專利名稱：具有電連接到不銹鋼表面上的金涂層的微驅動器的懸掛組合件的制作方法
技術領域：
本發明一般涉及信息存儲裝置的領域，更具體地涉及用于定位信息存儲裝置中的讀取磁頭的微驅動器和懸掛組合件。
背景技術：
信息存儲裝置用于在計算機和其它消費電子裝置中獲取和/或存儲數據。磁性硬盤驅動器是包括能夠讀和寫的一個或更多個磁頭的信息存儲裝置的示例，但是其它信息存儲裝置也包括磁頭——這些磁頭有時包括不能寫的磁頭。為了方便，所有能夠讀的磁頭在此被稱為“讀取磁頭”，而不考慮其它裝置和讀取磁頭還可以執行的功能(例如寫入，浮動高度控制、觸地檢測、重疊控制等)。在現代的磁性硬盤驅動器裝置中，每個讀取磁頭是磁頭懸架(或萬向架)組合件 (HGA)的子部件。讀取磁頭通常包括滑塊和讀/寫換能器。讀/寫換能器通常包括磁阻讀取元件(例如所謂的巨磁阻讀取元件，或者穿隧磁阻讀取元件)和電感寫入結構，電感寫入結構包括通過光刻沉積的平坦線圈和具有面向磁盤介質的磁極尖的軛狀結構。HGA通常還包括懸掛組合件，懸掛組合件包括安裝板、負載梁以及層壓撓曲件以承載往來讀取磁頭的電信號。讀取磁頭通常接合到層壓撓曲件的舌狀部件。HGA依次是磁頭堆組合件(HSA)的子部件，HSA通常包括多個HGA、轉動驅動器以及柔性纜線。每個懸掛組合件的安裝板被附連到轉動驅動器的臂上(例如通過鍛造)，并且每個層壓撓曲件包括電連接到HSA的柔性纜線(例如通過焊接)的撓曲尾。現代的層壓撓曲件通常包括通過聚酰亞胺電介質層與不銹鋼支撐層隔離的導電銅跡線。使得往來磁頭的信號能夠到達驅動器主體上的柔性纜線，每個HGA撓曲件包括從磁頭沿著驅動臂伸出并且最終附連到和驅動器主體相鄰的柔性纜線的撓曲尾。也就是，撓曲件包括導電跡線，導電跡線電連接到磁頭上的多個導電接合焊盤并且從相鄰的磁頭伸出以終止于處于撓曲尾的電連接點。HSA相對于磁盤驅動器中的旋轉盤的位置，以及因此讀取磁頭相對于磁盤上的數據軌道的位置被通常由音圈電機(VCM)驅動的旋轉驅動器有效控制。具體地，通過VCM的線圈的電流施加扭矩到轉動驅動器，使得讀取磁頭能夠尋找和跟隨旋轉磁盤上的期望的數據軌道。然而，增加空間數據密度的業界趨勢使急劇減少磁盤上數據軌道之間的空間成為必要。另外，磁盤驅動器性能要求，特別是關于存取期望數據所需時間的要求不允許磁盤的轉動速度降低。實際上，對于很多磁盤驅動器應用，轉動速度已經明顯提高。這些趨勢的結果是相對于旋轉磁盤上數據軌道的讀取磁頭位置的伺服控制要求增加的帶寬。本領域已經提出的增加磁盤驅動伺服帶寬的一個方案是雙階段驅動。在雙階段驅動概念中，被VCM驅動的轉動驅動器被用作為粗驅動器(用于HSA位置相對于磁盤的大調整)，而具有更高帶寬但是更少來回動作的所謂的“微驅動器”被用作細驅動器(用于讀取磁頭位置的更小調整)。在本領域中已經提出各種微驅動器設計用于磁盤驅動器應用中雙階段驅動的目的。這些設計中的一些利用固定到懸掛組合件的不銹鋼部件(例如安裝板或者其延伸、和/或負載梁或者其延伸、和/或將安裝板連接到負載梁的中間不銹鋼部件)的一個或者更多個壓電微驅動器。然而，如果微驅動器被電連接到懸掛組合件的不銹鋼表面(例如為了接地)，則電化學反應可能造成在連接位置處的不銹鋼上形成氧化層。氧化層可能是絕緣的并且干擾期望的導電性，并且可能由于熱和濕狀態而惡化。隨著時間，微驅動器對施加的信號的期望響應可能變得減弱，導致信息存儲裝置的性能降低或者削弱和/或數據損失。因此，信息存儲裝置領域中需要能夠改善與微驅動器(例如壓電微驅動器)的集成的懸掛組合件設計。
發明內容
一種新型懸掛組合件包括懸掛組合件安裝板、從懸掛組合件安裝板伸出的微驅動器安裝結構、從微驅動器安裝結構伸出的負載梁以及附連到負載梁的層壓撓曲件。層壓撓曲件包括具有讀取磁頭接合表面的舌狀件。懸掛組合件包括具有金涂層的不銹鋼表面以及附連到微驅動器安裝結構并且電連接到金涂層的微驅動器。
圖1是能夠包括本發明的實施例的磁盤驅動器的俯視圖。圖2是能夠包括本發明的實施例的磁頭懸架組合件(HGA)的底部立體圖。圖3是圖2中標記3的區域的展開圖。圖4是根據本發明的實施例的懸掛組合件的俯視立體圖，在放置微驅動器之后但在電連接微驅動器之前。圖5是圖4中標記5的區域的展開圖。圖6是圖4中標記5的區域的展開圖，只是在電連接微驅動器之后。圖7是圖4中標記5的區域的展開圖，只是在放置微驅動器之前。圖8是根據本發明的實施例的包括安裝板和微驅動器安裝結構的懸掛組合件部件的俯視平面圖。
具體實施例方式圖1是能夠包括本發明的實施例的磁盤驅動器100的俯視圖。磁盤驅動器100包括磁盤驅動器基座102。磁盤驅動器100還包括可轉動地安裝在磁盤驅動器基座102上的樞軸106，以便轉動安裝在樞軸106上的磁盤104。磁盤104的轉動建立通過可選的再循環過濾器108的空氣流。在特定實施例中，磁盤驅動器100以僅僅具有單個磁盤104，或者，兩個或者更多個磁盤。磁盤驅動器100還包括可轉動地安裝在磁盤驅動器基座102上的轉動粗驅動器 110。轉動粗驅動器110包括支撐磁頭懸架組合件(HGA) 118的驅動臂114。音圈電機112 轉動驅動器110通過有限角度范圍使得HGAl 18可以期望地相對于磁盤104上的一個或者更多個信息軌道定位。優選地，磁盤驅動器100將每個磁盤表面包括一個HGA 118，但其中使用更少HGA的數目減少的磁盤驅動器也被考慮。在非工作狀態下，HGA可以停泊在斜坡 120上，例如以避免當其不旋轉時與磁盤104接觸。到/來自HGA 118的電信號被帶到其它驅動電子器件，部分是經由柔性纜線(未示出)和柔性纜線支架116。圖2是能夠包括本發明的實施例的HGA 200的底部立體圖。下面額外地參照圖2， HGA 200包括負載梁202以及用于從磁盤讀數據和寫數據到磁盤(例如磁盤104)的讀取磁頭210。讀取磁頭210包括具有空氣承載表面(標記210指向該表面)和相對的頂表面 (在圖2的視圖中不可見)的滑塊襯底。滑塊襯底優選包括AlTiC，盡管也可以使用其它陶瓷或者硅。讀取磁頭210的滑塊襯底還包括拖尾面212，其包括讀/寫換能器(太小以至于在圖2中不能實際示出，但設置在拖尾面212上)。在特定實施例中，讀/寫換能器優選地是與磁阻讀換能器合并的電感磁寫換能器。負載梁202的目的是為了向讀取磁頭210提供有限豎直順從性以在磁盤(例如圖1的磁盤104)的表面轉動時跟隨其豎直波動，以及將讀取磁頭210的空氣承載表面通過通常稱為“克加載”的預載力預載到磁盤表面。在圖2的實施例中，HGA 200還包括附連到負載梁202的層壓撓曲件204。層壓撓曲件204包括具有讀取磁頭接合表面的舌狀件206。磁頭210附連到層壓撓曲件204的舌狀件206的讀取磁頭接合表面。因為讀取磁頭210部分地遮擋舌狀件206，所以在圖2中舌狀件206的僅僅一部分可見。層壓撓曲件204的第一個目的是為磁頭210提供順從性，以在磁盤(例如磁盤104)的表面轉動時遵循其俯仰和滾轉角度波動，同時限制讀取磁頭210 和負載梁202之間在橫向方向和圍繞搖擺軸的相對運動。層壓撓曲件204的第二個目的是提供多個電路徑以便于往來讀取磁頭210的信號傳輸。為了第二個目的，層壓撓曲件204 包括限定在層壓撓曲件204的導電子層(例如銅)中的多個導電跡線218。導電跡線218 通過電介質層(例如聚酰亞胺)與支撐層(例如不銹鋼)隔離。在圖2的實施例中，負載梁202包括鉸鏈板222和224，并且經過鉸鏈板222和2M 和微驅動器安裝結構300附連到安裝板220。這些部件可以由不銹鋼制成，并且其彼此的附連可以通過例如多個點焊進行。或者，負載梁202可以具有整體鉸鏈板區域而不是用分開的鉸鏈板部件組裝，使得負載梁202及其鉸鏈板將是具有材料連續性的單個部件。負載梁202以及其鉸鏈板222、224(如果存在)、微驅動器安裝結構300以及安裝板220可以一起被稱為“懸掛組合件”。此外，安裝板220還可以被稱為懸掛組合件安裝板 220。在特定的優選實施例中，懸掛組合件安裝板220包括鍛造軸套226以幫助將懸掛組合件附連到驅動臂(例如驅動臂114)。在該情況下，懸掛組合件安裝板220還可以被稱為“鍛造安裝板”。請注意，在層壓撓曲件204被附連到負載梁202之后，層壓撓曲件204可以被認為也附屬于“懸掛組合件”。然而，在層壓撓曲件204被附連到負載梁202之前，術語“懸掛組合件”可以僅僅指負載梁202和其鉸鏈板222、224(如果存在)、以及安裝板220。圖3是圖2中標記3的HGA 200的區域的展開圖。下面額外參照圖3，可看見微驅動器安裝結構300從懸掛組合件安裝板220伸出。在圖3的實施例中，看見微驅動器安裝結構300是附連到懸掛組合件安裝板220(例如通過多個點焊)的單獨的子部件。然而，替代地，微驅動器安裝結構300和懸掛組合件安裝板220可以是具有材料連續性的單個部件而不是子部件的組合件。微驅動器安裝結構300可以包括至少一個順從臂(compliant arm) 310使得微驅動器能夠相對于微驅動器安裝結構300的錨定部分316移動末梢部分318。例如，在圖3的實施例中，微驅動器安裝結構300包括兩個順從臂310和312，使得微驅動器安裝結構包圍窗口 314。窗口 314被設定尺寸使得其可以被微驅動器300跨過。然而，替代地，微驅動器安裝結構300能夠被設計為具有單個順從臂(例如居中于懸掛組合件的縱軸)使得微驅動器安裝結構300在末梢和根部分之間大體是I形。這種實施例可以在I形的任一側具有跨過從末梢部分到根部分之間的距離的兩個微驅動器。在圖3的實施例中，負載梁202從微驅動器安裝結構300的末梢部分318伸出，其中負載梁202包括附連到微驅動器安裝結構300的末梢部分318并且從其伸出的鉸鏈板 222和224。在替換實施例中，鉸鏈板222、2M和負載梁202能夠是具有材料連續性的單個部件(而不是圖3中所示的子部件的組合件)。圖4是根據本發明的實施例的懸掛組合件400的俯視立體圖，在放置微驅動器430 之后但在電連接微驅動器430之前。在圖4的實施例中，懸掛組合件400包括負載梁402 和附連到負載梁402的層壓撓曲件404。負載梁402包括鉸鏈板422和424，并且經過鉸鏈板422和似4附連到懸掛組合件安裝板420。這些部件可以由不銹鋼制成，并且它們的彼此附連可以通過例如點焊進行。替代地，負載梁402可以具有整體鉸鏈板區域而不是用分開的鉸鏈板部件組裝，使得負載梁402及其鉸鏈板將是具有材料連續性的單個部件。在特定的優選實施例中，懸掛組合件安裝板420包括鍛造軸套426以幫助懸掛組合件附連到驅動臂(例如驅動臂114)。圖5是圖4中被標記為5的懸掛組合件400的區域的展開圖。下面額外地參照圖 5，能夠看出懸掛組合件安裝板420包括從懸掛組合件安裝板420伸出的微驅動器安裝結構 500。在圖5的實施例中，微驅動器安裝結構500包括其中可以放置微驅動器430的部分蝕刻井M0。在特定優選實施例中，微驅動器430被粘合劑(例如UV固化樹脂、熱固化樹脂等)粘貼到微驅動器安裝結構500，并且這種粘合劑或者其它封裝材料可以布置在微驅動器430的周圍以及在部分蝕刻井內以幫助防止物品脫落。在圖5的實施例中，微驅動器安裝結構500包括至少一個順從臂510使得微驅動器430能夠相對于微驅動器安裝結構500的錨定部分516移動末梢部分518。例如，在圖5 的實施例中，微驅動器安裝結構500包括兩個順從臂510和512，使得微驅動器安裝結構包圍窗口 514。窗口 514被設定尺寸使得其能夠被微驅動器430跨過。然而，替代地，微驅動器安裝結構500能夠被設計為具有單個順從臂使得微驅動器安裝結構500在末梢部分和根部分之間是大體I形。這種實施例可以在I形的任一側上具有跨過從末梢部分到根部分的距離的兩個微驅動器。在圖5的實施例中，負載梁402從微驅動器安裝結構500的末梢部分518伸出，因為負載梁402包括附連于微驅動器安裝結構500的末梢部分518并且從其伸出的鉸鏈板 422和424。在替換實施例中，鉸鏈板422、似4和負載梁402能夠是具有材料連續性的單個部件(而不是如圖5中所示的子部件的組合件)。在圖5的實施例中，微驅動器安裝結構 500的末梢部分518可以可選地包括粘性限制溝槽570以幫助防止粘合劑到達鉸鏈板422、 424(以及潛在地非期望地影響鉸鏈板422、424的結構特性)。在圖5的實施例中，懸掛組合件400的微驅動器安裝結構500包括不銹鋼表面，不銹鋼表面具有涂覆金的兩個區域550和552。替代地，一個或者更多個金涂層可以布置在位于微驅動器安裝結構500的錨定部分516之外但鄰近錨定部分516的懸掛組合件安裝板420的不銹鋼表面上。替代地，金涂層可以布置在每個鉸鏈板422、似4的不銹鋼表面上， 在微驅動器安裝結構500的末梢部分518之外但是鄰近末梢部分518。在這些替換實施例的每一個中，期望的是金涂層布置得足夠接近微驅動器430以便于將其電連接到微驅動器 430。優選但不是必須地，微驅動器安裝結構500的不銹鋼表面的兩個覆金區域550和552 分別包括部分蝕刻的溝槽560和562。在圖5的實施例中，微驅動器430包括被絕緣區域434分離的頂電極432和436。 然而，在圖5的視圖中，頂電極432和436不電連接到微驅動器安裝結構500的不銹鋼表面的兩個覆金區域550和552。在特定的優選實施例中，微驅動器430是壓電微驅動器，其在頂電極432下方與在頂電極436下方不同地極化，以在盡管從公共底電極(未示出)施加公共電場的情況下便于差分移動(differential motion)。在特定的其它實施例中，微驅動器是在頂電極432下方與在頂電極436下方類似地極化的壓電微驅動器，差分移動是通過施加不同或者相反電壓到一個相對的底電極(未示出)和另一個底電極而產生。圖6是圖4中(懸掛組合件400的)標記5的區域的展開圖，但在將微驅動器430 的頂電極432和436電連接到微驅動器安裝結構500的不銹鋼表面的兩個覆金區域550和 552之后。圖7是圖4中(懸掛組合件400的)標記5的區域的展開圖，但在放置微驅動器 430之前。具體地，并且現在額外地參照圖6和圖7，微驅動器430的頂電極432和436已經通過摻雜銀顆粒的環氧粘合劑的顆粒(beads) 650和652電連接到微驅動器安裝結構500 的不銹鋼表面的兩個覆金區域550和552。替代地，焊料或者金線縫合可以被用來進行電連接。然而，如果焊料被使用并且微驅動器是壓電微驅動器，則可能期望焊料是低熔點的，因為它不需要變得使壓電材料(例如PZT)被去極化的那樣地熱。在特定實施例中，覆金區域550和552中的金涂層可以有利地減少或者防止會導致非期望的氧化層形成在連接位置處的不銹鋼表面上的電化學反應，并且由此提高電連接的可靠性。請注意部分蝕刻的溝槽560和562還可以提高微驅動器430的頂電極432和 436到兩個覆金區域550和552的電連接的可靠性。在特定實施例中，微驅動器可以包括兩個壓電元件，它們均連接到多個導電跡線 (例如導電跡線218)中的至少一個。在這種實施例中，每個壓電元件能夠被單獨激勵或不同地激勵，以產生微驅動器安裝部分的末梢部分相對于其錨定部分的期望運動。在另一實施例中，微驅動器包括具有電連接到多個導電跡線中兩個的底電極的一個壓電元件(如圖 5所示)。在這種實施例中，不同的電壓能夠施加到一個壓電元件的不同部分以產生微驅動器安裝部分的末梢部分相對于其錨定部分的期望運動。在優選實施例中，微驅動器430包括具有電連接到多個導電跡線中的僅僅單一一個的公共底電極的一個壓電元件(其中所述頂電極或多個頂電極經過懸掛組合件不銹鋼結構接地)。在這種實施例中，壓電元件優選地在一個表面電極下方與另一個表面電極下方不同地極化，以在盡管從單個導電跡線施加共同電壓的情況下便于差分運動。請注意在上述實施例中，被接地的壓電微驅動器的側部可以經過到懸掛組合件的不銹鋼部分(用作接地導體而不是層壓撓曲件的接地跡線或者作為層壓撓曲件的接地跡線的補充)的連接而接地。圖8是根據本發明的實施例的懸掛組合件部件800的俯視平面圖。懸掛組合件部件800包括安裝板部分820和從安裝板部分820伸出的微驅動器安裝結構801。在圖8的實施例中，安裝板部分820和微驅動器安裝結構801被顯示為具有材料連續性的單個部件而不是子部件的組合件。在圖8的實施例中，微驅動器安裝結構801包括其中可以放置微驅動器的部分蝕刻井840。微驅動器安裝結構801包括至少一個順從臂810，使得微驅動器能夠相對于微驅動器安裝結構801的錨定部分816移動末梢部分818。例如，在圖8的實施例中，微驅動器安裝結構801包括兩個順從臂810和812，使得微驅動器安裝結構包圍窗口 814。窗口 814 被設定尺寸使得其能夠被微驅動器跨過。在圖8的實施例中，微驅動器安裝結構801的末梢部分818包括不銹鋼表面，該不銹鋼表面具有涂覆金的兩個區域850和852。替代地，一個或者更多個金涂層能夠布置在安裝板部分820的不銹鋼表面上，例如在微驅動器安裝結構801的錨定部分816之外但是與之鄰近。在這些替換實施例的任一種中，期望的是金涂層布置得足夠接近部分蝕刻井840 以便于電連接到放置于其中的微驅動器。優選地但不必要，微驅動器安裝結構801的不銹鋼表面的兩個覆金區域850和852分別包括部分蝕刻溝槽860和862，其可以增加與之的電連接的可靠性。在圖8的實施例中，微驅動器安裝結構801的末梢部分818可以可選地還包括粘性限制溝槽870。在上述說明書中，參照具體示例實施例描述了本發明，但是本領域技術人員將認識本發明不限于此。預計本發明的各種特征和方面可以被單獨使用或結合使用并且可能用在不同環境或者應用中。說明書和附圖因此被認為是說明性和舉例性的而不是限制性的。 “包括”、“包含”以及“具有”是無限制的術語。
權利要求
1.一種磁盤驅動器，其包括 磁盤驅動器基座；附連到所述磁盤驅動器基座的樞軸； 安裝在所述樞軸上的磁盤；附連到所述磁盤驅動器基座的粗驅動器，所述粗驅動器包括驅動臂；懸掛組合件，所述懸掛組合件包括附連到所述驅動臂的懸掛組合件安裝板；從所述懸掛組合件安裝板伸出的微驅動器安裝結構；從所述微驅動器安裝結構伸出的負載梁；以及附連到所述負載梁的層壓撓曲件，所述層壓撓曲件包括舌狀件；其中所述懸掛組合件包括具有金涂層的不銹鋼表面，并且還包括附連到所述微驅動器安裝結構并且電連接到所述金涂層的微驅動器；以及接合到所述舌狀件的讀取磁頭。
2.根據權利要求1所述出磁盤驅動器，其中所述不銹鋼表面是所述微驅動器安裝結構的不銹鋼表面。
3.根據權利要求1所述的磁盤驅動器，其中所述不銹鋼表面是所述懸掛組合件安裝板的不銹鋼表面。
4.根據權利要求1所述的磁盤驅動器，其中所述負載梁包括至少一個鉸鏈板并且所述不銹鋼表面是所述鉸鏈板的不銹鋼表面。
5.根據權利要求1所述的磁盤驅動器，其中所述微驅動器用摻雜銀顆粒的環氧粘合劑電連接到所述金涂層。
6.根據權利要求1所述的磁盤驅動器，其中所述層壓撓曲件包括結構層、電介質層以及限定多個導電跡線的導電層，并且其中所述讀取磁頭電連接到所述多個導電跡線中的超過一個。
7.根據權利要求6所述的磁盤驅動器，其中所述微驅動器包括兩個壓電元件，并且其中所述兩個壓電元件均電連接到所述多個導電跡線中的至少一個。
8.根據權利要求6所述的磁盤驅動器，其中所述微驅動器包括一個壓電元件，并且其中所述壓電元件電連接到所述多個導電跡線中的兩個。
9.根據權利要求6所述的磁盤驅動器，其中所述微驅動器包括一個壓電元件，并且其中所述壓電元件電連接到所述多個導電跡線中的僅僅一個。
10.根據權利要求1所述的磁盤驅動器，其中所述微驅動器安裝結構和所述懸掛組合件安裝板是具有材料連續性的單個部件而不是子部件的組合件。
11.根據權利要求1所述的磁盤驅動器，其中所述微驅動器安裝結構通過多個點焊附連到所述懸掛組合件安裝板。
12.—種懸掛組合件，其包括 懸掛組合件安裝板；從所述懸掛組合件安裝板伸出的微驅動器安裝結構； 從所述微驅動器安裝結構伸出的負載梁；以及附連到所述負載梁的層壓撓曲件，所述層壓撓曲件包括具有讀取磁頭接合表面的舌狀件；其中所述懸掛組合件包括具有金涂層的不銹鋼表面，并且還包括附連到所述微驅動器安裝結構并且電連接到所述金涂層的微驅動器。
13.根據權利要求12所述的懸掛組合件，其中所述不銹鋼表面是所述微驅動器安裝結構的不銹鋼表面。
14.根據權利要求12所述的懸掛組合件，其中所述不銹鋼表面是所述懸掛組合件安裝板的不銹鋼表面。
15.根據權利要求12所述的懸掛組合件，其中所述負載梁包括至少一個鉸鏈板并且所述不銹鋼表面是所述鉸鏈板的不銹鋼表面。
16.根據權利要求15所述的懸掛組合件，其中所述至少一個鉸鏈板和負載梁是具有材料連續性的單個部件而不是子部件的組合件。
17.根據權利要求15所述的懸掛組合件，其中所述至少一個鉸鏈板通過多個點焊附連到所述負載梁。
18.根據權利要求13所述的懸掛組合件，其中所述微驅動器安裝結構和所述懸掛組合件安裝板是具有材料連續性的單個部件而不是子部件的組合件。
19.根據權利要求13所述的懸掛組合件，其中所述微驅動器安裝結構通過多個點焊附連到所述懸掛組合件安裝板。
20.根據權利要求12所述的懸掛組合件，其中所述微驅動器用摻雜銀顆粒的環氧粘合劑電連接到所述金涂層。
21.根據權利要求12所述的懸掛組合件，其中所述層壓撓曲件包括結構層、電介質層以及限定多個導電跡線的導電層。
22.根據權利要求21所述的懸掛組合件，其中所述微驅動器包括兩個壓電元件，并且其中所述兩個壓電元件均電連接到所述多個導電跡線中的至少一個。
23.根據權利要求21所述的懸掛組合件，其中所述微驅動器包括一個壓電元件，并且其中所述壓電元件電連接到所述多個導電跡線中的僅僅一個。
24.根據權利要求12所述的懸掛組合件，還包括位于具有所述金涂層的不銹鋼表面中的至少一個部分蝕刻溝槽。
25.一種磁頭懸架組合件，其包括懸掛組合件，所述懸掛組合件包括懸掛組合件安裝板；從所述懸掛組合件安裝板伸出的微驅動器安裝結構；從所述微驅動器安裝結構伸出的負載梁；以及附連到所述負載梁的層壓撓曲件，所述層壓撓曲件包括舌狀件；其中所述懸掛組合件包括具有金涂層的不銹鋼表面，并且還包括附連到所述微驅動器安裝結構并且電連接到所述金涂層的微驅動器；以及接合到所述舌狀件的讀取磁頭。
26.根據權利要求25所述的磁頭懸架組合件，其中所述不銹鋼表面是所述微驅動器安裝結構的不銹鋼表面。
27.根據權利要求25所述的磁頭懸架組合件，其中所述不銹鋼表面是所述懸掛組合件安裝板的不銹鋼表面。
28.根據權利要求25所述的磁頭懸架組合件，其中所述負載梁包括至少一個鉸鏈板并且所述不銹鋼表面是所述鉸鏈板的不銹鋼表面。
29.根據權利要求25所述的磁頭懸架組合件，其中所述微驅動器安裝結構和所述懸掛組合件安裝板是具有材料連續性的單個部件而不是子部件的組合件。
30.根據權利要求25所述的磁頭懸架組合件，其中所述微驅動器安裝結構通過多個點焊附連到所述懸掛組合件安裝板。
全文摘要
本發明公開具有電連接到不銹鋼表面上的金鍍膜的微驅動器的懸掛組合件。一種新型懸掛組合件包括懸掛組合件安裝板、從懸掛組合件安裝板伸出的微驅動器安裝結構、從微驅動器安裝結構伸出的負載梁以及附連到負載梁的層壓撓曲件。層壓撓曲件包括具有讀取磁頭接合表面的舌狀件。懸掛組合件包括具有金涂層的不銹鋼表面以及附連到微驅動器安裝結構并且電連接到金涂層的壓電微驅動器。
文檔編號G11B5/48GK102194471SQ20111006857
公開日2011年9月21日 申請日期2011年3月17日 優先權日2010年3月17日
發明者J·E·斯庫拉, W·C·舒姆, Y·劉 申請人:西部數據技術公司