專利名稱：微驅動器、磁頭折片組合以及使用其的磁盤驅動器的制作方法
技術領域：
本發明涉及磁盤驅動器，特別是指微驅動器以及使用該微驅動器磁頭折片組合。
背景技術：
磁盤驅動器為一種使用磁介質儲存數據的信息存儲裝置。參考圖1a，現有典型的磁盤驅動器(Disk Drive)包括一個磁盤及一個用于驅動磁頭折片組合277(Head Gimbal Assembly，HGA)的驅動臂(磁頭折片組合277設有一個裝有磁頭203的懸臂件(未標示))。其中，磁盤裝在一個用以驅動磁盤旋轉的主軸馬達上，一個音圈馬達(Voice-Coil Motor，VCM)用于控制驅動臂的運動，從而控制磁頭203在磁盤表面上從一個磁軌移動到下一個磁軌，進而從磁盤中讀取或寫入數據。
然而，在磁頭203的行程中，由于音圈馬達(VCM)和懸臂件所固有的容差(Tolerance)，磁頭203不能進行很好的位置控制，因而影響磁頭203從磁盤中讀取或寫入數據。
為了解決上述問題，壓電微驅動器(piezoelectric(PZT)micro-actuator)被用于調整磁頭203的位移(displacement)。亦即，壓電微驅動器以一個較小的幅度調整磁頭203的位移從而補償音圈馬達(VCM)及懸臂件的容差。這樣，可使磁軌寬度變得更小，可以增加50％的磁盤驅動器的TPI值(‘tracks per inch’value)(即增加了其表面記錄密度)。
參考圖1b，傳統的壓電微驅動器205設有一個U形的陶瓷框架297。該U形陶瓷框架297包括兩個陶瓷臂207，其中每個陶瓷臂207在其一側設有一個壓電片(未圖示)。參考圖1a及1b，壓電微驅動器205與懸臂件213物理相連，其中，在每個陶瓷臂207一側，有三個電連接球209(金球焊接(gold ball bonding，GBB)或錫球焊接(solder bump bonding，SBB))將微驅動器205連接到磁頭折片組合的電纜210上。此外，還有四個電連接球208(GBB或SBB)用于實現磁頭203與懸臂件213之間的電連接。圖1c則展示了將磁頭203插入微驅動器205的詳細過程。其中，磁頭203通過環氧膠點212與兩個陶瓷臂207上的兩點206相粘結，從而使磁頭203的運動依賴于微驅動器205的陶瓷臂207。
當電流通過懸臂件電纜210施加于微驅動器205上時，微驅動器205的壓電片將膨脹或者收縮從而導致U形陶瓷框架297的兩個陶瓷臂207變形而使磁頭203在磁盤的軌道上移動。這樣，一個良好的磁頭位置調整(head positionadjustment)就可以實現。
然而，由于所述壓電微驅動器205和磁頭203被裝在懸臂舌(未標示)上，當壓電微驅動器205被激發時，由于微驅動器205的U形陶瓷框架297的限制，它將作單純的平動而使磁頭203搖擺，這樣產生與激發懸臂件基板引起的震動相同的頻率的懸臂件的共振。這將限制磁盤驅動器的伺服系統帶寬以及容量的提高。如圖2所示，標號201代表激發懸臂件基板時的共振曲線，標號202代表激發微驅動器205時的共振曲線，該圖清楚地展示上述問題。
因此，提供一種微驅動器、磁頭折片組合、磁盤驅動器以解決上述問題實為必要。
發明內容
基于現有技術的不足，本發明的主要目的在于提供一種微驅動器及磁頭折片組合，可以實現良好的磁頭位置調整，并且在激發微驅動器時具有良好的共振性能(resonance performance)。
本發明的另一目的在于提供一種具有較大伺服系統帶寬以及容量的磁盤驅動器。
為了達到上述目的，本發明揭露了一種磁頭折片組合(head gimbalassembly)，其包括磁頭(slider)、可旋轉微驅動器(micro-actuator)及用于支撐所述磁頭和可旋轉微驅動器的懸臂件(suspension)；其中所述可旋轉微驅動器以磁頭中心部分為軸線水平旋轉磁頭。
在本發明的一個實施例中，所述可旋轉微驅動器包括和懸臂件相連的底板、以底板的中心部分為對稱點對稱地分布在底板上的兩個臂板；及與所述臂板相粘結的至少一個壓電片。在本發明的另一個實施例中，所述可旋轉微驅動器包括和懸臂件相連的底板、以底板的中心部分為對稱點對稱地分布在底板上的四個臂板；及分別與所述四個臂板相粘結的四個壓電片。在本發明中，所述臂板和所述底板垂直相連。所述每個臂板包括一個自由端和與底板相連的末端。此外，所述磁頭與所述可旋轉微驅動器部分相連，例如，所述磁頭通過其相反的兩個側面，即后緣側面(trailing edge side surface)和前緣側面(leadingedge side surface)，分別與所述臂板的自由端相粘結。另外，在懸臂件和底板間還存在一個平行間隙。
在本發明中，所述底板與懸臂件通過環氧膠、膠粘劑、各向異性導電膜(ACF)或激光焊接相粘結。所述至少一個壓電片為薄膜壓電片或陶瓷壓電片，其通過金球連接方式(gold ball bonding)、錫球連接方式(solder ball bonding)或導電性膠粘劑(conductive adhesive)與懸臂件相連。作為本發明一個實施例，所述至少一個壓電片為單層結構或包含基層與壓電層的多層結構。所述壓電層為單層壓電結構或多層壓電結構，所述基層由金屬、陶瓷或聚合物(polymer)制成。在本發明中，所述至少一個壓電片為單單元結構或多單元結構。
本發明一種硬盤驅動器，包括磁頭折片組合、與所述磁頭折片組合相連結的驅動臂、磁盤；及用以旋轉所述磁盤的主軸馬達。其中，所述磁頭折片組合包括磁頭(slider)、可旋轉微驅動器(micro-actuator)及用于支撐所述磁頭和可旋轉微驅動器的懸臂件(suspension)；所述可旋轉微驅動器以磁頭中心部分為軸線水平旋轉磁頭。
與現有技術相比，本發明所述微驅動器由于可同時向不同方向旋轉磁頭的后緣部(trailing side)及前緣部(leading side)，從而使得磁頭可進行更大幅度的擺動。對應地，就可以獲得一個更大的位置行程調整能力。此外，因為磁頭和所述可旋轉微驅動器部分相粘結并懸置于可旋轉微驅動器的底板上，當微驅動器被激發時，其將轉動并帶動磁頭轉動進而獲得一個良好的磁頭位置調整。此外，懸臂共振現象不會發生在低頻段，而僅僅有單純的微驅動器共振現象發生在高頻段，這將增大磁盤驅動器的伺服系統帶寬及磁盤驅動器容量。最后，可旋轉微驅動器的結構亦使磁頭的位置調整更加自由。
為使本發明更加容易理解，下面將結合附圖進一步闡述本發明微驅動器、磁頭折片組合、硬盤驅動器的具體實施例。
圖1a為現有磁頭折片組合(HGA)的立體圖；圖1b為圖1a的放大局部視圖；圖1c展示了將磁頭插入圖1a中磁頭折片組合(HGA)的微驅動器中的詳細過程；圖2展示了圖1a中磁頭折片組合的共振曲線(resonance curve)；圖3本發明磁頭折片組合(HGA)第一實施例的立體圖；圖4是圖3中磁頭折片組合的局部放大立體分解圖；圖5是圖3中組裝后的磁頭折片組合(HGA)的局部放大立體圖；圖6是圖3中磁頭折片組合在微驅動器區域的部分側視圖；圖7為圖3所示的磁頭折片組合的微驅動器及磁頭的一個實施例的立體分解圖；圖8展示了圖7中裝配后的微驅動器及磁頭；圖9為圖8的側視圖；圖10a展示了圖8所示的微驅動器的兩個壓電片間的電連接關系，根據本發明一個實施例，所述兩個壓電片具有相同的極化方向；圖10b展示了圖8所示的微驅動器的兩個壓電片間的電連接關系，根據本發明另一個實施例，所述兩個壓電片具有相反的極化方向；
圖10c展示了分別加在圖10b所示兩個壓電片上的電壓的波形圖；圖10d展示了分別加在圖10a所示兩個壓電片上的電壓的波形圖；圖10e展示了當未在微驅動器上施加電壓時，本發明微驅動器和磁頭的初始狀態；圖10f及10g展示了圖10a或10b所示兩個壓電片的兩種不同的工作方式，可使磁頭沿平行于磁盤表面的方向旋轉；圖11展示了圖3中磁頭折片組合的共振曲線；圖12為圖3所示的磁頭折片組合的微驅動器及磁頭的另一個實施例的立體分解圖；圖13展示了圖12中裝配后的微驅動器及磁頭；圖14展示了本發明微驅動器第三實施例的立體分解圖；圖15展示了本發明微驅動器第四實施例的立體分解圖；圖16展示了本發明微驅動器及磁頭第五實施例的立體分解圖；圖17展示了圖16中裝配后的微驅動器及磁頭；圖18展示了本發明微驅動器及磁頭第六實施例的立體分解圖；圖19展示了圖18中裝配后的微驅動器及磁頭；圖20展示了本發明微驅動器及磁頭第七實施例的立體分解圖；圖21為本發明磁盤驅動器一個實施例的立體圖。
具體實施例方式
參考圖3，本發明一種磁頭折片組合3包括磁頭31、微驅動器32及用于承載所述磁頭31及微驅動器32的懸臂件8。
同樣請參考圖3，懸臂件8包括負載桿(load beam)17，撓性件(flexure)13、樞接件(hinge)15及基板(base plate)11。負載桿17上設有復數小突起329(參圖6)。在撓性件13上設有復數電極觸點308，復數電極觸點308一端和控制系統相連(未圖示)，另一端和復數電纜309，311相連。參考圖4及5，所述撓性件13亦包括一個懸臂舌片(suspension tongue)328，所述懸臂舌片328用于支撐微驅動器32和磁頭31，并使得承載力總是通過負載桿17上的小突起329施加于磁頭31的中心區域。
參考圖4-6，一個限位裝置207形成于所述負載桿17上，其穿過懸臂舌328用以阻止懸臂舌328在磁盤驅動器正常工作、受到震動或撞擊時過度彎曲。所述懸臂舌328上設有復數電極觸點113和310。磁頭31在其一端對應懸臂舌328上的電極觸點113設有復數電極觸點204。
參考圖7，根據本發明第一個實施例，微驅動器32包括一個具有彈性結構的支撐框320及兩個壓電片321。支撐框320可由金屬(例如，不銹鋼)、陶瓷或者聚合物(polymer)制成，其包括底板322及從底板322兩側垂直延伸出的兩個側臂325，326。底板322有兩個末端350及352，以及一個起始于末端350的槽口324。所述槽口324形成在位于底板322和側臂325間的連接部上，同時另一起始于末端352的槽口327形成于所述底板322和側臂326間的連接部上。所述兩個壓電片321最好是用壓電薄膜材料制造，并且為單層壓電結構或多層壓電結構。當然，該兩個壓電片321也可以由壓電陶瓷材料做成，為單層壓電結構或多層壓電結構。在本發明中，所述兩個壓電片321通過傳統連接方式，例如，環氧膠粘結，各向異性導電膜(anisotropic conductive film，ACF)等，與支撐框320相連，其中每個壓電片321對應電極觸點310設有復數電極觸點333(參考圖4)。
參考圖7-9，磁頭31通過兩個環氧膠點323與支撐框320部分相粘結，在一個實施例中，一個環氧膠點323被置于側臂325靠近支撐框320的末端350的一端，另一端置于側臂326靠近支撐框320的末端352的一端。此外，在磁頭31和支撐框320間還形成一個平行間隙401。這里，因為磁頭31和支撐框320部分相粘結且有一個形成于兩者之間的平行間隙401，因而磁頭31在微驅動器302的驅動下可以順暢地運動。
參考圖4-6，在本發明一個實施例中，首先，兩個壓電片321和支撐框320相連形成微驅動器32；然后，將磁頭31和微驅動器32相粘結；接著，磁頭31和微驅動器32被裝在懸臂件8上形成磁頭折片組合3，該過程如下首先，支撐框320通過激光焊接、各向異性導電膜(ACF)、膠粘劑或環氧膠與撓性件13上的懸臂舌片328相連；然后，復數金屬球332(GBB，SBB or conductiveadhesive)用于電性連接兩個壓電片321上的電極觸點333與懸臂舌328上的電極觸點310，從而將微驅動器32與懸臂件8上的兩個電纜311電性連接。同時，復數金屬球405用于電性連接磁頭31上的電極觸點204與電極觸點113，從而將磁頭31與電纜309電性連接。通過所述電纜309、311，所述電極觸點308將磁頭31及微驅動器32與控制系統電性相連(未圖示)。顯而易見，磁頭折片組合3亦可這樣裝配首先將微驅動器32與懸臂件8相連接，然后將磁頭裝在微驅動器32上。
圖10a、10d、10e、10f及10g展示了微驅動器32實現磁頭位置調整功能的第一種工作方式。在該實施例中，所述兩個壓電片321具有相同的極化方向(polarization direction)，如圖10a所示，該兩個壓電片321的一端404被共同接地，另一端401a和401b被分別施加具有相同正弦波形407的兩個電壓(如圖10d所示)。圖10e展示了微驅動器32的初始狀態，即沒有電壓施加于微驅動器32上的壓電片321上時的狀態。當正弦電壓407施加于兩個壓電片321上時，在第一個半個周期，兩個壓電片321隨著電壓的增長同時逐漸收縮到一個最短的位置(對應于最大的位移位置)；然后又隨著電壓的減小逐漸回復到其初始位置。在該半個周期，當電壓增長時，左側臂326將隨壓電片321彎曲至左側，而右側臂325將隨壓電片321彎曲至右側；當電壓減小時，兩側臂325，326將返回其初始位置。在本發明中，支撐框320的兩側臂325，326在被彎曲時將產生一個轉矩。在本發明中，因為磁頭31通過兩個環氧膠點323部分粘在支撐框320上且兩者間形成有一個平行間隙401，這樣，磁頭31在支撐框320轉矩的作用下將從原始軸線501轉至最大位移位置502，然后又回到其原始位置501，如圖10f所示。當驅動電壓進入第二個半個周期時(和第一個半個周期的相位相反)，兩個壓電片321隨著負驅動電壓的增長同時逐漸膨脹到最大位移位置；然后又隨著負驅動電壓的減小逐漸回復到其初始位置。相似地，它將引起側臂325，326的彎曲，然后返回到初始位置。在本發明中，支撐框320的兩側臂325，326在被彎曲時將產生一個轉矩。因為磁頭31通過兩個環氧膠點323部分粘在支撐框320上且兩者間形成有一個平行間隙401，這樣，磁頭31在支撐框320轉矩的作用下將從原始軸線501轉至最大位移位置503，然后又回到其原始位置501，如圖10g所示。這樣就實現了磁頭位置調整。
圖10b、10c、10e、10f及10g展示了兩個壓電片321實現磁頭位置調整功能的另一種工作方式。在該實施例中，所述兩個壓電片321具有相反的極化方向，如圖10b所示。該兩個壓電片321的一端404被共同接地，另一端401a和401b被分別施加具有相反相位波形406、408的電壓(參圖10c)。在上述電壓驅動下，在相同的半個周期內，兩個壓電片321同時逐漸收縮，然后又回到其初始位置；當電壓進入下半個周期時，兩個壓電片321將同時膨脹，然后又回到其初始位置。相似地，所述磁頭31循環性地沿初始軸線501旋轉從而獲得良好的磁頭位置調整。
圖11展示了本發明磁頭折片組合共振性能的測試結果，其中，701代表懸臂件的基板激發共振曲線，而702代表微驅動器激發共振曲線。從該圖可看出，當激發微驅動器32時，懸臂共振未發生在低頻段，而僅僅有單純的微驅動器共振發生在高頻段，這樣將增大磁盤驅動器的伺服系統帶寬并提高其容量，同時減少磁頭的搜索及定位時間(seeking and settling time)。
根據本發明另一個實施例，參考圖12及13，一個微驅動器包括兩個壓電片321及包含底板322’和兩側臂325，326的支撐框320’。所述底板322’有兩個末端350’及352’，以及一個起始于末端352’的槽口324’。所述槽口324’形成在位于底板322’和側臂325間的連接部上，同時另一起始于末端350’的槽口327’形成于所述底板322’和側臂326間的連接部上。磁頭31通過兩個環氧膠點323與支撐框320’部分相粘結，在一個實施例中，一個環氧膠點323被置于側臂325靠近支撐框320’末端352’的一端，另一端置于側臂326靠近支撐框320’的末端350’的一端。同樣，在磁頭31和支撐框320’間也形成一個平行間隙401。
根據本發明第三個實施例，參考圖15，一個微驅動器包括兩個壓電片321”及包含底板322和兩側臂325，326的支撐框320。其中，每個壓電片321”具有多層結構，其包括內部基層802及外部壓電層801。所述基層802可由陶瓷、聚合物或金屬制成。所述外部壓電層801可為單層壓電結構或多層壓電結構。參考圖14，在第四實施例中，壓電片321’不僅具有多層結構(由外部壓電層801和內部基層802構成)，而且外部壓電層801由復數壓電單元構成(即具有多單元結構)。壓電片的這種結構不僅可得到良好的共振性能和穩定性，而且可實現良好的磁頭位置調整。
根據本發明第五個實施例，參考圖16及17，一個微驅動器包括支撐框38及兩個壓電片321。支撐框38包括底板380及從底板380上垂直延伸出的兩個側臂381，382。側臂381有兩個末端386及387，其中末端386和底板380相連而末端387為自由端。相似地，側臂382有一個末端385和底板380相連而另一末端384為自由端。磁頭31通過放置兩個環氧膠點323在自由端末端384，387與磁頭31間而被粘在支撐框38上。其中自由端末端384靠近磁頭31的后緣301(trailing edge)而自由端末端387靠近磁頭31的前緣302(leading edge)。磁頭31通過其相反的兩個側面，即后緣側面(trailing edge side surface)和前緣側面(leading edge side surface)，與所述自由端末端384，387相粘結。一個大約30-50微米的平行間隙(未標示)存在于磁頭31和支撐框38的底板380間，從而使磁頭31在激發微驅動器可以自由地從其初始位置601旋轉至最大位移位置602或603。在該實施例中，每個壓電片321可為單層壓電結構或多層壓電結構。可選擇地，每個壓電片321可具有多層結構和/或多單元結構。
根據本發明第六個實施例，參考圖18及19，一個微驅動器包括支撐框38’及兩個壓電片321。支撐框38’包括底板380及從底板380上垂直延伸出的兩個側臂381’和382’。側臂381’有兩個末端386’和387’，末端386’和底板380相連而另一末端387’為自由端。相似地，側臂382’有一個末端385’和底板380相連而另一末端384’為自由端。磁頭31通過放置兩個環氧膠點323在自由端末端384’，387’與磁頭31間而被裝在支撐框38’上。其中自由端末端384’靠近磁頭31的前緣302(leading edge)而自由端末端387’靠近磁頭31的后緣301(trailing edge)。一個大約30-50微米的平行間隙(未標示)存在于磁頭31和支撐框38’的底板380間，從而使磁頭31在激發微驅動器時可以其中心部為軸線自由地旋轉。在該實施例中，每個壓電片321可為單層壓電結構或多層壓電結構。可選擇地，每個壓電片321可具有多層結構和/或多單元結構。
根據本發明第七個實施例，參考圖20，一個微驅動器包括支撐框39即四個壓電片321。支撐框39包括底板390及四個從底板390上垂直延伸出的四個側臂391，392，393，394。每個側臂391，392，393，394有兩個末端，一個與底板390相連，另一個為自由端。通過將四個環氧膠點323置于四個側臂391，392，393，394的自由端和磁頭31之間，磁頭31被裝在支撐框39上。當激發壓電片321時，四個側臂391，392，393，394將被彎曲，從而支撐框39的側臂391，394將產生一個轉矩而支撐框39的側臂392，393將產生另一個轉矩。在支撐框39兩個轉矩的作用下，磁頭將以其中心部為軸線自由旋轉。在該實施例中，每個壓電片321可為單層壓電結構或多層壓電結構。可選擇地，每個壓電片321可具有多層結構和/或多單元結構。一個大約30-50微米的平行間隙存在于磁頭31和支撐框39的底板390間，從而使磁頭31在激發微驅動器時可以自由地旋轉。
與現有技術相比，本發明微驅動器可同時向不同方向旋轉磁頭的后緣部(trailing side)及前緣部(leading side)，而現有技術微驅動器僅僅可搖動磁頭的后緣部(因為其前緣部被固定)。所以，由于本發明可同時移動磁頭的后緣部及前緣部，從而使得磁頭可進行更大幅度的擺動。對應地，就可得到一個更大的磁頭位置調整能力。
在本發明中，參考圖21，將本發明磁頭折片組合3與磁盤驅動器殼體108、磁盤101、主軸馬達102、音圈馬達107等進行組裝即可形成一個磁盤驅動器。因為本發明磁盤驅動器的組裝過程及結構為業界普通技術人員所知曉，故在此不再詳述。
權利要求
1.一種磁頭折片組合(head gimbal assembly)，其特征在于包括磁頭(slider)；可旋轉微驅動器(micro-actuator)；及用于支撐所述磁頭和可旋轉微驅動器的懸臂件(suspension)；其中所述可旋轉微驅動器以磁頭中心部分為軸線水平旋轉磁頭。
2.如權利要求1所述的磁頭折片組合，其特征在于所述可旋轉微驅動器包括和懸臂件相連的底板；以底板的中心部分為對稱點對稱地分布在底板上的兩個臂板；及與所述臂板相粘結的至少一個壓電片。
3.如權利要求1所述的磁頭折片組合，其特征在于所述可旋轉微驅動器包括和懸臂件相連的底板；以底板的中心部分為對稱點對稱地分布在底板上的四個臂板；及分別與所述四個臂板相粘結的四個壓電片。
4.如權利要求2或3所述的磁頭折片組合，其特征在于所述臂板和所述底板垂直相連。
5.如權利要求2或3所述的磁頭折片組合，其特征在于所述每個臂板包括一個自由端和與底板相連的末端。
6.如權利要求1所述的磁頭折片組合，其特征在于所述磁頭與所述可旋轉微驅動器部分相粘結。
7.如權利要求6所述的磁頭折片組合，其特征在于所述磁頭通過其相反的兩個側面，即后緣側面(trailing edge side surface)和前緣側面(leadingedge side surface)，分別與所述臂板的自由端相粘結。
8.如權利要求2或3所述的磁頭折片組合，其特征在于在懸臂件和底板間存在一個平行間隙。
9.如權利要求2或3所述的磁頭折片組合，其特征在于所述底板與所述懸臂件通過環氧膠、膠粘劑、各向異性導電膜(ACF)或激光焊接相連。
10.如權利要求2或3所述的磁頭折片組合，其特征在于所述至少一個壓電片為薄膜壓電片或陶瓷壓電片，其通過金球焊接方式(gold ball bonding)、錫球焊接方式(solder ball bonding)或導電性膠粘劑(conductive adhesive)與懸臂件相連。
11.如權利要求2或3所述的磁頭折片組合，其特征在于所述至少一個壓電片為單層結構或包含基層與壓電層的多層結構。
12.如權利要求11所述的磁頭折片組合，其特征在于所述壓電層為單層壓電結構或多層壓電結構，所述基層由金屬、陶瓷或聚合物(polymer)制成。
13.如權利要求2或3所述的磁頭折片組合，其特征在于所述至少一個壓電片為單單元結構或多單元結構。
14.一種微驅動器，包括和懸臂件相連的底板；以底板的中心部分為對稱點對稱地分布在底板上的兩個臂板；及與所述臂板相粘結的至少一個壓電片。
15.如權利要求14所述的微驅動器，其特征在于所述臂板和所述底板垂直相連。
16.如權利要求14所述的微驅動器，其特征在于所述每個臂板包括一個自由端和與底板相連的末端。
17.如權利要求14所述的微驅動器，其特征在于所述至少一個壓電片為薄膜壓電片或陶瓷壓電片。
18.如權利要求14所述的微驅動器，其特征在于所述至少一個壓電片為單層結構或包含基層與壓電層的多層結構。
19.如權利要求18所述的微驅動器，其特征在于所述壓電層為單層壓電結構或多層壓電結構，所述基層由金屬、陶瓷或聚合物(polymer)制成。
20.如權利要求14所述的微驅動器，其特征在于所述至少一個壓電片為單單元結構或多單元結構。
21.一種微驅動器，包括和懸臂件相連的底板；以底板的中心部分為對稱點對稱地分布在底板上的四個臂板；及分別與所述四個臂板相粘結的四個壓電片。
22.一種硬盤驅動器，包括磁頭折片組合；與所述磁頭折片組合相連結的驅動臂；磁盤；及用以旋轉所述磁盤的主軸馬達；其特征在于所述磁頭折片組合包括磁頭(slider)、可旋轉微驅動器(micro-actuator)及用于支撐所述磁頭和可旋轉微驅動器的懸臂件(suspension)；其中所述可旋轉微驅動器以磁頭中心部分為軸線水平旋轉磁頭。
23.如權利要求22所述的硬盤驅動器，其特征在于所述可旋轉微驅動器包括和懸臂件相連的底板；以底板的中心部分為對稱點對稱地分布在底板上的兩個臂板；及與所述臂板相粘結的至少一個壓電片。
24.如權利要求1所述的硬盤驅動器，其特征在于所述可旋轉微驅動器包括和懸臂件相連的底板；以底板的中心部分為對稱點對稱地分布在底板上的四個臂板；及分別與所述四個臂板相粘結的四個壓電片。
全文摘要
本發明公開了一種磁頭折片組合包括磁頭、可旋轉微驅動器及用于支撐所述磁頭和可旋轉微驅動器的懸臂件；其中所述可旋轉微驅動器以磁頭中心部分為軸線水平旋轉磁頭。所述可旋轉微驅動器包括和懸臂件相連的底板、以底板的中心部分為對稱點對稱地分布在底板上的兩個臂板及與所述臂板相連的至少一個壓電片。所述可旋轉微驅動器亦可包括以底板的中心部分為對稱點對稱地分布在底板上的四個臂板及分別與所述四個臂板相連的四個壓電片。本發明同時公開了使用該磁頭折片組合的硬盤驅動器結構。
文檔編號G11B21/10GK1744201SQ200410075388
公開日2006年3月8日 申請日期2004年8月30日 優先權日2004年8月30日
發明者姚明高, 白石一雅 申請人:新科實業有限公司