磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架的制作方法

磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架。其中，微型致動(dòng)器元件（31）設(shè)置在撓性件（22）的萬向節(jié)部（30）上。元件（31）的第一端部（31a）通過電絕緣的第一粘結(jié)劑（85a）固定到第一支承部（70）。第二端部（31b）通過電絕緣的第二粘結(jié)劑（85b）固定到第二支承部（72）。第一導(dǎo)體（87a）設(shè)置在第一支承部（70）上。位于接地側(cè)的第二導(dǎo)體（88）設(shè)置在第二支承部（72）上。第一電極（81）的一部分設(shè)置在元件（31）的第一端面（33）上。第一導(dǎo)電膏（86a）設(shè)置在第一電極（81）和第一導(dǎo)體（87a）之間。第二電極（82）的一部分設(shè)置在元件（31）的第二端面（35）上。第二導(dǎo)電膏（86b）設(shè)置在第二電極（82）和第二導(dǎo)體（88）之間。
【專利說明】磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架(suspension),該磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架包括為例如錯(cuò)鈦酸鉛(PZT)的微型致動(dòng)器元件。
【背景技術(shù)】
[0002]人們?cè)谥T如個(gè)人計(jì)算機(jī)之類的信息處理設(shè)備中使用硬盤驅(qū)動(dòng)器(HDD)。硬盤驅(qū)動(dòng)器包括可繞芯軸旋轉(zhuǎn)的磁盤、可繞樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)的托架等。包括致動(dòng)器臂在內(nèi)的托架構(gòu)造成通過諸如音圈馬達(dá)之類的定位馬達(dá)相對(duì)于盤的軌道橫向地繞樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)。 [0003]懸架安裝在致動(dòng)器臂上。懸架包括負(fù)載梁以及疊置于其上的撓性件。構(gòu)成磁頭的滑動(dòng)件安裝在形成于撓性件的遠(yuǎn)端部附近的萬向節(jié)部上?；瑒?dòng)件設(shè)置有用于訪問數(shù)據(jù)、即讀取或?qū)懭霐?shù)據(jù)的元件(轉(zhuǎn)換器)。負(fù)載梁、撓性件、滑動(dòng)件等構(gòu)成磁頭萬向節(jié)組件。
[0004]為了克服盤的記錄密度增大的問題，磁頭應(yīng)相對(duì)于各個(gè)盤的記錄表面更精確地定位。為了實(shí)現(xiàn)這一目的，已開發(fā)了兩級(jí)致動(dòng)器(DSA)懸架，這些懸架將定位馬達(dá)(音圈馬達(dá))和由諸如鋯鈦酸鉛(PZT)之類的壓電材料制成的微型致動(dòng)器元件結(jié)合。
[0005]懸架的遠(yuǎn)端可通過向致動(dòng)器元件施加電壓并由此使致動(dòng)器元件變形來沿?cái)[動(dòng)方向(或相對(duì)于軌道橫向)快速運(yùn)動(dòng)極小距離。如在日本專利申請(qǐng)?zhí)卦S公開第2010-146631號(hào)(專利文獻(xiàn)I)和第2010-218626號(hào)(專利文獻(xiàn)2)中公開的那樣，此外，已知微型致動(dòng)器元件設(shè)置在撓性件的萬向節(jié)部上的DSA懸架。
[0006]在滑動(dòng)件和微型致動(dòng)器元件安裝在萬向節(jié)部上的磁頭萬向節(jié)組件中，微型致動(dòng)器元件通過粘結(jié)劑固定到萬向節(jié)部。此外，對(duì)于導(dǎo)電電路部和微型致動(dòng)器元件的電極之間的導(dǎo)電，將諸如銀膏的導(dǎo)電膏涂覆到導(dǎo)電電路部的導(dǎo)體上。將微型致動(dòng)器元件的電極部分疊置于導(dǎo)電膏上。
[0007]在這種傳統(tǒng)的接頭結(jié)構(gòu)的情形下，微型致動(dòng)器元件的電極部分和導(dǎo)電膏之間的粘結(jié)面與微型致動(dòng)器元件的伸出和縮回方向(行程方向)平行。因此，當(dāng)微型致動(dòng)器元件伸出和縮回時(shí)，平面內(nèi)剪切力被施加到粘結(jié)面。粘結(jié)面上的導(dǎo)電膏比諸如環(huán)氧樹脂的粘結(jié)劑更易碎斷且粘性更小。如果將平面內(nèi)剪切力反復(fù)地施加到粘結(jié)表面，則會(huì)在粘結(jié)面上發(fā)生滑移，從而造成粘結(jié)面的分離。這種粘結(jié)面的分離會(huì)造成缺陷的連續(xù)性。在微型致動(dòng)器元件的周緣表面的一部分內(nèi)形成有用于電絕緣的狹縫的情況下，導(dǎo)電膏位于該狹縫附近。由此，導(dǎo)電膏會(huì)掉入狹縫內(nèi)，由此造成電極間短路。
[0008]根據(jù)另一傳統(tǒng)示例，可將諸如引線或接合線的導(dǎo)電構(gòu)件連接到微型致動(dòng)器元件的電極，以使它們彼此導(dǎo)電。在此情況下，導(dǎo)電構(gòu)件設(shè)置在微型致動(dòng)器元件的表面附近。因此，如果受到外部機(jī)械沖擊，該微型致動(dòng)器元件可能會(huì)由于與導(dǎo)電構(gòu)件接觸而被破壞。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]由此，本發(fā)明的目的是提供一種磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架，該磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架構(gòu)造成能確保微型致動(dòng)器元件的電極和導(dǎo)體之間的導(dǎo)電，并且能使諸如引線之類的導(dǎo)電構(gòu)件不位于微型致動(dòng)器元件的表面附近。
[0010]根據(jù)實(shí)施例的磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架包括負(fù)載梁和由金屬基部構(gòu)成的撓性件。撓性件包括固定到負(fù)載梁的固定部分和其上安裝有滑動(dòng)件的萬向節(jié)部。一對(duì)微型致動(dòng)器元件設(shè)置在滑動(dòng)件的兩側(cè)。各個(gè)微型致動(dòng)器元件包括沿元件伸出和縮回方向(行程方向)設(shè)置的第一端部和第二端部。萬向節(jié)部的一部分形成有一對(duì)第一支承部、一對(duì)第二支承部和其上安裝有滑動(dòng)件的舌形件，該對(duì)微型致動(dòng)器元件的對(duì)應(yīng)第一端部固定到該對(duì)第一支承部，而微型致動(dòng)器元件的對(duì)應(yīng)第二端部固定到該對(duì)第二支承部。第一導(dǎo)體設(shè)置在第一支承部中的每個(gè)上。第二導(dǎo)體設(shè)置在第二支承部中的每個(gè)上。第一電極至少設(shè)置在微型致動(dòng)器元件的第一端部中的每個(gè)的端面上。第二電極至少設(shè)置在微型致動(dòng)器元件的第二端部中的每個(gè)的端面上。第一端部和第一支承部通過電絕緣的第一粘結(jié)劑彼此固定。第二端部和第二支承部通過電絕緣的第二粘結(jié)劑彼此固定。第一導(dǎo)電膏設(shè)置在第一端部的端面上的第一電極和第一導(dǎo)體之間。第一導(dǎo)電膏使第一電極和第一導(dǎo)體彼此電連接。第二導(dǎo)電膏設(shè)置在第二端部的端面上的第二電極和第二導(dǎo)體之間。第二導(dǎo)電膏使第二電極和第二導(dǎo)體彼此電連接。
[0011]根據(jù)該實(shí)施例的設(shè)置，可以使支承部上的導(dǎo)體和微型致動(dòng)器元件的電極之間的導(dǎo)電膏的粘結(jié)面較不容易分離。由此，即便微型致動(dòng)器元件通過施加電壓而反復(fù)伸出和縮回，也可確保通過導(dǎo)電膏的電連接。此外，不必將諸如弓丨線或接合線之類的導(dǎo)電構(gòu)件設(shè)置在微型致動(dòng)器元件的表面附近。因此，可防止微型致動(dòng)器元件由于與導(dǎo)電構(gòu)件接觸而受破壞。
[0012]在上述實(shí)施例中，舌形件可包括第一舌部、第二舌部和鉸接部。第一舌部形成于該對(duì)第一支承部之間?；瑒?dòng)件的前側(cè)部被設(shè)置成用于在第一舌部上運(yùn)動(dòng)。第二舌部形成于該對(duì)第二支承部之間?；瑒?dòng)件的尾側(cè)部固定到第二支承部。鉸接部形成于第一和第二舌部之間。鉸接部比第一和第二舌部窄，并可樞轉(zhuǎn)地連接這些舌部。在此實(shí)施例中，形成于負(fù)載梁上的凹窩的凸表面的遠(yuǎn)端可構(gòu)造成與鉸接部鄰接。
[0013]第二導(dǎo)體的示例是用于各個(gè)微型致動(dòng)器元件的第二電極和金屬基部之間的電連接的接地側(cè)導(dǎo)體。磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架可包括覆蓋第一導(dǎo)體并包括第一開口的覆蓋層和覆蓋第二導(dǎo)體并包括第二開口的覆蓋層。第一導(dǎo)體的上表面的一部分通過第一開口露出。第一導(dǎo)電膏的一部分在第一開口內(nèi)固化。第二導(dǎo)體的上表面的一部分通過第二開口露出。第二導(dǎo)電骨的一部分在第二開口內(nèi)固化。
[0014]在下面的說明書中將提出本發(fā)明的其它目的和優(yōu)點(diǎn)，這些其它目的和優(yōu)點(diǎn)部分地將從說明書中變得明白，或可通過對(duì)本發(fā)明的實(shí)踐來學(xué)到。借助于在下文中特別指出的手段和組合，可實(shí)現(xiàn)和達(dá)到本發(fā)明的目的和優(yōu)點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]包含于此并構(gòu)成本說明書一部分的附圖示出本發(fā)明的實(shí)施例，它與上面給出的總體描述和下面給出的對(duì)實(shí)施例的詳細(xì)描述一起用來揭示本發(fā)明的原理。
[0016]圖1是示出磁盤驅(qū)動(dòng)器的一個(gè)示例的立體圖；
[0017]圖2是圖1中所示的磁盤驅(qū)動(dòng)器的局部剖視圖；
[0018]圖3是根據(jù)第一實(shí)施例的懸架的立體圖；
[0019]圖4是從滑動(dòng)件看的圖3的懸架的微型致動(dòng)器安裝部段的立體圖；
[0020]圖5是從舌形件看的圖4的微型致動(dòng)器安裝部段的立體圖；[0021]圖6是圖5的微型致動(dòng)器安裝部段的平面圖；
[0022]圖7是從與圖5相對(duì)側(cè)看的、圖5的微型致動(dòng)器安裝部段的仰視圖；
[0023]圖8是懸架的撓性件的導(dǎo)電電路部的局部剖視圖；
[0024]圖9是圖4的微型致動(dòng)器安裝部段的剖視圖；
[0025]圖10是示出位于負(fù)載梁上的凹窩和萬向節(jié)部的一部分的剖視圖；
[0026]圖11是圖5的微型致動(dòng)器安裝部段的撓性件的萬向節(jié)部的平面圖；
[0027]圖12是圖7的微型致動(dòng)器元件的第一接頭部的放大仰視圖；
[0028]圖13是圖7的微型致動(dòng)器元件的第二接頭部的放大仰視圖；
[0029]圖14是示意地示出微型致動(dòng)器元件被致動(dòng)的微型致動(dòng)器安裝部段的平面圖；
[0030]圖15是根據(jù)第二實(shí)施例的微型致動(dòng)器安裝部段的仰視圖；
[0031]圖16是根據(jù)第三實(shí)施例的微型致動(dòng)器安裝部段的仰視圖；以及
[0032]圖17是根據(jù)第四實(shí)施例的微型致動(dòng)器安裝部段的仰視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0033]現(xiàn)將參照?qǐng)D1至14描述根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架。
[0034]圖1中所示的磁盤驅(qū)動(dòng)器(HDD)I包括殼體2、可繞芯軸3轉(zhuǎn)動(dòng)的磁盤4、可繞樞軸5轉(zhuǎn)動(dòng)的托架6、用于致動(dòng)托架6的定位馬達(dá)(音圈馬達(dá))7等。用蓋子(未示出)來密封殼體2。
[0035]圖2是示意地示出磁盤驅(qū)動(dòng)器I的一部分的剖視圖。如圖1和2中所示，托架6包括臂(托架臂)8。在各個(gè)臂8的遠(yuǎn)端部上安裝有懸架10。構(gòu)成磁頭的滑動(dòng)件11設(shè)置在該懸架10的遠(yuǎn)端上。在各個(gè)磁盤4以高速旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，當(dāng)空氣流入磁盤4和滑動(dòng)件11之間時(shí)，在磁盤與滑動(dòng)件11之間形成有空氣軸承。如果定位馬達(dá)7使托架6轉(zhuǎn)動(dòng)，則懸架10相對(duì)于磁盤4徑向運(yùn)動(dòng)。此時(shí)，滑動(dòng)件11運(yùn)動(dòng)到磁盤4的所期望的軌道。
[0036]圖3示出兩級(jí)致動(dòng)器(DSA)型的懸架10。該懸架10包括固定到托架6的對(duì)應(yīng)臂8 (圖1和2)上的基板20、負(fù)載梁21、具有導(dǎo)體的撓性件22、位于懸架10的遠(yuǎn)端附近的微型致動(dòng)器安裝部段23等。在基板20上形成有將插入各個(gè)臂8中的孔8a (圖2)內(nèi)的凸臺(tái)部 20a。
[0037]在圖3中，箭頭X和Y分別表示負(fù)載梁21的縱向、即懸架10的縱向(前后方向)和擺動(dòng)方向(滑動(dòng)件11的橫向)。在負(fù)載梁21的近側(cè)部(后端部)上形成有能沿厚度方向彈性變形的彈性部25。撓性件22沿負(fù)載梁21設(shè)置。
[0038]圖4是從滑動(dòng)件11側(cè)看的、微型致動(dòng)器安裝部段23的立體圖。微型致動(dòng)器安裝部段23設(shè)置在懸架10的遠(yuǎn)端部上。能在磁信號(hào)和電信號(hào)之間轉(zhuǎn)換的諸如磁阻(MR)元件之類的元件28設(shè)置在構(gòu)成磁頭的滑動(dòng)件11端部上。這些元件28用于訪問數(shù)據(jù)，即，將數(shù)據(jù)寫入磁盤4或從磁盤4讀出數(shù)據(jù)。滑動(dòng)件11、負(fù)載梁21、撓性件22等構(gòu)成磁頭萬向節(jié)組件。
[0039]微型致動(dòng)器安裝部段23包括形成于撓性件22的遠(yuǎn)端部上的萬向節(jié)部30和一對(duì)微型致動(dòng)器元件31和32。這些微型致動(dòng)器元件31和32單獨(dú)地設(shè)置在萬向節(jié)部30上的滑動(dòng)件11的相對(duì)兩側(cè)。微型致動(dòng)器元件31和32由PZT等的壓電板構(gòu)成，并具有借助后文詳細(xì)描述的結(jié)構(gòu)來使滑動(dòng)件11沿?cái)[動(dòng)方向樞轉(zhuǎn)的功能。[0040]圖5是從與圖4相對(duì)的一側(cè)看的撓性件22的遠(yuǎn)端部上的萬向節(jié)部30的立體圖。微型致動(dòng)器元件31和32設(shè)置在萬向節(jié)部30上。圖6是示出萬向節(jié)部30和微型致動(dòng)器元件31和32的平面圖。撓性件22包括由不銹鋼板制成的金屬基部40和導(dǎo)電電路部41。導(dǎo)電電路部41沿金屬基部40設(shè)置。導(dǎo)電電路部41包括與金屬基部40交疊的部分和不與金屬基部40交疊的部分。圖7是從導(dǎo)電電路部41側(cè)看的、微型致動(dòng)器安裝部段23的仰視圖。
[0041]金屬基部40固定到負(fù)載梁21。固定裝置的示例包括通過激光焊接形成的第一焊點(diǎn)Wl (圖3、6、7等)和第二焊點(diǎn)W2 (圖3到7)。撓性件22包括第一和第二固定部分22a和22b。第一固定部分22a通過焊點(diǎn)Wl在懸架10的沿前后方向的中間部分處固定到負(fù)載梁21。第二固定部分22a通過焊點(diǎn)W2在撓性件22的遠(yuǎn)端部附近的位置處固定到負(fù)載梁21。撓性件22的后部22c (圖3)從基板20向后延伸。
[0042]如圖5到7中所示，撓性件22的金屬基部40包括一對(duì)第一臂51和52以及一對(duì)第二臂53和54。第一臂51和52與第一固定部分22a連接，而第二臂53和54與第二固定部分22b連接。第一臂51和52的對(duì)應(yīng)遠(yuǎn)端部51a和52a為U形。第二臂53和54的對(duì)應(yīng)后端連接到遠(yuǎn)端部51a和52a附近。第一臂51和52以及第二臂53和54構(gòu)成用于彈性支承萬向節(jié)部30的臂部55。
[0043]圖8示出金屬基部40和導(dǎo)電電路部41的剖視圖的示例。導(dǎo)電電路部41包括絕緣層60、寫入導(dǎo)體61、讀出導(dǎo)體62和覆蓋層63。絕緣層60和覆蓋層63由諸如聚酰亞胺的彈性絕緣樹脂制成。導(dǎo)體61和62形成于絕緣層60上。覆蓋層63覆蓋導(dǎo)體61和62。寫入導(dǎo)體和讀出導(dǎo)體61和62連接到滑動(dòng)件11的元件28。例如，金屬基部40為20微米(12到25微米)厚；絕緣層60為10微米(5到20微米)厚；導(dǎo)體61和62為9微米(4到15微米)厚；以及覆蓋層63為5微米(2到10微米)。金屬基部40的厚度小于負(fù)載梁21的厚度(例如，30微米)。
[0044]該對(duì)微型致動(dòng)器元件31和32設(shè)置在撓性件22的萬向節(jié)部30上。萬向節(jié)部30包括面向負(fù)載梁21的第一表面30a (圖5和10)以及與第一表面30a相對(duì)的第二表面30b(圖4和10)?；瑒?dòng)件11和微型致動(dòng)器元件31和32設(shè)置在第二表面30b上。
[0045]微型致動(dòng)器元件31和32分別包括第一端部31a和32a以及第二端部31b和32b。圖4、6和7中的箭頭Xl和X2分別表示關(guān)于微型致動(dòng)器元件31和32的前進(jìn)和后退方向。微型致動(dòng)器元件31和32的第一端部31a和32a分別固定到形成于萬向節(jié)部30上的一對(duì)第一支承部70和71。第一支承部70和71分別通過撓性第一臂51和52與撓性件22的第一固定部分22a連接。第一臂51和52的遠(yuǎn)端部51a和52a分別通過第二臂53和54與撓性件22的第二固定部分22b連接。因此，第一支承部70和71通過臂部55支承在固定部分22a和22b上，臂部55能相對(duì)于負(fù)載梁21彈性變形。臂部55包括第一臂51和52以及第二臂53和54。微型致動(dòng)器元件31和32的第二端部31b和32b分別固定到形成于萬向節(jié)部30上的一對(duì)第二支承部72和73。
[0046]圖9示出(該對(duì)微型致動(dòng)器元件31和32的)一個(gè)微型致動(dòng)器元件31的接頭部Jl和J2的剖視圖。微型致動(dòng)器元件31包括形成于其縱向相對(duì)兩端上的相對(duì)端部31a和31b。圖9中的箭頭X3表示微型致動(dòng)器元件31的縱向、即元件31伸出和縮回的方向(行程方向)。
[0047]元件31的相對(duì)端部31a和31b固定到萬向節(jié)部30，并通過接頭部Jl和J2電連接到導(dǎo)電電路部41。圖12是示出第一接頭部Jl及其周圍的放大圖。圖13是示出第二接頭部J2及其周圍的放大圖。由于另一微型致動(dòng)器元件32的相對(duì)端部32a和32b處的接頭部以與圖9、12和13中所示的相同方式來構(gòu)造，所以下面將代表性地描述一個(gè)微型致動(dòng)器元件31的接頭部Jl和J2。
[0048]如圖9中所示,微型致動(dòng)器元件31包括元件本體80和形成于元件本體80的周緣表面上的第一和第二電極81和82。元件本體80例如由鋯鈦酸鉛(PZT)制成。第一電極81至少設(shè)置在第一端部31a的端面(第一端面33)上。例如，本實(shí)施例的第一電極81設(shè)置成范圍從元件31的第一端面33到其下表面34。
[0049]第二電極82至少設(shè)置在第二端部31b的端面(第二端面35)上。例如，本實(shí)施例的第二電極82設(shè)置成范圍從元件31的第二端面35到其上表面36。在第一和第二電極81和82之間形成有用于電絕緣的狹縫37和38。
[0050]如圖9和12中所示，在第一接頭部Jl處，第一導(dǎo)體87a設(shè)置在第一支承部70上。第一導(dǎo)體87a形成于導(dǎo)電電路部41的絕緣層60的一部分60a上。在覆蓋層63內(nèi)形成有第一開口 63a。第一導(dǎo)體87a的上表面的至少一部分在第一開口 63a內(nèi)露出。在不出導(dǎo)電電路部41的圖12中，省略了對(duì)覆蓋層的說明(圖8)。
[0051]如圖9和13中所示，在第二接頭部J2處，接地側(cè)的第二導(dǎo)體88設(shè)置在第二支承部72上。第二導(dǎo)體88固定于并導(dǎo)通到金屬基部40。在覆蓋層63內(nèi)形成有第二開口 63b。第二導(dǎo)體8的上表面的至少一部分在第二開口 63b內(nèi)露出。
[0052]微型致動(dòng)器元件31的第一端部31a通過電絕緣的第一粘結(jié)劑85a固定到萬向節(jié)部30的第一支承部70(圖9)。更具體來說，微型致動(dòng)器元件31包括角部33a，第一端面33和下表面34在該角部33a處彼此相交。角部33a通過例如環(huán)氧樹脂的第一粘結(jié)劑85a固定到金屬基部40。
[0053]第一導(dǎo)電膏(例如，銀膏)86a設(shè)置在第一端面33上的第一電極81和第一導(dǎo)體87a之間。第一膏86a用作第一電極81和第一導(dǎo)體87a之間電連接的導(dǎo)電裝置。第一粘結(jié)劑85a和第一膏86a用作將兀件31的第一端部31a固定到第一支承部70的固定裝置。第一端面33和第一導(dǎo)體87a的上表面之間的角度Θ1 (圖9)為大致直角(90° )。
[0054]微型致動(dòng)器元件31的第二端部31b通過電絕緣第二粘結(jié)劑85b固定到萬向節(jié)部30的第二支承部72 (圖9)。更具體來說，微型致動(dòng)器元件31包括角部35a，下表面34和第二端面35在該角部35a處彼此相交。角部35a通過例如環(huán)氧樹脂的第二粘結(jié)劑85b固定到金屬基部40。
[0055]第二導(dǎo)電膏(例如，銀膏)86b設(shè)置在第二端面35上的第二電極82和接地側(cè)的第二導(dǎo)體88之間。第二膏86b用作第二電極82和第二導(dǎo)體88之間電連接的導(dǎo)電裝置。第二粘結(jié)劑85b和第二膏86b用作將元件31的第二端部31b固定到第二支承部72的固定裝置。第二端面35和接地側(cè)的第二導(dǎo)體88的上表面之間的角度Θ 2 (圖9)為大致直角(90° )。
[0056]如圖5和6中所示，撓性件22的萬向節(jié)部30包括位于固定側(cè)的第一舌部91、可動(dòng)的第二舌部92和形成于舌部91和92之間的鉸接部93。第一舌部91形成于第一支承部70和71之間，而第二舌部92形成于第二支承部72和73之間。鉸接部93形成于第一和第二舌部91和92之間。第一支承部70和71、第二支承部72、第一和第二舌部91和92以及鉸接部93構(gòu)成金屬基部40的一部分，且例如通過蝕刻來形成它們各自的輪廓。第一和第二舌部91和92以及鉸接部93構(gòu)成舌形件90，該舌形件90構(gòu)造成將滑動(dòng)件11承載于其上。[0057]如圖7中所示，導(dǎo)電電路部41左右分叉，并通過第一和第二舌部91和92上方。用于滑動(dòng)件11的端子41a形成于導(dǎo)電電路部41的遠(yuǎn)端上。這些端子41a導(dǎo)通到導(dǎo)電電路部41的導(dǎo)體61和62，并電連接到滑動(dòng)件11的元件28(圖4)。用于微型致動(dòng)器元件31和32的導(dǎo)體87單獨(dú)設(shè)置在導(dǎo)電電路部41的相對(duì)左右兩側(cè)。導(dǎo)體87導(dǎo)通到第一支承部70和72上的導(dǎo)體87a。
[0058]導(dǎo)電電路部41包括第一和第二布線型式部41b和41c。第一布線型式部41b設(shè)置在微型致動(dòng)器元件31和32之間。第二布線型式部41c相對(duì)于萬向節(jié)部30從第一布線型式部41b向后延伸。在第二布線型式部41c的縱向部分上形成有彎曲部41d。彎曲部41d用于減小第一臂51和52之間的導(dǎo)電電路部41的彎曲剛度。
[0059]因此，導(dǎo)電電路部41包括設(shè)置在該對(duì)微型致動(dòng)器元件31和32之間的第一布線型式部41b。第一布線型式部41b在微型致動(dòng)器元件31和32之間通過。第一布線型式部41b相對(duì)于萬向節(jié)部30從滑動(dòng)件11的前側(cè)部Ila向后延伸。在微型致動(dòng)器元件31和32之間設(shè)置有鉸接部93。換言之，第一布線型式部41b在鉸接部93的各側(cè)處通過，并相對(duì)于萬向節(jié)部30縱向延伸。此外，第一布線型式部41b通過聚酰亞胺等的絕緣層60固定到第一和第二舌部91和92。
[0060]圖10是在鉸接部93所在位置處剖取的負(fù)載梁21和萬向節(jié)部30的局部剖視圖。圖11是萬向節(jié)部30的平面圖。鉸接部93的寬度LI比第一和第二舌部91和92中每個(gè)舌部的寬度L2小得多。狹縫94和95在舌部91和92之間各自形成于鉸接部93的相對(duì)兩偵U。舌部91和92通過受限的鉸接部93相對(duì)可樞轉(zhuǎn)地連接在一起。由此，可動(dòng)的第二舌部92構(gòu)造成沿由圖11中的箭頭A和B所示方向、相對(duì)于固定側(cè)上的第一舌部91運(yùn)動(dòng)。
[0061]滑動(dòng)件11設(shè)置在第一和第二舌部91和92以及鉸接部93上。此外，滑動(dòng)件11的前側(cè)部Ila設(shè)置成相對(duì)于第一舌部91運(yùn)動(dòng)?；瑒?dòng)件11的尾側(cè)部Ilb固定到第二舌部92。文中所述的“前側(cè)”是當(dāng)磁盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)空氣流入滑動(dòng)件11和磁盤4之間的那側(cè)。另一方面，“尾側(cè)”是滑動(dòng)件11與磁盤4之間的空氣流出的那側(cè)。鉸接部93形成于滑動(dòng)件11的中心位置11c，例如，滑動(dòng)件11的重心或者滑動(dòng)件關(guān)于橫向和縱向的中心。
[0062]在負(fù)載梁21的遠(yuǎn)端附近形成有凹窩100(圖10)。凹窩100包括由向萬向節(jié)部30突出的凸表面構(gòu)成的支承突出部100a。支承突出部IOOa的遠(yuǎn)端與鉸接部93鄰接。換言之，鉸接部93由凹窩100的凸表面可擺動(dòng)地支承。由此，將萬向節(jié)部30支承為可相對(duì)于負(fù)載梁21繞鉸接部93和凹窩100的遠(yuǎn)端之間的接觸點(diǎn)Pl擺動(dòng)。
[0063]或者，凹窩可形成于鉸接部93上，因而，其遠(yuǎn)端與負(fù)載梁21鄰接。簡而言之，諸如凹窩之類的支承突出部IOOa應(yīng)僅形成于負(fù)載梁21和鉸接部93對(duì)應(yīng)的相面對(duì)的表面中的一個(gè)上，以使它與另一面對(duì)的表面鄰接。
[0064]一個(gè)開口 110 (位于圖11的右側(cè))形成于第一和第二支承部70和72之間。開口110與一個(gè)狹縫94連通。另一開口 111 (位于圖11的左側(cè))形成于第一和第二支承部71和73之間。開口 111與另一狹縫95連通。
[0065]由于開口 110和111由此分別形成于舌部91和92的相對(duì)兩側(cè)，可防止元件31和32的縱向中間部與舌部91和92接觸。如果懸架10受到外部機(jī)械沖擊，則因此可防止元件31和32的縱向中間部被舌部91和92撞擊。因此，可防止元件31和32由于被撞擊而被破壞。文中所述的縱向是微型致動(dòng)器元件31和32的伸出和縮回行程的方向。[0066]本實(shí)施例的微型致動(dòng)器安裝部段23包括限制構(gòu)件120和121。限制構(gòu)件120和121用于保護(hù)舌部91和92在模制外殼10受到外部機(jī)械沖擊時(shí)不會(huì)過度振動(dòng)。同樣，限制構(gòu)件120和121具有使鉸接部93不遠(yuǎn)離凹窩100 (凹窩分離)的功能。
[0067]圖13示出位于圖7左側(cè)的(該對(duì)限制構(gòu)件120和121的)限制構(gòu)件120。另一限制構(gòu)件121以與圖13中所示的一個(gè)限制構(gòu)件120相同的方式構(gòu)造，設(shè)定它們是雙側(cè)對(duì)稱的。因此，下面將代表性地描述一個(gè)限制構(gòu)件120。在示出導(dǎo)電電路部41的圖13中，省去對(duì)覆蓋層的說明(圖8)。
[0068]圖13中所示的限制構(gòu)件120由與導(dǎo)電電路部41的絕緣層60 (圖8)相同的電絕緣樹脂構(gòu)成。樹脂的示例是聚酰亞胺。當(dāng)絕緣層60形成時(shí)，限制構(gòu)件120如圖13中所示通過與絕緣層60 —起蝕刻來形成輪廓?；蛘?，可通過例如將樹脂施加到掩膜的金屬基部來形成預(yù)定形狀的限制構(gòu)件。
[0069]限制構(gòu)件120包括接地結(jié)點(diǎn)130、第一橋接部131和第二橋接部132。接地結(jié)點(diǎn)130固定到第二支承部72。第一橋接部131沿第一方向(或相對(duì)于萬向節(jié)部30向后)從接地結(jié)點(diǎn)130延伸。第二橋接部132沿第二方向(或相對(duì)于萬向節(jié)部30向前)從接地結(jié)點(diǎn)130延伸。接地結(jié)點(diǎn)130相對(duì)于萬向節(jié)部30從絕緣層60的一部分60b向外延伸。絕緣層60的部分60b形成于第二支承部72上。位于接地側(cè)的第二導(dǎo)體88設(shè)置在第二支承部72上。
[0070]第一橋接部131的遠(yuǎn)端(后端)133連接到第一臂51的遠(yuǎn)端部51a。第二橋接部132的遠(yuǎn)端(前端)134連接到第二臂53。當(dāng)從萬向節(jié)部30上方看，第一和第二橋接部131和132是波形的。限制構(gòu)件120的這種形狀不會(huì)阻礙通過施加電壓來驅(qū)動(dòng)的微型致動(dòng)器元件31和32的運(yùn)動(dòng)。
[0071]接地結(jié)點(diǎn)130和對(duì)應(yīng)的第一和第二橋接部131和132的對(duì)應(yīng)遠(yuǎn)端133和134通過絕緣層60的樹脂的粘結(jié)性而各自固定到金屬基部40。如圖9中所示，第二支承部72形成有第二導(dǎo)體(接地側(cè)導(dǎo)體)88。第二導(dǎo)體88使微型致動(dòng)器元件31的第二電極82與金屬基部40電連接。接地結(jié)點(diǎn)130以它在第二支承部72處被夾在金屬基部40和第二導(dǎo)體88之間的方式而固定到金屬基部40。
[0072]下面說明本實(shí)施例的懸架10的操作。
[0073]如果托架6 (圖1和2)由定位馬達(dá)7轉(zhuǎn)動(dòng)，懸架10相對(duì)于磁盤4徑向運(yùn)動(dòng)。此時(shí)，磁頭的滑動(dòng)件11運(yùn)動(dòng)到磁盤4的記錄表面的所期望的軌道上。如果將電壓施加到微型致動(dòng)器元件31和32，微型致動(dòng)器元件31和32關(guān)于電壓而彼此相對(duì)地扭曲。這樣，負(fù)載梁21可沿?cái)[動(dòng)方向(由圖3中的箭頭Y所示)運(yùn)動(dòng)極小的距離。
[0074]如圖14中示意性的示出的，例如，當(dāng)一個(gè)和另一個(gè)微型致動(dòng)器元件31和32分別縮回和伸出時(shí)，第二舌部92沿箭頭A的方向運(yùn)動(dòng)。因此，滑動(dòng)件11上的元件28 (圖4)可快速而精確地沿?cái)[動(dòng)方向定位。實(shí)際上，滑動(dòng)件11沿?cái)[動(dòng)方向的運(yùn)動(dòng)距離范圍從幾納米到幾十納米。然而，在圖14中，為了更好地理解滑動(dòng)件11和第二舌部92的運(yùn)動(dòng)，夸張地示出萬向節(jié)部30的變形程度。
[0075]在本實(shí)施例的微型致動(dòng)器安裝部段23中，如果驅(qū)動(dòng)微型致動(dòng)器元件31和32，可動(dòng)的第二舌部92繞鉸接部93、相對(duì)于固定側(cè)的第一舌部91橫向樞轉(zhuǎn)?；瑒?dòng)件11的尾側(cè)部Ilb固定到第二舌部92。與此相對(duì)，滑動(dòng)件11的前側(cè)部Ila相對(duì)于第一舌部91可動(dòng)。如圖10中所示，凹窩100的遠(yuǎn)端在接觸點(diǎn)Pl處與鉸接部93鄰接。[0076]如果通過施加電壓而驅(qū)動(dòng)微型致動(dòng)器元件31和32，則因此第二舌部92和滑動(dòng)件11繞與凹窩100的接觸點(diǎn)Pl樞轉(zhuǎn)。因此，滑動(dòng)件11的樞轉(zhuǎn)中心可與接觸點(diǎn)Pl的位置匹配。這樣，凹窩100的遠(yuǎn)端可以在驅(qū)動(dòng)微型致動(dòng)器元件31和32 (或當(dāng)滑動(dòng)件11樞轉(zhuǎn))時(shí)不與撓性件22摩擦。由此，可以抑制在第二舌部92的樞轉(zhuǎn)期間產(chǎn)生高摩擦阻力或致污染作用。
[0077]此外，微型致動(dòng)器元件31和32在與滑動(dòng)件11相同的一側(cè)設(shè)置在萬向節(jié)部30的第二表面30b上。因此，無須使微型致動(dòng)器元件31和32中每個(gè)微型致動(dòng)器元件的厚度比凹窩100的突出部高度小。由此，可將較厚的結(jié)構(gòu)用于微型致動(dòng)器元件31和32。由此，可用的微型致動(dòng)器元件31和32提供高輸出負(fù)載和機(jī)械強(qiáng)度，并難以斷裂。
[0078]如上所述，第一布線型式部41b設(shè)置在微型致動(dòng)器元件31和32之間。第一布線型式部41b在鉸接部93的各側(cè)處通過，并相對(duì)于萬向節(jié)部30縱向延伸。具體來說，第一布線型式部41b在被驅(qū)動(dòng)的微型致動(dòng)器元件31和32作極少運(yùn)動(dòng)的鉸接部93的接觸點(diǎn)Pl附近通過。第二布線型式部41c相對(duì)于萬向節(jié)部30從微型致動(dòng)器元件31和32之間向后延伸。
[0079]在包括以此方式構(gòu)造的導(dǎo)電電路部41在內(nèi)的微型致動(dòng)器安裝部段23中，被驅(qū)動(dòng)的元件31和32比導(dǎo)電電路部設(shè)置在微型致動(dòng)器元件外的傳統(tǒng)形式運(yùn)動(dòng)得要少。由此，當(dāng)元件31和32被驅(qū)動(dòng)時(shí)，可防止導(dǎo)電電路部41張緊或搖擺。此外，導(dǎo)電電路部41不位于元件31和32上方，因而，可以防止元件31和32由于與導(dǎo)電電路部41接觸而被破壞。
[0080]如圖9中所示，位于接地側(cè)的第二導(dǎo)體88設(shè)置在第二支承部72上。第二導(dǎo)體88使微型致動(dòng)器元件31的第二電極82與金屬基部40電連接。第二導(dǎo)體88固定到金屬基部40。由此，限制構(gòu)件120的接地結(jié)點(diǎn)130由第二導(dǎo)體88和金屬基部40牢固地固定在第二支承部72處。由此，接地結(jié)點(diǎn)130不會(huì)在第二支承部72處容易地與金屬基部40分離。如果第二舌部92隨著所驅(qū)動(dòng)的元件31樞轉(zhuǎn)或者受外部振動(dòng),則應(yīng)力反復(fù)地施加到接地結(jié)點(diǎn)130。盡管有此應(yīng)力，但接地結(jié)點(diǎn)130仍不會(huì)容易地與第二支承部72分離。
[0081]本實(shí)施例的微型致動(dòng)器安裝部段23包括具有上述構(gòu)造的接頭部Jl和J2。這些接頭部Jl和J2用于防止從導(dǎo)電膏86a的粘結(jié)面滑動(dòng)分離。圖9示出一個(gè)微型致動(dòng)器元件31的接頭部Jl和J2。在此情況下，元件31的第一端部31a通過電絕緣的粘結(jié)劑85a固定到金屬基部40。導(dǎo)電骨86a設(shè)置在覆蓋第一端面33的第一電極81和第一導(dǎo)體87a之間。元件31的第二端部31b通過電絕緣的粘結(jié)劑85b固定到金屬基部40。導(dǎo)電膏86b設(shè)置在第二導(dǎo)體88和覆蓋第二端面35的第二電極82之間。在接頭部處，元件31的相對(duì)端部31a和31b可通過粘結(jié)劑85a和86b以及導(dǎo)電膏86a和86b可靠地固定，并通過膏86a和86b電連接。
[0082]導(dǎo)電膏86a和86b例如包括熱固性粘合劑和混合于其內(nèi)的銀顆粒。如果將膏86a和86b加熱，則粘合劑固化。這些膏86a和86b比例如環(huán)氧樹脂的粘結(jié)劑85a和86b更易碎斷且粘性更小。如果將平面內(nèi)剪切力反復(fù)地施加到粘結(jié)面，特別是會(huì)在粘結(jié)面上發(fā)送滑移，從而造成分離。
[0083]如果微型致動(dòng)器元件31沿行程方向在圖9中所示的接頭部Jl和J2處延伸，在此方面，如箭頭Fl所示，壓縮力作用于第一端部31a的端面33上。當(dāng)這發(fā)生時(shí)，僅將沿壓縮方向的力施加到第一端面33和導(dǎo)電膏86a之間的粘結(jié)面。由此，第一端面33上的粘結(jié)面不可能分離。第一端部31a通過角部33a附近的粘結(jié)劑85a固定到第一支承部70。從第一端面33傳遞到膏86a的壓縮力如由箭頭F2所示朝著第一導(dǎo)體87a施加。該壓縮力在傳遞到第一導(dǎo)體87a時(shí)分散。由此，沿膏86a和第一導(dǎo)體87之間的粘結(jié)面F3施加的力較小。此外，膏86a的一部分在覆蓋層63的第一開口 63a內(nèi)固化。即使將平面內(nèi)剪切力施加到膏86a和第一導(dǎo)體87a之間的粘結(jié)面F3，該力也因此可以被覆蓋層63接納，從而可以抑制由于在粘結(jié)面上的滑動(dòng)而造成的分離。由此，可以確保第一電極81和第一導(dǎo)體87a之間的導(dǎo)電。
[0084]如果微型致動(dòng)器元件31大幅變形，壓縮力還如由箭頭F4所示作用于第二端部31b的端面35。當(dāng)這發(fā)生時(shí)，僅將沿壓縮方向的力施加到第二端面35和導(dǎo)電膏86b之間的粘結(jié)面。由此，第二端面35上的粘結(jié)面不可能分離。第二端部31b通過角部35a附近的第二粘結(jié)劑85b固定到第二支承部72。從第二端面35傳遞到膏86b的壓縮力如由箭頭F5所示朝著第二導(dǎo)體88施加。該壓縮力在傳遞到第二導(dǎo)體88時(shí)分散。由此，沿膏86b和第二導(dǎo)體88之間的粘結(jié)面F6施加的力較小。此外，膏86b的一部分在覆蓋層63的第二開口 63b內(nèi)固化。即使將平面內(nèi)剪切力施加到膏86b和第二導(dǎo)體88之間的粘結(jié)面F6，該力也因此可以被覆蓋層63接納，從而可以抑制由于在粘結(jié)面上的滑動(dòng)而造成的分離。由此，可以確保第二電極82和第二導(dǎo)體88之間的導(dǎo)電。
[0085]此外，根據(jù)本實(shí)施例的接頭部Jl和J2，可以延長從導(dǎo)電膏86a和86b到狹縫37和38的隔絕距離。此外，可防止導(dǎo)電膏86a和86b部分地掉落到狹縫37和38內(nèi)。此外，不必將諸如引線或接合線之類的導(dǎo)電構(gòu)件設(shè)置在微型致動(dòng)器元件31和32的表面附近。因此，可防止元件31和32由于與導(dǎo)電構(gòu)件接觸而受破壞。
[0086]圖15示出根據(jù)第二實(shí)施例的微型致動(dòng)器安裝部段23A。本實(shí)施例的微型致動(dòng)器安裝部段23A與呈第一臂51和52以及第二臂53和54形式的第一實(shí)施例的微型致動(dòng)器安裝部段23略不同。具體來說，圖15的微型致動(dòng)器安裝部段23A的第二臂53和54分別位于第一臂51和52內(nèi)側(cè)。此外，第一臂51和52的對(duì)應(yīng)遠(yuǎn)端部51a和52a分別連接到第二臂53和54。限制構(gòu)件120和121分別連接到第二支承部72和73以及第二臂53和54。由于其它構(gòu)造和效果對(duì)于第一和第二實(shí)施例的微型致動(dòng)器安裝部段23和23A來說是相同的，用同樣的符號(hào)來表示第一和第二實(shí)施例的相同部分，并且省卻對(duì)這些部分的說明。
[0087]圖16示出根據(jù)第三實(shí)施例的微型致動(dòng)器安裝部段23B。該實(shí)施例的第二臂53和54分別連接到第一臂51和52。第二臂53和54不固定到負(fù)載梁。第一支承部70和71、第一舌部91和第二臂53和54通過第一臂51和52支承于撓性件22的固定部分22a上。限制構(gòu)件120和121設(shè)置成分別橫跨在第二支承部72和73以及第二臂53和54之間。由于其它構(gòu)造和效果對(duì)于第一和第三實(shí)施例的微型致動(dòng)器安裝部段23和23B來說是相同的，用相同的符號(hào)來表示第一和第三實(shí)施例的相同部分，并且省卻對(duì)這些部分的說明。
[0088]圖17示出根據(jù)第四實(shí)施例的微型致動(dòng)器安裝部段23C。本實(shí)施例的第一支承部70和71以及第一舌部91僅通過第一臂51和52支承于撓性件22的固定部分22a上。由于其它構(gòu)造和效果對(duì)于第三(圖16)和第四實(shí)施例的微型致動(dòng)器安裝部段23B和23C是相同的，用相同的符號(hào)來表示第三和第四實(shí)施例的相同部分，并且省卻對(duì)這些部分的說明。
[0089]應(yīng)理解到為了實(shí)施本發(fā)明，可以對(duì)包括萬向節(jié)部的第一和第二支承部、第一和第二粘結(jié)劑和第一和第二導(dǎo)電膏在內(nèi)的微型致動(dòng)器安裝部段的組成元件的具體形式、以及形狀、布置等作各種修改。
[0090]對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說還可易于有其它優(yōu)點(diǎn)和更改。因此，本發(fā)明在其更廣泛方面并不限于本文所示和所述的具體細(xì)節(jié)和代表性實(shí)施例。因此，可以作出各種修改而不脫離如所附權(quán)利要求書所限定的本總體發(fā)明概念的精神或范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架(10)，所述磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架包括負(fù)載梁(21)和撓性件(22)，所述撓性件由金屬基部(40)構(gòu)成，并包括固定到所述負(fù)載梁(21)的固定部分(22a，22b)和其上安裝有滑動(dòng)件(11)的萬向節(jié)部(30)，所述磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架(10)的特征在于還包括: 一對(duì)微型致動(dòng)器元件(31，32)，所述一對(duì)微型致動(dòng)器元件設(shè)置在所述滑動(dòng)件(11)的兩偵U，并各自包括第一端部(31a，32a)和第二端部(31b，32b)； 所述萬向節(jié)部(30)的一對(duì)第一支承部(70，71)，所述一對(duì)第一端部(31a，32a)各自固定到所述一對(duì)第一支承部； 所述萬向節(jié)部(30)的一對(duì)第二支承部(72，73)，所述一對(duì)第二端部(31b，32b)各自固定到所述一對(duì)第二支承部； 舌形件(90 )，所述滑動(dòng)件(11)安裝在所述舌部上； 第一導(dǎo)體(87a)，所述第一導(dǎo)體設(shè)置在所述第一支承部(70，71)中的每個(gè)上； 第二導(dǎo)體(88)，所述第二導(dǎo)體設(shè)置在所述第二支承部(72，73)中的每個(gè)上； 第一電極(81)，所述第一電極至少設(shè)置在所述微型致動(dòng)器元件(31，32)的所述第一端部(31a，32a)中的每個(gè)的端面上； 第二電極(82)，所述第二電極至少設(shè)置在所述微型致動(dòng)器元件(31，32)的所述第二端部(31b，32b)中的每個(gè)的端面上； 電絕緣的第一粘結(jié)劑(35a)，所述電絕緣的第一粘結(jié)劑將所述微型致動(dòng)器元件(31，32)的所述第一端部(31a，32a)和所述第一支承部(70，71)彼此固定； 電絕緣的第二粘結(jié)劑(35b)，所述電絕緣的第二粘結(jié)劑將所述微型致動(dòng)器元件(31,32)的所述第二端部(31b，32b)和所述第二支承部(72，73)彼此固定； 第一導(dǎo)電膏(86a),所述第一導(dǎo)電膏設(shè)置在位于所述第一端部(31a, 32a)的端面上的所述第一電極(81)和所述第一導(dǎo)體(87)之間，并使所述第一電極(81)和所述第一導(dǎo)體(87a)彼此電連接；以及 第二導(dǎo)電膏(86a)，所述第二導(dǎo)電膏設(shè)置在位于所述第二端部(31b，32b)的端面上的所述第二電極(82)和所述第二導(dǎo)體(88)之間，并使所述第二電極(82)和所述第二導(dǎo)體(88)彼此電連接。
2.如權(quán)利要求1所述的磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架(10)，其特征在于，所述舌形件(90)包括第一舌部(91)、第二舌部(92)和鉸接部(93)，所述第一舌部形成于所述一對(duì)第一支承部(70,71)之間，并且所述滑動(dòng)件(11)的前側(cè)部(Ila)設(shè)置在所述第一舌部上以進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，所述第二舌部形成于所述一對(duì)第二支承部(72，73)之間，并且所述滑動(dòng)件(11)的尾側(cè)部(Ilb)固定到所述第二舌部，所述鉸接部形成于所述第一和第二舌部(91，92)之間，比所述舌部(91，92)窄，并可樞轉(zhuǎn)地連接所述舌部(91，92)。
3.如權(quán)利要求2所述的磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架(10)，其特征在于，形成于所述負(fù)載梁(21)上的凹窩(100)的凸表面的遠(yuǎn)端與所述鉸接部(93)鄰接。
4.如權(quán)利要求1所述的磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架(10)，其特征在于，所述第二導(dǎo)體(88)是用于所述微型致動(dòng)器元件(31，32)中每個(gè)的所述第二電極(82)和所述金屬基部(40)之間的電連接的接地側(cè)導(dǎo)體。
5.如權(quán)利要求2所 述的磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架(10)，其特征在于，所述第二導(dǎo)體(88)是用于所述微型致動(dòng)器元件(31，32)中的每個(gè)的所述第二電極(82)和所述金屬基部(40)之間的電連接的接地側(cè)導(dǎo)體。
6.如權(quán)利要求3所述的磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架(10)，其特征在于，所述第二導(dǎo)體(88)是用于所述微型致動(dòng)器元件(31，32)中的每個(gè)的所述第二電極(82)和所述金屬基部(40)之間的電連接的接地側(cè)導(dǎo)體。
7.如權(quán)利要求1所述的磁盤驅(qū)動(dòng)器懸架(10)，其特征在于包括覆蓋所述第一導(dǎo)體(87a)并包括第一開口(63a)的覆蓋層(63)和覆蓋所述第二導(dǎo)體(88)并包括第二開口(63b)的覆蓋層(63)，所述第一導(dǎo)體(87a)的上表面的一部分通過所述第一開口露出，所述第二導(dǎo)體(88)的上表面的一部分通過所述第二開口露出，其中，所述第一導(dǎo)電膏(86a)的一部分在所述第一開口(63a)內(nèi)固化，且所述第二導(dǎo)電膏(86b)的一部分在所述第二開口(63b)內(nèi) 固化。
【文檔編號(hào)】G11B5/48GK103578489SQ201310303853
【公開日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2013年7月18日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月19日
【發(fā)明者】半谷正夫, 瀧川健一, 安藤利樹, 井上勝 申請(qǐng)人:日本發(fā)條株式會(huì)社