測試磁記錄介質的方法以及包括測試步驟的制造磁記錄介質的方法

專利名稱：測試磁記錄介質的方法以及包括測試步驟的制造磁記錄介質的方法
技術領域：
本發明涉及一種測試將要用作磁記錄和再現裝置即所謂的硬盤驅動器 的磁記錄介質的方法，還涉及一種包括該測試方法的測試步驟的制造磁記 錄介質的方法。
背景技術：
磁記錄和再現裝置(硬盤驅動器)的記錄密度已經達到150G比特/平 方英寸的水平。據說將來記錄密度將繼續以每年30%的速度增長。因此， 正在朝向t艮適合該高記錄密度增長的磁記錄介質而推進研究。
現在，用于磁記錄和再現裝置的磁記錄介質主要通過以下方法構成 在旨在用于磁記錄介質中的基底上通過濺射技術層疊金屬膜，在其上形成 諸如碳膜的保護膜，并且用作為液體潤滑劑的全氟聚醚化合物涂敷該保護 膜。
在制造該磁記錄介質的工藝中，對磁記錄介質施加液體潤滑劑之后， 對磁記錄介質的表面執行測試突起(protrusion)的步驟。
在使用用于磁記錄介質的浮動(floating )磁頭的磁記錄和再現裝置中， 以高速驅動磁頭，并且將由此在磁頭和磁記錄介質之間產生的動態壓力用于促使磁頭浮動。通常，磁記錄介質具有盤的形狀，并且通過使磁記錄介
質高速旋轉，使得磁頭浮動。由于轉數達到15000轉/分鐘，在磁記錄介質 表面上的突起的存在引起這樣的問題，即磁頭將接觸這些突起，導致難以 正常操作，并且可能造成對其本身或磁記錄介質的損傷。為了使磁記錄介 質的表面沒有這樣的突起和其他外來物質且是平坦的，對表面測試被稱為 滑行高度(glide height)的特性(參見，例如，JP-A HEI11-260014和JP-A HEI 7-326049)。
此外，近年來，已提出了使用磁阻頭(MR頭)的磁盤驅動器。由于 磁記錄介質的高密度化，MR頭的離開磁記錄介質的浮動量降低。結果， MR頭碰撞不可避免地在磁記錄介質上存在的形成缺陷的突起，并且，由 此產生的摩擦熱引起與MR頭的磁信號讀取元件的溫度升高相伴的電阻值 的變動。該變動必然伴有4吏得由MR頭再生的》茲信號的波形變化的現象， 即熱刺(thermal asperity )問題。作為評價磁記錄介質以得到表面特性的 一種方式，采用這樣一種方法，該方法采用具有熱敏元件的測試頭，并且 利用由測試頭的熱刺誘導的信號(參見，例如，JP-AHEI 10-105卯8)。 在該發明中使用的術語"熱敏元件"是指伴隨著該元件的溫度的升高，諸 如元件電阻值的物理特性改變。對物理特性的這種改變的觀測使得熱敏元 件能夠檢測到熱的發生。MR元件，即，用于讀取MR頭的磁信號的元件， 可以被用作熱敏元件。
已經進一步推進了磁記錄介質的密度增長，并且磁記錄介質與磁頭之 間的間隔進一步減小。結果，通過使用具有熱敏元件的測試頭對磁記錄介 質的表面特性的評估更加嚴格。
在通過使用具有熱敏元件的測試頭評價磁記錄介質時，所使用的浮動 量低于在硬盤驅動器中實際使用MR頭時的浮動量。因此，具有熱敏元件 的測試頭發射這樣的信號作為噪聲，該信號不是源于磁記錄介質表面上的 突起。該噪聲必然伴有這樣的問題，即，該信號將隱藏源于突起的信號， 并且因而妨礙對磁記錄介質表面上的突起的精確檢測。在磁記錄介質表面 上的突起中，特別是隱藏在噪聲中而漏檢的精細突起，帶來降低磁記錄介質的可靠性的問題。
本發明旨在解決該問題，以提供一種能夠檢測這樣的精細突起而以高 精度測試磁記錄介質的方法。
為了弄清楚該問題的起因，本發明人進行了努力的研究，并因此發現， 包括在從具有熱敏元件的測試頭發射的信號中的噪聲實際上不是單純的噪
聲，而是由形成在磁記錄介質表面上的凸脊(swell)引起的，這些凸脊雖 然不接觸用于測試磁記錄介質且具有熱敏元件的測試頭，但其使得具有熱 敏元件的測試頭發射信號，并且，通過從由具有熱敏元件的測試頭發出的 信號分離出源于凸脊的信號，可以檢測出在磁記錄介質表面上的精細突起。 從而完成本發明。

發明內容
作為其第一方面，本發明提供一種通過使用具有熱敏元件的測試頭來 測試磁記錄介質以得到表面特性的方法，所述磁記錄介質在非磁性基底上 設置有至少磁性層，所述方法包括以下步驟用具有熱敏元件的測試頭掃 描所i^F茲記錄介質的表面；從由所述測試頭發射的信號中分離出源于所述 磁記錄介質的所W面上的凸脊的低頻信號；以及從在所述分離步驟之后 保留的高頻信號中檢測出在所述磁記錄介質的所il^面上的突起。
在包括第一方面的方法的本發明的第二方面中，所述低頻信號具有 40jim以上的波長。
作為其第三方面，本發明還提供一種通過使用具有熱敏元件的測試頭 來測試磁記錄介質以得到表面特性的方法，所^^磁記錄介質在非磁性基底 上設置有至少磁性層，所述方法包括以下步驟用具有熱敏元件的測試頭 掃描所述磁記錄介質的表面；從由所述測試頭發射的信號中分離出源于除 了凸脊之外的因素的低頻信號；以及從在所述分離步驟之后保留的高頻信 號中檢測出在所i^記錄介質的所a面上的突起。
作為其第四方面，本發明還提供一種通過使用具有熱敏元件的測試頭 來測試磁記錄介質以得到表面特性的方法，所i^磁記錄介質在非磁性基底
6上設置有至少磁性層，所述方法包括以下步驟用具有熱敏元件的測試頭 掃描所述磁記錄介質的表面；從由所述測試頭發射的信號中分離出源于所 i^磁記錄介質的所i^面上的凸脊的低頻信號或者源于除了所述凸脊之外 的因素的低頻信號；從在所述分離步驟之后保留的高頻信號中檢測出在所 述磁記錄介質的所述表面上的突起；以及除去作為不合格品的包含具有規 定高度的突起的磁記錄介質。
另外，作為其第五方面，本發明提供一種通過使用具有熱敏元件的測 試頭來測試磁記錄介質以得到表面特性的方法，所述磁記錄介質在非磁性 基底上設置有至少磁性層，所述方法包括以下步驟用具有熱敏元件的測 試頭掃描所i^f茲記錄介質的表面；從由所述測試頭發射的信號中分離出源 于與所述磁記錄介質的所述表面相撞的物品的碰撞的信號或者高頻信號； 從在所述分離步驟之后保留的低頻信號中檢測出在所ii^記錄介質的所述 表面上的凸脊；以及除去作為不合格品的包含超過規定水平(prescribed level)的凸脊的磁記錄介質。
在包括第一方面的方法的本發明的第六方面中，使用帶通濾波器或高 通濾波器執行所述分離步驟和檢測步驟，并且使用帶通濾波器或低通濾波 器執行所述檢測步驟。
在包括第三方面的方法的本發明的第七方面中，使用帶通濾波器或高 通濾波器執行所述分離步驟和檢測步驟，并且使用帶通濾波器或低通濾波 器執行所述檢測步驟。
在包括第五方面的方法的本發明的第八方面中，使用帶通濾波器或低 通濾波器執行所述分離步驟和檢測步驟。
作為其第九方面，本發明還提供一種制造磁記錄介質的方法，所述磁 記錄介質在非磁性基底上設置有至少磁性層，其中所述方法包括第 一方面 的測試方法。
本發明，連同在磁記錄和再現方法中使用的磁記錄介質，旨在提供一 種能夠檢測這樣的突起和凸脊的測試磁記錄介質的方法，其中表面特性的 常規評價方法不能檢測這些突起和凸脊。該事實具有使得可以提供制造高可靠性磁記錄介質的方法的效果。
對于本領域技術人員而言，通過在此將參考附圖在下面給出的描述， 本發明的上述和其他目的、特性特征和優點將變得顯而易見。


圖l是示例本發明的磁記錄介質的截面結構的示意圖。
圖2是示例本發明的磁記錄和再現裝置的機構的示意圖。 圖3是示例帶通濾波器的下限值與S/N比率之間的關系的圖。 圖4是示例帶通濾波器的下限值與可檢測出的突起的高度之間的關系 的圖。
具體實施例方式
本發明旨在一種通過使用具有熱敏元件的測試頭來測試磁記錄介質的 介質表面特性的方法，所述磁記錄介質在非磁性基底上設置有至少磁性層。 該方法包括以下步驟用具有熱敏元件的測試頭掃描磁記錄介質的表面； 從由測試頭發射的信號中分離出源于磁記錄介質表面上的凸脊的低頻信 號；以及從在分離步驟之后保留的高頻信號中檢測出在磁記錄介質表面上 的突起。
MR頭的特征在于，其具有與常規誘導型的頭相比高的靈敏度，且使 得記錄密度能夠提高到5至10倍。另一方面，MR頭的缺點在于，其對熱 敏感，并且隨著溫度升高，其電阻值成比例地變化。因此，當在再現過程 期間該頭接觸存在于高速運動中的磁記錄介質上的突起時，其瞬時產生熱， 從而使MR元件的電阻值增大，使再現信號的輸出電壓水平變化，并且使 得磁信號難以讀出。該現象被稱為"熱刺，，。根據本發明的測試表面特性 的方法旨在通過使用具有熱敏元件的測試頭檢測出熱刺，并且檢驗磁記錄 介質的形成于其表面上的突起。
下面，參考

本發明的優選實施例。
圖1示例出與本發明有關的磁記錄介質的優選實施例。通過在非磁性
8基底1上依次層疊非磁性襯層(under layer) 2、磁性層3、保護層4和液 體潤滑劑層5，獲得在該圖中示出的磁記錄介質。
關于本發明所涉及的非磁性基底1，可以使用通過在由諸如Al或Al 合金的金屬材料制成的基底上形成NiP或NiP合金的膜而獲得的非磁性基 底。可以使用由諸如玻璃、陶瓷、硅、碳化硅、碳或樹脂的非金屬材料制 成的非磁性基底1。可以使用通過在由非金屬材料制成的基底上形成NiP 或NiP合金的膜而獲得的非磁性基底。
關于非金屬材料，從表面平滑度的觀點，選自玻璃和珪中的一種證明 是有利的。就成本和耐用性而言，特別優選使用玻璃。關于玻璃，可以使 用結晶玻璃或非晶玻璃。關于非晶玻璃，可以使用通用的鈉鉤玻璃、鋁硼 磷酸鹽和鋁硅酸鹽玻璃。關于結晶玻璃，可以使用鋰基結晶玻璃。
關于用于陶瓷基底的材料，可以列舉通用的氧化鋁、具有氮化鋁作為 主要成分的燒結體及其纖維強化的制品。為了提高記錄密度，要求磁頭滿 足降低浮動高度的趨勢，并且要求非磁性基底1提高其表面平滑度。具體 地，要求非磁性基底1的平均表面粗糙度Ra為0.5nm以下，優選0.3nm 以下。
在非磁性基底l上，形成非磁性襯層2。可以將例如Cr合金用于非磁 性襯層2。
關于用于本發明中的磁性層3的材料，可以使用Co-Cr-Ta基、 Co-Cr-Pt基、Co-Cr-Pt陽Ta基和Co畫Cr-Pt畫B-Ta基合金。
對于本發明中的保護層4，可以使用諸如碳和SiC的單質和具有它們 作為主要成分的材料。從在高記錄密度的條件下使用的情況下減小磁間距 和提高耐用性的觀點，保護層4的限制在lrnn至10nm范圍內的厚度證明 是有利的。在此使用的術語"磁間距"表示距磁頭的讀/寫元件和磁性層3 的距離。隨著磁間距的減小，電磁轉換特性相應地提高。
在本發明中，在保護層上形成液體潤滑劑層5。本發明的液體潤滑劑 層的厚度優選在1.5nm至2.5nm的范圍內。關于液體潤滑劑，可以使用例 如全氟聚醚化合物。在評價表面特性時，本發明使用具有熱敏元件的測試頭來測量在磁記 錄介質表面上的突起與測試頭碰撞期間產生的摩擦熱，檢測熱刺，即，由
測試頭再現的信號波形的變動的現象；并且由所得到的信號評估磁記錄介 質的表面的平坦度和平滑度。
以與在普通^f更盤驅動器內使用MR頭的條件相比低的浮動量使用在該 情況下的具有熱敏元件的測試頭。除了源于磁記錄介質的表面與大的突起 的碰撞的信號之外，公知還發射低幅度水平的信號。該低幅度水平的信號 被認為是由具有熱敏元件的測試頭、放大器等產生的裝置噪聲。結果，不 允許探測器降低其閾值電壓，從而探測器不能檢測到由小突起與具有熱敏 元件的測試頭的碰撞引起的低水平信號。
然而，本發明人發現，迄今被認為是裝置噪聲的信號包含源于磁記錄 介質表面的凸脊的成分。由凸脊引起的信號^x射而不引起與測試頭的接
觸。雖然該信號的發射原因尚不清楚，本發明人基于假設給出這樣的解釋
致熱敏元件的溫度變化且引起該發射。
在測試具有熱敏元件的磁記錄介質的過程中，本發明人通過從由測試 頭發射的信號中去除從磁記錄介質表面的凸脊計算出的頻率成分，可以在
源于磁記錄介質表面上的微小突起的信號。源于磁記錄介質表面上的微小 突起的信號迄今被過度地低估，這是因為在常規的測試過程期間其被隱藏 在噪聲中。因此，包含通過該測試的磁記錄介質的硬盤驅動器具有這樣的 可能性，即磁頭接觸磁記錄介質表面上的微小突起，并且導致頭的粉碎等。 因此，本發明旨在一種通過使用具有熱敏元件的測試頭來測試磁記錄 介質以得到表面特性的方法，該磁記錄介質在非磁性基底上設置有至少磁 性層、保護層和液體潤滑劑層。該方法本質上旨在通過掃描磁記錄介質的 表面，從由具有熱敏元件的測試頭發射的信號中分離出源于磁記錄介質表 面上的凸脊的信號，并且基于在分離之后保留的信號而檢測出磁記錄介質 表面上的突起，來以盡可能高的精度檢測出磁記錄介質表面上的突起。因此，本發明旨在一種通過使用具有熱敏元件的測試頭來測試磁記錄 介質以得到表面特性的方法，該磁記錄介質在非磁性基底上設置有至少磁 性層、保護層和液體潤滑劑層。該方法本質上包括通過掃描磁記錄介質的 表面，從由具有熱敏元件的測試頭發射的信號中分離出源于磁記錄介質表 面上的凸脊的信號，并且從源于分離出的凸脊的信號中檢測出磁記錄介質 表面上的凸脊，來以盡可能高的精度檢測出磁記錄介質表面上的突起。
在本發明中使用的表達"磁記錄介質表面上的凸脊"是指具有超過
40nm的范圍的比較長波長(低頻)的緩斜波動(gently sloping undulation ) 具有這樣的長波長的這種緩斜波動的高水平磁記錄介質4皮認為是在用于磁 記錄介質的基底的制造工藝期間產生的。
由于磁頭追從該波動，因此形成在磁記錄介質表面上的這樣的長波長 的波動(凸脊)沒有引起特定的問題。然而，由于磁記錄介質的密度增大 被進一步推進且磁記錄介質與頭之間的間隔進一步減小，可以設想從未帶 來任何問題的凸脊在通過使用具有熱敏元件的測試頭進行測試的工序中作 為信號而出現。
這里，源于磁記錄介質表面上的凸脊且通過具有熱敏元件的測試頭被 檢測出的信號是這樣的信號，源于形成在磁記錄介質表面上的超過波長k 的凸脊的信號的頻率f滿足關系式f=V/X，其中V表示在測試期間磁記錄 介質和具有熱敏元件的測試頭的圓周速度的量值。假設V45m/秒，則計 算出源于具有40nm以上波長且形成在該磁記錄介質的表面上的凸脊的信 號的頻率f為375kHz以下。當磁記錄介質表面上的突起接觸具有熱敏元 件的測試頭時，從具有熱敏元件的測試頭發射出的信號是這樣的信號，雖 然取決于具有熱敏元件的測試頭的特性，該信號的從基線到峰的上升時間 為約400ns。就頻率而言，由該信號的長度的倒數計算出該信號具有600kHz 的高頻，該頻率是與源于凸脊的信號的成分相比高的頻率。
在通過使用具有熱敏元件的測試頭測試磁記錄介質的方法中，通過用 高通濾波器或帶通濾波器從由具有熱敏元件的測試頭發射出的信號中分離 出源于磁記錄介質表面的凸脊的低頻的信號成分，可以基于在分離之后保留的高頻信號而檢測出諸如超過400kHz的信號的這樣的信號，該信號富 含源于磁記錄介質表面上的突起的成分，并且可以選擇性地檢測出由物質 與磁記錄介質表面的碰撞引起的信號。結果，在常規信號成分中，可以清 晰地檢測出被頻率不足400kHz的信號水平隱藏的源于微小突起的信號。
本發明還可^皮應用于除了由凸脊引起的信號之外的特定頻率的噪聲信 號。例如，當來自磁頭、放大器等的噪聲信號允許頻率不足400kHz的信 號存在時，可以通過分離出該信號來從分離后保留的信號中檢測出微小突 起。
在檢測突起時，可以將這樣的磁記錄介質作為不合格品而去除，該磁 記錄介質包含具有諸如6nm以上高度的特定高度的突起。
通過使用該測試磁記錄介質的方法，可以提供呈現高于迄今實現的可 靠性的磁記錄介質。
此外，在通過使用具有熱敏元件的測試頭測試磁記錄介質的方法中， 通過從由具有熱敏元件的測試頭發射出的信號中分離出源于磁記錄介質表 面的凸脊的諸如頻率不足200kHz的信號的信號成分，可以從因此分離出 的低頻信號中檢測出產生大的凸脊的磁記錄介質。本發明使用該信號來評 估形成在磁記錄介質表面上的凸脊，并檢測出和去除包含這樣的水平的凸 脊的磁記錄介質作為不合格品，所述水平造成使得MR頭難以在硬盤驅動 器內il^凸脊的問題。在類似于該凸脊的噪聲的情況下，可以通過信號的 再現性進行分辨。
圖2示例出4吏用上i^記錄介質的磁記錄和再現裝置的一個實例。在 此所示例的/f茲記錄和再現裝置具有如上所述配置的磁記錄介質10、用于旋 轉驅動磁記錄介質10的記錄介質驅動部件11、用于在磁記錄介質10中記 錄和再現信息的磁頭12、用于使磁頭12相對于磁記錄介質IO移動的頭驅 動部件13、以及i己錄和再現信號處理系統14。記錄和再現信號處理系統 14適于處理從外部輸入的數據且將記錄的信號傳送到磁頭12，或者處理來 自磁頭的再現信號且將所得到的信號傳送到外部。
關于磁頭12，可以使用這樣的頭，該頭不僅具有利用巨磁阻(GMR)效應的磁阻(MR)元件作為再現元件，而且具有利用隧穿磁阻(TMR) 效應的TMR元件，并且該頭被制造為適合高記錄密度。TMR元件的使用 能夠進一步增大高記錄密度。
下面，將參考實例清楚地說明本發明的測試磁記錄介質的方法以及包 含該測試方法的制造磁記錄介質的方法的效果。
實例1-1:
對于非磁性基底，使用由HOYA Corporation制造的非晶玻璃基底。 該玻璃基底的測量的外徑為65mm,內徑為25mm，板厚度為1.270mm。
對該基底紋理化、徹底清洗和干燥，并且將其設置在DC磁控'減射設 備(由Anelva ( Japan ) Corporation制造且以"C3010，，作為商品名銷售) 中。該設備萍皮抽真空，直到2xlO_7Torr (2.7xl(T5 Pa)的真空，并且通過 使用Cr-Mn合金(Cr: 70at%， Mn: 30at% )的靼，在基底上層疊厚度 為6nm的Cr-Mn合金(Cr: 70at%， Mn: 30at% )作為非磁性襯層。通 過使用由Co-Cr-Pt-B合金(Co: 60at%， Cr: 20at%， Pt: 13at%， B: 7at%)制成的靶，形成膜厚度為17nm的Co-Cr-Pt-B合金層作為磁性層， 隨后層疊厚度為3nm的保護膜(碳)。將膜形成期間的Ar壓力設定為 3mTorr ((UPa)。隨后，通過浸漬方法施加厚度為2nm的全氟聚醚潤滑 劑，以形成液體潤滑劑層。
在通過使用具有熱敏元件的測試頭測試表面特性之前，使用具有壓電 元件的頭，利用滑行測試器(glide tester)對如上所述獲得的磁記錄介質 進行測試，以排除包含大的突起的磁記錄介質。該頭的滑行高度(頭與磁 記錄介質之間的距離)設定為0.25微英寸。
4吏用具有熱敏元件的測試頭，對已通過上述測試的總共100個磁記錄 介質進行滑行測試，以確定表面特性。關于該測試的條件，將滑行高度設 定為0.22微英寸，將限制水平(slice level)(在通過使用具有熱敏元件的 測試頭掃描給定的磁記錄介質的表面期間使用的閾值水平，用來基于由突
起發射出的響應于具有熱敏元件的測試頭的輸出的信號而找出不合格的介 質)設定為當在評估中使用的頭與0.25微英寸的突起碰撞時發射的信號的56%,并且將熱敏元件的偏置電流設定為14.5mA。通過評估的方式使來自 具有熱敏元件的測試頭的信號通過100kHz至3000kHz的帶通濾波器。作 為該評估的結果，觀測到100個磁記錄介質中的六個具有超過限制水平的 輸出信號。 實例1-2:
在此評估已被觀測到具有超過限制水平的輸出信號的那六個磁記錄介 質。在此通過將滑行高度設定為0.19微英寸且將限制水平設定為40%，使 實例1-1的評估條件進一步嚴格化。將帶通濾波器設定為400kHz至 3000kHz。這六個磁記錄介質必定被發現具有在限制水平以下的來自具有 熱敏元件的測試頭的輸出信號。從實例1-1的磁記錄介質發射的且超過限 制水平的信號必定被認為源于磁記錄介質表面上的凸脊，并且這些凸脊的 量值被認為在能夠被具有熱敏元件的測試頭追從的水平上。該結果表明， 通過將帶通濾波器的下限從100kHz提高到400kHz，可以減少來自具有熱 敏元件的測試頭的凸脊成分的信號，并且因此可以通過在使用具有熱敏元 件的測試頭進行評估時降低限制水平和滑行高度，使測試條件進一步嚴格 化。
圖3示例出與從具有熱敏元件的測試頭發射出的信號有關的帶通濾波 器的下限與S/N比率之間的關系。從具有熱敏元件的測試頭發射出的信號 的噪聲主要起因于磁記錄介質表面的凸脊(排除)。該結果表明，通過利 用帶通濾波器從由具有熱敏元件的測試頭發射出的信號中去除凸脊成分， 實現對提高的S/N比率的評估。例如，通過使用50kHz至200kHz的帶通 濾波器，可以選擇性地僅僅檢測出凸脊。
圖4示出在實例1-1和1-2的條件下評估時磁記錄介質表面上的可檢 測到的突起的高度和直徑。通過在評估之后用AFM測量磁記錄介質的表 面，獲得突起的高度和直徑。該結果表明，通過利用帶通濾波器從由具有 熱敏元件的測試頭發射出的信號中去除凸脊成分，可以減小可檢測到的突 起的高度和直徑。
14工業適用性
通過本發明的測試方法，可以測試磁記錄介質的通過常規技術從未評 估過的精細突起和凸脊。因此，本發明能夠提供可靠性進一步增加的產品， 且證明是對工業非常有用的。
權利要求
1.一種通過使用具有熱敏元件的測試頭來測試磁記錄介質以得到表面特性的方法，所述磁記錄介質在非磁性基底上設置有至少磁性層，所述方法包括以下步驟用具有熱敏元件的測試頭掃描所述磁記錄介質的表面；從由所述測試頭發射的信號中分離出源于所述磁記錄介質的所述表面上的凸脊的低頻信號；以及從在所述分離步驟之后保留的高頻信號中檢測出在所述磁記錄介質的所述表面上的突起。
2. 根據權利要求l的測試磁記錄介質的方法，其中所述低頻信號具有 40fim以上的波長。
3. —種通過使用具有熱敏元件的測試頭來測試磁記錄介質以得到表面 特性的方法，所述磁記錄介質在非磁性基底上設置有至少磁性層，所述方 法包括以下步驟用具有熱敏元件的測試頭掃描所述磁記錄介質的表面； 從由所述測試頭發射的信號中分離出源于除了凸脊之外的因素的低頻 信號；以及從在所述分離步驟之后保留的高頻信號中檢測出在所述/磁記錄介質的 所ii^面上的突起。
4. 一種通過使用具有熱敏元件的測試頭來測試磁記錄介質以得到表面 特性的方法，所述/磁記錄介質在非磁性基底上設置有至少磁性層，所述方 法包括以下步驟用具有熱敏元件的測試頭掃描所述磁記錄介質的表面；從由所述測試頭發射的信號中分離出源于所述磁記錄介質的所述表面上的凸脊的低頻信號或者源于除了所述凸脊之外的因素的低頻信號；從在所述分離步驟之后保留的高頻信號中檢測出在所i^f茲記錄介質的所ii^面上的突起；以及除去作為不合格品的包含具有規定高度的突起的磁記錄介質。
5. —種通過使用具有熱敏元件的測試頭來測試磁記錄介質以得到表面 特性的方法，所逸磁記錄介質在非磁性基底上設置有至少磁性層，所述方 法包括以下步驟用具有熱敏元件的測試頭掃描所述磁記錄介質的表面；從由所述測試頭發射的信號中分離出源于與所M記錄介質的所ii^ 面相撞的物品的碰撞的信號或者高頻信號；從在所述分離步驟之后保留的低頻信號中檢測出在所ii^記錄介質的 所#面上的凸脊；以及除去作為不合格品的包含超過規定水平的凸脊的磁記錄介質。
6. 根據權利要求l的測試磁記錄介質的方法，使用帶通濾波器或高通 濾波器執行所述分離步驟和檢測步驟。
7. 根據權利要求3的測試磁記錄介質的方法，使用帶通濾波器或高通 濾波器執行所述分離步驟和檢測步驟。
8. 根據權利要求5的測試磁記錄介質的方法，使用帶通濾波器或低通 濾波器執行所述分離步驟和檢測步驟。
9. 一種制造磁記錄介質的方法，所i^磁記錄介質在非磁性基底上設置 有至少磁性層，其中所述方法包括根據權利要求1的測試方法。
全文摘要
一種通過使用具有熱敏元件的測試頭來測試磁記錄介質以得到表面特性的方法，該磁記錄介質在非磁性基底(1)上設置有至少磁性層(3)。該方法起始于用具有熱敏元件的測試頭掃描磁記錄介質的表面。通過該掃描，從由測試頭發射的信號中分離出源于磁記錄介質表面的凸脊的低頻信號成分。從在所述分離之后保留的高頻信號中檢測出在磁記錄介質表面上的突起。
文檔編號G11B5/84GK101558446SQ200780046038
公開日2009年10月14日 申請日期2007年11月9日 優先權日2006年11月13日
發明者坂野洋平, 塚田耕司 申請人:昭和電工株式會社