掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，公開了一掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法，包括步驟：定義掃描程式的機(jī)臺(tái)目錄及文件位置；控制系統(tǒng)連接至各掃描機(jī)臺(tái)的掃描程式文件位置；控制系統(tǒng)獲取掃描程式文件列表信息，并對(duì)文件進(jìn)行解析；提取掃描程式信息，生成掃描程式關(guān)鍵值文件，并存儲(chǔ)至控制系統(tǒng)。該方法生成的掃描程式關(guān)鍵值文件包括所有掃描機(jī)臺(tái)、所有掃描程式的所有文件信息，在需要對(duì)某些關(guān)鍵值進(jìn)行查詢或提取時(shí)，只需將掃描程式關(guān)鍵值文件備份至本地進(jìn)行搜索或篩選，即可自動(dòng)生成包括且僅包括所需關(guān)鍵值信息的表格，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)多產(chǎn)品、多半導(dǎo)體層的多掃描機(jī)臺(tái)程式及關(guān)鍵參數(shù)值的統(tǒng)一控制，實(shí)現(xiàn)所需掃描程式信息的快速、高效查詢和提取。
【專利說(shuō)明】掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及半導(dǎo)體工藝中的良率提升缺陷掃描機(jī)臺(tái)程式控制技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著集成電路工藝的發(fā)展，特征尺寸持續(xù)按比例縮小，半導(dǎo)體工藝制造的復(fù)雜性也在不斷提高。在這種發(fā)展趨勢(shì)下，缺陷掃描機(jī)臺(tái)(Defect scan tool)在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用也越來(lái)越廣泛，用來(lái)對(duì)不同產(chǎn)品線上的產(chǎn)品晶圓各層上的缺陷進(jìn)行掃描。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，各半導(dǎo)體生產(chǎn)線上均設(shè)有若干用于良率提升的缺陷掃描機(jī)臺(tái)，分別對(duì)應(yīng)不同的產(chǎn)品、不同的生產(chǎn)線、甚至不同的工藝環(huán)節(jié)，每臺(tái)缺陷掃描機(jī)臺(tái)上，都設(shè)有非常多的掃描程式，對(duì)應(yīng)某類產(chǎn)品、某一層結(jié)構(gòu)的缺陷掃描，切每個(gè)程式均包括多個(gè).xml文件，每個(gè).xml文件都會(huì)包括缺陷掃描設(shè)定的關(guān)鍵參數(shù)值，這些關(guān)鍵值是對(duì)產(chǎn)品及不同半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)進(jìn)行缺陷掃描的關(guān)鍵所在。然而，目前，半導(dǎo)體生產(chǎn)線上涉及的較多數(shù)量的缺陷掃描機(jī)臺(tái)、較多的產(chǎn)品類型、每類產(chǎn)品具有的多層半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)、每層半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)掃描定義的多個(gè)關(guān)鍵參數(shù)值，以及并不規(guī)范的命名、管理方法，都使得生產(chǎn)線上缺陷掃描機(jī)臺(tái)程式繁多、數(shù)據(jù)龐雜，這些都為調(diào)取或查看某產(chǎn)品在某缺陷掃描機(jī)臺(tái)上某一層的掃描程式及關(guān)鍵參數(shù)值等信息帶來(lái)了極大的不便，不僅增加了工作量，也降低了缺陷掃描及關(guān)鍵參數(shù)值調(diào)整的工作效率。
[0004]因此，如何能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)多產(chǎn)品、多半導(dǎo)體層的多掃描機(jī)臺(tái)程式及關(guān)鍵參數(shù)值進(jìn)行統(tǒng)一控制，實(shí)現(xiàn)所需掃描信息的快速、高效提取，提高工作效率，成為半導(dǎo)體生產(chǎn)中需要解決的重要問(wèn)題之一。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，提供一掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)多產(chǎn)品、多半導(dǎo)體層的多掃描機(jī)臺(tái)程式及關(guān)鍵參數(shù)值進(jìn)行統(tǒng)一控制，實(shí)現(xiàn)所需掃描程式信息的快速、高效提取，提高工作效率。
[0006]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法，包括步驟:定義掃描程式的機(jī)臺(tái)目錄及文件位置；控制系統(tǒng)連接至各掃描機(jī)臺(tái)的掃描程式文件位置；控制系統(tǒng)獲取掃描程式文件列表信息，并對(duì)文件進(jìn)行解析；提取掃描程式信息，生成掃描程式關(guān)鍵值文件，并存儲(chǔ)至控制系統(tǒng)。
[0007]作為可選擇的技術(shù)方案，該方法還包括:控制系統(tǒng)自動(dòng)獲取掃描程式機(jī)臺(tái)目錄中文件的更新狀態(tài)，當(dāng)掃描程式機(jī)臺(tái)目錄中文件有新增、刪除或修改時(shí)，控制系統(tǒng)更新掃描程式關(guān)鍵值文件中掃描程式的信息。進(jìn)一步地，所述控制系統(tǒng)周期性的、定時(shí)自動(dòng)獲取掃描程式機(jī)臺(tái)目錄中文件的更新狀態(tài)。
[0008]作為可選擇的技術(shù)方案，所述機(jī)臺(tái)目錄包括掃描程式的產(chǎn)品信息和半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)層信息；所述文件位置包括掃描機(jī)臺(tái)信息。進(jìn)一步地，各掃描機(jī)臺(tái)中掃描程式的機(jī)臺(tái)目錄均采用相同的定義規(guī)則。
[0009]作為可選擇的技術(shù)方案，所述控制系統(tǒng)通過(guò)FTP方式連接至各掃描機(jī)臺(tái)的掃描程式文件位置；該掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法還包括對(duì)掃描程式的查詢和調(diào)取步驟，該步驟中，將掃描程式關(guān)鍵值文件從控制系統(tǒng)備份至本地，進(jìn)行所需關(guān)鍵值的查詢和調(diào)取。
[0010]作為可選擇的技術(shù)方案，本方法所涉及的掃描機(jī)臺(tái)包括各條生產(chǎn)線上對(duì)全部產(chǎn)品、各半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)層進(jìn)行缺陷掃描所需的全部掃描機(jī)臺(tái)；所述掃描程式包括所述全部掃描機(jī)臺(tái)上設(shè)置的全部掃描程式；所述文件位置包括所述掃描程式的全部.xml文件被指定的文件位置。
[0011]本發(fā)明提供的掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法，通過(guò)定義包括掃描程式產(chǎn)品信息和半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)層信息的機(jī)臺(tái)目錄，并定義包括機(jī)臺(tái)信息的文件位置，將產(chǎn)品線所涉及的所有掃描機(jī)臺(tái)通過(guò)FTP方式連接至控制系統(tǒng)，由控制系統(tǒng)獲取并解析各掃描機(jī)臺(tái)上的全部文件信息，并在對(duì)關(guān)鍵值統(tǒng)一命名的基礎(chǔ)上，提取掃描程式信息，生成掃描程式關(guān)鍵值文件，以便于對(duì)所需的掃描程式關(guān)鍵值進(jìn)行便捷的查詢和提取。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法能夠通過(guò)控制系統(tǒng)自動(dòng)獲取掃描程式機(jī)臺(tái)目錄中文件的更新狀態(tài)，當(dāng)掃描程式機(jī)臺(tái)目錄中文件有新增、刪除或修改時(shí)，控制系統(tǒng)更新掃描程式關(guān)鍵值文件中掃描程式的信息。在需要對(duì)某些關(guān)鍵值進(jìn)行查詢或提取時(shí)，只需從控制系統(tǒng)中將包括所有掃描機(jī)臺(tái)、所有掃描程式的所有文件信息的掃描程式關(guān)鍵值文件備份至本地，在文件中進(jìn)行搜索或篩選，即可自動(dòng)生成包括且僅包括所需關(guān)鍵值信息的表格。該方法大大提高了工作效率，簡(jiǎn)化了工作流程，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)多產(chǎn)品、多半導(dǎo)體層的多掃描機(jī)臺(tái)程式及關(guān)鍵參數(shù)值的統(tǒng)一控制，實(shí)現(xiàn)所需掃描程式信息的快速、高效查詢和提取。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1為本發(fā)明提供的掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法工作流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
[0015]本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說(shuō)明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本發(fā)明還可以通過(guò)另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說(shuō)明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒(méi)有背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0016]圖1為本【具體實(shí)施方式】提供的掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法工作流程圖。
[0017]如圖1所示，本【具體實(shí)施方式】提供的機(jī)臺(tái)程式控制方法包括以下步驟:
[0018]步驟S1、定義掃描程式的機(jī)臺(tái)目錄及文件位置。
[0019]該步驟中，所涉及的掃描機(jī)臺(tái)包括各條生產(chǎn)線上對(duì)全部產(chǎn)品、各半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)層進(jìn)行缺陷掃描所需的全部掃描機(jī)臺(tái)；所涉及的掃描程式包括所述全部掃描機(jī)臺(tái)上設(shè)置的全部掃描程式；所述涉及的文件位置包括所述掃描程式的全部.xml文件被指定的文件位置。
[0020]作為較佳實(shí)施方式，所述機(jī)臺(tái)目錄包括掃描程式的產(chǎn)品信息和半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)層信息；所述文件位置包括掃描機(jī)臺(tái)信息。最佳地，各掃描機(jī)臺(tái)中掃描程式的機(jī)臺(tái)目錄均采用相同的定義規(guī)則。該步驟中，上述掃描程式的產(chǎn)品信息和半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)層信息體現(xiàn)在對(duì)掃描程式的命名中，所述機(jī)臺(tái)目錄即為對(duì)各掃描機(jī)臺(tái)上的各掃描程式文件夾進(jìn)行統(tǒng)一規(guī)則命名所形成的目錄；上述掃描機(jī)臺(tái)信息體現(xiàn)在所指定的每臺(tái)掃描機(jī)臺(tái)儲(chǔ)存掃描程式的文件位置名稱中。
[0021]作為可選的實(shí)施方式，每個(gè)掃描程式均包括多個(gè).xml文件，每個(gè).xml文件均包括多個(gè)缺陷掃描設(shè)定的關(guān)鍵值，在各.xml文件中，相同的掃描設(shè)定關(guān)鍵參數(shù)/關(guān)鍵值采用相同的命名。
[0022]步驟S2、控制系統(tǒng)連接至各掃描機(jī)臺(tái)的掃描程式文件位置。
[0023]該步驟中，所述控制系統(tǒng)通過(guò)FTP方式連接至各掃描機(jī)臺(tái)的掃描程式文件位置?？蛇x的，所述控制系統(tǒng)可以為一服務(wù)器或工作電腦。
[0024]步驟S3、控制系統(tǒng)獲取掃描程式文件列表信息，并對(duì)文件進(jìn)行解析。
[0025]該步驟中，控制系統(tǒng)通過(guò)FTP方式連接至各掃描機(jī)臺(tái)的掃描程式文件位置后，自動(dòng)獲取掃描程式的文件列表信息，并解析掃描程式文件，所述對(duì)掃描程式文件列表信息的自動(dòng)獲取和對(duì)掃描程式文件的解析，均通過(guò)算法實(shí)現(xiàn)，具體實(shí)現(xiàn)方法為本領(lǐng)域技術(shù)人員的慣用技術(shù)，在此不做贅述。
[0026]步驟S4、提取掃描程式信息，生成掃描程式關(guān)鍵值文件，并存儲(chǔ)至控制系統(tǒng)。
[0027]該步驟中，對(duì)掃描程式的文件進(jìn)行解析后，直接提取掃描程式信息，優(yōu)選地，生成的掃描程式關(guān)鍵值文件為表格格式，便于查詢、篩選和提取。所述掃描程式關(guān)鍵值文件存儲(chǔ)在控制系統(tǒng)，并可根據(jù)需求備份至本地。
[0028]需要說(shuō)明的是，當(dāng)控制系統(tǒng)上無(wú)掃描程式關(guān)鍵值文件存儲(chǔ)時(shí)，即:步驟S3中第一次獲取掃描程式文件列表信息、并對(duì)文件進(jìn)行解析時(shí)，提取掃描程式信息后，生成初始掃描程式關(guān)鍵值文件。而當(dāng)控制系統(tǒng)上已存儲(chǔ)有掃描程式關(guān)鍵值文件時(shí)，則重復(fù)執(zhí)行步驟S3，此時(shí)，控制系統(tǒng)通過(guò)獲取掃描程式文件列表信息和對(duì)文件的解析，自動(dòng)獲取掃描程式機(jī)臺(tái)目錄中文件的更新狀態(tài)，當(dāng)掃描程式機(jī)臺(tái)目錄中文件有新增、刪除或修改時(shí)，控制系統(tǒng)更新掃描程式關(guān)鍵值文件中掃描程式的信息。即:當(dāng)掃描程式機(jī)臺(tái)目錄中文件有更新時(shí)，執(zhí)行步驟S4，更新掃描程式關(guān)鍵值文件；當(dāng)掃描程式機(jī)臺(tái)目錄中文件無(wú)更新時(shí)，不執(zhí)行步驟S4，間隔一定時(shí)間后，再次執(zhí)行步驟S3。作為最佳實(shí)施方式，所述控制系統(tǒng)周期性的、定時(shí)自動(dòng)獲取掃描程式機(jī)臺(tái)目錄中文件的更新狀態(tài)，步驟S3周期性執(zhí)行的時(shí)間可根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需要和操作慣例靈活設(shè)置。
[0029]步驟S5、對(duì)所需掃描程式關(guān)鍵值進(jìn)行查詢和調(diào)取。
[0030]該步驟中，將掃描程式關(guān)鍵值文件從控制系統(tǒng)備份至本地，進(jìn)行所需關(guān)鍵值的查詢和調(diào)取。步驟S4存儲(chǔ)的掃描程式關(guān)鍵值文件中，包含了所有掃描機(jī)臺(tái)、所有掃描程式的所有文件信息，并包括了上述信息的最新更新狀態(tài)，因此，在需要對(duì)某些關(guān)鍵值進(jìn)行查詢或提取時(shí)，只需在掃描程式關(guān)鍵值文件中進(jìn)行搜索或篩選，即可自動(dòng)生成包括且僅包括所需關(guān)鍵值信息的表格。
[0031]本【具體實(shí)施方式】所提供的掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法能夠通過(guò)控制系統(tǒng)自動(dòng)獲取掃描程式機(jī)臺(tái)目錄中文件的更新狀態(tài)，當(dāng)掃描程式機(jī)臺(tái)目錄中文件有新增、刪除或修改時(shí)，控制系統(tǒng)更新掃描程式關(guān)鍵值文件中掃描程式的信息。在需要對(duì)某些關(guān)鍵值進(jìn)行查詢或提取時(shí)，只需從控制系統(tǒng)中將包括所有掃描機(jī)臺(tái)、所有掃描程式的所有文件信息的掃描程式關(guān)鍵值文件備份至本地，在文件中進(jìn)行搜索或篩選，即可自動(dòng)生成包括且僅包括所需關(guān)鍵值信息的表格。該方法大大提高了工作效率，簡(jiǎn)化了工作流程，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)多產(chǎn)品、多半導(dǎo)體層的多掃描機(jī)臺(tái)程式及關(guān)鍵參數(shù)值的統(tǒng)一控制，實(shí)現(xiàn)所需掃描程式信息的快速、高效查詢和提取。
[0032]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者在未脫離本發(fā)明所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法，其特征在于，包括步驟: 定義掃描程式的機(jī)臺(tái)目錄及文件位置； 控制系統(tǒng)連接至各掃描機(jī)臺(tái)的掃描程式文件位置； 控制系統(tǒng)獲取掃描程式文件列表信息，并對(duì)文件進(jìn)行解析； 提取掃描程式信息，生成掃描程式關(guān)鍵值文件，并存儲(chǔ)至控制系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法，其特征在于，控制系統(tǒng)自動(dòng)獲取掃描程式機(jī)臺(tái)目錄中文件的更新狀態(tài)，當(dāng)掃描程式機(jī)臺(tái)目錄中文件有新增、刪除或修改時(shí)，控制系統(tǒng)更新掃描程式關(guān)鍵值文件中掃描程式的信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法，其特征在于，所述控制系統(tǒng)周期性的、定時(shí)自動(dòng)獲取掃描程式機(jī)臺(tái)目錄中文件的更新狀態(tài)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法，其特征在于，所述機(jī)臺(tái)目錄包括掃描程式的產(chǎn)品信息和半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)層信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法，其特征在于，各掃描機(jī)臺(tái)中掃描程式的機(jī)臺(tái)目錄均采用相同的定義規(guī)則。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法，其特征在于，所述文件位置包括掃描機(jī)臺(tái)信息。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法，其特征在于，所述控制系統(tǒng)通過(guò)FTP方式連接至各掃描機(jī)臺(tái)的掃描程式文件位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法，其特征在于，還包括對(duì)掃描程式的查詢和調(diào)取步驟，該步驟中，將掃描程式關(guān)鍵值文件從控制系統(tǒng)備份至本地，進(jìn)行所需關(guān)鍵值的查詢和調(diào)取。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法，其特征在于，所述掃描機(jī)臺(tái)包括各條生產(chǎn)線上對(duì)全部產(chǎn)品、各半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)層進(jìn)行缺陷掃描所需的全部掃描機(jī)臺(tái)；所述掃描程式包括所述全部掃描機(jī)臺(tái)上設(shè)置的全部掃描程式；所述文件位置包括所述掃描程式的全部.xml文件被指定的文件位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的掃描機(jī)臺(tái)程式控制方法，其特征在于，所述掃描程式的.xml文件中，相同的掃描設(shè)定關(guān)鍵值采用相同的命名。
【文檔編號(hào)】G06F17/30GK103646059SQ201310631420
【公開日】2014年3月19日 申請(qǐng)日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
【發(fā)明者】徐燕菁, 陳旭, 邵雄 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司