微致動器安裝結構及其制造方法

文檔序號：6774432閱讀：110來源：國知局

專利名稱：微致動器安裝結構及其制造方法
技術領域：
本發明涉及一種信息記錄磁盤驅動裝置，尤其涉及一種用于磁盤驅動裝置的磁頭折片組合上的微致動器。
背景技術：
一種常用的信息存儲裝置是磁盤驅動裝置，其利用磁介質存儲數據并通過一個位于該磁介質上的可移動的讀/寫頭選擇性地從磁盤中讀取或寫入磁盤數據。
消費者一直期望這類磁盤驅動裝置的存儲容量更大，讀寫操作更快、更準確。因此，磁盤驅動器制造商一直致力于開發高存儲容量的磁盤驅動器，例如通過用較窄軌道寬度和/或較窄軌道間距來增加磁盤的磁軌密度。然而，磁軌密度的增加需要磁盤驅動器的磁性讀/寫頭的位置控制性能相應改善，以便在使用高密度磁盤時能夠實現快速而準確的讀/寫操作。隨著磁軌密度的增加，借助傳統技術來將讀/寫頭快速并且準確地定位于存儲介質的特定磁軌上變得越來越困難。因此，為了利用軌道密度不斷增大所帶來的益處，磁盤驅動器制造商一直在尋找能改善讀/寫頭位置控制性能的方法。
一種經常被磁盤驅動器制造商所使用的、能夠改善在高密度磁盤上所使用
的讀/寫頭位置控制性能的方法是采用一個副致動器(secondary actuator),即微致動器。該微致動器與主致動器共同使用，以便使讀/寫頭獲得快速而準確的位置控制。包含微致動器的磁盤驅動器被稱為雙致動器系統。
過去業界已經開發了各種各樣的雙致動器系統，用于提高存取速度及微調讀/寫頭在高密度存儲介質特定磁軌上的位置。這類雙致動器系統通常包括一主音圏馬達致動器(VCM)及一個副微致動器，比如壓電元件微致動器。該音圈馬達致動器由一伺服控制系統所控制，該伺服控制系統旋轉承載讀/寫頭的驅動
臂，從而將讀/寫頭定位于存儲介質上的特定磁軌上。該壓電元件微致動器與音圈馬達致動器一起來提高存取速度及微調讀/寫磁頭在特定磁軌上的準確位置。這樣，音團馬達致動器粗調讀/寫頭的位置，而壓電元件微致動器精調讀/寫頭
相對于存儲介質的位置。該音圈馬達致動器與壓電元件微致動器一起使得數據信息可準確有效地被寫入高密度存儲介質中或自高密度存儲介質中讀出。
一種已知的微致動器含有用于微調讀/寫頭位置的壓電元件。該微致動器上具有用于激發微致動器上的壓電元件的相關電路，使該壓電元件選擇性地收縮或膨脹。該微致動器具有適當配置使得壓電元件的收縮或膨脹f 1起該微致動器的移動，進而使讀/寫頭移動。相對于僅僅使用音圈馬達致動器的微致動器，該移動使得讀/寫頭的位置調整更快更精確。名稱為"微致動器及磁頭折片組合"
的曰本專利申請第JP2002-133803號、及名稱為"具有位置微調功能的微致動器的磁頭折片組合、具有該磁頭折片組合的磁盤驅動器及磁頭折片組合的制造方法，，的曰本專利申請第JP2002-074871號、以及美國專利申請第6,671,131 號和第6, 700， 749號，均揭露了壓電微致動器的結構。
圖1和圖2所示為傳統的磁盤驅動單元，其中磁盤101安裝在使其旋轉的主軸馬達102上。音圈馬達臂104承載一個包含具有讀/寫頭的磁頭103及微致動器105的磁頭折片組合100。音圏馬達115用于控制音圈馬達臂104的運動，進而控制磁頭103沿磁盤101的表面從一個軌道移動到另一個軌道，進而使得讀/寫頭可從磁盤101中讀取數據或將數據寫入磁盤101中。
圖3所示為圖1和圖2中包含有雙致動器的傳統硬盤驅動裝置的磁頭折片組合IOO。然而，由于音圖馬達和磁頭懸臂組合存在固有公差，磁頭103無法實現快速而準確的位置控制，這樣極大地影響了讀/寫頭準確地從磁盤中讀取數據或將數據寫入磁盤的能力。因此，必須使用前述壓電微致動器105來改善磁頭和讀/寫頭的位置控制性能。更具體地講，相對于音圏馬達來說，壓電微致動器 105能夠以更小的幅度調整磁頭103的位移，以補償音圏馬達和/或磁頭懸臂組合的共振公差。所述壓電微致動器105使得使用較小磁軌間距成為可能，并且可使得石更盤驅動單元的每英寸磁軌數(TPI值，tracks-per-inch)提高50%,同時也可以有效地縮短尋軌和定位時間。因此，壓電微致動器105使得信息存儲磁盤的表面記錄密度得到顯著提高。
如圖3和圖4所示，；茲頭折片組合100包括一個具有用于承栽農i致動器105 和磁頭103的懸臂舌片108的懸臂件106以及磁頭103。所述懸臂舌片108的相對兩側設有若干懸臂電纜110。
參考圖5 ,傳統的壓電微致動器105包括金屬框架130,該金屬框架130 具有頂支撐板132、底支撐板134以及與兩支撐板132、 134相互連接的兩側臂 136、 138。所述兩側臂136、 138的外表面分別具有用于激發的壓電元件140、 142。所述磁頭103安裝于所述頂支撐板132上。
參考圖4,所述壓電孩i致動器105通過金屬框架130的底支撐板134物理連接到懸臂舌片108上。所述底支撐板134通過環氧樹脂膠或其他粘結劑等安裝于懸臂舌片108上。若干個金屬球，如三個電連接球150(金球焊接或錫球焊接， GBB或SBB)將該壓電微致動器105連接到位于每一壓電元件140、 142 —側的懸臂電纜110上。
另外，若干電連接球，例如四個電連接球152 (GBB或SBB)用于將磁頭103 連接到用于電性連接讀/寫傳感器的懸臂電纜110上。當通過懸臂電纜110對壓電元件HO、 142施加電壓時，該壓電元件140、 142膨脹或收縮，從而導致金屬框架130的兩側臂136、 138朝其共有側向彎曲。所述彎曲導致金屬框架130 產生剪切變形，例如，所述金屬框架由矩形變成近似平行四邊形，進而導致頂支撐板132的運動。這將引起與其連接的磁頭103的運動或橫向平移，進而使磁頭103在磁盤的磁軌上運動，從而微調讀/寫頭的位置。通過這種方式，借助磁頭103的可控制位移可實現位置微調。
由于側臂寬度有限以及金屬表面粗糙度相對較小，所以將壓電元件安裝到金屬框架的兩側臂上相當困難。另外，利用環氧樹脂膠或其他粘結劑安裝也無法提供磁頭折片組合(HGA)制造所需要的安裝強度。例如，壓電元件有可能會在制造過程中、與懸臂電纜電連接的過程中、和/或機械震動或振動中被分離開來。并且，由于^:致動器為致動元件，因此必需考慮到其可靠性。另外，因為
金屬框架的金屬表面相對光滑，微致動器和懸臂舌片之間的支撐強度可能不足。這樣將影響到電連接過程和/或磁頭折片組合的性能。因此，需要提供一種改良的系統來克服上述缺點。

發明內容
本發明之一目的在于提供一種微致動器安裝結構，以提高微致動器在磁盤驅動器的磁頭折片組合上的安裝強度。
本發明的另一個目的在于提供一種用于磁頭折片組合的微致動器。該微致
動器包括金屬框架，所述金屬框架包括頂支撐板，其具有一個用于支持磁頭的頂面；底支撐板，其具有適于安裝到懸臂件上的底面；以及分別與頂支撐板和底支撐板相互連接的一對側臂，所述每個側臂包括一個適于安裝壓電元件的外表面；所述頂面、底面和/或所述外表面上包括一個局部蝕刻槽口。
本發明之又一目的在于提供一種磁頭折片組合，所述磁頭折片組合包括微致動器、磁頭以及用于支撐微致動器和磁頭的懸臂件。其中，該微致動器包括金屬框架，所述金屬框架包括頂支撐板，其具有一個用于支持磁頭的頂面；底支撐板，其具有適于安裝到懸臂件上的底面；以及分別與頂支撐板和底支撐板相互連接的一對側臂，所述每個側臂包括一個適于安裝壓電元件的外表面；所述頂面、底面和/或所述外表面上包括一個局部蝕刻槽口。
本發明之再一目的在于提供一種磁盤驅動裝置，該磁盤驅動裝置具有微致動器、磁頭以及用于支撐微致動器和磁頭的懸臂件的磁頭折片組合；與磁頭折片組合連接的驅動臂；磁盤；用于驅動磁盤旋轉的主軸馬達；其中所述微致動器包括金屬框架，所述金屬框架包括頂支撐板，其具有一個用于支持磁頭的頂面；底支撐板，其具有適于安裝到懸臂件上的底面；以及分別與頂支撐板和底支撐板相互連接的一對側臂，所述每個側臂包括一個適于安裝壓電元件的外表面；所述頂面、底面和/或所述外表面上包括一個局部蝕刻槽口。
本發明還有一個目的在于提供一種微致動器框架的制造方法，其包括以下步驟形成包括若干相互連接的、具有若千個相互連接的框架單元的長形條的
金屬薄片；從所述金屬薄片上切割出一個長形條；從該長形條上切割出一個框架單元；通過垂直彎折框架單元的相對側面以形成兩側臂，從而將框架單元形成為微致動器框架；清潔所述微致動器框架；目檢所述微致動器框架；包裝所述微致動器框架。
通過以下的描述并結合附圖，本發明將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本發明的實施例。

為使本發明更加容易理解，下面將結合附圖和實施例對本發明作進一步詳細的描述。
圖1為傳統磁盤驅動單元的立體圖2為圖1所示磁盤驅動單元的局部立體圖3為傳統的磁頭折片組合(HGA)的立體圖4為圖3所示磁頭折片組合的局部放大立體圖5為圖3所示的磁頭折片組合的磁頭和壓電微致動器的立體圖6為本發明的一個實施例中裝有壓電微致動器的磁頭折片組合的俯視圖。
圖7為圖6所示的磁頭折片組合的局部分解圖8為本發明一個實施例中微致動器框架的俯視立體圖9為圖8所示的微致動器框架從另一視角的俯視立體圖10為圖8所示的微致動器框架的仰視立體圖11為圖6所示的壓電微致動器的分解圖，用于顯示微致動器框架和壓電元
件；
圖12為兩側臂沒有形成局部蝕刻槽口的傳統微致動器的剝離強度測試數據 (peel strength testing data);
圖13為圖6所示的、兩側臂形成有局部蝕刻槽口的微致動器的剝離強度測試數據；圖14為圖6所示的壓電微致動器中的微致動器沖程(stroke)與局部蝕刻深度之間關系的測試lt據圖15為圖6所示的壓電微致動器的微致動器共振與局部蝕刻深度之間關系的測試彩:據圖16為本發明一個實施例的制造流程圖17a-17e為展示圖16所示的制造流程的順序圖18-21為本發明任選實施例中具有局部蝕刻槽口的微致動器框架的俯視立體圖。
具體實施例方式
現在結合說明書附圖對本發明的幾個實施例進行描述，各附圖中相同的元件以相同的附圖標記標出。如上文所述，本發明旨在提高微致動器在磁盤驅動器的磁頭折片組合上的安裝強度。通過提高磁頭折片組合的微致動器安裝強度，從而改善微致動器的動態性能。
以下通過幾個實施例描述本發明磁頭折片組合的微致動器。應當注意，不管圖中所示磁頭折片組合為何種特定結構，所述微致動器可應用于任何具有微致動器的磁盤驅動器以改善微致動器安裝強度。也就是說，本發明適用于任何工業領域中任何具有微致動器的裝置。
圖6-7所示為本發明的一個實施例中具有壓電微致動器212的磁頭折片組合 (HGA)210。該磁頭折片組合210包括壓電微致動器212、磁頭214和用于支撐所述壓電微致動器212和磁頭214的懸臂件216。
如圖所示，所述懸臂件216包括基板218、負載桿220、樞接件222撓性件224 以及位于撓性件224上的懸臂電纜226。該基板218由相對較硬或剛性的材料制成，如金屬，用于穩固地將懸臂件216安裝于音圏馬達的驅動臂上。
所述樞接件222通過焊接等方式安裝于基板218和負載桿220上。如圖所示，樞接件222上具有用于支撐負載桿220的保持條228。
所述撓性件224通過層壓(lamination)或焊接的方式安裝于樞接件222和負載桿220上。所迷撓性件224上設有將壓電微致動器212與懸臂件216連接的懸臂舌片230。另外，所述懸臂電纜226設于撓性件224上，用于將若干個連接觸點232 (其連接到外部控制系統)與壓電微致動器212上的磁頭214和壓電元件242、 243 電性連接。
連接觸點244直接連接到懸臂電纜226上，從而將懸臂電纜226與壓電元件 242、 243上的連接觸點246電性連接。同樣，連接觸點248直接連接到懸臂電纜 226上，從而將懸臂電纜226與磁頭214上的連接觸點電性連接。
圖8- 11顯示了將壓電微致動器212從磁頭214和懸臂件216上移開的過程。如圖所示，所述壓電微致動器212包括微致動器框架252以及安裝于微致動器框架 252相應側臂上的壓電元件242、 243。
所述框架252包括頂支撐板254、底支撐板256以及與將頂支撐板254和底支撐板256連接起來的側臂258、 259。該框架252最好由金屬材料制成，但也可用其他合適的材料制成。
所述側臂258、 259垂直地形成于頂支撐板254和底支撐板256的相對側面。如圖所示，在頂支撐板254、底支撐板256與相應的兩側臂258、 259之間形成一個內空間260。這種安排使側臂258、 259具有較長的活動長度，并使得側臂258、 259活動更加自由。
參照圖8-11，若干個槽口或缺口 (indentation) 270通過局部蝕刻方式形成于每個側臂258、 259的外表面和底支撐板256的底面。在本實施例中，在每個側臂 258、 259的長度方向上形成有六個局部蝕刻槽口270 (參圖8-ll);以及在底支撐板256上形成有九個局部蝕刻槽口270,例如這些槽口可分列為三排，每排三個 (參圖IO)。但是，所述槽口也可為其他合適的數量和安排。
同樣，在本實施例中，每個局部蝕刻槽口270呈部分蝕刻圓孔狀(dot)。但槽口270的形狀也可為如下所述的任何合適的形狀。每個局部蝕刻槽口270的深度大約為l-20微米。側臂258、 259上的若干個槽口270用以增加側臂258、 259和
壓電微致動器242、 243之間的安裝強度；同時，底支撐板256上的若干局部蝕刻槽口 270用以增加底支撐板256和懸臂舌片230之間的安裝強度。
在本發明的另一個實施例中(未圖示)，也可以通過局部蝕刻(partial etching) 的方式在頂支撐板254的頂面上形成有若干個槽口 (notch)或缺口 (indentation) 270。在頂支撐板254的頂面上開設若千個槽口270可增加頂支撐板254與微致動器212上的磁頭214之間的安裝強度。
在框架252的兩側臂258、 259的外表面上分別安裝有壓電元件242、 243,若千個連接觸點246、例如兩個連接觸點分別設在每個壓電元件242、 243上，用以通過電連接球(金球焊接或錫球焊接，GBB或SBB)將壓電元件242、 243與懸臂電纜226電性連接。壓電元件242， 243通過例如環氧膠或其他粘結劑分別被安裝到兩側臂258、 259上。所述兩側臂258、 259上的局部蝕刻槽口或圓孔270增加了兩側臂258、 259的表面粗糙度，從而增加了壓電元件242、 243與各自相應的側臂258、 259之間的安裝強度，安裝強度的提高將有效改善微致動器和磁頭折片組合的性能。
底支撐板256用于將微致動器框架252連接到懸臂件216上。具體地說，底支撐板256通過環氧膠、樹脂或焊接等方式被安裝在撓性件224的懸臂舌片230上。底支撐板256上的局部蝕刻槽口或圓孔270增加了底支撐板256的表面粗糙度，從而增加了懸臂舌片230與底支撐板256之間的安裝強度，安裝強度的提高將改善微致動器和磁頭折片組合的性能。
頂支撐板254用于將框架252連接到磁頭214上，具體地說，磁頭214局部安裝于頂支撐板254上。如前所述，頂支撐板254上形成的局部蝕刻槽口或圓孔270 增加了頂支撐板254的表面粗糙度，從而增加了頂支撐板254和微致動器212上的磁頭214之間的安裝強度。若干設于磁頭214上的連接觸點通過例如電連接球 (GBB或SBB)與對應的觸點248電性連接。這樣就將頂支撐板254與磁頭214連接起來，并且將磁頭214及其讀寫頭分別與懸臂件216上的懸臂電纜226電性連接起來。
圖12示出了框架兩側臂沒有形成局部蝕刻槽口的傳統微致動器的剝離強度
測試數值，圖13示出框架兩側臂258、 259形成有局部蝕刻槽口或圓孔270的壓電微致動器的剝離強度測試數值；如圖所示，帶有局部蝕刻槽口的壓電微致動器的剝離強度的平均值為242.6g,遠超過傳統的沒有局部蝕刻槽口的微致動器的剝離強度的平均值191.4g。具體地說，局部蝕刻槽口增加了51.2g的平均剝離強度。另外，在本發明中，局部蝕刻槽口提高了剝離強度的范圍。
圖14示出了微致動器沖程(stroke )與局部蝕刻深度之間的關系的測試數據。如圖所示，隨著局部蝕刻深度的增加，微致動器沖程也將增加。另外，隨著局部蝕刻深度的增加，裝配材料或環氧膠的用量也相應增加，從而增加安裝強度。
圖15示出微致動器共振與局部蝕刻深度之間的測試數據的關系圖。曲線280 表示彎曲頻率，曲線282表示擺動頻率。如圖所示，當局部蝕刻深度超過10微米時，彎曲頻率和擺動頻率的共振降低的相對較快。
圖16和圖17a-17e示出本發明一個實施例中微致動器框架252的制造過程的主要步驟。在流程開始后(如圖16的步驟1), 一個包括若千由具有相互連接的框架單元294構成的長形條292的金屬薄片290通過蝕刻(如圖16的步驟2)的方式一皮形成，參照圖17a所示。所述金屬薄片290可通過采用光刻膠(photo-resist) 的化學方法被蝕刻。
在本實施例中，所述金屬薄片290包括四個相互連接的長形條292,其中每個長形條292包括八個相互連接的框架單元294。但是，金屬薄片290也可以包括其它適當數量的長形條292和框架單元294。如圖17b所示，每個框架單元294均通過橫梁298連接到公共基板296上。
接下來，如圖17c所示，一個長形條292從金屬薄片290上被切出(參圖16的步驟3)。然后，如圖17d所示，一個框架單元294從所述長形條292中被切出(參圖16的步驟4)。如圖所示，所述框架單元294包括頂支撐板254、底支撐板256和兩側臂258、 259。所述底支撐板256和側臂258、 259包括4殳有若干個局部蝕刻槽口270,所迷槽口270通過防護罩進行蝕刻。同樣，頂支撐板254也包括若干個局部蝕刻槽口270 (圖未示)，所述槽口270通過一個防護罩進行蝕刻。
當將單個框架單元294從一個長形條292上切割出來后，該單個框架單元294 被形成如圖8-ll所示類型的微致動器框架252 (圖16的步驟5)。具體地說，所述側臂258 、 259從頂支撐^反254和底支撐板256的相對側面凈皮垂直彎曲，如圖17e所示。
所述微致動器框架252成型后被清潔干凈(圖16的步驟6 ),目測(圖16的步驟7),最后將其包裝起來(圖16的步驟8)而完成了微驅動臂框架的制造過程。
擇性的實施例中示出了微致動器框架上的局部蝕刻槽口的可選擇的形狀和排列方式。在圖18中，所述局部蝕刻槽口370形成于框架252的每個側臂258、 259上，所述框架具有長而薄的形狀，如線性形狀。在圖19中，所述局部蝕刻槽口470形成于框架252的兩側臂258、 259上，所述框架大致呈方形或矩形。但是，其他的形狀也是可以的。
圖20示出沿每個側臂258、 259的頂部邊緣開設的一個細長局部蝕刻槽口 570。圖21示出沿每個側臂258、 259的底部邊緣開設的一個細長局部蝕刻槽口 670。在本發明的一個實施例中，細長的局部蝕刻槽口可形成于每個側臂258、 259的頂部和底部邊緣。所述沿著底部和/或頂部邊緣的蝕刻方式可提高剝離強度 (peel strength )，并防止壓電元件安裝時環氧Mi々溢出。
本發明的各具體實施例中的具有微致動器的磁頭折片組合210可用于磁盤驅動器。所述^茲盤驅動器可具有如圖1所示的結構。由于^f茲盤驅動器的結構、工作和裝配過程為本領域技術人員所熟知，在此不再贅述。
以上所揭露的僅為本發明的較佳實施例而已，當然不能以此來限定本發明之權利范圍，因此依本發明申請專利范圍所作的等同變化，仍屬于本發明所涵蓋的范圍。
權利要求
1.一種用于磁頭折片組合的微致動器，包括金屬框架，所述金屬框架包括頂支撐板，其具有一個用于支持磁頭的頂面；底支撐板，其具有適于安裝到懸臂件上的底面；以及分別與頂支撐板和底支撐板相互連接的一對側臂，所述每個側臂包括一個適于安裝壓電元件的外表面；其特征在于所述頂面、底面和/或所述外表面上包括一個局部蝕刻槽口。
2. 根據權利要求1所述的微致動器，其特征在于所述局部蝕刻槽口分布在每個側壁的外表面上。
3. 根據權利要求1所述的微致動器，其特征在于所述局部蝕刻槽口分布在所述底支撐板的底面上。
4. 根據權利要求1所述的微致動器，其特征在于所述局部蝕刻槽口分布在所述頂支撐板的頂面上。
5. 根據權利要求1所述的微致動器，其特征在于所述局部蝕刻槽口分布在每個側壁的外表面、底支撐板的底面以及頂支撐板的頂面上。
6. 根據權利要求1所述的微致動器，其特征在于所述局部蝕刻槽口為若千個相互間隔分布的局部蝕刻槽口。
7. 根據權利要求6所述的微致動器，其特征在于所述每個局部蝕刻槽口呈圓孔狀。
8. 根據權利要求6所述的微致動器，其特征在于所迷局部蝕刻槽口的形狀為正方形或矩形。
9. 根據權利要求6所述的微致動器，其特征在于所述若干個局部蝕刻槽口分布在每個側臂的外表面、底支撐板的底面和/或頂支撐板的頂面上。
10. 根據權利要求1所述的微致動器，其特征在于所述局部蝕刻槽口的深度為l-20tim。
11. 根據權利要求1所述的微致動器，其特征在于所述局部蝕刻槽口具有增加表面粗糙度的結構，從而增強安裝強度。
12. 根據權利要求1所述的微致動器，其特征在于所述局部蝕刻槽口呈長線型。
13. 根據權利要求12所述的微致動器，其特征在于所述局部蝕刻槽口沿每個側臂的頂部邊緣分布。
14. 根據權利要求12所述的微致動器，其特征在于所述局部蝕刻槽口沿每個側臂的底部邊緣分布。
15. 根據權利要求12所述的微致動器，其特征在于所述局部蝕刻槽口沿每個側臂的頂部邊緣和底部邊緣分布。
16. —種磁頭折片組合，包括微致動器；,茲頭；以及用于支撐微致動器和磁頭的懸臂件；其中，所述微致動器包括金屬框架，所述金屬框架包括頂支撐板，其具有一個用于支持石茲頭的頂面；底支撐板，其具有適于安裝到懸臂件上的底面；以及分別與頂支撐板和底支撐板相互連接的一對側臂，所述每個側臂包括一個適于安裝壓電元件的外表面；其特征在于所述頂面、底面和/或所述外表面上包括一個局部蝕刻槽口。
17. 根據權利要求16所述的磁頭折片組合，其特征在于所述局部蝕刻槽口分布在每個側壁的外表面上。
18. 根據權利要求16所述的磁頭折片組合，其特征在于所述局部蝕刻槽口分布在所述底支撐板的底面上。
19. 根據權利要求16所述的磁頭折片組合，其特征在于所述局部蝕刻槽口分布在所述頂支撐板的頂面上。
20. 根據權利要求16所述的磁頭折片組合，其特征在于所述局部蝕刻槽口分布在每個側壁的外表面、底支撐板的底面以及頂支撐板的頂面上。
21. 根據權利要求16所述的磁頭折片組合，其特征在于所述局部蝕刻槽口為若干個相互間隔分布的局部蝕刻槽口。
22. 根據權利要求21所述的磁頭折片組合，其特征在于所述每個局部蝕刻槽口呈圓孔狀。
23. 根據權利要求21所述的磁頭折片組合，其特征在于所述局部蝕刻槽口的形狀為正方形或矩形。
24. 根據權利要求21所述的磁頭折片組合，其特征在于所述若干個局部蝕刻槽口分布在每個側臂的外表面、底支撐板的底面和/或頂支撐板的頂面上。
25. 根據權利要求16所述的磁頭折片組合，其特征在于所述局部蝕刻槽口的深度為l-20um。
26. 根據權利要求16所述的磁頭折片組合，其特征在于所述局部蝕刻槽口具有增加表面粗糙度的結構，從而增強安裝強度。
27. 根據權利要求16所述的磁頭折片組合，其特征在于所述局部蝕刻槽口呈長線型。
28. 根據權利要求27所述的磁頭折片組合，其特征在于所述局部蝕刻槽口沿每個側臂的頂部邊緣分布。
29. 根據權利要求27所述的磁頭折片組合，其特征在于所述局部蝕刻槽口沿每個側臂的底部邊緣分布。
30. 根據權利要求27所述的磁頭折片組合，其特征在于所述局部蝕刻槽口沿每個側臂的頂部邊緣和底部邊緣分布。
31. —種磁盤驅動裝置包括具有微致動器、磁頭以及用于支撐微致動器和磁頭的懸臂件的磁頭折片組合；與磁頭折片組合連接的驅動臂；磁盤；用于驅動磁盤旋轉的主軸馬達；其中所述微致動器包括金屬框架，所述金屬框架包括頂支撐板，其具有一個用于支持磁頭的頂面；底支撐板，其具有適于安裝到懸臂件上的底面；以及分別與頂支撐板和底支撐板相互連接的一對側臂，所述每個側臂包括一個適于安裝壓電元件的外表面；其特征在于所述頂面、底面和/或所述外表面上包括一個局部蝕刻槽口。
32. —種微致動器框架的制造方法，其特征在于包括以下步驟形成包括若干相互連接的、具有若干個相互連接的框架單元的長形條的金屬薄片；從所述金屬薄片上切割出一個長形條；從該長形條上切割出一個框架單元；通過垂直彎折框架單元的相對側面以形成兩側臂，從而將框架單元形成為微致動器框架；清潔所述微致動器框架；目檢所述微致動器框架；包裝所述微致動器框架。
33. 根據權利要求32所述的制造方法，其特征在于所述金屬薄片是通過蝕刻成型的。
34. 根據權利要求32所述的制造方法，其特征在于所述形成金屬薄片的步驟還包括在每個框架單元上形成局部蝕刻槽口。
全文摘要
本發明提供了一種安裝于磁頭折片組合上的微致動器，該微致動器包括金屬框架，所述金屬框架包括頂支撐板，其具有一個用于支撐磁頭的頂面；底支撐板，其具有一個適于安裝到懸臂件上的底面；以及分別與頂支撐板和底支撐板相互連接的一對側臂，所述每個側臂包括一個適于安裝壓電元件的外表面；所述頂面、底面和/或所述外表面上包括一個局部蝕刻槽口。
文檔編號G11B21/10GK101097726SQ20061010034
公開日2008年1月2日申請日期2006年6月30日優先權日2006年6月30日
發明者姚明高, 謝怡如申請人:新科實業有限公司

完整全部詳細技術資料下載