，其中運動傳遞部分包括小齒輪和齒條。
4.按照權(quán)利要求1所述的晶片容器，其中門具有左側(cè)和右側(cè)，其中閉鎖機構(gòu)是第一閉鎖機構(gòu)，晶片容器還包括第二閉鎖機構(gòu)，所述第一閉鎖機構(gòu)位于門的左側(cè)，第二閉鎖機構(gòu)位于門的右側(cè)。
5.一種晶片容器，其包括a)用于夾持晶片的容器部份，容器部份具有開口的內(nèi)部，構(gòu)成門開口的大致矩形的門支架，在門的支架上具有閉鎖插座；b)門可位于門支架中，以便覆蓋門開口，門具有前面板和外座部份，其尺寸適合于和大致矩形的門支架接合；閉鎖機構(gòu)包括閉鎖部分用于與閉鎖插座接合；第一驅(qū)動部分，用于接收人工或自動驅(qū)動；和在閉鎖部分和驅(qū)動部分之間連接有運動傳遞部件，以便將手柄的驅(qū)動運動轉(zhuǎn)換成為閉鎖部件與閉鎖插座之間的接合；閉鎖機構(gòu)在門的前面板上暴露的部分為所述機構(gòu)提供通口。
6.按照權(quán)利要求5所述的晶片容器，其中閉鎖機構(gòu)還包括第二驅(qū)動部分其中第二驅(qū)動部分是可轉(zhuǎn)動的閉鎖鍵接收器，第一驅(qū)動部分是人工可操縱的手柄。
7.按照權(quán)利要求6所述的晶片容器，其中人工可操縱的手柄是不轉(zhuǎn)動的。
8.按照權(quán)利要求5所述的晶片容器，其中運動傳遞部分包括齒條和小齒輪機構(gòu)。
9.按照權(quán)利要求5所述的晶片容器，其特征是閉鎖機構(gòu)包括閉鎖臂，其具有兩個端部，一端具有凸輪隨動件，其與第一凸輪導(dǎo)向件接合，另一端具有閉鎖部分，其延伸到外座部分的開口，提升聯(lián)動裝置，其具有第一提升部分，位于兩個端部之間，第一凸輪導(dǎo)向件的結(jié)構(gòu)相對于門使閉鎖部分向外延伸，沿著第一方向進入閉鎖插座；提升聯(lián)動裝置連接滑動手柄部分，并且可以一同沿橫向運動，提升聯(lián)動裝置具有協(xié)同作用的第二提升部分，所述第二提升部分和第一提升部分接合，第一提升部分和第二提升部分以相互重迭的方式排列，第一提升部分和第二提升部分之一具有斜面，第一提升部分和第二提升部分中的另一個具有與斜面相配合的表面，第二凸輪導(dǎo)向件的結(jié)構(gòu)使得提升聯(lián)動裝置相對于閉鎖聯(lián)動裝置運動，由此斜面配合部分安放在斜面上，當(dāng)閉鎖部分位于閉鎖插座內(nèi)時，使得閉鎖聯(lián)動裝置沿著基本上垂直于第一方向的第二運動方向運動。
10.一種晶片容器，包括a)用于夾持晶片的容器部份，容器部份具有開口的內(nèi)部，構(gòu)成門開口的大致矩形的門支架，在門支架上具有閉鎖插座；b)門可位于門支架中，以便覆蓋門開口，門包括外座部分，其尺寸適合于和大致矩形的門支架接合；閉鎖機構(gòu)包括用于接收外界驅(qū)動的驅(qū)動部分，驅(qū)動部分外部可通入并可轉(zhuǎn)動；閉鎖部分與閉鎖插座接合；小齒輪連接到驅(qū)動部分上；和小齒輪與齒條嚙合，并連接到閉鎖部分，由此驅(qū)動部分的轉(zhuǎn)動使得閉鎖部分移動。
11.按照權(quán)利要求10所述的晶片容器，其中門具有前面，閉鎖機構(gòu)暴露在門的前面上。
12.按照權(quán)利要求10所述的晶片容器，其中驅(qū)動部分是第一驅(qū)動部分，其中閉鎖機構(gòu)還包括第二驅(qū)動部分，第二驅(qū)動部分被限制沿著橫向運動，第二驅(qū)動部分連接齒條，因此通過第一驅(qū)動部分的轉(zhuǎn)動，或者通過第二驅(qū)動部分的橫向運動，可以驅(qū)動閉鎖機構(gòu)。
13.按照權(quán)利要求12所述的晶片容器，其中門具有前面，閉鎖機構(gòu)暴露在門的前面上。
14.按照權(quán)利要求10所述的晶片容器，其中門具有前面、左側(cè)和右側(cè)，其中閉鎖機構(gòu)是第一閉鎖機構(gòu)，晶片容器還包括第二閉鎖機構(gòu)，其中第一閉鎖機構(gòu)位于門的左側(cè)，第二閉鎖機構(gòu)位于門的右側(cè)。
15.一種晶片容器，其包括a)用于夾持晶片的容器部份，該容器部份具有開口的內(nèi)部，構(gòu)成門向前面開口的大致矩形的門支架，門支架上具有閉鎖插座；b)門可位于門支架中，以便覆蓋門開口，門具有前面和外座部分，其尺寸適合于和矩形的門支架接合；閉鎖機構(gòu)包括與閉鎖插座相互配合的閉鎖部分；第一可轉(zhuǎn)動驅(qū)動部分，用于接收鍵的自動驅(qū)動；橫向運動的第二驅(qū)動部分，以便由人工驅(qū)動；在閉鎖部分和第一自動驅(qū)動部分之間，和閉鎖部分和第二橫向運動的驅(qū)動部分之間，連接有運動傳遞部分，以便將驅(qū)動部分的驅(qū)動運動轉(zhuǎn)換為閉鎖部分與閉鎖插座的接合。
16.按照權(quán)利要求15所述的晶片容器，其中運動傳遞部分包括齒條和小齒輪。
17.按照權(quán)利要求15所述的晶片容器，其中門具有前面，其中閉鎖機構(gòu)暴露在門的前面。
18.按照權(quán)利要求15所述的晶片容器，其中閉鎖機構(gòu)是第一閉鎖機構(gòu)，晶片容器還包括第二閉鎖機構(gòu)，第二閉鎖機構(gòu)基本上與第一閉鎖機構(gòu)成鏡像設(shè)置。
19.按照權(quán)利要求15所述的晶片容器，其中運動傳遞部分提供給閉鎖部分橫向向外運動，并在向前方向運動。
20.一種晶片容器，包括a)用于夾持晶片的容器部分，該容器部分具有開口的內(nèi)部，構(gòu)成門開口的大致矩形的門支架，在門的支架上具有閉鎖插座；b)門可位于門支架中，以便覆蓋門開口，門具有內(nèi)開口并包括i)外座部份，其尺寸適合于與大致矩形門支架接合，當(dāng)門位于門支架中時，門的外座部份具有相應(yīng)于閉鎖插座的開口；ii)滑動手柄部分被限制并在封閉件內(nèi)橫向運動，所述手柄部分包括暴露在門前面的手柄；iii)閉鎖臂具有兩個端部，一個端部具有凸輪隨動件，所述凸輪隨動件和第一凸輪導(dǎo)向件接合，另一個端部具有閉鎖部分，所說閉鎖部分延伸到外座部分內(nèi)的開口，提升聯(lián)動裝置具有第一提升部分，所述第一提升部份位于兩個端部之間，第一凸輪導(dǎo)向件的結(jié)構(gòu)使得閉鎖部分相對于門在第一方向向外延伸進入閉鎖插座；iv)提升聯(lián)動裝置連接到滑動手柄部分，并且可以一同沿著橫向方向運動，提升聯(lián)動裝置具有協(xié)同作用的第二提升部分，所述第二提升部分與第一提升部份接合，第一提升部分和第二提升部份以重疊方式排列，第一提升部份和第二提升部分之一具有斜面，第一提升部份和第二提升部分中的另一個具有和斜面配合的表面，第二凸輪導(dǎo)向件的結(jié)構(gòu)使得提升聯(lián)動裝置相對于閉鎖聯(lián)動裝置移動，因此，當(dāng)閉鎖部份位于閉鎖插座中時，斜面接合部分安放在斜面上，使得閉鎖聯(lián)動裝置沿著基本上垂直于第一方向的第二方向移動。
21.按照權(quán)利要求20述的晶片容器，其中還包括連接到滑動手柄部分的齒條和小齒輪系統(tǒng)，從門的外部可通入小齒輪，因此通過與小齒輪的接合，可以自動操縱門。
22.一種晶片容器，包括a)用于沿水平方向排列夾持晶片的容器部份，容器部份具有開口的前面，和在開口前面的、在容器部分上的閉鎖插座；b)門可以定位以便封閉容器的開口前面，該門包括i)具有閉鎖部分的閉鎖臂，閉鎖部分向外沿著第一方向朝向閉鎖插座延伸；ii)提升聯(lián)動裝置，與閉鎖聯(lián)動裝置相鄰，并且可以沿著平行于第一方向的方向移動，至少提升聯(lián)動裝置和閉鎖臂之一具有斜面，因此，當(dāng)提升聯(lián)動裝置和閉鎖臂中的另一個相對于斜面移動時，斜面使得閉鎖聯(lián)動裝置朝向基本上垂直于第一方向的第二方向移動；iii)滑動手柄部份被限制，并在封閉件內(nèi)橫向移動，所述手柄部分包括暴露在門前面外的手柄，以及將手柄連接到提升聯(lián)動裝置的連接部分，因此，通過移動外暴露的手柄可以操縱門，手柄部分還包括安裝固定在其上的直線齒輪；iv)門封閉件中的可轉(zhuǎn)動的圓形齒輪，封閉件與直線齒輪嚙合，從門的前面外可通入圓形齒輪，因此能夠?qū)﹂T進行自動操縱。
23.按照權(quán)利要求3所述的晶片容器，其中滑動手柄部分與提升聯(lián)動裝置形成一體。
全文摘要
一種晶片容器,其具有與門尺寸相適應(yīng)的接收支架。門(94)包括閉鎖聯(lián)動裝置(250、252),其使得閉鎖部分從門延伸、上升、下降、退回,進入門支架中的閉鎖插座(150),或者從閉鎖插座(150)中退出。各閉鎖機構(gòu)采用具有連接手柄(170、172)的滑動板(210),手柄暴露在門的前面上?；瑒影逵信c閉鎖聯(lián)動裝置協(xié)同作用的提升聯(lián)動裝置(220、222)。移動手柄使得閉鎖部分延伸進入閉鎖插座。借助在重疊的聯(lián)動裝置上的斜表面(226)和隨動表面(277),使閉鎖部份沿著垂直于第一方向的方向移動,以便向內(nèi)拉門并使門密封容器?；瑒影灏ㄅc小齒輪(290)嚙合的齒條部件(224)。從門的前面借助閉鎖鍵(300)可以通入小齒輪。
文檔編號H01L21/67GK1378515SQ00811582
公開日2002年11月6日 申請日期2000年7月6日 優(yōu)先權(quán)日1999年7月8日
發(fā)明者格雷戈里·W·博里斯, 邁克爾·C·扎布卡 申請人:恩特格里斯公司