專利名稱：光學(xué)元件、光半導(dǎo)體裝置及使用它們的光學(xué)式信息處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對光盤等信息記錄媒體進(jìn)行信息的記錄、重放和擦除等處理的光學(xué)式信息處理裝置。特別涉及該光檢測頭裝置使用的具有重放信號(hào)和各種伺服信號(hào)的檢測功能的光半導(dǎo)體裝置及其使用的光學(xué)元件。
背景技術(shù)：
參照
圖10說明以往光學(xué)式信息處理裝置使用的具有重放信號(hào)和各種伺服信號(hào)的檢測功能的光半導(dǎo)體裝置的構(gòu)成和工作原理。從作為光源的半導(dǎo)體激光元件101射出的光束利用3束生成用衍射光柵元件102，在圖中的Y方向接受衍射光，將分出的0次光作為主光束，±1次光作為子光束。該3個(gè)分光光束利用物鏡105在信息記錄媒體106上聚光，經(jīng)信息記錄媒體106反射后入射到全息攝像元件103上。
全息攝像元件103是由曲線狀柵格形成的衍射光柵。從信息記錄媒體106來的反射光束利用全息攝像元件103分光，這時(shí)，+1次衍射光107A聚光，-1次衍射光107B發(fā)散，然后導(dǎo)向受光元件104A、104B。入射到受光元件104A的+1次衍射光107A的焦點(diǎn)在受光面的前面，入射到受光元件104B的-1次衍射光107B的焦點(diǎn)在受光面的后面。
從導(dǎo)向受光元件104A、104B的反射光束中檢測出來自主光束的重放信號(hào)和聚焦誤差信號(hào)，并檢測出來自子光束的跟蹤誤差信號(hào)。進(jìn)行聚焦伺服控制，使由全息攝像元件103分光的+1次衍射光107A和-1次衍射光107B在受光元件上的光點(diǎn)的尺寸大致相同。通過這樣的伺服作用來進(jìn)行物鏡的位置控制，從而使光學(xué)式信息處理裝置處于合適的工作狀態(tài)。
在上述先有的的光半導(dǎo)體裝置中，使用同一個(gè)受光元件104A、104B檢測重復(fù)信號(hào)的重復(fù)信號(hào)重放信號(hào)和聚焦誤差信號(hào)。但是，因受光元件104A、104B必須在由全息攝像元件103進(jìn)行聚光或發(fā)散的±1次衍射光分別處于散焦的狀態(tài)下受光，故其受光面積必須達(dá)到30000μm。若受光元件的受光面積增大，則附在該受光元件上的靜電電容也變大，對快速響應(yīng)特性有明顯的影響。特別在對CD-ROM或DVD-ROM等進(jìn)行幾十倍速的高速重放時(shí)，就存在很大的問題。此外，若重放信號(hào)檢測用受光元件的受光面積大，則入射的散射光成分(外界光、不需要的反射光)變大，存在重放信號(hào)的信噪比(以下，稱作S/N)低的問題。
發(fā)明的公開本發(fā)明的目的在于解決上述問題并提供一種能進(jìn)行信息記錄媒體的高倍速重放，同時(shí)能得到S/N比高的重放信號(hào)的光半導(dǎo)體裝置及使用它的光學(xué)式信息處理裝置。
本發(fā)明的光半導(dǎo)體裝置具有激光元件、將從上述激光元件射出的光束分成多個(gè)光束的射出光束分光部、將從信息記錄媒體來的反射光束分成聚光狀態(tài)各不相同的光束的反射光束分光部、在散焦的狀態(tài)下接受從上述反射光束分光部分出的反射光束的伺服信號(hào)檢測用受光元件、設(shè)在上述射出光束分光部中使通過上述反射光束分光部的反射光束衍射的第1衍射光柵和接受已經(jīng)上述第1衍射光柵衍射的反射光束的信號(hào)檢測用受光元件。
若按照該構(gòu)成，因可以構(gòu)成為使第1衍射光柵的從信息記錄媒體來的反射光的衍射光在重放信號(hào)檢測用的受光元件上大致聚光，故能夠縮小重放信號(hào)檢測用的受光元件的受光面積。由此，可以大幅度降低受光元件的附隨靜電電容，所以能夠?qū)崿F(xiàn)重放信息的高速響應(yīng)。進(jìn)而，通過縮小重放信號(hào)檢測用受光元件的面積，可以降低入射的散射光成分，能得到S/N比高的重放信號(hào)。
本發(fā)明的另一構(gòu)成的光半導(dǎo)體裝置具有激光元件、從上述激光元件來的射出光束通過的第1光學(xué)元件、將從信息記錄媒體來的反射光束分成聚光狀態(tài)各不相同的光束的第2光學(xué)元件和設(shè)在上述第1光學(xué)元件中使通過上述第2光學(xué)元件的上述反射光束衍射的第1衍射光柵。
本發(fā)明的光學(xué)元件包括設(shè)在透光部件的一個(gè)面上且具有第1衍射光柵和第2衍射光柵的第1光學(xué)元件和設(shè)在上述透光部件的另一個(gè)面上且將反射光束分成聚光狀態(tài)各不相同的光束的第2光學(xué)元件。上述第1衍射光柵和第2衍射光柵相鄰且并排排列在第1方向上，而且，上述第1衍射光柵的柵格方向與上述第1方向不同。
附圖的簡單說明圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)的光半導(dǎo)體裝置及使用它的光學(xué)式信息處理裝置的概要的截面圖。
圖2是圖1光半導(dǎo)體裝置中的射出光束分光部的平面圖。
圖3是圖2的射出光束分光部中的第1衍射光柵的局部放大截面圖。
圖4是表示第1衍射光柵的另一形態(tài)的局部放大截面圖。
圖5是表示包含在圖1的光半導(dǎo)體裝置的受光元件中的受光部的配置的局部放大平面圖。
圖6是本發(fā)明的第2實(shí)施形態(tài)的光半導(dǎo)體裝置中的射出光束分光部的平面圖。
圖7是本發(fā)明的第3實(shí)施形態(tài)的光半導(dǎo)體裝置中的射出光束分光部的平面圖。
圖8是表示包含在本發(fā)明的第3實(shí)施形態(tài)的光半導(dǎo)體裝置的受光元件中的受光部的配置的局部放大平面圖。
圖9是表示本發(fā)明的第3實(shí)施形態(tài)的光半導(dǎo)體裝置的受光元件的另一形態(tài)的局部放大平面圖。
圖10是表示先有的光半導(dǎo)體裝置及使用它的光學(xué)式信息處理裝置的截面圖。
實(shí)施發(fā)明的最佳形態(tài)(第1實(shí)施形態(tài))圖1示出本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)的光半導(dǎo)體裝置1(原理上的截面結(jié)構(gòu))及使用它的光學(xué)式信息處理裝置2的概要構(gòu)成。光學(xué)式信息處理裝置2包含光半導(dǎo)體裝置1、使從光半導(dǎo)體裝置1射出的光束在信息記錄媒體3(例如，光盤、光磁盤等)上聚光的物鏡4和控制它們的動(dòng)作的機(jī)構(gòu)(伺服機(jī)構(gòu)或信號(hào)處理電路等，未圖示)。
光半導(dǎo)體裝置1包含光半導(dǎo)體元件11、該半導(dǎo)體元件的封裝21和放置在該封裝21上的光學(xué)元件31。光半導(dǎo)體裝置1可以通過利用封裝21和光學(xué)元件31將半導(dǎo)體元件密封并使其一體化來進(jìn)行集成?？梢蕴岣咴撁芊獾臍饷苄阅芎桶雽?dǎo)體元件11的可靠性。
半導(dǎo)體元件11包含具有用熱擴(kuò)散等方法設(shè)在硅襯底上的多個(gè)受光部43、45、47的受光元件41和在同一塊硅襯底上形成的半導(dǎo)體激光元件51。利用濕腐蝕在硅襯底上形成具有傾斜面的凹部(未圖示)，半導(dǎo)體激光元件51由放置在該凹部的底面的化合物形成，產(chǎn)生的激光波長大約是300～800nm。光束從半導(dǎo)體激光元件51的Y方向射出，經(jīng)上述傾斜面反射后變成Z方向的光束。再有，若半導(dǎo)體激光元件51是面發(fā)光型，也可以不采用這樣的傾斜面。
若象這樣在1塊硅襯底上集成半導(dǎo)體激光元件51和受光元件41，則可以使光半導(dǎo)體裝置小型化。進(jìn)而，若是在上述硅襯底形成時(shí)可以通過半導(dǎo)體工藝來決定半導(dǎo)體激光元件51和受光元件41的相對位置關(guān)系的結(jié)構(gòu)(例如，通過掩膜配合來形成受光部和凹部)，則與獨(dú)立組裝這些元件、進(jìn)行位置調(diào)整和固定的方法比較，可以減少工序，縮短組裝時(shí)間和削減成本。此外，也可以將受光部和用來對由此得到的電信號(hào)進(jìn)行電流電壓變換或用來進(jìn)行運(yùn)算的集成電路一起在同一塊硅襯底上形成。由此，可以進(jìn)一步小型化。再有，作為光源，可以不限于半導(dǎo)體激光元件，也可以使用其它種類的激光元件(例如，使用SHG的元件)。
光學(xué)元件31以對所使用的波長大致是透明的玻璃或樹脂等作為基體，在其一個(gè)面上設(shè)置對從半導(dǎo)體激光元件51來的射出光束進(jìn)行分光的射出光束分光部61，在另一個(gè)面上設(shè)置對從信息記錄媒體3來的反射光束進(jìn)行分光的反射光束分光部71。在射出光束分光部61上設(shè)置衍射光柵，如后述那樣，用來在從信息記錄媒體3來的反射光束中分出已通過反射光束分光部71的光束。射出光束分光部61和反射光束分光部71也可以分別單獨(dú)作為第1光學(xué)元件和第2光學(xué)元件來設(shè)置。此外，射出光束分光部61也可以不具有對從半導(dǎo)體激光元件51來的射出光束進(jìn)行分光的功能，而只讓其通過。
從半導(dǎo)體激光元件51來的射出光束利用物鏡4，經(jīng)射出光束分光部61和反射光束分光部71在信息記錄媒體3上聚光。從信息記錄媒體3來的反射光束利用反射光束分光部71所在X方向進(jìn)行衍射分光，其±次衍射光束83、85被導(dǎo)向受光元件41的受光部43、45。此外，0次衍射光(透過光)再次入射到射出光束分光部61，經(jīng)設(shè)在射出光束分光部61上的第1衍射光柵衍射后，導(dǎo)向受光部47。
射出光束分光部61如圖2所示，包含第1衍射光柵63、第2衍射光柵65和第3衍射光柵的區(qū)域，構(gòu)成3束生成用衍射光柵元件。圖中用幾根線分別示出各衍射光柵的圖案形狀。此外，會(huì)聚在物鏡4上的各光束在射出光束分光部61上的有效區(qū)域作為主光束81(r是其半徑)、子光束82、84示出。
從半導(dǎo)體激光元件51來的射出光束通過射出光束分光部61在圖中的Y方向產(chǎn)生衍射并進(jìn)行分光，將第1衍射光柵63的0次衍射光作為主光束81，將第2、第3衍射光柵65、67的±1次衍射光作為子光束82、84，使它們會(huì)聚在作為聚光裝置的物鏡4上。
在連接半導(dǎo)體激光元件51的發(fā)光點(diǎn)和入射到信息記錄媒體3的主光束光點(diǎn)的光軸上，設(shè)從半導(dǎo)體激光元件51的發(fā)光點(diǎn)到射出光束分光部61的空氣換算距離為d?？諝鈸Q算距離是指介質(zhì)內(nèi)傳播的光的行進(jìn)距離除以該介質(zhì)的折射率所得到的值。此外，設(shè)物鏡4的數(shù)值孔徑為NA。進(jìn)而，設(shè)從射出光束分光部61中的上述光軸和射出光束分光部61的交點(diǎn)開始測定的X方向的距離為r，這時(shí)，形成的第1衍射光柵63的區(qū)域至少包含滿足r≤d tan(sin-1(NA)) (式1)的區(qū)域。
反射光束分光部71由全息攝像元件構(gòu)成，全息攝像元件由已由曲線狀柵格形成的衍射光柵形成。從信息記錄媒體3來的3束反射光束分光后，無論是主光束81還是子光束82、84，+1次衍射光束83進(jìn)行聚光，-1次衍射光束85進(jìn)行發(fā)散后，再分別導(dǎo)向受光元件41的受光部43、45。另一方面，由反射光束分光部71分出的反射光束的主光束81的0次衍射光束87再入射到射出光束分光部61。該光束利用射出光束分光部61的第1衍射光柵63在X方向衍射。第1衍射光柵63等構(gòu)成為使第1衍射光柵63的+1次衍射光束88在設(shè)在受光元件41的重放信號(hào)檢測用受光部47上大致呈聚光狀態(tài)。由此，可以減小重放信號(hào)檢測用受光部47的受光面積，可以快速檢測出重放信號(hào)。在實(shí)施例中，重放信號(hào)檢測用受光部47的受光面積可以是400～2500μm2左右。
圖3是射出光束分光部61中的第1衍射光柵63的局部放大截面圖。在第1衍射光柵63的各衍射光柵中進(jìn)而形成階梯形的柵格63A。若按照該結(jié)構(gòu)，可以使入射到重放信號(hào)檢測用受光部47的+1次衍射光束88的衍射效率比-1次衍射光束89的衍射效率優(yōu)先增大。因此，入射到重放信號(hào)檢測用受光部47的信號(hào)光量上升，可以得到S/N比高的重放信號(hào)。該階梯狀的柵格63A例如可以通過反復(fù)進(jìn)行光刻和蝕刻來形成。
圖4是表示第1衍射光柵63的另一形態(tài)的局部放大截面圖。設(shè)置三角形的柵格63B作為第1衍射光柵63的各衍射光柵。該三角形的柵格63B例如可以使用強(qiáng)度可逐級(jí)變化的EB(電子束)直接形成，也可以先在感光材料上進(jìn)行一次暴光成象，再使用該感光材料作為鑄模來形成。在該形態(tài)中，也可以使入射到重放信號(hào)檢測用受光部47的+1次衍射光束88的衍射效率比-1次衍射光束89的衍射效率優(yōu)先增大?？梢缘玫絊/N比高的重放信號(hào)。
當(dāng)然，第1衍射光柵63也可以是大致呈矩形的衍射光柵。
圖5是受光元件41的受光部43、45和重放信號(hào)檢測用受光部47的局部放大平面圖。受光部43主要包括在X方向延伸的3個(gè)受光部433、435和437。受光部433在Y方向分割成3個(gè)部分433a、433b和433c。受光部45也和受光部43一樣，包括受光部453、455和457。受光部453在Y方向分割成3個(gè)部分453a、453b和453c。在導(dǎo)向受光部43、45的反射光束中，從主光束81檢測出聚焦誤差信號(hào)，從子光束82、84檢測出跟蹤誤差信號(hào)。圖5模式地示出各受光部的光點(diǎn)。
這里，設(shè)由受光部433a、433b、433c、435、437、453a、453b、453c、455、457檢測出的各信號(hào)量分別為S(433a)、S(433b)、S(433c)、S(435)、S(437)、S(453a)、S(453b)、S(453c)、S(455)、S(457)。
聚焦伺服使主光束在受光部上的光點(diǎn)尺寸大致相同，即使其變成{S(433a)+S(453b)+S(433c)}-{S(433b)+S(453a)+S(453c)}＝0的狀態(tài)。
如上所述，反射光束分光部71的0次衍射光束87入射到射出光束分光部61中的第1衍射光柵63，由此，+1次衍射光束88在大致呈聚光的狀態(tài)下入射到重放信號(hào)檢測用受光部47上。圖5模式地示出重放信號(hào)檢測用受光部47面上的+1次衍射光束88的光點(diǎn)。因+1次衍射光束88在大致呈聚光的狀態(tài)下入射，故重放信號(hào)檢測用受光部47與其它伺服用受光部433、435、437等相比，可以縮小受光面積。通過減小重放信號(hào)檢測用受光部47的受光面積，可以大幅度降低受光元件附隨的靜電電容，可以對重放信號(hào)進(jìn)行高速響應(yīng)。此外，因可以減小入射到重放信號(hào)檢測用受光部47的散射光成分，故能夠得到S/N比高的重放信號(hào)。
(第2實(shí)施形態(tài))圖6示出第2實(shí)施形態(tài)的射出光束分光部62的平面圖。本實(shí)施形態(tài)是第1實(shí)施形態(tài)的射出光束分光部61的另一形態(tài)的例子。
射出光束分光部62的特征是把第1衍射光柵68作成曲線狀的柵格。其余的與射出光束分光部61相同，對同一要素使用同一符號(hào)進(jìn)行說明。若按照上述曲線狀柵格的結(jié)構(gòu)，可以對由第1衍射光柵衍射的光束進(jìn)行聚光或發(fā)散。因此，通過使柵格的曲率變化，可以自由地改變從信息記錄媒體3來的反射光束的聚光位置。因此，可以以大致聚光的狀態(tài)將從信息記錄媒體3來的反射光束導(dǎo)向重放信號(hào)檢測用受光部47，而與受光元件面和射出光束分光部62的距離無關(guān)。
當(dāng)然，若在第1衍射光柵68的各柵格內(nèi)設(shè)置和第1實(shí)施形態(tài)同樣的階梯狀等的柵格，也可以得到和第1實(shí)施形態(tài)相同的效果。
(第3實(shí)施形態(tài))第3實(shí)施形態(tài)是第1實(shí)施形態(tài)的射出光束分光部61進(jìn)而具有另外的結(jié)構(gòu)的例子。圖7示出本實(shí)施形態(tài)的射出光束分光部62A的平面圖。圖8示出受光元件的局部放大平面圖。因第1衍射光柵69及信號(hào)檢測用受光部48a、48b、48c、48d之外的要素具有和第1實(shí)施形態(tài)相同的結(jié)構(gòu)，故對同一要素使用相同的符號(hào)。
在本實(shí)施形態(tài)的射出光束分光部62A中，第1衍射光柵69在柵格方向不同的多個(gè)衍射光柵區(qū)形成。在圖7所示的第1衍射光柵69中，柵格方向不同的4個(gè)衍射光柵區(qū)69a、69b、69c、69d配置成使從信息記錄媒體3來的反射光束的光點(diǎn)等距離排列。
為了接受經(jīng)衍射光柵區(qū)69a、69b、69c、69d衍射的各光束，如圖8所示，設(shè)置多個(gè)信號(hào)檢測用受光部48a、48b、48c、48d。經(jīng)衍射光柵區(qū)69a、69b、69c、69d衍射的各光束大致聚光在信號(hào)檢測用受光部48a、48b、48c、48d上。
若按照該構(gòu)成，從信息記錄媒體3來的主光束81的反射光束經(jīng)構(gòu)成第1衍射光柵69的多個(gè)衍射光柵區(qū)69a、69b、69c、69d衍射后，分別入射到信號(hào)檢測用受光部48a、48b、48c、48d。這樣，通過使用由與各光點(diǎn)對應(yīng)的多個(gè)信號(hào)檢測用受光部48a、48b、48c、48d檢測出的信號(hào)，可以得到推挽(push-pull)信號(hào)或相位差信號(hào)。因此，可以使跟蹤誤差信號(hào)與使用的信息記錄媒體3的方式對應(yīng)，從3束法、推挽法和相位差法中選擇最合適的方法來使用。
此外，也可以如圖9所示的受光元件的局部放大平面圖那樣，將信號(hào)檢測用受光部48a、48b、48c、48d配置成使各自到發(fā)光點(diǎn)的距離相等。若按照該結(jié)構(gòu)，可以在構(gòu)成第1衍射光柵69的多個(gè)衍射光柵區(qū)69a、69b、69c、69d的所有區(qū)域中構(gòu)成等光柵周期。因此，在用蝕刻等形成第1衍射光柵時(shí)，可以使其難以出現(xiàn)柵格的深度不均等光柵制作時(shí)的離散，可以制作出特性穩(wěn)定的光柵。
再有，在圖1的光學(xué)式信息處理裝置中，也可以構(gòu)成為使物鏡4固定配置在光半導(dǎo)體裝置1上，對它們進(jìn)行一體驅(qū)動(dòng)。因此，因不會(huì)出現(xiàn)信號(hào)量減小等獨(dú)立驅(qū)動(dòng)物鏡時(shí)發(fā)生的光學(xué)特性變壞的現(xiàn)象，故能夠得到良好的重放信號(hào)和聚焦/跟蹤誤差信號(hào)。
本發(fā)明的光半導(dǎo)體裝置應(yīng)廣義地來定義。例如，光半導(dǎo)體裝置1和使物鏡4或一部分控制機(jī)構(gòu)模塊化而構(gòu)成的所謂光檢測裝置都屬于本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置。另一方面，當(dāng)將半導(dǎo)體元件11作為單體對待時(shí)，可以稱作半導(dǎo)體激光裝置或受光裝置，但這也屬于本發(fā)明的廣義的光半導(dǎo)體裝置。
此外，在上述實(shí)施形態(tài)中，示出了謀求縮小重放信號(hào)檢測用受光元件的面積的例子，但也可以因其它理由而使本發(fā)明適用于高速處理所必要的受光部。
工業(yè)上利用的可能性若按照本發(fā)明，可以縮小光半導(dǎo)體裝置中的重放信號(hào)檢測用受光元件的面積。因此，可以進(jìn)行高倍率的重放，而且，能實(shí)現(xiàn)可得到S/N比高的重放信號(hào)的光學(xué)式信息處理裝置。
權(quán)利要求
1.一種光半導(dǎo)體裝置，其特征在于具有激光元件、將從上述激光元件射出的光束分成多個(gè)光束的射出光束分光部、將從信息記錄媒體來的反射光束分成聚光狀態(tài)各不相同的光束的反射光束分光部、在散焦的狀態(tài)下接受從上述反射光束分光部分出的反射光束的伺服信號(hào)檢測用受光元件、設(shè)在上述射出光束分光部中使通過上述反射光束分光部的反射光束衍射的第1衍射光柵和接受已經(jīng)上述第1衍射光柵衍射的反射光束的信號(hào)檢測用受光元件。
2.權(quán)利要求1記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于從上述信息記錄媒體來的經(jīng)上述第1衍射光柵衍射的反射光束在上述信號(hào)檢測用受光元件面上大致聚光。
3.權(quán)利要求1記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于經(jīng)上述第1衍射光柵衍射的2個(gè)同次衍射光束的衍射效率不同，上述信號(hào)檢測用受光元件接受衍射效率高的衍射光束。
4.權(quán)利要求3記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于上述第1衍射光柵的柵格截面形狀是階梯形或三角形等傾斜形狀。
5.權(quán)利要求1或2記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于上述第1衍射光柵由曲線形狀的柵格形成。
6.權(quán)利要求1或2記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于上述第1衍射光柵由衍射效率相等的多個(gè)衍射光柵區(qū)域構(gòu)成。
7.權(quán)利要求1或2記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于上述第1衍射光柵由柵格方向不同的至少2個(gè)衍射光柵區(qū)域構(gòu)成。
8.權(quán)利要求1或2記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于上述第1衍射光柵由光柵周期相等的衍射光柵區(qū)域構(gòu)成。
9.權(quán)利要求1或2記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于上述第1衍射光柵由將反射光束的光點(diǎn)等分割的多個(gè)衍射光柵區(qū)域構(gòu)成。
10.一種光半導(dǎo)體裝置，其特征在于具有激光元件、從上述激光元件來的射出光束通過的第1光學(xué)元件、將從信息記錄媒體來的反射光束分成聚光狀態(tài)各不相同的光束的第2光學(xué)元件和設(shè)在上述第1光學(xué)元件中使通過上述第2光學(xué)元件的上述反射光束衍射的第1衍射光柵。
11.權(quán)利要求1記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于在連接上述激光元件的發(fā)光點(diǎn)和經(jīng)聚光透鏡在上述信息記錄媒體上形成的的主光點(diǎn)的光軸上配置上述射出光束分光部，設(shè)從上述激光元件的發(fā)光點(diǎn)到射出光束分光部的空氣換算距離為d，上述聚光透鏡的數(shù)值孔徑為NA，從上述射出光束分光部中的上述光軸和上述射出光束分光部的交點(diǎn)開始的距離為r，這時(shí)，對從上述信息記錄媒體來并入射到至少滿足r≤d tan(sin-1(NA))的區(qū)域內(nèi)的反射光束進(jìn)行分光使其上述信號(hào)檢測用受光元件上大致聚光。
12.一種光學(xué)元件，其特征在于包括設(shè)在透光部件的一個(gè)面上且具有第1衍射光柵和第2衍射光柵的第1光學(xué)元件和設(shè)在上述透光部件的另一個(gè)面上且將反射光束分成聚光狀態(tài)各不相同的光束的第2光學(xué)元件，上述第1衍射光柵和第2衍射光柵相鄰且并排排列在第1方向上，而且，上述第1衍射光柵的柵格方向與上述第1方向不同。
13.權(quán)利要求12記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于上述第1衍射光柵的柵格截面形狀是階梯形或三角形等傾斜形狀。
14.權(quán)利要求12記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于上述第1衍射光柵由曲線形狀的柵格形成。
15.權(quán)利要求12記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于上述第1衍射光柵由柵格方向不同的至少2個(gè)衍射光柵區(qū)域構(gòu)成。
16.一種光學(xué)式信息處理裝置，其特征在于具有激光元件、將從上述激光元件射出的光束分成多個(gè)光束的射出光束分光部、將由上述射出光束分光部分出的光束導(dǎo)向信息記錄媒體的光學(xué)系統(tǒng)、上述信息記錄媒體、將從上述信息記錄媒體來的反射光束分成聚光狀態(tài)各不相同的光束的反射光束分光部、在散焦的狀態(tài)下接受從上述反射光束分光部分出的反射光束的伺服信號(hào)檢測用受光元件、設(shè)在上述射出光束分光部中使通過上述反射光束分光部的反射光束衍射的第1衍射光柵和接受已經(jīng)上述第1衍射光柵衍射的反射光束的信號(hào)檢測用受光元件。
17.權(quán)利要求16記載的光學(xué)式信息處理裝置，其特征在于上述信號(hào)檢測用受光元件的受光面積比上述伺服信號(hào)檢測用受光元件的受光面積小。
18.權(quán)利要求1記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于將相對光軸大致對稱配置的一對上述伺服信號(hào)檢測用受光元件和配置在到上述光軸的距離比上述伺服信號(hào)檢測用受光元件短的位置上且受光面積比上述伺服信號(hào)檢測用受光元件小的信號(hào)檢測用受光元件集成在一起。
19.權(quán)利要求18記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于上述信號(hào)檢測用受光元件與上述伺服信號(hào)檢測用受光元件的一方接近。
20.權(quán)利要求18記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于上述信號(hào)檢測用受光元件設(shè)在和發(fā)光點(diǎn)大致是同一平面內(nèi)。
21.權(quán)利要求18記載的光半導(dǎo)體裝置，其特征在于上述信號(hào)檢測用受光元件被分割成面積大致相等的多個(gè)受光部。
全文摘要
一種光半導(dǎo)體裝置,對從激光元件(51)射出的光束進(jìn)行分光的射出光束分光部(61)、將從信息記錄媒體(3)來的反射光束分成聚光狀態(tài)各不相同的光束的反射光束分光部(71)、在散焦的狀態(tài)下接受分出的反射光束的伺服信號(hào)檢測用受光元件(43、45)、設(shè)在射出光束分光部中使通過反射光束分光部的反射光束衍射的第1衍射光柵和接受已經(jīng)上述第1衍射光柵衍射的反射光束的信號(hào)檢測用受光元件(47)。
文檔編號(hào)G11B7/12GK1388960SQ01802682
公開日2003年1月1日 申請日期2001年7月4日 優(yōu)先權(quán)日2000年7月5日
發(fā)明者中西直樹, 高須賀祥一, 井島新一, 中西秀行 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社