一種對版圖進行drc驗證的方法
【專利摘要】本發明提供一種對版圖進行DRC驗證的方法，涉及集成電路設計領域。該方法包括：步驟S101：識別版圖中的off-grid圖案；步驟S102：將所述版圖中的每個所述off-grid圖案按如下方式進行轉換：將所述off-grid圖案的未在網格上的邊向外延伸至相鄰的網格上以形成一個on-grid圖案，將所述off-grid圖案的未在網格上的邊向內收縮至相鄰的網格上以形成另一個on-grid圖案；步驟S103：對轉換后的版圖進行DRC驗證。本發明的方法由于包括識別版圖中的off-grid圖案并將其轉換為on-grid圖案的步驟，因而允許在版圖設計時繪制off-grid圖案，并且可以使用現有的DRC文件對該版圖進行DRC驗證。
【專利說明】
一種對版圖進行DRC驗證的方法
技術領域
[0001]本發明涉及集成電路設計領域，具體而言涉及一種對版圖(layout)進行DRC驗證的方法。
【背景技術】
[0002]在集成電路設計領域中，隨著技術的發展，需要滿足越來越多的設計限制(designrestrict1n)。在某些情況下，設計限制非常嚴格，例如，為滿足對通過常規版圖設計方法得到的器件的性能(performance)的要求，版圖的每個圖案均應滿足on_grid (指圖案的邊緣均在柵格上)，如圖1所示。
[0003]通常情況下，在對版圖進行DRC (Design Rule Check，設計規則檢查)時，版圖中的每個圖案均需滿足on-grid，否則在DRC驗證結果中就會出現off-grid (指圖案的邊緣不在柵格上)的錯誤(error)，此時需要對出現off-grid的圖案進行修改使其滿足on-grid的要求。
[0004]然而，隨著技術的進步，on-grid的版圖(指其中所有圖案均滿足on-grid的版圖)已經無法滿足先進技術對器件速度的需求，在某些情況下需要設計off-grid的版圖(指其中至少部分圖案為off-grid的版圖)以保證器件的性能。其中，圖2示意了版圖中圖案為off-grid的情況。
[0005]目前的實踐是將版圖網格的單位調小至下一級，例如:將版圖的網格(grid)由5nm調整到lnm，以滿足實際需要，即滿足對特定圖案的布置的要求并保證DRC驗證時不出現off-grid錯誤。然而，這一方法僅允許有限的特定圖案是off-grid的，大多數圖案仍需保持 on-stillο
[0006]對于存在off-grid的圖案的版圖，如果使用現有的要求on-grid的DRC文件(DRCdeck)進行DRC驗證，結果中必然會出現off-grid錯誤。于是，如何使用現有的DRC文件對存在off-grid的圖案的版圖進行DRC驗證而同時保證不出現off-grid錯誤，成為了現有技術中亟待解決的技術問題。
【發明內容】
[0007]針對現有技術的不足，本發明提出一種對版圖進行DRC驗證的方法，該方法可以利用現有的DRC文件對存在off-grid的圖案的版圖進行DRC驗證而保證驗證結果中不出現off-grid錯誤。
[0008]本發明的一個實施例提供一種對版圖進行DRC驗證的方法，所述方法包括:
[0009]步驟SlOl:識別版圖中的off-grid圖案；
[0010]步驟S102:將所述版圖中的每個所述off-grid圖案按如下方式進行轉換:將所述off-grid圖案的未在網格上的邊向外延伸至相鄰的網格上以形成一個on-grid圖案，并將所述off-grid圖案的未在網格上的邊向內收縮至相鄰的網格上以形成另一個on-grid圖案;
[0011]步驟S103:對轉換后的版圖進行DRC驗證。
[0012]示例性地，在所述步驟SlOl中，所述識別采用工具軟件實現。
[0013]示例性地，在所述步驟SlOl中還包括對識別出的off-grid圖案進行標號的步驟。
[0014]示例性地，在所述步驟S102中，所述一個on-grid圖案與所述另一個on-grid圖案構成一組on-grid圖案，并且，在所述步驟S102中還包括對經轉換形成的每組on-grid圖案進行標號的步驟。
[0015]示例性地，在所述步驟S102中，所述一個on-grid圖案與所述另一個on-grid圖案在同一高度處的寬度之和為所述off-grid圖案在相應高度處的寬度的兩倍。
[0016]示例性地，在所述步驟S102中，對所述off-grid圖案的在網格上的邊不進行延伸或收縮操作。
[0017]示例性地，在所述步驟S102中，所述版圖中原來的on-grid圖案保持不變。
[0018]示例性地，在所述步驟S103中，所述DRC驗證采用基于on-grid設計規則的DRC文件。
[0019]示例性地，在所述步驟SlOl與所述步驟S102之間還包括對所述版圖進行備份的步驟。
[0020]示例性地，所述備份通過工具軟件自動實現。
[0021]本發明的對版圖進行DRC驗證的方法，由于包括識別版圖中的off-grid圖案并將其轉換為on-grid圖案的步驟，因而允許在版圖設計時繪制off-grid圖案，并且可以使用現有的DRC文件對該版圖進行DRC驗證。
【附圖說明】
[0022]本發明的下列附圖在此作為本發明的一部分用于理解本發明。附圖中示出了本發明的實施例及其描述，用來解釋本發明的原理。
[0023]附圖中:
[0024]圖1為版圖中圖案為on-grid的示意性版圖；
[0025]圖2為版圖中圖案為off-grid的示意性版圖；
[0026]圖3為本發明的一個實施例的一種對版圖進行DRC驗證的方法中進行圖案轉換的步驟的示意性原理圖；
[0027]圖4為本發明的一個實施例的一種對版圖進行DRC驗證的方法的一種流程圖。
【具體實施方式】
[0028]在下文的描述中，給出了大量具體的細節以便提供對本發明更為徹底的理解。然而，對于本領域技術人員而言顯而易見的是，本發明可以無需一個或多個這些細節而得以實施。在其他的例子中，為了避免與本發明發生混淆，對于本領域公知的一些技術特征未進行描述。
[0029]應當理解的是，本發明能夠以不同形式實施，而不應當解釋為局限于這里提出的實施例。相反地，提供這些實施例將使公開徹底和完全，并且將本發明的范圍完全地傳遞給本領域技術人員。在附圖中，為了清楚，層和區的尺寸以及相對尺寸可能被夸大。自始至終相同附圖標記表示相同的元件。
[0030]在此使用的術語的目的僅在于描述具體實施例并且不作為本發明的限制。在此使用時，單數形式的“一”、“一個”和“所述/該”也意圖包括復數形式，除非上下文清楚指出另外的方式。還應明白術語“組成”和/或“包括”，當在該說明書中使用時，確定所述特征、整數、步驟、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一個或更多其它的特征、整數、步驟、操作、元件、部件和/或組的存在或添加。在此使用時，術語“和/或”包括相關所列項目的任何及所有組合。
[0031]為了徹底理解本發明，將在下列的描述中提出詳細的步驟以及詳細的結構，以便闡釋本發明的技術方案。本發明的較佳實施例詳細描述如下，然而除了這些詳細描述外，本發明還可以具有其他實施方式。
[0032]本發明的一個實施例提供一種對版圖進行DRC驗證的方法。具體地，該方法可以用on-grid的DRC文件(deck)對存在off-grid的圖案的版圖進行DRC驗證。
[0033]該方法允許集成電路設計者繪制復雜的存在off-grid的圖案的版圖，來代替原本要求的圖案均為on-grid的版圖。而在進行DRC驗證時，不需要對on-grid設計規則進行改變。
[0034]下面，參照圖3以及圖4來描述本發明的一個實施例的一種對版圖進行DRC驗證的方法。其中，圖3為本發明的一個實施例的一種對版圖進行DRC驗證的方法中進行圖案轉換的步驟的示意性原理圖；圖4為本發明的一個實施例的一種對版圖進行DRC驗證的方法的一種流程圖。
[0035]本發明實施例的對版圖進行DRC驗證的方法包括如下步驟:
[0036]步驟Al:識別版圖中的off-grid圖案。
[0037]其中，off-grid圖案指圖案的邊不在grid上的圖案。
[0038]在本實施例中，識別版圖中的off-grid圖案的方法可以為采用工具軟件實現，也可以為采用其他合適的方法。
[0039]其中，off-grid圖案也可稱作特別尺寸設計的圖案(special size designpattern)。在本步驟中，可以包括對識別出的off-grid圖案進行標號的步驟。示例性地，可以將off-grid圖案按如下方式進行標號:SP1、SP2……SPn。
[0040]步驟A2:將所述版圖中的每個所述off-grid圖案按如下方式轉換為兩個on-grid圖案:將所述off-grid圖案的未在網格(grid)上的邊向外延伸至相鄰的網格上以形成一個on-grid圖案，并將所述off-grid圖案的未在網格(grid)上的邊向內收縮至相鄰的網格上以形成另一個on-grid圖案，如圖3所示。
[0041]其中，對于所述off-grid圖案的在網格(grid)上的邊不進行延伸或收縮操作，如圖3所示。并且，版圖中原來的on-grid圖案(如果有的話)保持不變。
[0042]經過上述轉換，形成的兩個on-grid圖案在同一高度處的寬度之和為所述off-grid圖案在相應高度處的寬度的兩倍，如圖3所示。
[0043]其中，由每個所述off-grid圖案轉換而來的兩個on-grid圖案可以稱作一組on-grid圖案，該組on-grid圖案將在進行DRC驗證的過程中代替版圖中原來存在的off-grid圖案，從而避免在驗證結果中出現off-grid錯誤。
[0044]在本步驟中，可以包括對經轉換形成的每組on-grid圖案進行標號的步驟。示例性地，可以將on-grid圖案按如下方式進行標號:W1、W2……Wn，以分別與SP1、SP2……SPn相對應。
[0045]轉換而來的每組on-grid圖案與版圖中原本存在的其他on-grid圖案的表現形式完全一致，因此，無需對現有的DRC文件(DRC deck)進行改變，即可完成DRC驗證。
[0046]在本實施例中，在執行步驟Al或步驟A2之前，還可以包括對轉換前的版圖進行備份的步驟。在轉換之前對版圖進行備份，主要作用是以便將轉換前的版圖作為后續芯片制造時所使用的版圖，另一個原因則是保證在轉換出錯時可以利用備份的版圖進行再次操作。示例性地，對轉換前的版圖進行備份的步驟可以人工手動實現，也可以通過工具軟件自動實現。其中，通過工具軟件自動實現備份可以提高效率。
[0047]步驟A3:對轉換后的版圖進行DRC驗證。
[0048]其中，轉換后的版圖是指根據步驟A2形成的版圖。步驟A3可以根據現有的各種進行DRC驗證的步驟進行，在此并不進行限定。
[0049]在本實施例中，進行DRC驗證時仍可以采用的現有的DRC文件(DRC deck)，該DRC文件基于on-grid設計規則，即，要求進行DRC驗證的每個圖案均為on-grid圖案，否則進行off-grid報錯。其中，采用現有的DRC文件進行驗證可以省去重新開發全新的DRC文件的麻煩，從而節省成本。當然，該DRC驗證也可以采用其他的基于on-grid設計規則的DRC文件進行，在此并不進行限定。
[0050]本發明實施例的對版圖進行DRC驗證的方法，由于包括識別版圖中的off-grid圖案并將其轉換為on-grid圖案的步驟(步驟Al和A2)，因而允許在版圖設計時根據需要繪制off-grid圖案，并且可以使用現有的DRC文件對該版圖進行DRC驗證。
[0051 ] 其中，圖4示出了本發明實施例的對版圖進行DRC驗證的方法的一種流程圖，用于簡要示出該對版圖進行DRC驗證的方法的典型流程。該方法包括:
[0052]在步驟SlOl中，識別版圖中的off-grid圖案；
[0053]在步驟S102中，將所述版圖中的每個所述off-grid圖案按如下方式進行轉換:將所述off-grid圖案的未在網格上的邊向外延伸至相鄰的網格上以形成一個on-grid圖案，并將所述off-grid圖案的未在網格上的邊向內收縮至相鄰的網格上以形成另一個on-grid 圖案；
[0054]在步驟S103中，對轉換后的版圖進行DRC驗證。
[0055]本發明已經通過上述實施例進行了說明，但應當理解的是，上述實施例只是用于舉例和說明的目的，而非意在將本發明限制于所描述的實施例范圍內。此外本領域技術人員可以理解的是，本發明并不局限于上述實施例，根據本發明的教導還可以做出更多種的變型和修改，這些變型和修改均落在本發明所要求保護的范圍以內。本發明的保護范圍由附屬的權利要求書及其等效范圍所界定。
【主權項】
1.一種對版圖進行DRC驗證的方法，其特征在于，所述方法包括: 步驟SlOl:識別版圖中的Off-grid圖案； 步驟S102:將所述版圖中的每個所述off-grid圖案按如下方式進行轉換:將所述off-grid圖案的未在網格上的邊向外延伸至相鄰的網格上以形成一個on-grid圖案，并將所述off-grid圖案的未在網格上的邊向內收縮至相鄰的網格上以形成另一個on-grid圖案； 步驟S103:對轉換后的版圖進行DRC驗證。2.如權利要求1所述的對版圖進行DRC驗證的方法，其特征在于，在所述步驟SlOl中，所述識別采用工具軟件實現。3.如權利要求1所述的對版圖進行DRC驗證的方法，其特征在于，在所述步驟SlOl中還包括對識別出的off-grid圖案進行標號的步驟。4.如權利要求1所述的對版圖進行DRC驗證的方法，其特征在于，在所述步驟S102中，所述一個on-grid圖案與所述另一個on-grid圖案構成一組on-grid圖案，并且，在所述步驟S102中還包括對經轉換形成的每組on-grid圖案進行標號的步驟。5.如權利要求1所述的對版圖進行DRC驗證的方法，其特征在于，在所述步驟S102中，所述一個on-grid圖案與所述另一個on-grid圖案在同一高度處的寬度之和為所述off-grid圖案在相應高度處的寬度的兩倍。6.如權利要求1所述的對版圖進行DRC驗證的方法，其特征在于，在所述步驟S102中，對所述off-grid圖案的在網格上的邊不進行延伸或收縮操作。7.如權利要求1所述的對版圖進行DRC驗證的方法，其特征在于，在所述步驟S102中，所述版圖中原來的on-grid圖案保持不變。8.如權利要求1所述的對版圖進行DRC驗證的方法，其特征在于，在所述步驟S103中，所述DRC驗證采用基于on-grid設計規則的DRC文件。9.如權利要求1所述的對版圖進行DRC驗證的方法，其特征在于，在所述步驟SlOl與所述步驟S102之間還包括對所述版圖進行備份的步驟。10.如權利要求9所述的對版圖進行DRC驗證的方法，其特征在于，所述備份通過工具軟件自動實現。
【文檔編號】G06F17/50GK105989202SQ201510058670
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2015年2月4日
【發明人】俞少峰, 沈憶華, 潘見, 傅豐華, 余云初
【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司