專利名稱：可偵測振動/沖擊的元件和光碟機讀寫頭的制作方法
技術領域：
本發明有關一種可偵測振動/沖擊的元件，且特別是有關一種整合振動/沖擊感測器于激光二極管或者光感測器芯片中的光碟機讀寫頭。
背景技術：
一般來說，光碟機受到振動/沖擊時會造成光碟機讀取光碟片數據或者寫入光碟片數據發生錯誤，或者由于振動過于激烈而導致光碟機讀寫頭或者光碟片損傷。
為了防止光碟機或者光碟片損傷，光碟機必須要有偵測振動/沖擊的機制。一般來說，在光碟機中，循軌誤差(Tracking Error)信號可用來作為判斷光碟機振動/沖擊的判斷信號。當光碟機受到振動/沖擊時，循軌誤差信號的穩態誤差(Steady State Error)會變大，甚至變成不穩定的震蕩。因此，利用偵測循軌誤差信號的狀況可以決定光碟機受到的振動/沖擊的大小，而相對于此振動/沖擊光碟機所必須采取的動作，例如，降低光碟機轉速，或者關機(Shut Down)。
然而，現有利用循軌誤差信號來作為判斷光碟機所受的振動/沖擊的方法可能不夠即時，亦即，當光碟機利用循軌誤差信號來偵測光碟機受到的振動/沖擊時，通常傷害已經造成，也就是說，讀取光碟片數據或者寫入光碟片數據已經發生錯誤。
再者，有時振動/沖擊并不會伴隨循軌誤差信號產生，或者循軌誤差信號的穩態誤差的變化并不是由光碟機受到振動/沖擊所造成。因此，現有利用循軌誤差信號來作為判斷光碟機受到振動/沖擊的方法會產生誤判，造成光碟機讀寫時的效率降低。
發明內容
本發明的目的是提供一種可偵測振動/沖擊的元件。其可獲得即時的振動/沖擊偵測，改善以循軌誤差信號來判斷振動/沖擊時反應過慢或誤判的情形發生。
本發明提出一種可偵測振動/沖擊的元件，其包括激光二極管可發出一激光光束；以及，振動/沖擊感測器用以偵測光碟機的振動力或者沖擊力；其中，激光二極管與振動/沖擊感測器形成于單一芯片上。
本發明更提出一種可偵測振動/沖擊的元件，其包括光偵測器接收反射的激光光束；以及，振動/沖擊感測器用以偵測光碟機的振動力或者沖擊力；其中，光偵測器與振動/沖擊感測器形成于單一芯片上。
本發明還提出一種可偵測振動/沖擊的光碟機讀寫頭，其包括一芯片；以及一振動/沖擊感測器，形成于該芯片上，該振動/沖擊感測器用以偵測一光碟機的一振動力或者一沖擊力。
為了能更進一步了解本發明特征及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖，然而所附圖式僅提供參考與說明用，并非用來對本發明加以限制，其中圖1所繪示為光碟機讀寫頭與光碟片相對位置示意圖；圖2(a)所繪示為本發明振動/沖擊感測器整合于光偵測器的芯片上；圖2(b)所繪示為本發明振動/沖擊感測器整合于激光二極管的芯片上；以及圖3(a)、3(b)、3(c)所繪示為整合光偵測器與振動沖擊感測器于單一芯片的結構示意圖。
附圖標記說明如下10光碟片 12激光光束14反射激光光束 20激光二極管30光偵測器 40光碟機讀寫頭50分光器 60芯片62光偵測器 64振動/沖擊感測器70芯片 72激光二極管74振動/沖擊感測器80PN型光偵測器82二金屬材料 84介電層90振動/沖擊感測器92堆疊的金屬材料
94指狀電極 96指狀電極的懸浮結構具體實施方式
請參照圖1，其所繪示為光碟機讀寫頭與光碟片相對位置示意圖。一般來說，光碟機讀寫頭40中至少有激光二極管(Laser Diode)20，分光器(BeamSplitter)50，光偵測器(Photo Detector)30。其中，激光二極管20發出激光光束12，經過分光器50聚焦于光碟片10上，而光碟片10上的反射激光光束14會經過分光器50，改變方向并由光偵測器30接收反射激光光束。
請參照圖2(a)、與2(b)，其所繪示為本發明可偵測振動/沖擊的光碟機讀寫頭的示意圖。如圖2(a)的繪示，振動/沖擊感測器64整合于光偵測器62的芯片上。一般來說，振動/沖擊感測器64可為壓電式、壓阻式、電容式等等的形式。而這些振動/沖擊感測器可根據結構的改變，例如，應變、位移、或者加速度，來決定本身所接受的振動/沖擊的大小。而這些振動/沖擊感測器的制作皆可相容于一般的集成電路工藝。也就是說，利用一般集成電路的設備即可完成振動/沖擊感測器的制作。因此，利用制作光偵測器62的工藝，即可在相同的芯片60上形成一振動/沖擊感測器64。
同理，圖2(b)是振動/沖擊感測器整合于激光二極管的示意圖。由于振動/沖擊感測器74亦可整合于激光二極管72工藝。因此，將振動/沖擊感測器74整合于激光二極管72的工藝即可完成如圖2(a)的整合元件(整合振動/沖擊感測器74與激光二極管72)。如此，可降低芯片的制作成本，并更可以將二元件的控制電路直接制作于單一芯片70上。
再者，由于本發明的光碟機讀寫頭中具有一振動/沖擊感測器，因此，現有以循軌誤差信號來判斷光碟機受到振動/沖擊的機制即可以本發明來取代。再者，現有光碟機振動/沖擊的誤判幾率也可大幅降低。
舉例來說，請參照圖3(a)、3(b)、3(c)，其所繪示為整合光偵測器與振動沖擊感測器于單一芯片的結構示意圖。如圖3(a)的繪示，在P型基板(Psubstrate)上以離子注入法形成一高摻雜N型區域，并以金屬材料82接觸P型基板以及高摻雜N型區域即可形成一PN型光偵測器80。再者，在形成光偵測器80的工藝中，形成介電層(Dielectric Layer)84時，可在介電層84中形成堆疊的金屬材料92。
如圖3(b)的繪示，在介電層中指狀電極的區域上利用介電層的深反應離子蝕刻(Deep Reactive Ion Etch，DRIE)步驟，以形成指狀電極(CombFingers)94。
接著，如圖3(c)的繪示，最后再將此芯片作基板的各向同性蝕刻(Isotropic Etch)，之后，即形成指狀電極的懸浮結構96，并且完成振動/沖擊感測器。因此，圖3(c)即為整合于單一芯片的光偵測器80與振動/沖擊感測器90。
因此，本發明的優點是提出一種可偵測振動/沖擊的元件。本發明將整合于一芯片的激光二極管與振動/沖擊感測器或者整合于一芯片的光偵測器與振動/沖擊感測器置于光碟機讀寫頭，使得光碟機讀寫頭之中具有偵測振動/沖擊的元件。因此，光碟機可獲得即時的振動/沖擊偵測，改善以循軌誤差信號來判斷振動/沖擊時反應過慢或誤判的情形發生。
綜上所述，雖然本發明已以優選實施例公開如上，但是其并非用以限定本發明，本領域技術人員在不脫離本發明的精神和范圍的情況下，應當可作各種更動與潤飾，因此本發明的保護范圍當以所附的權利要求所確定的為準。
權利要求
1.一種可偵測振動/沖擊的元件，至少包括一激光二極管，該激光二極管可發出一激光光束；以及一振動/沖擊感測器，該振動/沖擊感測器用以偵測一振動力或者一沖擊力；其中，該激光二極管與該振動/沖擊感測器形成于一芯片上。
2.如權利要求1所述的可偵測振動/沖擊的元件，其中該振動/沖擊感測器具有一指狀電極的懸浮結構。
3.一種可偵測振動/沖擊的元件，至少包括一光偵測器，該光偵測器接收一反射的激光光束；以及一振動/沖擊感測器，該振動/沖擊感測器用以偵測一振動力或者一沖擊力；其中，該光偵測器與該振動/沖擊感測器形成于一芯片上。
4.如權利要求3所述的可偵測振動/沖擊的元件，其中該振動/沖擊感測器具有一指狀電極的懸浮結構。
5.一種可偵測振動/沖擊的光碟機讀寫頭，至少包括一芯片；以及一振動/沖擊感測器，形成于該芯片上，該振動/沖擊感測器用以偵測一光碟機的一振動力或者一沖擊力。
6.如權利要求5所述的可偵測振動/沖擊的光碟機讀寫頭，其中該振動/沖擊感測器具有一指狀電極的懸浮結構。
全文摘要
本發明公開了一種可偵測振動/沖擊的元件和光碟機讀寫頭。其中，將整合于一芯片的激光二極管與振動/沖擊感測器或者整合于一芯片的光偵測器與振動/沖擊感測器置于光碟機讀寫頭，使得光碟機讀寫頭之中具有偵測振動/沖擊的元件。因此，光碟機可獲得即時的振動/沖擊偵測，改善以循軌誤差信號來判斷振動/沖擊時反應過慢或誤判的情形發生。
文檔編號G11B7/12GK1601615SQ03158728
公開日2005年3月30日 申請日期2003年9月22日 優先權日2003年9月22日
發明者郭佩菁, 廖正堯 申請人:建興電子科技股份有限公司