分解集成電路布局的方法以及計算機可讀取媒體的制作方法

專利名稱：分解集成電路布局的方法以及計算機可讀取媒體的制作方法
技術領域：
本發明的實施例一般相關于集成電路布局。在本發明各種實施例中所提供的機制 可以使布局滿足雙重圖案技術要求，包括將布局分開成不同的光罩。
背景技術：
如果集成電路的布局包括沖突循環，就不能分開成二光罩。一沖突循環可稱為一 奇循環，因為它是在包含奇數邊緣的沖突圖中的一循環。許多布局設計者(例如半導體代 工廠的客戶)沒有工具來檢查那些沖突循環，因此可能違反分開布局的規則。因為在接合 位置上的限制，許多布局方式無法修復一奇循環和相關問題。一直接的方法是將圖案分開、 通過接合區域連接多邊形、并使用一矩陣全域求解以分解布局。然而，這種方法消耗海量存 儲器并增加循環時間，客戶一般不參與布局制作過程，而布局制作過程對使用者并不方便， 因為當切割或不切割多邊形時采用不同的方法來分解布局。

發明內容
本發明的目的在于提供一種分解集成電路布局的方法以及儲存有多個計算機指 令的計算機可讀取媒體。本發明的實施例一般相關于集成電路布局。各種實施例提供包括雙重圖案技術的 技術，以確保布局是可分開的。在一方法實施例中，在具有一布局庫的一客戶場所產生一布 局以作為輸入，其中布局庫提供已確認為可分開的且能夠使用的示例性布局，和可避免導 致沖突的布局。本發明的實施例亦提供一實時奇循環(real-time odd cycle)檢查器，其 中在布局產生期間，該檢查器在沖突區域和奇循環出現時，實時將它們識別出來。為了減少 內存的使用，可以在一防護帶(guard band)區域分開各種裝置的布局，以針對沖突來檢查 每一單獨的布局或少數布局，而不是整個應用電路的一個大的布局。一旦在客戶場所準備 好布局，它就被發送到制造場所分解成二光罩并流片完成(taped-out)。本發明亦有揭露其 它實施例。本發明一實施例提供一種分解集成電路布局的方法，其特點在于，包含下列步驟: 產生多個多邊形，其對應于一集成電路的多個電路；確認下列的一或多組合一沖突多邊 形、一沖突邊緣和一奇循環；及如果存在該奇循環，則消除該奇循環。上述分解集成電路布局的方法，其中在產生該多個多邊形時執行上述確認的步
馬聚ο上述分解集成電路布局的方法，其中另包括提供已被確認為可分開的該多個多 邊形，和被確認為不可分開的該多個多邊形，以用于產生對應于該集成電路的該多個電路 的該多個多邊形。上述分解集成電路布局的方法，其中另包括若允許減少一多邊形，則確認一沖突 區域和一連接區域。上述分解集成電路布局的方法，其中另包括確認一候選接合位置；以及如果該候選接合位置不用于接合，另合并被該候選接合位置分開的多個多邊形。上述分解集成電路布局的方法，其中上述消除該奇循環的步驟是通過使用一垂直 整合的分辨率增強技術來進行或修改至少一多邊形來進行。上述分解集成電路布局的方法，其中另包括限制對應于該集成電路的該多個電 路的一布局的一大小。上述分解集成電路布局的方法，其中另包括使用多個接合組件來確認多個候選 接合位置；以及決定是否一候選接合位置可用于接合，而如果該候選接合位置不能用于接 合，則合并被該候選接合位置分開的多個多邊形部分。上述分解集成電路布局的方法，其中另包括將多個接合位置儲存為一文件，其中 該多個儲存的接合位置在之后用于分解該集成電路的一布局。上述分解集成電路布局的方法，其中另包括依據一使用者要求，改變多個角落形 狀的一數目；以及依據一接合組件的一大小，改變多個角落形狀的一數目。本發明另一實施例提供一種儲存有多個計算機指令的計算機可讀取媒體，其特點 在于，該多個計算機指令執行一方法，包括下列步驟提供多個多邊形，其對應于多個集成 電路；使用一沖突間距，以確認至少一沖突區域；指示允許多邊形切割；基于該至少有一沖 突區域，確認至少一沖突邊緣；如果一連接區域存在，則使用一接合組件，以確認是否該連 接區域是一候選接合位置；及基于該至少一沖突邊緣，確認一奇循環，及如果確認該奇循 環，則解決該奇循環。上述的儲存有多個計算機指令的計算機可讀取媒體，其中如果該候選接合位置不 用于接合，則另合并被該候選接合位置分開的多個多邊形部分。上述的儲存有多個計算機指令的計算機可讀取媒體，其中如果該候選接合位置不 用于接合，則另將相關于該候選接合位置的信息儲存為一文件，以供未來使用。上述的儲存有多個計算機指令的計算機可讀取媒體，其中該方法另使用相關于一 布局單元的防護帶信息，以節省內存的使用。上述的儲存有多個計算機指令的計算機可讀取媒體，其中該方法另顯示下列的一 或多組合可使用的一多邊形，及避免顯示的一多邊形。本發明的又一實施例提供一種儲存有多個計算機指令的計算機可讀取媒體，其特 點在于，該多個計算機指令執行一方法，包括下列步驟顯示下列的一或多組合可使用的 一多邊形，及避免使用的一多邊形；提供多個選項，以選擇是否允許多邊形切割；當產生對 應于多個集成電路的多個多邊形時，顯示該多個多邊形；當至少一沖突多邊形產生時，顯示 該至少一沖突多邊形；如果該至少一沖突多邊形產生，則顯示連接至該至少一沖突多邊形 的至少一連接邊緣；及如果產生一奇循環，則指示該奇循環存在。本發明的實施例可以有一或多組合下列特征和/或優點。本發明的實施例可以修 正奇循環、可針對客戶提供一布局庫、和相關于雙重圖案技術的方針和一沖突循環檢查器 的情況，用于雙重圖案技術，以避免形成一奇循環。因此，如果分開光罩是想要的或無法避 免的，則它是可以分開的。基于接合組件和預接合，在本發明的各種實施例中的布局不會有 奇循環，從而保證可分開。本發明的實施例通過將布局分開成個別或一組較小的電路，以節 省內存使用。使用VIRET，本發明的實施例在光學接近校正(OPC，optical proximity)期 間，延長接合區域的限度，以避免潛在橋接(bridging)或頸狀(necking)風險，以及在許多情況下很容易地解決沖突循環。在布局分解期間，本發明的實施例可以使用保存的接合位 置或VIRET文件，如果有的話。按照本發明的實施例的技術的分解方法速度較快，且使用較 少的內存。本發明的各種實施例提供完整的解決方案給客戶，包括在OPC之前的最后分開光罩。


本文以附圖和實施方式描述本發明的一或更多實施例的細節。通過實施方式、附 圖、和從申請專利范圍，將可明白本發明的其它特征和優點。圖1顯示依據本發明的一實施例的一流程圖，其說明用以產生一布局而后將它分 解成兩個光罩的一種方法；圖2顯示依據本發明的一實施例，已被確認為可分開且可使用的示例性布局，及 可能產生沖突而避免的布局；圖3顯示依據本發明的一實施例的一流程圖，其說明用以產生一布局并實時檢查 奇循環的一種方法；圖4顯示依據本發明的一實施例的示例性接合組件；圖5顯示依據本發明的一實施例的預接合；圖6顯示依據本發明的一實施例的防護帶或分塊(boxing)的示意圖；圖7顯示的流程圖說明一種分解先前產生的布局的方法；圖8顯示的示意圖說明依據本發明的一實施例，具有二示例性顏色集的接合最佳 化；圖9顯示的示意圖說明依據本發明的一實施例，具有示例性四顏色集的接合最佳 化；圖10顯示依據本發明的一實施例的一流程圖，其說明用以最佳化接合組件或欲 分割的多邊形數目的一種方法；圖11顯示依據本發明的一實施例合并顏色集的示意圖；圖12的圖形顯示在本文中使用的組件。在各附圖中，相同的組件參考符號表示相 同的組件。主要組件符號說明210布局
220布局
230布局
240布局
250布局
405接合組件
410接合組件
415接合組件
420接合組件
425接合組件
430接合組件
6
510 方塊510-1 位置510-1-1 沖突區域510-1-2 沖突區域510-2 位置Ll 布局單元L2 布局單元L3 布局單元L4 布局單元L5 布局單元LN 布局單元800A 圖形800B 圖形800C 圖形800D 圖形810 直線820 直線830 直線1100A 圖形1100B 圖形1100C 圖形1210 多邊形1215 沖突間距1220 沖突區域1225 多邊形1230 沖突邊緣1235 連接區域1240 接合區域col 顏色co2 顏色Al-AlO 顏色集
具體實施例方式申請專利范圍現使用特定文字敘述在附圖中繪示的本發明的實施例或示例。然而，將可理解，其 并非意在限制本發明的范圍。對本發明所述的實施例所進行的任何修改和變化，及對本文 所述的本發明的主要概念的進一步應用皆為熟悉本發明相關領域的技藝者在參酌本發明 后所思及。組件符號重復用于通篇實施例，但即使共享相同的組件符號，并不須要將一實施 例的特征套用在另一實施例。
分解布局的示例性方法實施例圖1顯示的流程圖說明一種分解集成電路布局為二光罩(masks)的方法實施例。 在本圖中，代工廠為客戶提供一個解決方案，以確保布局可分為兩個光罩，例如，一個光罩A 和光罩B。此外，客戶(例如，一客戶布局設計者)在客戶場所(例如，區塊110至120)產 生布局的一第一部分，而代工廠(例如，一代工廠布局設計者)在代工廠場所(例如，區塊 125至140)產生布局的一第二部分。此外，代工廠先前提供給客戶的雙重圖案技術(DPT， double patterning technology)庫、該DPT方針、沖突檢查器、和防護帶或分塊方針，使這 些工具可以用于產生布局。在區塊110，客戶開始產生布局。在區塊112，一 DPT庫和/或DPT方針可以幫助 避免沖突的循環(例如，奇循環)，以使最后布局能被分開成二光罩。一般來說，DPT技術庫 包括已被確認為可分開的示例性布局，且可用于布局期間。DPT庫還包括違反布局分開原則 的布局，以避免違反布局分開原則。在區塊115，客戶使用先前提供的一實時奇循環檢查器和修正器，以進行檢查，且 若適當的話，修正該奇循環。根據實施例，檢查器和修正器可以是兩個不同軟件或整合的軟 件套件。或者，修正器可以是一檢查器的一部分。在區塊117，為了減少內存使用，客戶可以對裝置進行“防護帶”或“分塊”，亦即， 在布局單元中保持個別裝置或較小群組裝置的布局，以檢查這些布局單元而非整個應用電 路的布局的沖突。在一實施例中，如果使用防護帶或分塊，則儲存信息(例如，以分層號碼 標示布局或防護帶)，并在之后使用。例如，在區塊130的分解器讀取分層號碼并采取對應 的行動。在區塊120，在客戶的場所，客戶完成布局。在區塊125，在代工廠場所，客戶布局已準備好分解了。在區塊130，代工廠使用一布局分解工具，以分解布局，例如，將它分開成兩個光罩。在區塊135，布局產生二光罩，例如，光罩A和光罩B。在區塊140，包括二光罩A和B的布局被用于流片完成(taping-out)。用以避免沖突循環的布局庫與方針圖2顯示在一布局庫的示例性布局庫。這些布局包括已確定為可分開的布局，因 此可用于產生用于特殊應用/電路的布局，和欲避免的會導致沖突的(例如，不可分開的) 布局。例如，布局210是不可分開的，因為有由圖示的二個沖突邊緣的三角不等式所造成的 六個沖突邊緣。布局220是可分開的，因為即使存在一循環，該循環是偶數的(例如，沖突 邊緣數目為6)。布局230是不可分開的，因為存在一循環，且沖突邊緣或沖突循環的數目為 奇數(例如，沖突邊緣數目為幻。布局240和250顯示不同位置的距離L，及如果在一特定 位置的距離L小于一預定值(例如，20nm、30nm、40nm、等等，這取決于技術)及不容許多邊 形切割(因為沒有多邊形切割，布局是不可分開的)，不應該使用的布局。如果不允許多邊 形切割，自沖突布局(例如，布局250的U型圖案)也是不可分開的。如果允許多邊形切割 而可以解決沖突的話，則可以使用布局240和250。在兩個多邊形之間的分離間距因為不同 技術而變，且可因不同地點而異，包括，例如，端到端、端到途徑、角到角、等等之間的分離間 距。根據應用，布局庫可被納入軟件套件(例如，檢查器、分解器、等等)和/或可在布局產生期間存取。實時檢查和修正沖突循環圖3顯示的一流程圖300繪示用以實時檢查一沖突循環的方法實施例，例如，圖1 的區塊115。在一實施例中，當產生布局時，如果出現沖突多邊形、沖突區域、沖突邊緣、奇 循環等，則一檢查器軟件工具(例如，“檢查器”)實時將它們識別出來。例如，當二多邊形 之間的分離間距小于一要求或預定間距時，檢查器在二沖突區域或多邊形之間提供一箭頭 (例如，一紅色箭頭)。當沖突邊緣形成一循環，則檢查器計算邊緣的數目，并在奇數時明示 這些邊緣，也就是說，它們形成一奇數的沖突循環。在區塊305，布局設計者產生(例如，繪制)對應于一電路、一系統、一應用、等等的 一布局。在布局產生期間，形成代表電路(例如，子電路)的多邊形。在區塊310，檢查器套用分開規則至產生的布局。在一實施例中，可預先提供相關 于布局分開的規則給檢查器。一般來說，檢查器決定是否想要分開(由設計者指定)和/ 或必須分開(例如，為滿足一些規格)。根據應用，如果兩個多邊形之間的間距過小(例如， 不到預定值)，則需要分開布局。此外，可以通過邊緣之間的距離或多邊形的中心(可稱作 “節距(pitch)”)界定預定的間距。當想和/或必需(例如，允許)分開時，檢查器決定是 否布局是可分開的。在一實施例中，如果布局中沒有奇循環的話，一布局可分開成二光罩。 此外，在布局產生期間，如果設計者形成一奇循環，則檢查器指示一奇循環已形成。在區塊312中，當有一沖突邊緣時，檢查器決定是否有必要分開。如果沒必要分 開，則在區塊315中，檢查器決定是否設計者的布局繪制完成。如果設計者的布局繪制完 成，則在區塊320，檢查器提供輸出的布局。在布局產生期間，如果完成預接合(例如，在區 塊330)，則在區塊320，檢查器將預接合區域的位置儲存成一個文件或一或多層，使它們在 適當時可以使用。如果在區塊315中設計者還沒有完成布局，則設計者繼續產生布局。也就是說，本 發明的方法實施例進行到區塊305，而設計者繼續流程圖300的流程，繼續繪制布局。在區塊322，檢查器決定是否允許多邊形切割。在一實施例中，如果多邊形切割是 允許的，則通過一輸入機制(例如，編程參數、一圖形使用者界面等)，設計者可進行設定。 根據應用，檢查器可詢問是否設計者想切割多邊形，而設計者可通過一機制回應。如果對于可分開的布局而言多邊形切割是不必要的，則在區塊340，檢查器識別沖 突多邊形，并在區塊345決定沖突邊緣。在區塊350，檢查器檢查奇循環。在區塊352，檢查器決定是否在布局中有任何奇循環，及如果沒有任何奇循環，則 本方法實施例進行至區塊315并從中繼續。如果在區塊352，檢查器判定一奇循環存在，則在區塊355，檢查器試圖修正該奇 循環。根據應用，檢查器可調用一奇循環修正器，其可以是檢查器的一部分、一整套整合至 檢查器的軟件、軟件的獨立套件、等等。在區塊360，檢查器決定是否可以使用垂直整合分辨率增強技術(VIRET，vertical integrated resolution enhancement technology)。在一實施例中，VIRET 是一個軟件套 件，用以擴大接合區域的限度。熟知該項技藝者可明白，當一接合區域的一限度擴大，則可 解決對應的沖突邊緣、沖突多邊形、和因此產生的奇循環。在一實施例中，這信息被儲存至 一文件或多個層。
在區塊365中，檢查器決定是否設計者想要用VIRET。在許多情況下，設計可尋求 不使用VIRET，例如，不擴大接合區域的限度。如果使用VIRET，例如，已擴大限度，則檢查器 (重新)識別沖突邊緣，而方法進行至區塊345，并從它繼續。如果在區塊365中，檢查器決定不使用VIRET，則方法進行至區塊370，設計者在此 修正他/她的布局。一旦布局修改，本發明的實施例進行至區塊310，并從這里繼續。但是，在區塊322，如果檢查器決定允許多邊形切割，則在區塊325檢查器依據產 生的多邊形來識別沖突區域和連接區域。在區塊330，檢查器執行預接合，以識別用以接合的候選位置。在這里，與其它功能 一樣，檢查器可包括或可不包括內部預接合功能。在任何情況下，檢查器可調用一些圖案匹 配或確認軟件套件，以識別預接合位置。在區塊332，檢查器根據預接合信息，決定是否一位置可用于接合。如果接合是可 行的，檢查器在區塊345識別沖突邊緣，而方法從這里繼續進行。如果在區塊332接合是不 可行的，則在區塊335檢查器移除對應的候選接合位置。實際上，如果適當的話，檢查器合 并被候選接合位置分開的多邊形部分，和因此重新形成一沖突區域。方法進行至區塊345， 并由此繼續。圖3繪示實時使用沖突檢查器的內容。也就是說，在布局設計者繪制布局時，檢查 器會運作。在這態樣中，應用許多沖突檢查規則(如，兩多邊形間最低間距要求、奇循環的 違反、等等)，并實時圖形化顯示沖突(例如，沖突邊緣、沖突多邊形、奇循環等)。本發明 的實施例也適用于以“按鈕”方式來決定是否一存在的布局是可分開的或需要修改。例如， 一輸入布局(例如，一先前繪制的布局)可作為檢查器的一輸入，再設定適當的參數，以使 本方法實施例依照想要的進行，及如果在輸入布局中存在一奇循環，則檢查器可以提供一 信息，以指示需要修改布局。在這個例子中，方法實施例經過區塊305、310、312、322、325、 330、332、335、345、350、352、355、360、365和370。在這個流程中，對應于可分開(例如，區 塊312)、多邊形切割(如、區塊322)、應用VIRET (例如，區塊360)的參數被分別設定為是 (Y)和否(N)。此外，檢查器確定預接合是可行的(例如，區塊33 并偵測到一奇循環(例 如，區塊352)。對于另一個流程，設定相對應的適當參數。預接合預接合(如，區塊330)識別候選接合位置。預接合檢查以決定是否一接合組件適 合一連接區域。圖4顯示示例性接合組件，包括一桿狀405、一方形410、一 L形415、一 Z 形420、一 T型425、一交叉型430。在圖4的接合組件是作為例示之用，本發明的實施例不 局限于這些組件，但適用于其它不同形狀和大小的接合組件，包括，例如，如圖4所示的形 狀的復合和組合。此外，一接合組件的位向可以是任意角度。預接合位置可以是或可以不 是最后的接合位置。預接合位置可以是使用者定義和/或取決于可用的軟件，其使用圖案 匹配來使接合組件(例如，如圖4所示者)匹配至可用于接合的連接區域的圖案。依據應 用，軟件可以移動接合組件(例如，上、下、左、右等)以匹配圖案。一般而言，當一連接區域 和一接合組件具有相同的形狀，如果接合組件小于連接區域，則選擇一位置以用于接合。基 于潛在接合位置，本發明的實施例能夠解決奇循環。本發明的實施例相較于使用預切割的 其它方法是有益的，因為根據應用，預切割也可能導致一奇循環，而本發明各種實施例的預 接合可以幫助解決奇循環。例如，當接合是可行的，本發明的實施例可以減少沖突邊緣的數
10量、或移除一循環，從而解決奇循環(例如，從一奇循環變換至一偶循環或非循環)。在本發明的各種實施例，當一候選接合位置不可用于接合(非接合位置)，則檢查 器移除非接合位置。實際上，檢查器合并被非接合位置分開的多邊形部分。圖5繪示依據 本發明的一實施例的預接合。方塊510繪示二示例性沖突區域510-1-1和510-1-2，已識別 二連接區域(例如，位置)510-1和510-2，而二接合組件405和415 (例如，基于圖案匹配 或確認)被用于分別與位置510-1和510-2比較。為便于說明起見，當接合組件415合入 區域510-2時，接合組件405不合入區域510-1。因此，位置510-2被確認為一候選接合位 置，而接合組件415的大小被用于接合。相反地，區域510-1不被認為是一候選接合位置， 因此，本發明的實施例移除連接區域510-1或合并多邊形510-1-1和510-1-2。方塊520繪 示預接合方塊510的結果，其顯示在作為候選接合位置的位置510-2的接合組件，而一旦位 置510-1不再是一候選接合位置，則沖突區域510-1-1和510-1-2已經被合并。此外，如果 多邊形切割不容許，相較于包括一奇循環的方塊510，方塊520不包括一奇循環。修正器本發明的實施例提供的修正方針包括擴大多邊形之間的間距，和/或應用垂直 VIRET方案，以擴大接合區域限度，使接合區域盡可能的縮小。一旦限度延長(例如，擴大)， 則沖突間距的問題就解決了。根據情況，在二沖突多邊形之間的間距仍可能無法達到最低 間距需求，但如果使用VIRET的話，則被允許。因此，奇循環被解決了。在各種實施例中， VIRET適用于金屬層，而VIRET占用二或多輸入層。其實，VIRET可視為另一種接合，只是產 生于另一層(例如，一穿孔層)。此外，如果光罩有可導致橋接和頸狀風險(例如，熱點)的 最終輪廓，則可使用VIRET，或設計者必須拉回線端(例如，擴大間距)，從而減少風險，但會 增加單元大小。在一實施例中有一主要光罩和一輔助光罩，具有一對應圖案或從原圖案修 改而成的一圖案的一虛穿孔(dummy via)被置于一穿孔層(via layer)，以對每一光罩提供 足夠的覆蓋，以在經過雙重鑲嵌制程之后，該虛穿孔可連接二金屬線。在每一光罩中在虛擬 或修改的圖案和金屬圖案之間的最低區域覆蓋或重疊是取決于制程能力和/或電路性能， 但是圖案修改需要依照特定技術(如，制程(process))的設計規則。防護帶或分塊本發明的實施例提供防護帶或分塊，以減少操作一軟件套件(例如，沖突檢查器、 修正器、分解器等)時使用的內存。本發明的實施例將特殊應用、電路等的布局大小限制為 一些較小的布局單元，使得每一布局單元或較小的布局單元的組合(而不是整個電路應用 的布局)可操作一軟件套件。使用較小的或一組較少的布局單元有效地減少內存使用量。 例如，在沒有防護帶的情況下，例如，使用一特定電路應用的整個布局，顏色軟件在相同時 間對所有多邊形著色，其中以整個電路應用大小來調用系統操作軟件套件的內存使用量。 在某些情況，使用整個電路應用的布局，所需的內存可能高達30GB。相反地，防護帶(例如， 使用較小布局單元)，顏色軟件對較小布局單元的多邊形著色，而只調用該特定較小布局單 元的內存大小。布局單元的大小各不相同，取決于布局工程師的設計選擇。例如，工程師可 以選擇布局單元，以包括具有一特定功能(例如，處理、儲存、輸入輸出、等)的一獨立電路、 或具有相關功能(例如，儲存和輸入輸出、處理和儲存、處理和輸入輸出、等)的電路、不需 要分開布局的電路、等等。或者，設計者可依據執行軟件的系統的一特定內存的可用率來選 擇一任意大小的布局單元。圖6所顯示的布局600說明依據本發明的一實施例的一防護帶或分塊。圖6所顯示的特定布局600包括個別布局單元L(如，Li，L2，L3，. . . LN)，其中每 一布局單元Li，L2，L3，... LN等具有不同形狀和大小。此外，一布局單元(例如，布局單元 L4')可包含一個以上的其它布局單元，包括單元L4和L5等。在一實施例中，在檢查/修 正沖突循環(例如，在區塊115)，及在區塊130，分解器利用防護帶信息以節省內存的使用 之后，客戶省去防護帶信息。例如，分解器依據每一布局單元或防護帶的層數目，將這單元 從其它單元隔離出來，及當調用著色時，著色工具(如，軟件)對一次具有相同的層數目的 布局單元或被一些防護帶所包覆的布局單元著色。布局分解圖7顯示的一流程圖700繪示用以分解一布局的方法實施例(例如，圖1的區塊 130)。在本圖中，客戶提供將由代工廠分解的一布局。為進一步說明，布局已確定為可依據 本文所述的技術分開。在區塊605中，由客戶提供的布局被輸入布局分解軟件(例如，分解器)。在一實 施例中，布局是一數據庫文件格式，例如，圖形數據系統(⑶S II, Graphic Data System), 開放式作品系統交換標準(OASIS, Open Artwork System Interchange Standard)等。在區塊610，分解器套用布局分開規則至輸入的布局。在區塊615，分解器決定是 否分開是必要的。如果分開是不必要，則分解器在區塊620考慮各種方法來分配光罩，包括 隨機分配、基于模型的分配、等等。在區塊622中，分解器分配布局光罩至每個多邊形。由于一光罩對應至一布局(例 如，不同光罩、不同層)，這步驟可以稱為“分配層”。在區塊625，分解器提供輸出布局或流 片完成。但是，在區塊615，如果分開是必要的，則分解器在區塊630決定是否多邊形切割 是必要的。如果多邊形切割是不必要的，則分解器在區塊660識別沖突多邊形，并在區塊 665識別沖突邊緣，并從該區塊665繼續，解釋如下。但是，如果在區塊630中多邊形切割是必要的，則分解器在區塊635識別沖突和連 接區域。在區塊640中，分解器決定是否可使用接合位置(例如，先前在區塊320通過預接 合或VIRET儲存至輸出層的一文件或層)。如果這種接合位置不可用，則在區塊645，分解 器對連接區域執行預接合。然而，如果預先接合位置先前被儲存至一文件，而且現在可被分 解器使用，則分解器利用這些位置，并在區塊650決定是否預接合一位置是可行的。如果在 區塊650預接合是不可行的，則在區塊655，分解器合并被潛在但發現不可行的接合位置分 隔的連接區域。在區塊665，分解器識別沖突邊緣，和在區塊670對沖突多邊形/區域著色。分解器在區塊675決定是否應檢查奇循環。如果沒有需要檢查器奇循環，則分解 器在區塊680決定是否操縱角落形狀(例如，在一光罩的直角)是必要的和/或想要的。 如果操縱角落形狀是必要的和/或想要的，則分解器在區塊682分析預分解的光罩和/或 輪廓，以依據一接合組件選擇接合位置，相較于原來布局，該接合組件將減少或保留角落形 狀，而不用分解。在一實施例中，分解器使用幾何識別，從一個軟件套件識別和/或標識預 分解器布局的角落位置，并選擇一接合組件的一合適大小和形狀。然后分解器產生預分解 光罩/布局圖案，檢查預分解器圖案的角落數目和位置，并將這些圖案與原來的布局比較。
12最后，根據使用者要求(可能是保留或減少角落形狀的數目)，分解器最佳化(例如，減少/ 增加)接合組件大小。在本發明的各種實施例中，前段制程(FEOL，front-end of line) 一 般使用較少的角落圓角(如，在一晶圓則為曲線)，從而將它們相應地減少。相反地，后段制 程(BEOL，back-end of line)使用較多的角落圓角，并酌情予以保留。如果不需要處理角落形狀，則在區塊685，分解器最終決定接合位置，例如，考慮已 被移除的候選位置等，而方法進行至區塊622和區塊625，以分配光罩和輸出布局。然而，如果在區塊675，分解器決定應檢查奇循環，則在區塊690分解器決定是否 在布局中有任何奇循環。如果在布局中沒有任何奇循環，則方法進行至區塊680，并從此處 繼續，如上所述。但是，如果有任何奇循環，則在區塊695，分解器決定是否是可以接受奇循 環。如果可以接受奇循環，則方法進行至區塊680，并從此處繼續，如上所述。但是，如果在區塊695，分解器決定不能接受奇循環，則分解器在區塊698調用修 正器以修正奇循環。另外，或除了修正奇循環，分解器發出一信息以告知客戶，有一奇循環 在客戶所提供的布局中。著色沖突多邊形/區域雙重著色是一種用于分解一布局的方法，可使次分辨率配置分開為兩個不同的光 罩。在這種情況下，布局可被稱為可二次著色(2-colorable)或雙部分(bipartite)。依據 圖形理論，一圖形是二部分或可二次著色，唯有在它不包含一奇循環(例如，單數或頂點或 邊緣)時。一循環圖形是包括一奇循環的圖形，或頂點的數目被連接成一個封閉的鏈。在 本發明的各種實施例中，一沖突邊緣將在一第一光罩(例如，光罩A)的一沖突多邊形連接 至在一第二光罩(如光罩B)的另一沖突多邊形。而后本發明的實施例使用可以在奇循環 存在時予以確認的一廣度優先搜索(BFS，breath-first search)、一圖形搜索、或一顏色軟 件工具，將這兩個沖突多邊形予以著色。如果對于解決奇循環而言多邊形切割是必要的和 /或想要的，本發明各種實施例使用圖案匹配或確認以識別候選接合位置，和因此確認沖突 區域(或沖突循環)。本發明的實施例模仿二次著色方法來檢查是否有奇循環。結果，相較 于其它在分開光罩之前不能檢查奇循環的方法，本發明的實施例是有利的。合并和接合最佳化在本發明的各種實施例中，著色提供欲合并的接合處和/或欲分割的多邊形的信 息。一般來說，決定接合組件是基于性能(例如，為前段制程在分解的光罩保持較少的角落 形狀，而在后段制程保持較多的角落形狀)。著色沖突區域或多邊形亦提供顏色集。在一 實施例中，在一顏色集中的多邊形之間的顏色關是可識別出來的，因為它是依據將沖突多 邊形連接到另一沖突多邊形的沖突邊緣。此外，如果一沖突多邊形以一第一指數(如“1”) 著色，則其它多邊形將以一第二指數(如“-1”)來著色。此外，每一顏色集可以指定一翻轉 指數(例如，1或-1)，而且可以用來檢查是否一預接合組件連接同色指數(例如，相同的顏 色)的多邊形。在這種情況下，被預接合組件分開的相鄰沖突多邊形或沖突區域可能要合 并。如果預接合組件連接不同顏色(例如，不同指數)的沖突區域，則對應的多邊形可被分 割，而這預接合組件可用作一接合組件。事實上，所有預接合組件可以是接合組件，但多邊 形分割的數量可能很龐大。本發明的實施例通過接合組件合并顏色集，并使用顏色翻轉，以 盡量減少多邊形分割的數目，從而最佳化成本。本發明的一第一實施例是依據由下列方程式所計算出來的各個參數F
權利要求
1.一種分解集成電路布局的方法，其特征在于，包含下列步驟 產生多個多邊形，其對應于一集成電路的多個電路；確認下列的一或多組合一沖突多邊形、一沖突邊緣和一奇循環；及 如果存在該奇循環，則消除該奇循環。
2.根據權利要求1所述分解集成電路布局的方法，其特征在于，在產生該多個多邊形 時執行上述確認的步驟。
3.根據權利要求1所述分解集成電路布局的方法，其特征在于，另包括提供已被確認 為可分開的該多個多邊形，和被確認為不可分開的該多個多邊形，以用于產生對應于該集 成電路的該多個電路的該多個多邊形。
4.根據權利要求1所述分解集成電路布局的方法，其特征在于，另包括若允許減少一 多邊形，則確認一沖突區域和一連接區域。
5.根據權利要求4所述分解集成電路布局的方法，其特征在于，另包括 確認一候選接合位置；以及如果該候選接合位置不用于接合，另合并被該候選接合位置分開的多個多邊形。
6.根據權利要求1所述分解集成電路布局的方法，其特征在于，上述消除該奇循環的 步驟是通過使用一垂直整合的分辨率增強技術來進行或修改至少一多邊形來進行。
7.根據權利要求1所述分解集成電路布局的方法，其特征在于，另包括限制對應于該 集成電路的該多個電路的一布局的一大小。
8.根據權利要求1所述分解集成電路布局的方法，其特征在于，另包括 使用多個接合組件來確認多個候選接合位置；以及決定是否一候選接合位置可用于接合，而如果該候選接合位置不能用于接合，則合并 被該候選接合位置分開的多個多邊形部分。
9.根據權利要求8所述分解集成電路布局的方法，其特征在于，另包括將多個接合位 置儲存為一文件，其中該多個儲存的接合位置在之后用于分解該集成電路的一布局。
10.根據權利要求1所述分解集成電路布局的方法，其特征在于，另包括 依據一使用者要求，改變多個角落形狀的一數目；以及依據一接合組件的一大小，改變多個角落形狀的一數目。
11.一種儲存有多個計算機指令的計算機可讀取媒體，其特征在于，該多個計算機指令 執行一方法，包括下列步驟提供多個多邊形，其對應于多個集成電路； 使用一沖突間距，以確認至少一沖突區域； 指示允許多邊形切割；基于該至少有一沖突區域，確認至少一沖突邊緣；如果一連接區域存在，則使用一接合組件，以確認是否該連接區域是一候選接合位置；及基于該至少一沖突邊緣，確認一奇循環，及如果確認該奇循環，則解決該奇循環。
12.根據權利要求11所述的儲存有多個計算機指令的計算機可讀取媒體，其特征在 于，如果該候選接合位置不用于接合，則另合并被該候選接合位置分開的多個多邊形部分。
13.根據權利要求11所述的儲存有多個計算機指令的計算機可讀取媒體，其特征在于，如果該候選接合位置不用于接合，則另將相關于該候選接合位置的信息儲存為一文件， 以供未來使用。
14.根據權利要求11所述的儲存有多個計算機指令的計算機可讀取媒體，其特征在 于，該方法另使用相關于一布局單元的防護帶信息，以節省內存的使用。
15.根據權利要求11所述的儲存有多個計算機指令的計算機可讀取媒體，其特征在 于，該方法另顯示下列的一或多組合可使用的一多邊形，及避免顯示的一多邊形。
16.一種儲存有多個計算機指令的計算機可讀取媒體，其特征在于，該多個計算機指令 執行一方法，包括下列步驟顯示下列的一或多組合可使用的一多邊形，及避免使用的一多邊形； 提供多個選項，以選擇是否允許多邊形切割； 當產生對應于多個集成電路的多個多邊形時，顯示該多個多邊形； 當至少一沖突多邊形產生時，顯示該至少一沖突多邊形；如果該至少一沖突多邊形產生，則顯示連接至該至少一沖突多邊形的至少一連接邊 緣；及如果產生一奇循環，則指示該奇循環存在。
全文摘要
本發明涉及一種分解集成電路布局的方法以及儲存有多個計算機指令的計算機可讀取媒體。本發明的各種實施例提供確保集成電路的布局是可分開的。在一方法實施例中，在具有一布局庫的一客戶場所產生一布局以作為輸入，其中布局庫提供已確認為可分開的且能夠使用的示例性布局，和可避免導致沖突的布局。本發明的實施例亦提供一實時奇循環(real-time odd cycle)檢查器，其中在布局產生期間，該檢查器在沖突區域和奇循環出現時，實時將它們識別出來。為了減少內存的使用，可以分開各種裝置的布局，以針對沖突來檢查每一單獨的布局或少數布局，而不是整個應用電路的一個大的布局。一旦在客戶場所準備好布局，它就被發送到制造場所分解成二光罩并流片完成(taped-out)。本發明亦有揭露其它實施例。
文檔編號G06F17/50GK102147820SQ20101054648
公開日2011年8月10日 申請日期2010年11月12日 優先權日2010年2月9日
發明者嚴永松, 劉如淦, 張廣興, 楊穩儒, 池明輝, 王偉龍, 謝艮軒, 陳筆聰, 高蔡勝, 黃文俊 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司