電容傳感器元件以及用于制造電容傳感器元件的方法

            文檔序號:10540832閱讀:408來源:國知局
            電容傳感器元件以及用于制造電容傳感器元件的方法
            【專利摘要】本發明涉及一種具有與例如觸摸屏上的排列對應的多個傳感器陣列的電容傳感器元件。該電容傳感器元件包括至少一個多層體,所述至少一個多層體由兩個結構化導電層和位于所述兩個結構化導電層中間的絕緣層組成。本發明提供用于交叉導電帶的排列的具有冗余導電帶的布局,由于該布局,特別地相對于將連接線連接到在使用此類傳感器元件的模塊的邊緣區域中的插頭而言,減少了在層電極的兩層層疊中的對于記錄精確度的需求。
            【專利說明】
            電容傳感器元件以及用于制造電容傳感器元件的方法
            技術領域
            [0001]本發明涉及具有多個傳感器區域的電容傳感器元件,所述多個傳感器區域例如與觸摸屏上的排列對應。該電容傳感器元件包括至少一個多層體,該多層體由兩個結構化導電層和在所述兩個結構化導電層中間的絕緣層組成。本發明也涉及用于制造這樣的傳感器的方法。
            【背景技術】
            [0002]這樣的電容傳感器元件從DE 10 2011 115 851 Al中已知。其中公開的傳感器元件包括例如根據“棒(bar)和帶(stripe)”原則被排列為電極的導電帶。例如,寬導電帶,SP再例如在X方向上延伸的“棒”或棒狀電極,位于第一下導電層上;以及窄導電帶,即在y方向上延伸的“帶”或帶狀電極,位于被排列在第一導電層上面的第二導電層上。兩個導電層由絕緣層電隔離。在棒和帶的交叉點處,形成所謂的觸摸區域的觸摸傳感器區域。
            [0003]由于第一和第二導電層的導電帶之間的電場線的穿過,對如同棒和帶的電極的不同幾何形成是有利的。由于如同“帶”的第二導電層的形成,存在貫穿傳感器元件上面的空間的許多場線并且這些場線通過與輸入元件接觸而被中斷。穿過的場線的中斷與輸入對應并且可以由大量被中斷的場線更可靠地確定。
            [0004]根據先前公知的用于電容傳感器元件的導電層的布局,諸如例如從DE10 2011115 851 Al已知的布局,讀取第一和第二導電層的一者精確地位于另一者的頂部之上的輸入信號是必要的。在棒狀和帶狀電極上,連接部(connect1n)被設置為經由在包括傳感器元件的模塊的邊緣區域中對應的插頭來傳輸來自傳感器區域的信號,結果,能夠清楚地指定和可靠地讀取輸入。
            [0005]在此“模塊”意味著例如智能電話、平板電腦或其他觸摸屏。傳感器元件形成觸摸屏的輸入區域的至少一部分并且優選地被形成為是透明的。
            [0006]連接部納入被設置在傳感器元件的邊緣區域中的插頭(plug)。為了在組裝期間插頭也可靠地與連接部接觸并且由此能夠經由連接部讀取所有輸入,在傳感器元件的組裝期間導電層的一者精確地位于另一者的頂部上對傳感器元件的可靠性是必要的或至少是有利的。具體地,兩個導電層的位置與它們的理論指定的位置(在該處提供與插頭的接觸)例如相差少于200μπι,更好地相差少于ΙΟΟμπι。在先前公知的傳感器元件的組裝期間的公差極限能夠因此被指示為200μπι或更小。
            [0007]此對制造方法的要求在經濟上難以滿足,該方法也使組裝變得非常昂貴。

            【發明內容】

            [0008]因此,本發明的一個目標是提供在導電層上具有連接部和導電帶的排列的傳感器元件,其中用于使連接部與插頭接觸的兩個導電層的組裝的公差極限被設定為在開始處所提及的值。具體地,本發明的一個目標是提供一種適合大規模生產并且能夠被廉價地制造出的傳感器元件。
            [0009]本發明主題和所述目標的解決方案因此為一種電容傳感器元件,其包括至少一個多層體,所述至少一個多層體由兩個結構化導電層和在所述兩個結構化導電層中間的絕緣層組成,其中第一和第二導電層的結構包括導電帶,在每種情況下所述導電帶均被彼此電隔離,所述導電帶中的僅一些導電帶被連接至連接部,其中所述第一和第二導電層的所述連接部位于一個平面并且所述絕緣層未在整個表面上將所述兩個結構化導電層彼此分隔開。
            [0010]本發明基于以下常識:在單個導電層平面中使導向邊緣區域中的插頭的連接部放置在一起允許為個體層的放置留出較大的范圍。
            [0011]根據一個有益實施例,導電帶,具體地說,帶狀電極(3a、……3k)交替地與連接部
            (6)連接和不與連接部(6)連接。
            [0012]根據另一有益實施例,兩個相鄰導電帶之間的距離(在導電層平面上包括或不包括一個導電帶的寬度)在將形成所述多層體的個體層的一者放置在另一者之上時預先確定容許的記錄(register)不準確性。
            [0013]根據所述傳感器元件的另一有益實施例,所述帶狀電極的所述導電帶以有規律的模式被周期性地彼此間隔開。
            [0014]所述第一和/或第二導電層優選地具有在20nm與Ιμπι之間的層厚。
            [0015]在此,所述第一和/或第二導電層優選地由透明導電材料制成,優選地由使用銀或銅的薄并且因此透明的層以結構化方式涂覆(例如印刷)的透明膜制成。然而,所述第一和/或第二導電層也可以由透明導電材料制成。
            [0016]根據一個有益實施例,所述連接部與寬導電帶(所謂的具有棒狀和帶狀電極圖案的“棒”電極)一起位于所述第一導電層上。如果所有連接部均位于第一導電層上,則為特別有益的。
            [0017]特別優選的是這樣的實施例:其中不與導向所述插頭的連接部一起位于平面中的所述導電帶能夠經由導電墊被連接以與所述連接部接觸。在此,“導電墊”意味著第一導電層的經由電接觸直接與第二導電層的電極連接的導電區域。
            [0018]在所述連接部位于所述第一導電層上的情況下,導電墊為位于所述傳感器元件的所述透明區域的內部和/或外部的小電極部分并且未通過所述絕緣層而與所述第二導電層電隔離。
            [0019]根據一個有益實施例,窄導電帶,即所述帶狀電極位于所述第二導電層上。
            [0020]另外,所述帶狀電極作為連續導電材料帶被附加在優選透明的無盡的帶上能夠是有益的。所述帶的這種附加能夠例如具體地在卷到卷工藝(roll-to-roll process)中通過印刷而被執行。
            [0021]在通過印刷制造所述導電帶和/或連接部期間,如果存在彈性塑料的帶狀支撐材料是有益的,所述導電帶和/或連接部能夠在所述卷到卷工藝中使用導電材料而被印刷出。
            [0022]如果在所述卷到卷工藝中的支撐帶的行進方向上至少一個導電帶被印刷為無盡的帶,這已被證明為特別經濟有利的。
            [0023]根據另一實施例,在所述帶的行進方向上存在較寬的棒狀電極導電帶。
            [0024]所述絕緣層優選地具有在Ιμπι至200μπι的范圍中的層厚,進一步優選地具有在5μπι與ΙΟΟμπι之間的層厚。所述絕緣層為電介質并且優選地具有2與4之間,進一步優選地為2.5與3.5之間的介電常數。
            [0025]透明支撐材料特別優選地作為支撐材料。可以使用例如諸如PET膜的塑料膜。
            [0026]支撐膜的層厚為例如在18μπι與450μπι之間,特別地為在50與300μπι之間以及特別優選地為在100與200μπι之間。
            [0027]可以通過印刷,特別優選地在所述卷到卷工藝中處理的材料優選地用作導電材料。這里可以使用例如具體為金屬性的導電膠、所有導電聚合物和/或已知的諸如ITO和ATO的導電透明金屬氧化物、以及特別優選地從DE 10 2009 014 757.8和/SDE 10 2011 115851已知的透明導電材料“金屬網”。所謂的金屬網材料的特征在于,其包括具有非透明材料的導體跡線的透明塑料膜并且其對于人眼是透明的。該彈性材料的跡線的特征在于具有5μm至25μπι的范圍內的寬度以及I %與20 %之間的范圍內的透明膜的覆蓋范圍,優選地為I %至15%的范圍內的表面覆蓋范圍。此材料已在上述兩個專利申請描述,上述兩個專利申請的內容在此作為本發明的公開。
            [0028]根據本發明的一個優選實施例的示例,所述傳感器元件被形成為觸摸屏傳感器元件,所述觸摸屏傳感器元件被形成在對人眼透明的的輸入區域中。
            [0029]在此情況下,介電絕緣層由在對人眼可見的波長范圍中透明的材料構成。
            [0030]此外,例如根據從DE10 2009 014 757.8和/SDE 10 2011 115 851 已知的技術,使所述第一和第二導電層被形成為對人眼是透明的,這在一方面能夠通過針對所述第一和/或第二導電層使用相應透明導電材料而被實現,以及/或者通過導體跡線的寬度和厚度的相應選擇(產生透明支撐上的導電帶的導電性)而被實現。特別優選地,這些跡線的寬度在人眼的分辨能力之下,例如,為少于50μηι的寬度,優選地少于25μηι。跡線在導電帶之內每單位面積的覆蓋范圍為I %與20 %之間,特別地為I %與15 %之間。
            【附圖說明】
            [0031 ]下面參考附圖更詳細地說明本發明:
            [0032]圖1a和Ib示出根據現有技術的導電帶的排列的布局;
            [0033 ]圖2a、2b和2c示出根據本發明的一個實施例示例的與圖1比較的圖;
            [0034]圖2d示出圖2a、2b和2c的橫截面;
            [0035]圖3a和3b示出圖2中的導電墊的細節;
            [0036]圖4a和4b不出根據本發明的另一實施例不例的導電帶的排列的布局,該布局為相似的但被旋轉90° ;
            [0037]圖5a示出圖4中的導電墊的細節;
            [0038]圖5b示出圖4中的導電墊的細節的一個備選實施例。
            【具體實施方式】
            [0039]圖1a示出在膜支撐部I上的不同平面中通過透明介電絕緣膜4而電隔離的兩個導電層2和3(—者位于另一者的頂部)上的導電帶的“棒”和“帶”排列的現有技術。在此,絕緣層4跨傳感器元件的整個透明輸入區域,該絕緣層4被邊緣區域9包圍。在位于透明輸入區域外部的邊緣區域9中,導電帶2a…和3a…的連接部5和6導向連接器插頭8,經由連接器插頭8進行與相應模塊的接觸。為了使連接部5和6與插頭8接合以便接觸,兩個導電層的位置必須精確地為一者位于另一者的頂部。這在圖1b中被例示出。
            [0040]圖1b示出當兩個導電層的個體層的一者位于(例如層疊于)另一者的頂部時的最小記錄不準確性“a”。帶狀電極3相對于棒狀電極2移位長度“a”。如果帶狀電極層的連接部6(同樣移動距離“a”)未終止于邊緣區域中,這是可容許的。然而,由于連接部6終止于邊緣區域(同樣移動了距離“a”),所以不再可能經由插頭8做出接觸并且由此尺寸“a”的記錄不準確性不能被容許。“a”指至少10Mi至200μπι或更長的長度。
            [0041]圖2示出根據本發明的一個優選實施例如何解決此問題。為此,圖2a僅示出其上具有絕緣膜4的第一導電層。可以看到如已在圖1a中看到的相同的棒狀電極2a至2d。這些棒狀電極2a至2d經由連接部5與插頭8接觸。棒狀電極被絕緣膜4覆蓋。在第一導電層上被絕緣膜4覆蓋的外部,還可以看到經由連接部6被連接到另一插頭8的導電墊7a至7e。與示出現有技術的圖1不同,這里,連接部6與連接部5在同一層平面上。
            [0042]在該實施例中,為了避免短路,連接部6至少部分被絕緣膜4覆蓋。
            [0043]圖2b示出與圖1a對應的第二導電層在絕緣膜4上的整體圖。第二導電層包括多個帶狀電極3a至3k,其中并非帶狀電極3a至3k中的每一個都與連接部6連接。從實用的角度看,每個第二帶狀電極是冗余的,例如未被連接并且因此為多余的。然而,對于根據具有冗余的該實施例的帶狀電極層,冗余原理允許大的記錄公差,因為任何帶狀電極都已精確到位,因此也被連接。
            [0044]帶狀電極3a至3k至少部分地位于第一導電層的導電墊上,因為導電墊未被絕緣膜4覆蓋。在圖2b所示的第二導電層的位置的情況下,帶狀電極3a、3c、3e、3g和3i處于電接觸。由此,在傳感器元件的制造期間位于第一導電層的導電墊7a至7e的一者上的帶狀電極3與導向插頭8的連接部6具有直接導電連接。
            [0045]圖2c示出與圖1b相比較的圖。由于使個體導電層的一者精確地位于另一者的頂部上的難度,在此也產生第二導電層相對于第一導電層的長度為“a”的移動。然而,如第一眼直接看到的,對由插頭8進行的接觸不再有任何影響,因為到插頭8的連接部5和6均位于一個層平面上,由此精確地適合插頭8。
            [0046]根據圖20,僅帶狀電極313、3(1、3匕311和3]_仍經由導電墊7&至76和連接部6與插頭8連接,并且由此被連接至被控模塊。
            [0047]根據圖2b被接觸的帶狀電極3a、3c、3g、3i和3k位于第一電極層上的導電墊7a至7e的外部并且由此不再導向任何連接部6。這些帶狀電極因此為冗余的并且不對傳感器元件的操作做出貢獻。然而,它們對傳感器元件的大規模生產的適用性是決定性的,因為冗余存在的電極在制造期間產生相對于必要記錄不準確性的自由空間。此外,冗余的導電帶也不是擾亂的,相反,它們可能視覺上有助于更均一的外觀,以及更統一的傳輸。
            [0048]其中冗余導電帶始終被例如周期性地均等間隔開的實施例為特別優選的。
            [0049]導電層的導電帶(S卩,特別是棒狀電極2a至2d和帶狀電極3a至3k)能夠以不同尺寸形成并且能夠在傳感器元件的不同區域上延伸。例如這些棒狀和帶狀電極至少在傳感器元件的透明區域上延伸,而且也可以在傳感器元件的在特定情況下為不透明的邊緣區域上或者在幾個傳感器元件上延伸任何期望的距離,直到最長形成(即,連續設計,其中它們被形成為無盡帶,直到卷到卷工藝的完整帶材料)。為了制造傳感器元件,兩個或更多個印刷的帶被相應地切割,使一者位于另一者的頂部以形成多層體并且被結合或層疊在一起。
            [0050]根據本發明的一個優選實施例,帶狀電極3沿著印刷方向延伸。當在連續印刷工藝中帶狀電極被具有成本效益地印刷在支撐帶的整個長度上時,這在卷到卷印刷工藝中特別有益。這對于設置有冗余帶狀電極的本發明的實施例和沒有冗余帶狀電極的本發明的實施例均能實現。在任何情況下,帶狀電極在印刷版的整個長度上沿印刷方向延伸。
            [0051]圖2d示出通過根據圖2所示的本發明的一個實施例的傳感器元件的一部分的橫截面。圖2d示出沿著帶狀電極3a超過棒狀電極2a在支撐部I上通過圖2b中的導電墊7a的橫截面。特別地,圖2d也示出絕緣膜4的位置,該絕緣膜4將帶狀電極3a與棒狀電極2a電隔離,但不將與棒狀電極2a位于同一平面的導電墊7a與直接連接導電墊7a的帶狀電極3a電隔離。
            [0052]圖3a和3b示出不同的冗余度。在圖3a中,帶狀電極3之間的距離“b”與導電墊7a與7b之間的距離相等。導電墊7a與7b的寬度也與此長度“b”對應。以此方式,確保單個帶狀電極3始終也與導電墊7中的一者連接。因此,圖2b和3a中的長度“b”代表冗余帶狀電極的周期性和間隙SI至S5的寬度。長度“e”代表兩個導電墊之間的距離。
            [0053]圖3b概略地示出另一優選配置。帶狀電極3之間的距離“c”顯著小于間隙SI至S5的寬度并且小于導電墊的寬度和導電墊之間的距離。以此方式,例如,間隙SI(圖2b)由帶狀電極3a至3c—起形成。
            [0054]在導電墊的假定的寬度“b”的情況下,能夠容納I至10個帶狀電極,優選地為I至7個帶狀電極。寬度“b”例如與根據現有技術(圖1a)的帶狀電極的寬度對應。“b”能夠例如處于0.5至3mm的范圍中,優選地為2_。
            [0055]包括兩個相鄰帶狀電極之間的距離加上一個帶狀電極的寬度的長度“c”例如處于0.1至5mm的范圍中,優選地在0.2至3mm之間,特別優選地在0.4至Imm之間。長度“c”與冗余地排列的電極的周期性對應。
            [0056]為了保證兩個相鄰導電帶之間的電隔離,僅描述兩個相鄰帶狀電極之間的距離的長度“d”例如處于5μηι至20μηι之間的范圍中。
            [0057]兩個相鄰導電墊之間的距離“e”取決于傳感器區域的尺寸;距離“e”例如處于I至1mm的范圍中,有利的處于2至8mm的范圍中以及特別地為大約4至5mm。
            [0058]圖4a和4b示出另一個實施例示例,該實施例示例在連續卷到卷印刷工藝的情況下就工藝而言是高度相關的。在根據圖2的實施例示例中,絕緣膜4覆蓋棒狀電極2a至2d和連接部6,但不覆蓋位于不一定為透明的邊緣區域9中的輸入區域4外部的導電墊7a至7e。
            [0059]在根據圖2的實施例示例中,以結構化方式對應地附加絕緣層4。與之對照的是圖4所示的實施例示例,其中能夠在沒有結構化的情況下在連續工藝中附加絕緣膜4,因為導電墊7a至7e在可印刷支撐帶的行進方向“R”上位于絕緣膜4的帶寬度以外。根據該實施例示例,在支撐帶的行進方向上附加(例如印刷)棒狀電極2a至2d。
            [0060]圖4b示出其中帶狀電極3疊加在棒狀電極上的完整傳感器元件,所述帶狀電極通過連續絕緣膜4在連接部5和6的區域中被電隔離(如圖4a所示)。在此,帶狀電極3在所示實施例的棒狀電極2a至2d的區域和連接部5和6的區域兩者中為冗余的,其被應用為帶狀電極3’。這就工藝而言可以比結構化附加在技術上更具成本效益,并且如在上面已提及的,這并不中斷功能性,而且在有些情況下甚至改善視覺外觀。
            [0061]導電墊7的接觸和連接部6的同時絕緣能夠一方面通過絕緣膜4的結構化而發生,但另一方面也能夠通過使用導電貫通觸點和/或導電粘接材料取代導電墊7的位置處的絕緣材料4而發生。
            [0062]特別地,也可以經由被指定為粘接層的絕緣層4將第一導電層與棒狀電極2a至2d以及將第二導電層與帶狀電極3a至3k結合(例如層疊)在一起,其中在導電墊的區域中,在同一時間施加所謂的“各向異性導電膜”粘接劑。在所述工藝中,該導電粘接劑能夠與用于形成絕緣膜4的絕緣粘接劑一起再次被印刷在印刷帶的整個寬度上。
            [0063]在導電墊7與帶狀電極3或棒狀電極2(這相應地取決于實施例)之間的區域中,未設置材料或導電材料。
            [0064]圖5a和5b詳細地示出圖4b中的區域A。圖5a(如圖4b的頂視圖)示出帶狀電極3如何橫跨位于其下方的由絕緣膜4(這里未示出)隔開的棒狀電極2并且然后與導電墊7接觸。連接部6(這里未示出)從導電墊7延伸至插頭8(同樣為了清晰而未示出)。
            [0065]棒狀電極2在圖5a中被實現為一個完整的矩形。在圖5b中示出另一實施例,其中棒狀電極2在與帶狀電極3的跨接區域中變窄。這導致改進的場線路線(field line course)(因為其覆蓋更多空間)并且因此導致在讀取輸入時增加可靠性。該變窄形成至少一個間隙11,為了優化場線路線,間隙11精確地占據位于同一層平面中的導電墊的寬度。
            [0066]在本發明的情況下,圖5b所示的實施例為特別優選的,因為其只能與在此首次提出的布局一起被合理地使用,在該布局中,特別是在以冗余方式附加電極的情況下,保證增加的記錄精確度公差。
            [0067]本發明提供用于交叉導電帶的排列的具有冗余導電帶的布局,通過該布局,特別相對于將連接部連接到使用對應傳感器元件的模塊的邊緣區域中的插頭而言,減少了在層電極的兩層層疊中對于記錄精確度的要求。
            【主權項】
            1.一種電容傳感器元件(I),其包括至少一個多層體,所述至少一個多層體由兩個結構化導電層(2,3)和在所述兩個結構化導電層(2,3)中間的絕緣層(4)組成,其中第一和第二導電層的結構包括導電帶(2&,213,2(3,2(1,3&-_310,在每種情況下所述導電帶均被彼此電隔離,所述導電帶中的僅一些導電帶被連接至連接部(5,6),其中所述第一和第二導電層的所述連接部(5,6)位于一個平面并且所述絕緣層(4)未在整個表面上將所述兩個結構化導電層(2,3)彼此分隔開。2.根據權利要求1所述的傳感器元件,其中帶狀電極(3a,...3k)的導電帶交替地與連接部(6)連接和不連接。3.根據權利要求2所述的傳感器元件,其中在帶狀電極(3a,-_3k)的兩個相鄰導電帶之間的距離(“b”)或(“c”)預先確定與和不與連接部連接的諸如帶狀電極(3a,-_3k)的導電帶在導電層上彼此相鄰的周期性。4.根據權利要求1至3中任一項所述的傳感器元件,其中所述帶狀電極(3a,-_3k)的所述導電帶以有規律的模式被周期性地彼此間隔開。5.根據上述權利要求中任一項所述的傳感器元件,其中所述第一和/或第二導電層具有在20nm與Ιμπι之間的層厚。6.根據上述權利要求中任一項所述的傳感器元件,其中所述連接部(6)與寬導電帶、棒狀電極一起位于第一導電層平面(2)中。7.根據上述權利要求中任一項所述的傳感器元件,其中不與導向插頭(8)的所述連接部(5,6)位于一個平面中的所述導電帶(2a,2b,2c,2d,3a-_3k)經由導電墊(7a至7e)被連接以與所述連接部(5,6)接觸。8.根據上述權利要求中任一項所述的傳感器元件,所述傳感器元件包括被形成的透明區域。9.根據上述權利要求中任一項所述的傳感器元件,其中設置至少一個導電墊,所述導電墊位于所述傳感器元件的所述透明區域的內部。10.根據上述權利要求中任一項所述的傳感器元件,其中設置一個導電墊,所述導電墊位于所述傳感器元件的所述透明區域的外部。11.根據上述權利要求中任一項所述的傳感器元件,所述傳感器元件包括能夠通過支撐帶(I)的印刷而被制造出的至少一個層。12.根據上述權利要求中任一項所述的傳感器元件,所述傳感器元件包括能夠通過在連續工藝中的印刷而被制造出的至少一個層。13.根據上述權利要求中任一項所述的傳感器元件,所述傳感器元件包括能夠在卷到卷工藝中被制造出的至少一個層。14.根據上述權利要求中任一項所述的傳感器元件,所述傳感器元件能夠通過幾個層的層疊而被制造出。15.根據上述權利要求中任一項所述的傳感器元件,所述傳感器元件能夠通過借助絕緣粘接層(4)將第二導電層(3)層疊在第一導電層(2)上而被制造出。16.根據上述權利要求中任一項所述的傳感器元件,特別地根據權利要求13,所述傳感器元件能夠通過借助以結構化方式施加的絕緣粘接層(4)將第二導電層(3)層疊在第一導電層(2)上而被制造出。17.根據上述權利要求中任一項所述的傳感器元件,特別地根據權利要求14,所述傳感器元件能夠通過借助在所述第一導電層(2)和所述連接部(5,6)上的所述電極(2a,-_2d)的上方以結構化方式施加的絕緣粘接層(4)以及借助以結構化方式在所述導電墊(7a-7e)的上方施加的導電粘接劑將第二導電層(3)層疊在第一導電層(2)上而被制造出。18.根據上述權利要求中任一項所述的傳感器元件,其中所述第一導電帶(2a至2d)在與所述第二導電帶(3a至3k)的交叉點區域中具有不是導電區域的間隙(11)。19.根據上述權利要求中任一項所述的傳感器元件,其中所述間隙(11)適應于所述導電墊(7a至7e)處的尺寸。20.—種用于通過連續工藝中的印刷來制造一層根據權利要求1至18中任一項所述的傳感器元件的方法。21.根據權利要求20所述的方法,其中所述印刷在所述卷到卷工藝中發生。22.—種用于制造根據權利要求1至19中任一項所述的傳感器元件的方法,所述方法包括將至少兩個導電層中的一者層疊在另一者的頂部并且在所述至少兩個導電層中間具有絕緣層。23.根據權利要求22所述的方法,其中所述絕緣層為粘接層。24.根據權利要求22或23所述的方法,其中所述導電層的未被絕緣粘接層覆蓋的區域通過施加導電粘接劑而被連接。
            【文檔編號】G06F3/044GK105900050SQ201580004035
            【公開日】2016年8月24日
            【申請日】2015年1月7日
            【發明人】A·烏爾曼, W·菲克斯, M·瓦爾特
            【申請人】波利Ic有限及兩合公司
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