用于制造光學傳感器的方法

專利名稱：用于制造光學傳感器的方法
技術領域：
本申請基于在日本提交的申請No.2002-101871，其內容通過引用結合于本文中。
本發明涉及用于制造光學傳感器的方法。本發明具體地涉及用于這樣一種光學傳感器的制造方法，其中帶有物鏡的可動件通過多個彈性支撐件而被固定件可動地支撐。
背景技術：
光學傳感器用于從光記錄媒體如CD(壓縮光盤)或DVD(數字多功能光盤)中讀取信息(即重放)或將信息寫到光記錄媒體中(即記錄)。這種光學傳感器應能可靠地記錄/播放信息，不會受到光記錄媒體的信息記錄面或紋跡的擺動的影響。為此，光學傳感器需要有可在垂直方向(聚焦方向)和與物鏡光軸正交的方向(尋跡方向)上移動物鏡同時保持物鏡為水平的機構。這樣，可以在光記錄媒體的信息記錄面的所需位置上設置物鏡聚焦深度，并使激光束精確地跟隨光記錄媒體的紋跡。
下面將說明這種機構的一個例子。通過總共四個彈性支撐件將帶有物鏡的可動件和固定件彼此相連，即，兩個彈性支撐件設置在物鏡一側的垂直方向上，而兩個彈性支撐件設置在物鏡的另一側的垂直方向上。利用焊料或粘合劑將這些彈性支撐件連接到可動件和固定件上。
然而，當使用焊料時，熔融焊料所產生的熱影響將延伸到連接件上，其將導致可動件或固定件產生熱變形。因此，很難保證彈性支撐件的精確連接位置。另一方面，當使用粘合劑時，因硬化而產生的粘合劑收縮較大，其將導致彈性支撐件產生移動。
考慮到這點，提出了通過夾物模壓將彈性支撐件連接到可動件和固定件上來制造光學傳感器的方法(未審查的日本專利申請No.H10-69655)。根據這種方法，在注射模制可動件和固定件時，各彈性支撐件的兩端部均插入到可動件和固定件中。
圖1是光學傳感器400的透視圖。在此光學傳感器400中，四個彈性支撐件403a，403b，403c和403d都具有通過夾物模壓而插入到物鏡托架(可動件)402和固定片(固定件)404中的端部。圖2顯示了這種夾物模壓的制造步驟。
在圖2中，將均具有兩個彈性支撐件403的兩張懸置片板413沿著具有凹陷402c的滑動型芯412a和具有凹陷402d的滑動型芯412b的上下表面插入到模具(未示出)中(步驟1)。然后滑動型芯412a和412b沿著彈性支撐件403相互面對地滑動，直到它們在預定位置處大致相互接觸為止(步驟2)。這里，滑動型芯412a的凹陷402c朝向滑動型芯412b的凹陷402d。這樣，當滑動型芯412a和412b相互接觸時形成了孔412e。隨后，從滑動型芯412a和412b的上方和下方(圖中步驟3中箭頭所指的垂直方向)閉合模具，從而形成了用于模制固定片404和物鏡托架402的型腔，同時還用滑動型芯412a和412b以及上下半模夾緊了彈性支撐件403(步驟3)。然后將樹脂注入到模具型腔中，進行夾物模壓，從而模制出固定片404和物鏡托架402，并且彈性支撐件403部分地插入到固定片404和物鏡托架402中(步驟4)。之后，打開模具和滑動型芯412a和412b(步驟5)，并將彈性支撐件403從懸置片板413上分離出來(步驟6)。
作為這種夾物模壓的結果，固定片404和物鏡托架402就通過四個彈性支撐件403而彼此相連。通過將物鏡401、聚焦線圈405、尋跡線圈406等安裝到這種結構上，就完成了光學傳感器400。根據這種方法可以制造出光學傳感器，不會出現上述與焊接及粘結有關的問題。
這種光學傳感器400設有MC(移動線圈)致動器，其中聚焦線圈405和尋跡線圈406安裝在可動件(物鏡托架402)上。這樣，這四個彈性支撐件403中的兩個彈性支撐件403用作為聚焦線圈405供電的導線，剩余兩個彈性支撐件403用作為尋跡線圈406供電的導線。
為了滿足近來對高性能光學傳感器的需求，上述類型的光學傳感器通常包括附加的電氣/電子元件，如用于對光學象差進行校正的液晶傾斜校正部件和用于改變光學常數的數值孔徑改變部件。為了保證較高的光學性能，需要將這些電氣/電子元件安裝在安裝有物鏡的可動件上，從而保持它們相對于物鏡的位置。在這種情況下，需要為這些電氣/電子元件設置附加的導線，即附加的彈性支撐件。
然而根據上述制造方法，在聚焦方向上增設更多的彈性支撐件是不切實際的。可以通過采用更多個懸置片板和更多對滑動型芯來在聚焦方向上在物鏡的兩側增設更多個彈性支撐件。然而，這需要非常復雜的模具結構，并使生產率顯著下降。因此，在這種情況下不能采用上述制造方法。
另一方面，可以在水平方向(尋跡方向)上在現有彈性支撐件的兩側增設用于布線的彈性支撐件。然而這使得整個光學傳感器的尺寸增加。

發明內容
本發明旨在提供一種光學傳感器的制造方法，其可使均由三個或更多平行于聚焦方向設置的彈性支撐件組成的一對彈性支撐件組通過夾物模壓而連接在可動件和固定件上(即插入在可動件和固定件中)。
所述目的可通過一種用于光學傳感器的制造方法來實現，其中，帶有物鏡的可動件由固定件通過一對彈性支撐件組來支撐，使其可以在聚焦方向和尋跡方向上移動，各彈性支撐件組由多個平行設置的彈性支撐件構成，所述方法包括懸置單元成形步驟，其中通過夾物模壓沿多個彈性支撐件的長度方向在各彈性支撐件組的不同位置處形成兩個夾持件，使其可將多個彈性支撐件夾持在一起，從而形成一對懸置單元，夾持件由合成樹脂制成；以及連接步驟，其中使這對懸置單元彼此相對地設置且多個彈性支撐件的設置方向基本上與聚焦方向相同，并將各懸置單元的一個夾持件連接到可動件上，將各懸置單元的另一夾持件連接到固定件上。


從下面的介紹中并結合說明了本發明的特定實施例的附圖，可以清楚本發明的這些及其它目的、優點和特征。
在附圖中圖1是顯示了根據傳統制造方法的光學傳感器的大致結構的透視圖；圖2顯示了根據傳統制造方法的光學傳感器的一部分制造步驟；圖3是顯示根據本發明第一實施例的光學傳感器的大致結構的透視圖；圖4是圖3所示光學傳感器的頂視圖；圖5是圖3所示光學傳感器的分解透視圖；圖6是顯示了圖3所示光學傳感器中的光路的縱向剖視圖；圖7顯示了用于比較的彈性支撐件的不同設置；圖8顯示了形成懸置單元的工藝；圖9顯示了懸置單元成形工藝中的夾物模壓工藝；圖10A是懸置單元的后視圖；圖10B是懸置單元的頂視圖；圖11顯示了用于模制框殼和擋塊的夾物模壓工藝；圖12顯示在圖11所示的夾物模壓工藝中一對懸置單元安裝在模具中的位置，以及帶有這些懸置單元作為嵌件的夾物模壓制成的框殼和擋塊；圖13顯示了另一懸置單元成形工藝；圖14顯示了使懸置單元彎曲的工藝；圖15顯示了一對彎曲的懸置單元，以及帶有這些懸置單元作為嵌件的夾物模壓制成的框殼和檔塊；圖16顯示了一對彎曲的懸置單元的另一示例，以及帶有這些懸置單元作為嵌件的夾物模壓制成的框殼和檔塊；圖17A是顯示了根據本發明第二實施例的光學傳感器的大致結構的透視圖；圖17B是圖17A所示的光學傳感器的側視圖；圖17C是圖17A所示的光學傳感器的頂視圖；圖18是顯示了根據本發明第三實施例的光學傳感器的大致結構的透視圖；圖19是圖18所示光學傳感器的分解透視圖；圖20是顯示了圖18所示的光學傳感器中的光路的縱向剖視圖；知圖21顯示了在圖18所示的光學傳感器中彈性支撐件和安裝在框殼上的不同部件之間的連接。
具體實施例方式
下面將參考附圖來介紹本發明的實施例。(第一實施例)圖3是顯示了根據本發明第一實施例的光學傳感器2的大致結構的透視圖。圖4是光學傳感器2的頂視圖，而圖5是光學傳感器2的分解透視圖。注意在圖4中省略了圖3中所示的輔助磁軛36。
在本說明書中，聚焦方向指物鏡的光軸方向，而尋跡方向指與進行記錄/回放的光記錄媒體(如CD或DVD)的紋跡相交的方向。在圖3所示的XYZ正交坐標系里，Z方向是聚焦方向，而X方向是尋跡方向。
光學傳感器2具有可動的框殼6和固定的擋塊10。框殼6由樹脂制成，并攜帶有光學部件如物鏡4和液晶傾斜校正部件46。擋塊10同樣由樹脂制成，并固定在底座8上。框殼6和擋塊10通過多個彈性支撐件(在此示例中為六個彈性支撐件12，14，16，18，20和22)相互連接，這些彈性支撐件也稱為懸置線。通過設置這些彈性支撐件12，14，16，18，20和22，框殼6就被擋塊10支撐住，使其可以在尋跡方向和聚焦方向上移動。
利用粘合劑將聚焦線圈24和尋跡線圈26及28連接在框殼6上。
底座8由磁性材料制成。該底座8被部分地彎曲以形成磁軛30及32。在磁軛30的朝向另一磁軛32的表面上通過粘結而連接了方板形永磁體34。永磁體34具有設置在厚度方向上的北極和南極。結果，在與聚焦方向及尋跡方向均正交的方向(Y方向)上在永磁體34和磁軛32之間產生了磁通量。
聚焦線圈24為方形管的形狀。將聚焦線圈24設置在可將其一個表面和磁通量鏈接的位置。因此，當激勵聚焦線圈24時，在聚焦方向上產生了驅動力。兩個尋跡線圈26及28均為方形環的形狀。尋跡線圈26和28設置在尋跡方向(X方向)上，其中尋跡線圈26的一個側面朝向尋跡線圈28的一個側面，如圖5所示，使得相對的側面與磁通量鏈接。另外，尋跡線圈26及28電串聯地連接，使得電流總是在聚焦方向(Z方向)上沿相同方向流經各個相對的側面。因此，當激勵尋跡線圈26和28時，在尋跡方向上產生了驅動力。
另外，在磁軛30和32上設有輔助磁軛36，如圖3所示。輔助磁軛36是用于形成有效磁路的磁性板。
在下文中，光學部件(物鏡4及液晶傾斜校正部件46)、聚焦線圈24、尋跡線圈26和28以及框殼6統稱為可動件，而底座8和擋塊10統稱為固定件。應注意底座8固定在光學基底上(未示出)。
圖6是顯示了光學傳感器2中的光路的縱向剖視圖。
全息攝影模塊38固定在安裝有底座8的光學基底上。全息攝影模塊38設有光發射/接收元件和衍射光柵(全息光學部件)。從全息攝影模塊38中的光發射元件(半導體激光器)中所發出的激光束(由虛線表示)被安裝在光學基底上的向上鏡(raising mirror)40反射。結果，主要光線基本上與物鏡4的光軸同軸地進入物鏡4中。此激光束穿過物鏡4并聚焦在光記錄媒體42的信息記錄面44上。此處，固定在框殼6上的液晶傾斜校正部件46位于向上鏡40和物鏡4之間的光路上。
激光束被信息記錄面44反射，所得到的返回光束沿同一光路反向返回。換句話說，返回光束穿過物鏡4和液晶傾斜校正部件46，并被向上鏡40反射，從而進入全息攝影模塊38中。激光束由全息攝影模塊38中的多個光接收元件來接收。結果，可以檢測到包括有聚焦誤差信號和尋跡誤差信號的伺服信號以及信息記錄信號，并傳送到控制電路(未示出)中。
控制電路基于聚焦誤差信號和尋跡誤差信號來控制提供給聚焦線圈24和尋跡線圈26及28的電流量。控制電路還驅動液晶傾斜校正部件46中的液晶，以改變反射光中的波像差，以便優化信息記錄信號。因此波像差處于最佳光學狀態。
回到圖3到5，在包括了物鏡4的光軸并基本上與尋跡方向正交的平面(YZ平面)的一側平行且等距地設置了三個彈性支撐件12，14和16。同樣，在YZ平面的另一側也平行且等距地設置了三個彈性支撐件18，20和22。這里，三個彈性支撐件12，14及16和三個彈性支撐件18，20及22關于YZ平面對稱地設置。另外，三個彈性支撐件12，14及16的設置方向和三個彈性支撐件18，20及22的設置方向與聚焦方向相同，如圖3所示。
雖然在此示例中設于YZ平面各側的彈性支撐件的數量是3，但是也可在各側設置四個彈性支撐件。如果僅在聚焦方向上設置四個彈性支撐件，如圖7A所示，那么與四個彈性支撐件設置在聚焦方向和尋跡方向上的情況相比，可以緊湊地制成整個光學傳感器(即減小了尋跡方向上的尺寸)。
同樣，如果僅在聚焦方向上設置四個彈性支撐件，在XZ平面上通過將最外部的彈性支撐件加在一起而形成的四邊形比四個彈性支撐件設置在聚焦方向和尋跡方向上的情況更接近方形。換句話說，比率B/A更接近1，其中A是彈性支撐件設置在聚焦方向上的尺寸，而B是彈性支撐件設置在尋跡方向上的尺寸。這具有可在聚焦線圈24和尋跡線圈26及28的驅動信號的低頻區域內保持不會發生靜態傾斜的效果。在這里，傾斜是指可動件圍繞平行于Y軸的軸線的圓形運動。
在下文中，三個彈性支撐件12，14和16統稱為第一彈性支撐件組48，而三個彈性支撐件18，20和22統稱為第二彈性支撐件組50。
構成第一彈性支撐件組48的彈性支撐件12，14和16的端部均由夾持件52和54夾持在一起。同樣，構成第二彈性支撐件組50的彈性支撐件18，20和22的端部均由夾持件56和58夾持在一起。這些夾持件52，54，56和58均由合成樹脂制成。通過這些夾持件52，54，56和58將第一彈性支撐件組48和第二彈性支撐件組50連接在框殼6和擋塊10上。換句話說，夾持件52，54，56和58用作將第一彈性支撐件組48和第二彈性支撐件組50連接在框殼6和擋塊10上的連接器。在下文中，由多個彈性支撐件(在此示例中為三個彈性支撐件)構成的彈性支撐件組和用于夾持這些彈性支撐件的一組夾持件(在此示例中為兩個夾持件)統稱為懸置單元。在圖3中，第一彈性支撐件組48以及夾持件52和54構成了懸置單元60，而第二彈性支撐件組50以及夾持件56和58構成了懸置單元62。
各彈性支撐件12，14，16，18，20和22由一種材料形成，這種材料不僅在例如尋跡方向和聚焦方向的方向上具有可動地支撐可動件的適當彈力(彈性)，而且具有導電性。這種材料的例子包括銅合金，例如磷青銅、鈦銅和鈹銅。彈性支撐件12，14，16，18，20和22應可導電的原因是它們也用作電導線，用于為聚焦線圈24、尋跡線圈26和28以及安裝在框殼6中的液晶傾斜校正部件46提供驅動能量。
彈性支撐件12，14，16，18，20和22具有相同形狀的截面(矩形)。另外，彈性支撐件12，14，16，18，20和22具有相同的跨度，即從一個夾持件到另一個夾持件的相同長度。假定b為一個彈性支撐件的寬度(即聚焦方向上的長度)，t為一個彈性支撐件的厚度(即尋跡方向上的長度)，L為一個彈性支撐件的跨度，E為楊氏模量，n為彈性支撐件的總數量，M為彈性支撐件所支撐的元件(如框殼6)總質量。由于各彈性支撐件具有相同的截面和相同的跨度，所有彈性支撐件12，14，16，18，20和22的主共振頻率f0為f0＝(1/π)×{(n·E·b·t3)/(M·L3)}1/2如果彈性支撐件12，14，16，18，20和22具有不同的截面或不同的跨度，那么就會出現對各彈性支撐件來說獨有的多個共振點(共振頻率)。然而在此實施例中，彈性支撐件12，14，16，18，20和22具有相同的截面和相同的跨度，這樣就可將主共振點(頻率)的總數限制在一點(f0)上。
同時，第一彈性支撐件組48和第二彈性支撐件組50之間的在尋跡方向上的距離在框殼側和擋塊側是不同的，如圖4所示。在此實施例中，框殼側的第一彈性支撐件組48和第二彈性支撐件組50之間的距離W1大于擋塊側的第一彈性支撐件組48和第二彈性支撐件組50之間的距離W2。另外，第一彈性支撐件組48和第二彈性支撐件組50在框殼側在尋跡方向上稍稍向外彎曲，如圖4可見。通過將第一彈性支撐件組48和第二彈性支撐件組50定位成從聚焦方向上看去并不平行，這樣與第一彈性支撐件組48和第二彈性支撐件組50平行定位的情況相比，可以提高彈性支撐件12，14，16，18，20和22抵抗使可動件傾斜的力的剛度。
將兩個懸置單元60和62關于第一平面對稱地設置，第一平面包括可動件的重心并與尋跡方向正交(即包括了物鏡4的光軸的YZ平面)。另外，各懸置單元60和62關于第二平面對稱，第二平面包括可動件的重心并與聚焦方向正交。在此示例中，在聚焦方向上等距地設置了奇數個彈性支撐件(三個彈性支撐件)。這樣，中間的彈性支撐件14(20)位于第二平面內。也可在聚焦方向上等距地設置偶數個彈性支撐件。在這種情況下，兩個中間彈性支撐件間的中線位于第二平面內。
因此，可用二為級數來增加或減少彈性支撐件的總數量，同時保持上述關于第一和第二平面的對稱性。
相反，在背景技術中介紹的傳統制造方法只允許以四為級數來增加或減少彈性支撐件的總數量。這樣，此實施例比傳統方法在增加/減少安裝在框殼上的電氣/電子元件的數量方面更具靈活性。這樣就降低了光學傳感器安裝有多余彈性支撐件的可能性。
用形狀如日本片假名字母“コ”的凝膠保持件64和66來分別密封擋塊側的夾持件54和58。凝膠保持件64和66在Y方向上長于夾持件54和58。在由凝膠保持元件64和66的內表面、擋塊10在尋跡方向(X方向)上的側面以及夾持件54和58朝向夾持件52和56的表面所包圍的空間中填充了由凝膠材料制成的振動抑制件(未示出)。也就是說，彈性支撐件12，14，16，18，20和22在被夾持件54和58所支撐的部分處被振動抑制件所覆蓋。這具有可抑制彈性支撐件12，14，16，18，20和22和可動件的共振的效果。
下面將說明制造具有上述結構的光學傳感器2的方法。
圖8顯示了形成懸置單元的工藝。
在圖8A中，制備厚度t的矩形平板68作為用于彈性支撐件的原料。該板68由彈性支撐件12，14，16，18，20和22的上述材料制成。
將板68壓制成圖8B所示的形狀。具體地說，穿過板68而制成了在板68的長度方向上延伸的帶狀孔，從而形成了帶狀形式的直線部分，其將被制成彈性支撐件。此時，直線部分在兩端處與板68長度上的邊緣部分連接在一起。
這里，可以通過蝕刻來代替壓力加工而將板68成形為圖8B所示的形狀。在這種情況下，可以腐蝕板68來制作帶狀孔，從而得到圖8B所示的形狀。
帶狀孔穿過板68而形成多個帶狀彈性支撐件的這種結構稱為懸置片板70，其中彈性支撐件在板68的邊緣部分處連接在一起。
接下來，通過夾物模壓(此工藝在下文中稱為第一模制工藝)來形成夾持件。更具體地說，懸置片板70放置在安裝于立式注塑機(未示出)的模具中。在夾緊后，將熔融樹脂注入模具型腔中以形成夾持件。在這里，模具是由上下半模組成的所謂的二件式模具。上下半模在與置于模具中的懸置片板70基本上正交的方向上打開/閉合。
圖9顯示了第一模制工藝。該圖是沿一個模具型腔剖開的模具的大致截面圖。
上半模72和下半模74在垂直方向上保持打開(圖9A)。在這種狀態下將懸置片板70裝在下半模74上(圖9B)。
在夾緊后(圖9C)，即在閉合上半模72和下半模74以夾住懸置片板70后，通過設于上半模72中的澆口76將熔融樹脂注入模具型腔中(圖9D)。經過預定的冷卻周期之后，打開上半模72和下半模74，并取出如圖8C所示的模制件(圖9E)。然后從模制件中切掉(去除)外框，從而完成懸置單元60(62)。
如上所述，通過夾物模壓形成夾持件，使得具有多個平行設置的彈性支撐件的懸置片板70作為嵌件而夾在上半模72和下半模74之間。根據這種方法，夾持件的形成與彈性支撐件的數量是二個、三個、四個或更多無關。這使得能更容易地響應對更多彈性支撐件的需求，這是由安裝在框殼(可動件)上的電氣/電子元件的數量增加而引起的，如第三實施例所述。
圖10A是懸置單元60的后視圖，而圖10B是懸置單元60的頂視圖。懸置單元60和62具有相同的結構，只是其中的框殼6和擋塊10的方位不同。因此，此處省略了對懸置單元62的說明。
如圖10A和10B所示，夾持件52和54具有基本上為平行六面體的相同形狀。夾持件52和54在長度方向上分別具有長孔52H和54H。另外，在平行六面體的長度中心處的側面上，夾持件52和54分別具有一對突出部52A和52B以及一對突出部54A和54B。
此外，懸置單元60形成為關于第二平面對稱，第二平面如上所述地與裝配好的光學傳感器2的聚焦方向正交。
此處，用于上述第一模制工藝中的模具顯然具有對應于夾持件52和54的兩個模具型腔。另外，模具具有其位置對應于模制件(夾持件52和54)的突出部52A，52B，54A和54B的四個澆口。也就是說，澆口的位置對應于位于第二平面內的六面體(夾持件52和54)的長度方向上的模制件中心，也就是說，對應于模制件在彈性支撐件的設置方向上的對稱中心。這樣，所注入的樹脂相對于這些澆口對稱地流動(如圖10A中箭頭所示)。結果，樹脂冷卻后殘留的內部變形和內部壓力對稱地分布。這使得在聚焦方向和尋跡方向上都實現了穩定的振動特性。
另外，彈性支撐件12(14，16)的兩端在厚度方向上的不同位置處與夾持件52和54相連，如圖10B所示。如下文所述，這是因為彈性支撐件12在夾持件52和54之間以曲線形式彎曲的緣故。
下面將介紹形成框殼6和擋塊10同時將懸置單元60和62結合于框殼6和擋塊10中的工藝。
框殼6和擋塊10由注射模制形成。具體地說，框殼6和擋塊10通過與作為嵌件的懸置單元60的夾持件52和54以及懸置單元62的夾持單元56和58一起以夾物模壓的方法來形成(此工藝在下文中稱為第二模制工藝)。
與第一模制工藝相似，此注射模制(第二模制工藝)采用立式注塑機和二件式模具。模具具有與框殼6和擋塊10對應的兩個模具型腔。
圖11顯示了模制框殼6和擋塊10的工藝。圖11A-11D是通過對應于擋塊10的模具型腔的模具的大致截面圖。
上半模78和下半模80在垂直方向上打開(圖11A)。在這種狀態下將一對懸置單元60和62裝到下半模80上(圖11B)。在裝入時將懸置單元60和62定位成使其所有的突出部(如52A)在型腔中均朝向內方向。也就是說，懸置單元60和62定位成使得突出部56A和56B朝向突出部52A和52B，而突出部58A和58B朝向突出部54A和54B，如圖12A所示(圖12A中未示出突出部52A和52B以及突出部54A和54B)。因此，懸置單元60和62彼此相對，彈性支撐件12，14和16的設置方向和彈性支撐件18，20和22的設置方向都與聚焦方向相同。另外，各懸置單元60和62都設置成使夾持件的側面相互平齊(如圖12A中的虛線所示)。換句話說，模具設計成可實現各懸置單元60和62的這種設置。這就得到了一種結構，即從聚焦方向看去時，夾持件52和54之間的彈性支撐件12，14和16并不平行于夾持件56和58之間的彈性支撐件18，20和22。
在夾緊后(圖11C)將熔融樹脂通過設于上半模78中的澆口82而注入到模具型腔中(圖11D)。經過預定的冷卻周期后打開上半模78和下半模80，并取出如圖12B所示的模制件(圖11E)。
在上述注射工藝中，樹脂進入各夾持件52，54，56和58的長孔52H，54H，56H和58H中(圖12A)，還包圍了突出部52A，52B，54A，54B，56A，56B，58A和58B。結果，夾持件52和56與框殼6牢固地相連，而夾持件54和58與擋塊10牢固地相連。在這里，已經證明，即使不存在這些長孔，仍然可以實現必要的連接強度。換句話說，通過使夾持件52，54，56和58的與框殼6或擋塊10相連的表面適當地粗糙化，可以實現必要的連接強度。為了進一步提高連接強度，可以用锍來適當地粗糙化此表面。
回到圖5，一旦以上述方式將懸置單元60和62與框殼6和擋塊10相結合，就可在這種結構上安裝不同的部件。更詳細地說，可通過粘結等方法將物鏡4、聚焦線圈24、尋跡線圈26和28、液晶傾斜校正部件46等固定到框殼6上。之后，將聚焦線圈24的導線的一端和串聯的尋跡線圈26和28的導線的一端焊接到不同的彈性支撐件12，14，16，18，20和22的框殼端上。另外，通過引線(未示出)將液晶傾斜校正部件46的各端子電連接到不同彈性支撐件12，14，16，18，20和22的框殼端上。
同時，利用粘合劑將凝膠保持件64和66連接到擋塊10上。之后，在由凝膠保持件64和66、夾持件54和58以及擋塊10所形成的各空間內填充由凝膠制成的振動抑制件。
將永磁體34連接在磁軛30上，在光學基底上固定了其上形成有磁軛30的底座8。在光學基底的預定位置上固定光學部件如全息攝影模塊38(圖6)、向上鏡40，如果需要還應固定偏振分光器(未示出)。
擋塊10安裝到固定于光學基底上的底座8上。此外還安裝了輔助磁軛36，從而完成了光學傳感器2。
在上文中已經通過第一實施例介紹了本發明，然而本發明并不限于第一實施例。例如，可以進行以下的修改。
(1)第一實施例介紹了在一次注射模制工藝(第一模制工藝)中形成一個懸置單元的情況(圖8)，但是本發明并不限于此。例如，可以在一次注射模制工藝中形成兩個懸置單元84和86，如圖13所示。用于這種情況的模具具有基本上與用于第一實施例的模具相同的結構，除了模具型腔數目隨著待模制的夾持件數量的增加而增加之外。模制工藝基本上與圖8和9中所示的工藝相同，因此這里省略了它的說明。
或者，為了進一步提高懸置單元的制造性，可在一次注射模制中形成三個或更多懸置單元。
(2)各懸置單元可以形成為圖14B中所示的懸置單元88的形狀。在這種懸置單元88中，各彈性支撐件90在兩個夾持件89和91之間彎曲，呈現出形成一定角度的形式。
可通過下述方式來得到這種懸置單元88。在通過夾物模壓并去除框架后形成如圖14A所示的懸置單元88時，在將懸置單元88裝到模具中以模制框殼6和擋塊10之前，在某個適當點處使各彈性支撐件90彎曲，如圖14B所示。可用壓力來進行這種彎曲。這里，各彈性支撐件90可彎曲成曲線的形式，而不是形成一定角度的形式。
圖15A顯示了彎曲成一定角度的形式的一對懸置單元88，圖15B顯示了將這些懸置單元88作為嵌件而通過夾物模壓制成的框殼6和擋塊10。
雖然在圖15B中未顯示，然而凝膠保持件與夾持件91粘合，而且如同第一實施例那樣，在由凝膠保持件、夾持件91和擋塊10所形成的空間內填充了由凝膠制成的振動抑制件。因此，懸置單元88的彎曲部分被振動抑制件覆蓋。這些彎曲部分和周圍的振動抑制件一起可實現抑制較高共振的效果。
(3)除了上述(2)之外，彈性支撐件可以彎曲成在從尋跡方向看懸置單元時形成一定的角度的形式。
在圖16中顯示了一個這樣的示例。在圖16A中所示的一對懸置單元98中，上方和下方彈性支撐件92和96的擋塊端部分地彎曲成朝向中間彈性支撐件94形成一定角度的形式。可以在由板形成懸置單元時進行這種彎曲。更具體地說，制出穿過板的帶狀孔，使得帶狀的多個彈性支撐件(三個彈性支撐件)的設置中心(彈性支撐件94)兩側的彈性支撐件(彈性支撐件92和96)朝向設置中心部分地彎曲。在此示例中，設置中心是中間一個彈性支撐件，這是因為彈性支撐件的數目是奇數。另一方面，如果彈性支撐件的數目是偶數，那么設置中心是中間兩個彈性支撐件的中線。在這種情況下，所有彈性支撐件均朝向中心線部分地彎曲。
此處，彈性支撐件可彎曲成曲線的形式，而不是形成一定角度的形式。
作為彎曲彈性支撐件的結果，當從尋跡方向看懸置單元以及當從聚焦方向看懸置單元時，彈性支撐件是三維變形的。這些變形部分和周圍的振動抑制件一起可呈現出抑制彈性支撐件和可動件的較高共振的顯著效果。
圖16B顯示了將懸置單元98作為嵌件而通過夾物模壓制成的框殼6和擋塊10。應注意在此圖中也省略了凝膠保持件和振動抑制件。(第二實施例)本發明的第二實施例具有和第一實施例基本相同的結構，只在懸置單元的結構上有所不同。因此，下述介紹集中在懸置單元上，而省略了與第一實施例相同的特征的介紹。
圖17A是顯示了根據第二實施例的光學傳感器102的大致結構的透視圖。圖17B是從尋跡方向上看去的光學傳感器102的側視圖。圖17C是從聚焦方向上看去的光學傳感器102的頂視圖。應注意在這些圖中均省略了輔助磁軛、凝膠保持件以及由凝膠制成的振動抑制件。
在此實施例中，一對懸置單元104和106均具有下述結構，如圖17所示。在懸置單元104中，與夾持件120和122相連的三個彈性支撐件108，110和112的端部錯開，使得中間彈性支撐件110的連接端和上方及下方的彈性支撐件108及112的端部不共線。在懸置單元106中，與夾持件124和126相連的三個彈性支撐件114，116和118的端部錯開，使得中間彈性支撐件116的連接端和上方及下方的彈性支撐件114及118的端部不共線。在這里應注意所有彈性支撐件108，110，112，114，116和118都具有相同的跨度L。
懸置單元104關于包括了中間彈性支撐件110的長度中心并與尋跡方向平行的平面(XY平面)對稱，如同第一實施例一樣。同樣，懸置單元106關于包括了中間彈性支撐件116的長度中心并與尋跡方向平行的XY平面對稱。
通過在保持上述對稱性的同時將彈性支撐件的連接端在與尋跡方向正交的方向(Y方向)上錯開，可以抑制可動件的圓形運動，例如縱搖及偏搖。這里縱搖是指可動件繞軸θx的圓形運動，該軸通過兩個彈性支撐件組的框殼連接端的附近并平行于尋跡方向。偏搖是指可動件繞軸θz的圓形運動，該軸通過兩個彈性支撐件組的框殼連接端之間的中點并平行于聚焦方向。
即使只將彈性支撐件的框殼連接端錯開，也可以實現這種效果。然而在本例中出于下述原因，不僅將彈性支撐件的框殼連接端，而且將其擋塊連接端部均錯開。通過以框殼連接端錯開的上述方式將擋塊連接端錯開，使得所有彈性支撐件均具有相同的跨度，就可以如第一實施例那樣將彈性支撐件的主共振點(頻率)的總數限制在一點上(f0)。
在各懸置單元104和106中的這種錯開結構可以在用于懸置單元的注射模制工藝(第一模制工藝)中實現。用于這種情況的模具具有和第一實施例的模具基本上相同的結構，所以這里省略了它的說明。
在此實施例中，彈性支撐件的連接端以上述方式錯開。因此，在第二模制工藝中可以采用下述技術來容易地模制出框殼和擋塊，而不需要使用復雜的模具。
夾持件120，122，124和126在從聚焦方向上看去時為鉤形(圖17C)，以便在圖17B和17C中的虛線框內的部分(即與錯開的連接端部相關的部分)和框殼128或擋塊130之間提供間隙132，134，136和138。
更詳細地說，用于第二模制工藝的模具占據了與間隙132，134，136和138相對應的區域，因此在由第二模制工藝模制出框殼128和擋塊130時形成了間隙132，134，136和138。這樣，注入以模制框殼128的樹脂不會從圖17B所示的夾持件120(124)的凹陷處(中間彈性支撐件110(116)的框殼連接端周圍)泄漏出去。
因此，如第一實施例一樣，可以采用簡單的二件式模具來進行第二模制工藝。
(第三實施例)在本發明的第三實施例中，在框殼(可動件)上安裝了比第一實施例中更多的電氣/電子元件。因此，設置了更多的彈性支撐件以滿足對更多導線的需求。
圖18是第三實施例的光學傳感器302的透視圖。圖19是光學傳感器302的分解透視圖。應注意的是，在圖18中省略了圖19所示的輔助磁軛356R和356L。
這種光學傳感器302是所謂光學部件集成式光學傳感器。也就是說，光學傳感器302具有可動的框殼306和固定的擋塊310。框殼306由樹脂制成，并攜帶光學系統的所有光學部件，包括半導體激光器和物鏡304(圖20)。擋塊310同樣由樹脂制成，并固定在底座308上。框殼306和擋塊310通過多個彈性支撐件(在此實施例中為二十個彈性支撐件)相連，這些彈性支撐件也稱為懸置線。在下文中光學系統和框殼306統稱為可動件，而底座308和擋塊310統稱為固定件。
根據這種結構，包括光學系統和框殼306的可動件由包括底座308和擋塊310的固定件支撐，從而可在尋跡方向和聚焦方向上移動。
在包括了物鏡304的光軸并與尋跡方向正交的平面(YZ平面)的兩側設有一對致動器354R和354L，使其關于YZ平面對稱。致動器354R和354L分別包括由磁性材料制成的E形磁軛352R和352L。輔助磁軛356R和356L分別連接在這些E形磁軛352R和352L的頂部上。輔助磁軛356R和356L都是磁性板，用于形成有效磁路。雖然這兩個致動器354R和354L由字母符號“R”和“L”來區分，但是它們具有相同的結構，并因此用相同的標號來表示其對應的結構件。另外，由于致動器354R和354L具有相同的結構，因此在不需要區分它們時就用相同的標號“354”來簡單地表示它們。
各E形磁軛352形成于底座308上。更詳細地說，各E形磁軛352具有通過粘結而固定在底座308上的兩個外磁軛356和358以及一個中間磁軛360。永磁體362和364連接在外磁軛356及358的相對表面上，相同的磁極(在此實施例中為北極)指向另一磁軛，從而形成了磁路。各E形磁軛352定位成使得外磁軛356、中間磁軛360和外磁軛358設置在Y方向上，從而在Y方向(與尋跡方向正交的方向)上產生了磁通量。另外，E形磁軛352R和352L設置成關于YZ平面對稱。
通過線圈安裝件366R和366L將管狀聚焦線圈368R和368L安裝在框殼306上。這些聚焦線圈368R和368L設置成使得E形磁軛352R和352L的中間磁軛360R和360L分別以一定的間隙插入到聚焦線圈368R和368L中。
另外，尋跡線圈370R和370L連接在聚焦線圈368R和368L的側面上，該側面和連接在線圈安裝元件366R和366L上的側面相對。尋跡線圈370R和370L當沿聚焦方向看去時具有日本片假名字母“コ”的形狀。利用粘合劑將尋跡線圈370R和370L連接到框殼306的框架部分372R和372L上。當從聚焦方向看去時，各聚焦線圈370的兩端均位于E形磁軛352的外磁軛356與中間磁軛360之間以及外磁軛358和中間磁軛360之間。
因此，各致動器354包括具有磁體362和364的E形磁軛352、聚焦線圈368，以及尋跡線圈370。通過設置這種致動器354，可以沿聚焦方向和尋跡方向驅動可動件。
更詳細地說，具有磁體362和364的E形磁軛352產生從外磁軛356指向中間磁軛360的第一磁通量，以及從外磁軛358指向中間磁軛360的第二磁通量(方向與第一磁通量相反)。聚焦線圈368設置成在中間磁軛360以一定間隙插入到聚焦線圈368中時與第一和第二磁通量鏈接。因此，當激勵聚焦線圈368時，在聚焦線圈368的位于外磁軛356和中間磁軛360之間以及外磁軛358和中間磁軛360之間的部分上流過X方向上的電流。這就在聚焦方向上產生了驅動力。同時，當激勵尋跡線圈370時，在形狀如日本片假名字母“コ”的尋跡線圈370的兩端流過Z方向上的電流。這就在尋跡方向上產生了驅動力。
這里，聚焦線圈368R和368L串聯式地電連接，使得在被激勵時產生相同方向的驅動力。同樣，尋跡線圈370R和370L串聯式地電連接，使得在被激勵時產生相同方向的驅動力。
圖20是顯示了安裝在框殼306上的光學部件的縱向剖視圖。
全息攝影模塊378固定在框殼306上。該全息攝影模塊378和第一實施例的全息攝影模塊類似，其包括其上設有光發射元件和多個光接收元件(未示出)的光發射/接收元件襯底374，以及全息攝影光學部件376。從全息攝影模塊378中的光發射元件(半導體激光器)中發出的激光束(由虛線表示)被安裝在框殼306上的向上鏡380反射。結果，主要光束以與物鏡304的光軸基本上一致的方向進入物鏡304。然后，穿過物鏡304的激光束聚焦在光記錄媒體(未示出)的信息記錄面上。
激光束被信息記錄面反射，所得到的返回光束沿相同光路的反向返回。也就是說，返回光束穿過物鏡304并被向上鏡380反射，從而進入到全息攝影模塊378中。激光束被多個光接收元件接收。結果，可以檢測到包括有聚焦誤差信號和尋跡誤差信號的伺服信號以及信息記錄信號，并將其傳送到控制電路(未示出)中。
控制電路基于聚焦誤差信號和尋跡誤差信號來控制提供給聚焦線圈368R和368L以及尋跡線圈370和370L的電流量。
回到圖18和19，在包括了物鏡304的光軸并基本與尋跡方向基本上正交的平面(YZ平面)的一側在聚焦方向上平行地設置了十個彈性支撐件312，314，316，318，320，322，324，326，328和330。同樣，在YZ平面的另一側在聚焦方向上平行地設置了十個彈性支撐件332，334，336，338，340，342，344，346，348和350。這兩組十個彈性支撐件關于YZ平面對稱。這里，如同第一實施例一樣，通過只在聚焦方向上設置彈性支撐件，與彈性支撐件還設置在尋跡方向上的情況相比，可以緊湊地制出整個光學傳感器(即減小了尋跡方向上的尺寸)。在下文中，包括彈性支撐件312，...，330的懸置單元稱為懸置單元311，而包括彈性支撐件332，...，350的懸置單元稱為懸置單元331。
如同第一實施例一樣，通過壓力加工來形成各懸置單元311和331的彈性支撐件。例如，利用典型的精密壓力加工技術可以實現以下的尺寸。一個彈性支撐件的寬度(即聚焦方向上的長度)為b＝90(微米)。一個彈性支撐件的厚度(即尋跡方向上的長度)為t＝70(微米)。相鄰彈性支撐件之間的間距為s＝250(微米)。一個彈性支撐件組在聚焦方向上的寬度是B＝10×b+(10-1)×s＝3.15(微米)。該寬度B小于可動件在聚焦方向上的高度。因此，彈性支撐件的數量增加不會引起整個光學傳感器在聚焦方向上的尺寸增加。在這里應注意，與第一實施例一樣，可通過蝕刻代替壓力加工來形成彈性支撐件。
彈性支撐件的材料和截面與第一實施例中的相同。
這樣，第三實施例中的各懸置單元具有比第一實施例中更多的彈性支撐件。另外，第三實施例中的各懸置單元具有比第一實施例中更多的夾持件。
也就是說，懸置單元311具有夾持件382，384，386和388，而懸置單元331具有夾持件390，392，394和396。這樣，第三實施例中的各懸置單元具有四個夾持件，而第一實施例中的各懸置單元具有兩個夾持件。即使在以這種方式增加夾持件的數量時，也可以通過與第一實施例相同的夾物模壓來形成懸置單元，只要模具型腔的數量隨夾持件數量的增加而增加。
在懸置單元311和331中，彈性支撐件的處于夾持件382和384之間的部分以及彈性支撐件的處于夾持件390和392之間的部分用于彈性地支撐可動件。在懸置單元311中，最上方的彈性支撐件312和最下方的彈性支撐件330在夾持件386和388之間被切斷。在懸置單元331中，最上方的彈性支撐件332和最下方的彈性支撐件350在夾持件394和396之間被切斷。
在通過第一模制工藝中形成了各懸置單元311和331后，各懸置單元311和331中的彈性支撐件組在四個點處彎曲。之后，將懸置單元311和331裝入到用于第二模制工藝的模具中，并進行與第一實施例相同的夾物模壓(第二模制工藝)，以形成框殼306和擋塊310。
一旦得到框殼306和擋塊310，就將各部件安裝在框殼306上。具體地說，通過粘結等方式將物鏡304、向上鏡380、聚焦線圈368R和368L、尋跡線圈370R和370L、全息攝影模塊378等固定在框殼306上。
之后，進行布線以將這些部件和彈性支撐件相連。
下面將參考圖21A和21B來說明部件和彈性支撐件之間的連接關系。
串聯的聚焦線圈368R和368L的一端與彈性支撐件330的框殼端相連，而另一端與彈性支撐件332的框殼端相連。
串聯的尋跡線圈370R和370L的一端與彈性支撐件312的框殼端相連，而另一端和彈性支撐件350的框殼端相連。
全息攝影模塊378中的半導體激光器的正極端子與彈性支撐件336的框殼端相連，而半導體激光器的負極端子與彈性支撐件338的框殼端相連。
用于驅動全息攝影模塊378中的光發射/接收元件襯底374上的光接收元件的驅動電壓Vcc的輸入端子與彈性支撐件316的框殼端相連。光發射/接收元件襯底374上的基準電壓Vref的輸入端子與彈性支撐件318的框殼端相連。光發射/接收元件襯底374上的接地端子與彈性支撐件314的框殼端相連。
用于輸出全息攝影模塊378中的光發射/接收元件襯底374上的聚焦誤差信號的一對端子中的一個端子與彈性支撐件322的框殼端相連，而另一端子與彈性支撐件342的框殼端相連。
用于輸出全息攝影模塊378中的光發射/接收元件襯底374上的尋跡誤差信號的一對端子中的一個端子與彈性支撐件324的框殼端相連，而另一端子與彈性支撐件344的框殼端相連。
用于輸出全息攝影模塊378中的光發射/接收元件襯底374上的信息記錄信號的一對端子中的一個端子與彈性支撐件326的框殼端相連，而另一端子與彈性支撐件346的框殼端相連。
另一方面，各彈性支撐件的擋塊端與包括有光學傳感器302的裝置主體內的控制電路等的預定端子相連。這里，彈性支撐件320，328，334，340和348的擋塊端與控制電路等的接地端子相連。因此，這些彈性支撐件320，328，334，340和348保持在零電位。這樣，在此實施例中，包含這五個彈性支撐件和彈性支撐件314的總共六個彈性支撐件處于零電位。
聚焦線圈368R和368L或尋跡線圈370R和370L的兩端之間的驅動電壓Vact為0.2到0.6伏。半導體激光器的驅動電壓Vop約為2.0伏。光發射/接收元件襯底374上的驅動電壓Vcc為3.0到5.0伏。基準電壓Vref是Vcc的一半(即1.5到2.5伏)。同時，來自光發射/接收元件襯底374的上述所檢測到的信號輸出(聚焦誤差信號、尋跡誤差信號和信息記錄信號)的信號電壓是幾十到幾百毫伏。因此，在所檢測到的信號的電壓和驅動電壓之間存在顯著的差異。這樣，如果將彈性支撐件隨機地相連，那么檢測信號會受到驅動電壓的影響，從而導致信噪比下降。
考慮到這一點，這些部件(端子)和彈性支撐件連接成使得零電位的彈性支撐件(320，328，334，340和348)位于用于施加驅動電壓(用于施加驅動功率)的彈性支撐件(312，316，318，330，332，336，338和350)和用于抽取檢測信號的彈性支撐件(322，324，326，342，344和346)之間。
換句話說，以這種方式來布線(連接)，使得不與框殼306上的任何部件相連但與裝置主體內的電路相連從而具有零電位的至少一個彈性支撐件位于用于提供驅動電源(驅動功率)的彈性支撐件和用于抽取所檢測的信號的彈性支撐件之間。可將一個電氣/電子元件與預定彈性支撐件的框殼端相連。然后將另一電氣/電子元件與一個彈性支撐件的框殼端相連，此彈性支撐件通過被至少一個不與框殼306上的任何電氣/電子元件連接的彈性支撐件而與預定彈性支撐件分隔開。這就允許將未用作安裝在框殼306上的電氣/電子元件的布線的彈性支撐件設為零電位。因此，可以降低通過彈性支撐件而發生于不同的電氣/電子元件之間的噪音的不利影響。
回到圖19，永磁體362R，364R，362L和364L分別與外磁軛356R，358R，356L和358L相連。之后將底座308固定到光學基底上。
之后，將擋塊310連接在固定于光學基底上的底座308上。最后安裝輔助磁軛356R和356L，完成光學傳感器302。
這里，如同第一實施例一樣，從聚焦方向上看去時，懸置單元311和331的彈性支撐件組可相互間不平行地定位。同樣，如同第一實施例一樣，當從尋跡方向看去時，各彈性支撐件組的彈性支撐件可相互間不平行地定位。
已經通過上述實施例介紹了本發明，然而很明顯，本發明并不局限于上述實施例。下面給出了一些改進的示例。
(1)上述實施例介紹了MC型，其中聚焦線圈和尋跡線圈設于框殼上，而裝有磁體的磁軛(磁路)設于底座上，但是也可以使用MM(移動磁體)型。MM型是一種結構的傳感器，其中裝有磁體的磁軛設于框殼上，而聚焦線圈和尋跡線圈設于底座上。在MM型的情況下，可以減少布線所需的彈性支撐件的數量。然而需要在框殼上安裝附加的電氣/電子元件。在這種情況下，需要比MC型更多的彈性支撐件。而且，如果液晶傾斜校正部件的校正區域分成更小的區域，那么需要與這些校正區域相同數目的導線。在這種情況下，需要增加彈性支撐件的數量。
(2)上述實施例介紹了通過將懸置單元作為嵌件的夾物模制(第二模制工藝)而形成框殼和擋塊的情況，然而形成框殼和擋塊的方法并不限于夾物模壓。例如，可以單獨地模制框殼和擋塊。在這種情況下，利用用于形成框殼的模具來注射模制框殼(框殼模制工藝)，利用形成擋塊的模具來注射模制擋塊(擋塊模制工藝)。
作為替代，可以用一個模具來模制框殼和擋塊，以替代獨立的模具。這種模具具有用于框殼和擋塊的兩個模具型腔，從而可以在一次工藝中形成框殼和擋塊(框殼和擋塊模制工藝)。
然后，利用粘合劑將這樣形成的框殼和擋塊與懸置單元的夾持件相連。
或者，可以利用超聲波焊接將它們相連。
雖然已經參考附圖并通過示例完整地介紹了本發明，然而應當注意，對于本領域的技術人員來說顯然可進行不同的變化和修改。
因此，除非這些變化和修改脫離了本發明的范圍，否則它們均包括在內。
權利要求
1.一種用于光學傳感器的制造方法，其中帶有物鏡的可動件由固定件通過一對彈性支撐件組來支撐，使得所述可動件可在聚焦方向和尋跡方向上移動，各所述彈性支撐件組由多個平行設置的彈性支撐件構成，所述方法包括懸置單元成形步驟，其中通過夾物模壓在所述多個彈性支撐件的長度方向上在各所述彈性支撐件組的不同位置處形成兩個夾持件，使得可將所述多個彈性支撐件夾持在一起，從而形成了一對懸置單元，所述夾持件由合成樹脂制成；和連接步驟，其中使所述這對懸置單元彼此相對地設置且所述多個彈性支撐件的設置方向基本上與所述聚焦方向相同，并將各所述懸置單元的一個夾持件連接到所述可動件上，將各所述懸置單元的另一夾持件連接到所述固定件上。
2.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述連接步驟中，通過將所述夾持件作為嵌件的夾物模壓來形成所述可動件和固定件，從而將所述夾持件與所述可動件和固定件相連。
3.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述方法還包括用于形成所述可動件的可動件成形步驟；和用于形成所述固定件的固定件成形步驟，其中在所述連接步驟中將所述夾持件與所述可動件和固定件相連。
4.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述方法還包括板處理步驟，其中制作了穿過平板的帶狀孔，從而形成帶狀形式的多個彈性支撐件，它們在所述板的邊緣部分處連接在一起，其中，所述懸置單元成形步驟包括通過用二件式模具將被處理的板夾在中間、并將合成樹脂注射到模具型腔中以形成各所述夾持件的子步驟，其中所述二件式模具可在基本上正交于所述板的方向上打開和閉合。
5.根據權利要求4所述的制造方法，其特征在于，在所述懸置單元成形步驟中，從所述模具的與所述多個所述彈性支撐件的設置方向上的夾持件的對稱中心相對應的部分處注入合成樹脂。
6.根據權利要求4所述的制造方法，其特征在于，在所述連接步驟中將所述這對懸置單元相對地定位，使得從所述聚焦方向上看去時所述這對彈性支撐件組相互間不平行。
7.根據權利要求6所述的制造方法，其特征在于，在所述連接步驟中將所述這對懸置單元相對地定位，使得從所述聚焦方向上看去時所述這對彈性支撐件組在不同的方向上彎曲。
8.根據權利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述方法還包括彎曲步驟，其中在所述連接步驟前使得所述多個彈性支撐件中的每一個的位于所述夾持件之間的部分彎曲；和振動抑制材料設置步驟，其中在所述連接步驟后用振動抑制材料覆蓋住所述彎曲部分。
9.根據權利要求8所述的制造方法，其特征在于，通過在所述板處理步驟中制出穿過所述板的帶狀孔來進行所述彎曲步驟，使得所述多個彈性支撐件的設置中心兩側的彈性支撐件均朝向所述設置中心部分地彎曲。
10.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述懸置單元成形步驟中，使各所述夾持件的與所述可動件或固定件相連的表面粗糙化。
11.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述方法還包括彎曲步驟，其中在所述連接步驟前使得所述多個彈性支撐件中的每一個的位于所述夾持件之間的部分彎曲；和振動抑制材料設置步驟，其中在所述連接步驟后用振動抑制材料覆蓋住所述彎曲部分。
12.根據權利要求11所述的制造方法，其特征在于，通過壓力加工來進行所述彎曲步驟。
全文摘要
提供了一種用于光學傳感器的制造方法，其中帶有物鏡的可動件由固定件通過一對彈性支撐件組來支撐，使得可動件可在聚焦方向和尋跡方向上移動，各彈性支撐件組由多個平行的彈性支撐件構成。在懸置單元成形步驟中，在彈性支撐件的縱向上通過夾物模壓在各各彈性支撐件組的不同位置處形成兩個夾持件，從而形成了一對懸置單元。在連接步驟中，使所述這對懸置單元彼此相對地設置且彈性支撐件的設置方向基本上與聚焦方向相同，并將各懸置單元的一個夾持件連接到可動件上，而將另一夾持件連接到固定件上。
文檔編號G11B7/22GK1448924SQ03107798
公開日2003年10月15日 申請日期2003年4月3日 優先權日2002年4月3日
發明者井島新一, 石堂輝樹, 山中一彥, 小野澤和利 申請人:松下電器產業株式會社