具有自組裝單層圖案的滑動件的制作方法

具有自組裝單層圖案的滑動件的制作方法
【專利摘要】本申請公開具有自組裝單層圖案的滑動件。滑動件，具有前緣、后緣、工作表面、以及靠近所述后緣的讀/寫頭。滑動件包括滑動件的工作表面上的保護涂層，以及滑動件的工作表面和保護涂層上的自組裝單層涂層，所述涂層包括至少一種自組裝單層材料。
【專利說明】具有自組裝單層圖案的滑動件

【背景技術】
[0001]硬盤驅動器是常見的信息存儲裝置，其具有一系列可旋轉的，由磁性讀寫元件進行訪問的盤片。這些數據元件，通常被稱為換能器，一般是由滑動件承載并嵌入在滑動件中，該滑動件被保持在形成在盤片上的分離的數據磁道上方的相對近的距離，以便能夠進行讀或寫操作。在使用過程中，盤片的高速旋轉產生沿著其表面流進的氣流，其與滑動件體的空氣軸承表面(ABS)相配合，從而使得滑動件能夠在旋轉的盤片上方“飛”，定位所述換能器來訪問盤片上的數據。
[0002]由于日益增長的減小磁盤驅動器的尺寸和在每平方英寸上存儲更多的數據的需求，滑動件和盤片之間的距離減小了，滑動件上任何污染所造成的潛在負面影響增加了。滑動件上不想要的污染物會不利地影響飛行高度行為，如升高或降低飛行高度、翻滾或俯仰特征的飛行不對稱、過度調制、和由于滑動件上的污染物堆積和積累和/或磁頭與盤片之間的“橋接”機制導致的磁頭-盤片碰撞或接觸。所有這些機制導致磁頭的讀或寫操作性能下降(如跳過寫入、調制寫入、弱化寫入、間隙的穩定性和沉降、以及間隙不正確的設置)。因此需要一種機制，從滑動件和盤片表面之間除去污染物。


【發明內容】

[0003]本公開提供一種其上具有表面涂層的滑動件，該滑動件被配置成提供一種路徑，使得流體和其承載的污染物從滑動件表面移除。
[0004]本公開的一個特定實施例是滑動件，其具有前緣、后緣、工作表面、以及靠近所述后緣的讀/寫頭。滑動件包括滑動件工作表面上的厚度至少為50埃的連續保護涂層，以及覆蓋在滑動件工作表面上以及保護涂層上的自組裝單層涂層，該涂層包括至少一種自組裝單層材料。
[0005]本公開的另一特定實施例是一種具有工作表面的滑動件，其工作表面具有延伸至后緣的至少一個凹進部分。滑動件包括在工作表面的至少一部分上的連續保護涂層，以及工作表面上的自組裝單層涂層，所述涂層包括至少一種自組裝單層材料。
[0006]本公開的又一個特定實施例是一種滑動件，其具有在滑動件的工作表面上的具有預定圖案的自組裝單層涂層，該預定圖案關于滑動件的縱向軸線對稱。
[0007]通過閱讀以下詳細的描述，這些和各種其它特征和優點將是顯而易見的。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]本公開可通過結合附圖考慮說明書的各個實施例的以下詳細說明而更全面地理解，其中:
[0009]圖1示出的是硬盤驅動器的示意性頂視圖。
[0010]圖2示出的是第一個實施例的具有自組裝單層圖案的滑動件的示意性底視圖。
[0011]圖3示出的是圖2的滑動件沿3-3線的橫截面圖。
[0012]圖4示出的是第二實施例的具有自組裝單層圖案的滑動件的示意性底視圖。
[0013]圖5示出是圖4的滑動件沿5-5線的剖視圖。

【具體實施方式】
[0014]本實施例最一般地涉及用于磁盤驅動器的磁性滑動件上的涂層。滑動件的表面由陶瓷和/或氧化鋁體形成，其在某些區域上具有保護性涂層(例如，保護性碳涂層)。滑動件表面上的自組裝單層涂層形成為一種圖形，用于引導流體(如光盤潤滑劑、有機污染物、有機硅、微粒等)流動。
[0015]在下文的描述中，參考構成本發明的一部分的附圖，并且其中通過圖示的方式示出了至少一個具體實施例。下面的說明書提供了額外的具體實施例。但是應當理解的是，其他實施例是可以預期的，并且可以在不脫離本公開的范圍或精神的情況下而制造出來。因此下述的詳細說明，不應被視為具有限制意義。盡管本公開并不限于此，本公開的各個方面的理解將通過下面提供的示例的討論來獲得。
[0016]除非另有說明，表述特征尺寸、數量和物理屬性的所有數字都可以理解為由術語“大約”修飾，而不管術語“大約”是否立即出現。因此，除非有相反的指示，前述的數值參數是近似值，其可根據所需的性能而改變，本領域技術人員應該可以利用本文所公開的教導得到。
[0017]如本文所使用的，單數形式“一”，“一個”和“所述”涵蓋具有復數對象的實施例，除非內容另有明確的規定。本說明書和所附權利要求中，術語“或”通常包括“和/或”的含義，除非內容另有明確規定。
[0018]與空間相關的術語，包括但不限于，“低于”，“高于”，“之下”，“下方”，“上方”，“上面”等，如果本文中使用，都是為便于說明來描述一個元件(多個)與另一個元件的空間關系。這種空間相關的術語涵蓋裝置的不同取向，除了附圖和說明書中描述的特定方位。例如，如果附圖中描述的結構被翻轉或翻滾過去，前面描述的在其它元素的下方或下面的部分將高于其他元素。
[0019]參考圖1，其示意性的示出了示例性的磁盤驅動器100。磁盤驅動器100包括底座102和頂蓋104，以部分切去的方式示出。底座102與頂蓋104相結合，以形成殼體106，其中設置了一個或多個可旋轉的磁性數據存儲介質或盤片108。磁性存儲介質108連接到主軸114，用于圍繞中心軸線共同旋轉。但應當注意的是，某些實施例中會使用多張盤片或介質108的包，以及其它實施例中只使用單個盤片或介質108。每個盤片或介質表面具有相關聯的磁頭或滑動件112，該磁頭或滑動件112安裝為與其對應的盤片或介質108鄰近并與其進行通信。磁頭或滑動件112包括數據記錄換能器和數據讀出換能器(也稱為讀/寫頭及類似物)，其讀取和寫入數據到存儲盤片或介質108。在圖1所示的例子中，磁頭或滑動件112由致動器組件110支撐，其包括本領域公知的多個部件。圖1所示的致動器組件110屬于旋轉運動線圈致動器的公知常見類型，其包括音圈馬達來旋轉致動器組件110及其上附著的滑動件112，以沿著在介質108的盤片的內徑和外徑之間的弧形路徑在期望數據磁軌上方定位滑動件112以及其讀/寫頭。
[0020]許多磁頭或滑動件112由鋁鈦碳化物(AlTiC)制成，其具有高能量表面。污染物顆粒、水分和潤滑劑(例如，來自盤片或介質108或者來自主軸114)容易附著或吸附在滑動件112的表面。此外，AlTiC的復合結構由于震動和接觸事件而導致從其晶粒中釋放顆粒，從而當滑動件高速運行過顆粒時導致驅動器碰撞或失敗。因此，磁頭或滑動件112包括覆蓋滑動件112各個部件(如讀出磁頭、寫入磁頭、空氣軸承表面(ABS)或軌、和/或整個先進的空氣軸承(AAB)表面)的保護涂層。保護涂層可以是，例如，類金剛石碳(DLC)(其具有類似于金剛石的晶格)，和/或無定形碳層。在一些實施例中，所述保護涂層可具有{100}晶面。保護外涂層是連續的和非中斷的層，涂層中沒有針孔或其他缺陷。保護涂層的厚度為至少50埃，在一些實施例中至少為100埃。
[0021]根據本發明，自組裝單層(SAM)存在于保護涂層和滑動件體表面(例如，AlTiC)的至少一部分上。如本文所用，術語“自組裝單層”和“SAM”是指薄的單層，其中將存在于反應溶液中的表面活性分子設置(例如，吸附和/或化學吸附)在保護涂層的表面上，以在它們之間產生化學鍵。SAM以這樣一種圖案存在，其引導流體(例如，空氣、流體、顆粒、污染物)在期望的方向和/或向著所期望的位置流動；SAM可以是，例如，高表面能SAM或低表面能SAM。在一些實施例中存在不止一個SAM ;例如，該圖案可以由低表面能SAM和高表面能SAM形成。
[0022]術語“低表面能”及其變型，如本文所使用的，指的是表面抑制被其它不需要的物質或溶液潤濕(高接觸角)或吸附的傾向；然而，“高表面能”指的是表面被其它不想要的物質或溶液增加或促進潤濕(低接觸角)或吸附的傾向。在低表面能材料中，例如低能量SAM,所選擇的分子的官能端基導致涂層與流體之間弱的物理力(例如，范德瓦爾斯)，從而允許最后得到的涂層(即，流體和涂層之間的高接觸角)的局部濕潤或無潤濕。相反，具有高表面能的材料，如高能量SAM中，被選擇的分子的官能端基導致在該涂層和流體之間更強的分子力，從而允許流體的充分潤濕(即，流體和涂層之間非常小的接觸角)。代表“低表面能”的值都在5-30達因/厘米的范圍內，高表面能材料的范圍要比這個范圍相對較高，通常大于30達因/厘米。當本公開存在高表面能涂層和低表面能涂層兩者時，表面能是相對的。當本公開只有高表面能涂層或低表面能涂層之一時，表面能是針對在其上施加有涂層(例如，保護性碳涂層)的表面的。
[0023]用于形成自組裝單層或SAM的前體化合物包含具有頭部基團和具有官能端基的尾部的分子。常見的頭部基團包括具有水解反應性基團的硫醇、硅烷(例如，鹵化物:{F，Cl,Br, 1}、和烷氧基:{甲氧基，乙氧基，丙氧基}、膦酸鹽等。常用的尾部基團包括具有1-18個碳原子的烷基，以及其它不飽和烴的衍生物，如，芳基、芳烷基、鏈烯基、以及鏈烯基-芳基。另外上面所列的烴原料可以被氟取代基、胺端基、以及碳氧官能團(例如酮類和醇類等)功能化。通過諸如浸沒或點涂、噴涂、化學氣相沉積(CVD)、微接觸印刷、蘸筆納米光刻等工藝，SAM自氣相或液相由頭部基團化學吸附到襯底材料上(如，在本申請中，滑動件體和保護外涂層上)所形成。頭部基團緊密組裝在材料上，尾部基團從該材料延伸出去。自組裝單層可以是，例如，有機娃燒(例如燒基二氣娃燒，氣化燒基二氣娃燒，二燒基娃燒，氣化三烷基硅烷等)。
[0024]SAM的前體化合物可存在于任何常規使用的有機溶劑、水、或其任意混合物中。合適的有機溶劑的示例可包括，但不限于，醇(如甲醇，乙醇，正丙醇，異丙醇，正丁醇，仲丁醇，叔丁醇，異丁醇，和雙丙酮醇)；酮類(如丙酮，甲乙酮，甲基異丁基酮)；二醇(例如，乙二醇，二甘醇，三甘醇，丙二醇，丁二醇，己二醇，1,3-丙二醇，1，4_ 丁二醇，1，2，4- 丁三醇，1，5-戊二醇，1，2-己二醇，1，6-己二醇)；乙二醇醚(例如，乙二醇二甲醚，和三甘醇二乙醚)；乙二醇醚乙酸酯(例如，丙二醇單甲基醚乙酸酯(PGMEA));乙酸酯(例如，乙酸乙酯，丁氧基乙氧基乙酸乙酯，丁基卡必醇醋酸酯(BCA)，二氫松油醇乙酸酯(DHTA));松油醇(例如，三甲基戊二醇單異丁酸酯(TEXANOL)) ;二氯乙烯(DCE);氯苯JPN-甲基_2_吡咯烷酮(NMP) ο
[0025]在溶液中的前體化合物的濃度可以由本領域技術人員根據預期應用和目的確定，可以是在約5至約20mM的范圍內。在無特別限制的情況下可實施浸潰步驟，并且可以在室溫下進行約20-120分鐘。類似地，其它方法可通過常規方法來進行。
[0026]選擇用于形成自組裝單層的前體化合物，使得所得的SAM具有所需的性能。在某些圖案中，需要低表面能的SAM。市售的低表面能的SAM的一個例子是1H，1H，2H，2H-全氟癸基三氯硅烷(可選的，十七氟-1，1，2，2-四氫癸基-1-三氯硅烷)[CAS =78560-44-8],當然，也可以使用其它低表面能SAM材料。一般類的含氟有機硅烷衍生物能作為低能量的SAM材料來使用。市售的低表面能SAM的其他例子包括:三氟丙基三甲氧基硅烷(trifluoropropyltrimethoxysilane) , 二十一氟十二燒基三氯娃燒(heneicosaf Iuorododecyltrichlorosilane)，九氟己基三甲氧基娃燒(nonaf Iuorohexyltrimethoxysilane)，甲基三氯娃燒，乙基二氣娃燒，丙基二甲氧基娃燒，己基二甲氧基娃燒，正羊基二乙氧基娃燒，正癸基二氯娃燒，十二燒基三氯娃燒(dodecyltrichlorosilane),和十八燒基三氯娃燒。在其他圖案中，需要高表面能的SAM。市售的高表面能的SAM的一個例子是(3-氨基丙基)-三甲氧基硅烷[CAS:13822-56-5]。當然，也可以使用其它高表面能的SAM材料。具有胺，醇，或巰基取代基的一般類有機娃燒將提供具有相對于以上材料的高表面能的SAM。一些市售的例子包括:(3_巰基丙基)三甲氧基硅烷，甲基11-[二氯(甲基)甲硅烷基]十一烷酸鹽，乙酰氧基乙基三氯娃燒(acetoxyethyltrichlorosi lane),和乙烯基三乙氧基娃燒。
[0027]該SAM圖案占據滑動件底部表面區域的至少10% (即，在ABS或相對于盤片或介質的滑動件側)，在一些實施方式中至少20%或至少25%。在一些實施例中，SAM圖案可以占據ABS的多達100%。SAM圖案通常關于滑動件的縱向軸線對稱，雖然在有些實施例中圖案可能是不對稱的。此外，兩個或更多個的SAM分子可以共沉積成具有多個SAM分子部分的隨機化的混合膜。
[0028]圖2至5示出了在滑動件上的SAM圖案的兩個例子，這兩個圖案由兩個SAM材料形成。在其它未示出的實施例中，該圖案可以由一個SAM材料或由不止兩個的SAM材料形成。無論采用一個、兩個或任意數量的SAM材料，所形成的圖案被配置成引導流體(例如，介質潤滑劑和/或污染物)在ABS上流動，無論是在介質盤旋轉且滑動件定位在盤片上的使用過程還是滑動件處于靜止狀態時(離開磁盤)。
[0029]在圖2和3中，滑動件下表面(即，ABS或面對盤片的滑動件表面)包括圖案化的高表面能SAM，用于從自然出現的停滯區域吸走流體(例如，流體液滴)。底部表面還包括滑動件中心墊周圍的圖案化低表面能SAM以便減少潤滑油的積累并由此清除沉淀。
[0030]轉到圖2所示，其示出了滑動件的底部表面(S卩，ABS或面對盤片的滑動件的表面)。滑動件120具有限定前緣124和后緣126的主體122，其位置都是本領域已知的。滑動件120包括工作表面或底部表面130 (也稱為先進的空氣軸承(AAB)表面)，其包括形成ABS的多種形貌特征(例如，凸起部分132，134和凹進部分136，137，138)。讀換能器140和寫換能器142位于靠近后緣126。盡管圖2已經示出了滑動件的一個特定實施例，可以理解的，對于形狀特征以及讀出換能器140和/或寫入換能器142的位置，滑動件可以具有任何數目的多種替代配置。例如，在一些實施例中讀出換能器140和/或寫入換能器142可以不位于底部表面130上，而是在后緣126的側壁上。
[0031]滑動件120的工作表面或底部表面130上具有連續的、不中斷的保護性碳涂層144，最好參考圖3。涂層144至少有50埃厚。在一些實施方案中，由于凹進部分136，137和凸起部分132，134的高度差，保護性碳涂層144在凹進部分136，137中可以不是連續的和非中斷的。在此類實施例中，至少凸起部分132，134上具有連續的、非中斷保護性碳涂層144，以及其上具有SAMS涂層的凹進部分136，137，138的任何部分。
[0032]SAM圖案150存在于保護性碳涂層144的至少一部分上，當介質盤片旋轉以及滑動件120被定位在盤片上時，其用于引導流體的流動。SAM圖案150可存在于任何的凸起部分132，134和凹進部分136，137，138上。值得注意的是，在SAM圖案150存在的所有位置中，其化學(例如，共價鍵，離子鍵)粘接到其所駐留的表面，如在碳保護涂層144上，或直接在底部表面130上。
[0033]在圖2中示出了流體流動的線；當沒有SAM圖案存在時，這些流體流動的路徑基于表面130上的多種形貌特征(例如，凸起部分132，134和凹進部分136，137，138)。SAM圖案150便于流體(如潤滑劑液滴)流動穿過整個表面130而流動到收集點，然后限定該流體離開表面130的路徑。圖案150關于滑動件120的縱向軸線(從前緣124延伸到后緣126)是對稱的，其具有第一區域152和第二區域154。第一區域152具有第一 SAM，在本實施例中，具有較低的表面能的SAM。第二區域154具有第二 SAM，在本實施例中，具有高表面能量的SAM。對于滑動件120，第一區域152和第二區域154都在凹進部分138中。
[0034]圖案150在滑動件120的中心墊區域周圍具有低表面能第一區域152。低表面能區域152被配置成減小在中心墊上的擴散，以由此減少間隙沉降。第一區域152根據底部表面130的形貌和流動圖案來設置位置、形狀和尺寸。圖案150具有高表面能第二區域154，其在自然出現的停滯區155的下游延伸到后緣126，其中流體液滴由于流體流動的路徑而被自然收集。第二區域154的位置、形狀和尺寸設置成引導在停滯區155自然收集的流體(特別是，任何潤滑劑和/或污染物的液滴)遠離滑動件120。由于有SAM圖案150，流體(例如，潤滑劑和/或污染物的液滴)容易沿著流體流線前行通過低能量的第一區域152到達停滯區域155，在停滯區域155它們在高能量的第二區域154的角部或端部收集。高表面能的第二區域154的存在使流體(例如，潤滑劑和/或污染物液滴)通過歸因于152和154之間表面能量的梯度的毛細力流過或吸離停滯區155到后緣126。
[0035]如圖2可以看出，圖案150從底部表面130的大致中點線延伸至后緣126，關于滑動件120的縱向軸線對稱。在所示的實施例中，滑動件120，特別是底部表面130，具有約900，000平方微米的面積(約900平方毫米)和圖案150占有底部表面130面積的約20-30%，第一區域152占據圖案150面積的約90%和第二區154占據圖案150面積的約10%。
[0036]在圖4和圖5中，滑動件的底部表面包括用于增強流體(如，潤滑劑和/或污染物的液滴)沿著自然出現的停滯線流動的圖案化的低表面能SAM，以及在低表面能區域的橫向外側的圖案化的高表面能SAM。圖4和5中的滑動件與圖2和3中的滑動件120具有不同的表面形貌和不同的SAM圖案。
[0037]轉到圖4，其示出了滑動件的底部表面(S卩，滑動件面對盤片的表面)。滑動件160具有限定了前緣164和后緣166的本體162，其位置都是本領域已知的。滑動件160包括工作或底部表面170，其包括形成ABS的多種形貌特征(例如，凸起部分172，173，174和凹進部分176，177，178)。讀換能器180和寫換能器182位于靠近后緣166處。
[0038]滑動件160的底部表面170上具有連續的、不中斷的保護性碳涂層184，最好參見圖5。在一些實施例中，由于凹進部分176，177，178和凸起部分172，173，174之間的高度差，保護性碳涂層184在凹進部分176，177，178中可以不是連續的和非中斷的。在此類實施例中，至少凸起部分172，173，174上具有連續的、不中斷的保護性碳涂層184。值得注意的是，在SAM圖案存在的所有位置，其在上述任何凹進部分或凸起部分中化學(例如，共價鍵，離子鍵)附著于滑動件ABS。
[0039]SAM圖案190存在于保護性碳涂層184的至少一部分上，當介質盤片旋轉以及滑動件160被定位在盤片上時，或者當滑動件160在非工作態離開盤片時，其被配置成引導流體的流動(通過毛細力)。與圖2類似，在圖4中示出了各種流體流動的線；當沒有SAM圖案存在時，這些流體流動路徑基于表面170上的多種形貌特征(例如，凸起部分172，173，174和凹進部分176，177，178)。SAM圖案190便于流體(例如，潤滑劑和/或污染物的液滴)由表面能梯度驅動而流動穿過表面170到達收集點，然后限定了該流體離開表面170的路徑。圖案190關于滑動件160縱向軸線對稱，其具有第一區域192和第二區域194。第一區域192具有第一 SAM，在本實施例中，具有較低的表面能的SAM。第二區域194具有第二SAM，在本實施例中，具有高表面能量的SAM。在本示例中，對于滑動件160，第一區域192和第二區域194都在凹進部分178中。
[0040]圖案190具有低表面能第一區域192，第一區域192存在于流體流中的停滯線自然出現的區域。高表面能第二區域194位于第一區域192的橫向外側。另外，第二區域194的一小部分與第二區域194的較大部分不連續，該小部分為第一區域192的下游并緊靠后緣166。圖案190使流體(如潤滑劑液滴)平穩導流遠離和離開ABS和ABB，從而減少讀換能器180和/或寫換能器182上的污染物積累。
[0041]如圖4所示，滑動件160從前緣164到后緣166的長度約為1220微米，以及圖案190開始于距前緣164約750微米并延伸至后緣166，關于滑動件160的縱向軸線對稱。在圖示的實施例中，滑動件160，特別是底部表面170，具有約900，000平方微米(大約900平方毫米)的面積，圖案190占據底部表面170約20-30%的面積，第一區域192占據圖案190約1/3的區域，以及第二區域194占據圖案190大約2/3的區域。
[0042]因此，具有自組裝單層圖案的滑動件的實施例被公開了。自組裝單層圖案(SAM)被配置成以高效的方式引導流體流經滑動件的工作表面。上述的實施例和其他實現方式都在所附權利要求的范圍之內。本領域技術人員可以理解的是，本發明可以基于不同于所公開的實施例而實施。所公開的實施例是出于說明目的而不是限制目的，并且本發明僅由所附的權利要求所限制。
【權利要求】
1.一種滑動件，其包括前緣、后緣、工作表面、以及靠近所述后緣的讀/寫頭，所述滑動件包括: 所述滑動件的工作表面上的厚度至少為50埃的連續保護涂層；以及在所述滑動件的工作表面以及保護涂層上的自組裝單層涂層，所述涂層包括至少一種自組裝單層材料。
2.如權利要求1所述的滑動件，其中所述自組裝單層涂層包括低表面能材料。
3.如權利要求2所述的滑動件，其中所述低表面能材料是氟化有機硅烷自組裝單層材料。
4.如權利要求2所述的滑動件，其中所述自組裝單層涂層包括所述低表面能材料和第二高表面能材料。
5.如權利要求4所述的滑動件，其中所述高表面能材料是氨基有機硅烷自組裝單層材料。
6.如權利要求4所述的滑動件，其中所述高表面能材料延伸到所述滑動件的后緣。
7.如權利要求1所述滑動件，其中所述自組裝單層涂層占據所述滑動件的工作表面的至少20%。
8.如權利要求1所述的滑動件，其中所述滑動件的工作表面包括凹進部分和凸起部分，并且其中所述自組裝單層涂層存在于所述凹進部分和凸起部分兩者中。
9.如權利要求1所述的滑動件，其中所述自組裝單層涂層的形狀和尺寸構造成引導流體流遠離所述讀/寫頭并到達所述滑動件的后緣。
10.一種滑動件，包括前緣、后緣、具有延伸至所述后緣的至少一個凹進部分的工作表面，所述滑動件還包括: 所述工作表面的至少一部分上的連續保護涂層；以及 所述工作表面上的自組裝單層涂層，所述涂層包括至少一種自組裝單層材料。
11.如權利要求10所述的滑動件，其中所述自組裝單層涂層位于所述保護涂層上。
12.如權利要求10所述的滑動件，其中所述自組裝單層涂層包括低表面能材料。
13.如權利要求12所述的滑動件，其中所述自組裝單層涂層包括所述低表面能材料和高表面能材料。
14.如權利要求13所述的滑動件，其中所述高表面能材料是氨基有機硅烷自組裝單層材料。
15.如權利要求12所述的滑動件，其中所述低表面能材料是氟化有機硅烷自組裝單層材料。
16.如權利要求10所述的滑動件，其中所述自組裝單層涂層包括具有多個SAM分子部分的兩個或更多自組裝單層材料。
17.如權利要求16所述滑動件，其中所述兩個或更多自組裝單層材料是隨機的。
18.—種滑動件，包括前緣、后緣、工作表面、靠近所述后緣的讀/寫頭以及從所述前緣延伸到所述后緣的縱向軸線，所述滑動件包括: 所述滑動件的工作表面上的自組裝單層涂層的預定圖案，所述預定圖案關于所述縱向軸線對稱。
19.如權利要求18所述的滑動件，其中所述預定圖案包括低表面能的自組裝單層涂層，其圖案關于所述縱向軸線對稱。
20.如權利要求19所述的滑動件，其中所述預定圖案還包括高表面能的自組裝單層涂層，其圖案關于所述縱向軸線對稱。
【文檔編號】G11B5/48GK104409082SQ201410534292
【公開日】2015年3月11日 申請日期:2014年7月10日 優先權日:2013年7月10日
【發明者】A·拉賈賽克哈蘭, D·J·埃利森, Q·郭 申請人:希捷科技有限公司