專利名稱：屏蔽布線的布線構造的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種使半導體芯片的物理解析困難，用以防止安全信息 的欺騙讀出及竄改的屏蔽布線技術。
背景技術：
近年來，對半導體器件的電路信息、內部信息的機密性和安全性要
求得越來越嚴格。至少是ic領域的半導體器件是以其安全性為特征，所
以有必要保護重要信息免遭欺騙性解析，而防止內部信息被竄改、復制。 有在布線最上層進行屏蔽布線來將掩模圖案掩藏起來的技術，該技術為
了防止進行以復制、竄改半導體芯片為目的去讀出掩模圖案或以復制、 竄改半導體芯片為目的利用探測器對布線進行電路解析。
發明內容
可是，因為屏蔽對象區域遍及芯片整個面，用人工布線在時間上辦不到。 而且，用自動布線工具也無法毫無間隙地擠著鋪好布線。
本發明所涉及的基本單元，其特征在于布線路徑以90度構成的多 條布線的一端配置在兩條對邊中的一條對邊上，所述多條布線的另一端配 置在所述兩條對邊中的另一條對邊上；所述多條布線的一端各自位于與所 述多條布線的另一端中的一個端相對外框的中央是點對稱的位置；將所述 多條布線的路徑布置成相互不交差的樣子。
本發明所涉及的另一種基本單元，其特征在于配置有布線路徑以45 度及90度構成的多條布線；所述多條布線的一端各自位于與所述多條布 線的另一端的一個端相對外框的中央是點對稱的位置；將所述多條布線的 路徑布置成相互不交差的樣子。
本發明所涉及的布線方法，其特征在于準備多個布線路徑互異的所 述基本單元；配置基本單元來形成布線，以便將所準備的基本單元中某個
基本單元的多條布線的一端或另一端和所準備的基本單元中一個基本單 元的多條布線的一端或另一端連接起來。
可以是這樣的，配置在列方向上的多個基本單元每隔一個，便以該基本單 元的原點為中心使布線圖案Y軸反轉。這里所指的列方向意指在該方向排 列基本單元時，各自的單元的連接點一定連接在相鄰的單元的連接點上的 方向。
在所述布線方法中，在使用多條布線的一端及另一端配置在兩條對邊 中的一條對邊及另一條對邊左右對稱的位置上的基本單元的情況下，對于 所配置的基本單元的任意單元，以該基本單元的原點為中心使布線圖案Y 軸反轉也是可以的。.
本發明所涉及的端部單元是在布線路徑端部的折回連接用圖案，其特 征在于在與沿橫向排列應該連接的基本單元時的端子位置相同的位置， 只在一側的邊上配置端子；讓端子從所配置的端子的兩端朝著中央一一地
對應；所對應的端子和端子用90度的路徑布線起來。
最好是，在所述布線方法中，當所排列的基本單元達到2列或者2列 以上時，使用端部單元將布線路徑端部折回并連接。
本發明所涉及的布線形狀，其特征在于在以斜向的路徑布線的布線
路徑上的至少一部分包括由水平及垂直方向的路徑的布線形成的階梯形 的布線路徑。
本發明的屏蔽線的布線構造，其特征在于包括第一屏蔽線，布線成幾
乎完全重疊在應該保護的布線上；和第二屏蔽線，形成在所述第一屏蔽線
的上層。
本發明的另一種屏蔽線的布線構造，其特征在于包括屏蔽布線層，形 成在半導體器件的最上層，局部混入有電路布線，及至少一層中間層，設
在半導體襯底和所述屏蔽布線層之間，在空區域插入有虛擬布線；連接虛
擬布線和下層的布線，在某些地方形成布線橋。
本發明的另一種基本單元，其特征在于布線路徑是以45度或90度構成
的多條布線的一端配置在兩條對邊中的一條對邊上，所述多條布線的另一
端配置在所述兩條對邊中的另一條對邊上；所述多條布線各自的一端和另 一端之間由一條直線的路徑構成；將所述多條布線配置成彼此平行的樣
子。
本發明的另一種布線方法，其特征在于準備多個所述基本單元； 配 置基本單元來形成布線，以便將所準備的基本單元中某個基本單元的多條 布線的一端或另一端和所準備的基本單元中另一個基本單元的多條布線 的一端或另一端連接起來。
本發明的另一種布線構造，其特征在于布線路徑是以45度或90度構成
的多條布線，以沒有折回的直線將所述多條布線配置成平行的樣子。 本發明的另一種端部單元，是在布線路徑端部的折回連接用圖案，其特征
在于在與沿橫向排列所述基本單元時的端子位置相同的位置，只在一側 的邊上配置端子；所配置的端子各自與所配置的其他端子中配置在本身旁
邊的端子以外的端子中的一個端子相連接。
最好是，在所述該布線方法中，所排列的基本單元達到2列或者2列以上 時，使用一個或多個端部單元將布線路徑端部折回并連接起來。 最好是，在所述布線方法中，使用端子間的連接的對應關系互異的多個端 部單元將布線路徑端部折回并連接起來。
本發明的另一種布線構造是在路徑端部折回并連接起來的多條布線，其特
征在于所述多條布線各自和所述多條布線中與自身的路徑互異的路徑的
布線相鄰。
根據本發明，很容易制作小面積的布線圖案，由此而可隨機地選擇和配置 布線圖案，這樣一來，便可產生與單純的陣列配置不同的、規則性少的屏
蔽布線。
通過除去屏蔽線、用別的路徑將所切斷的屏蔽線連接起來，則對現有 的屏蔽線而言，利用探測器對除去區域的電路布線的電路解析，因在屏蔽 線路徑的折回部分同一路徑相鄰，所以作為用別的路徑連接所切斷的屏蔽
線的加工時間，是可用一次加工時間解析屏蔽布線的2路徑以上的區域。
相對于此，在本發明中，通過配置總是平行的多種路徑的基本單元和同一 路徑不相鄰的折回連接用端部單元，則即使利用探測器對屏蔽布線除去區
域的電路布線的電路解析，也能使屏蔽布線的2路徑以上的區域的解析所 需的加工時間變成2倍以上，而可提高加工難度。
通過使用端子間連接的對應關系互異的多個端部單元，雖然最上層布
線是規則的圖案，也可產生規則性很低的屏蔽線路徑，從而可提高電路解 析的難度。
附圖的簡單說明
圖1是表示實施例1的屏蔽線的布線方法的概略順序的圖。 圖2是示出基本單元之一例的圖。
圖3是用以說明90度布線型式(1)的基本單元的端子位置的決定規 則的圖。
圖4是顯示90度布線型式(1)的基本單元之例的圖。 圖5是顯示90度布線型式(1)的基本單元之例的圖。 圖6是顯示90度布線型式(1)的基本單元之例的圖。 圖7是用以說明90度布線型式(2)的基本單元的端子位置的決定規 則的圖。
圖8是顯示90度布線型式(2)的基本單元之例的圖。 圖9是顯示90度布線型式(2)的基本單元之例的圖。 圖IO是顯示端部單元之例的圖。
圖11是用以說明端部單元的端子位置的決定規則的圖。 圖12是表示90度布線型式(1)的端部單元之例的圖。 圖13是表示90度布線型式(2)的端部單元之例的圖。 圖14是用以說明45度布線型式的基本單元的端子位置的決定規則的圖。
圖15是表示45度布線型式的基本單元之例的圖。
圖16是表示45度布線型式的基本單元之例的圖。
圖17是表示45度布線型式用的端部單元之例的圖。
圖18是用以說明90度布線型式(1)的基本單元及端部單元的布線
方法的圖。
圖19是表示根據90度布線型式(1)的基本單元及端部單元的布線 方法所布線的屏蔽線之例的圖。
圖20是用以說明90度布線型式(2)的基本單元及端部單元的布線 方法的圖。頁
圖21是表示根據90度布線型式(2)的基本單元及端部單元的布線
方法所布線的屏蔽線之例的圖。
圖22是用以說明45度布線型式的基本單元及端部單元的布線方法的圖。
圖23是表示根據90度布線型式(1)的基本單元及端部單元的布線 方法所布線的屏蔽線之例的圖。
圖24是表示通過巧妙地決定端部圖案(端部單元)的插入位置而能 夠實現布線路徑之例的圖。
圖25是表示表示通過巧妙地決定端部圖案(端部單元)的插入位置 而能夠實現的布線路徑之例的圖。
圖26是表示基本單元之例的圖。
圖27是表示端部單元之例的圖。
圖28是表示根據實施例2的基本單元及端部單元的布線方法所配置 的單元列之例的圖。
圖29是表示根據實施例2的基本單元及端部單元的布線方法所配置 的屏蔽線路徑之例。
圖30是表示實施例3的基本單元的構造的圖。
圖31是表示實施例4的屏蔽布線構造的圖。 圖32是表示實施例5的屏蔽布線構造的圖。
具體實施例方式
下面，參考圖面詳細說明本發明的實施例。補充說明一下，附圖中相 同或者相近的部分用相同的參考符號表示，不再重復說明。 (實施例1)
圖1表示實施例1的屏蔽線的布線方法的概略順序。屏蔽線被布線在 布線最上層將掩模圖案掩藏起來，這樣做是為了防止進行以復制、竄改 半導體芯片為目的去讀出掩模圖案或以復制、竄改半導體芯片為目的利用 探測器對布線進行電路解析。在本實施例，準備多種小面積的布線圖案(基 本單元)，隨機地選擇和配置布線圖案。補充說明一下，當然有可能將相 同的圖案(基本單元)布置成為相互鄰接的樣子。這樣一來，便能產生和
單純的陣列配置不同的、規則性少的屏蔽布線。下面做具體說明。 〈基本單元、端部單元的制作(ST100)〉
首先，說明成為屏蔽布線的基本單位的布線圖案(基本單元)的設計 規則。為了易于理解設計規則，圖2示出了基本單元之例。這里，為了使 布線的疏密均勻，制定以下設計規則。
將圖案(基本單元)的外框設為長方形。
'使所有的布線間隔都相等。
設布線和圖案外框之間隔為布線間隔的1/2。
將圖案的原點(圖2的記號"X")設在外框的中央。
補充說明一下，規則值是以設計規則為根本，由布線占據率、布線探 測器的能力決定。
按照以上的規則制作基本單元。這里，制作下面3種型式的基本單元。
90度布線型式(1)
90度布線型式(2) '45度布線型式
具體說明各型式的基本單元及端部單元的制作。
< 90度布線型式(1) >
90度布線型式(1)如圖3所示，以90度構成布線路徑(如布線路徑 相對于LSI芯片周邊的其中一條邊是90度的結構)，端子位置未位于左右 對稱的位置。按照下面的規則決定端子位置。
將布線的入口和出口布置在圖案外框的對邊。 '將布線的入口和出口布置在相對于圖案外框的中央(圖3的記號 "X")是點對稱的位置，布線名稱A、 B、 C的順序相反。
決定端子位置后，布線名稱相同的入口和出口以90度的路徑連接。 這樣就做出一個基本單元。同樣地做出多個端子位置、布線路徑互異的基 本單元。圖4 圖6顯示這樣制作的90度布線型式(1)的基本單元之例。
< 90度布線型式(2)〉
如圖7 (a)、 (b)所示，90度布線型式(2)以90度構成布線路徑(布 線路徑相對于LSI芯片周邊的其中一邊變成90度的結構)，端子位置位于 左右對稱的位置。按照下面的規則決定端子位置。 '將布線的入口和出口布置在圖案外框的對邊。
將布線的入口和出口布置在相對于圖案外框的中央(圖7的記號
"X")是點對稱的位置，布線名稱A、 B、 C、 D的順序相反。
每條邊的端子位置位于以圖案的原點(圖7的記號"X")為中心 的Y軸對稱位置上。
端子位置決定后，布線名稱相同的入口和出口以90度的路徑連接起 來。這樣即制作一個基本單元。同樣地做出多個端子位置、布線路徑互異 的基本單元。圖8~圖9表示這樣制作的90度布線型式(2)的基本單元之 例。
接著，制作90度布線型式(1)、 (2)用的端部單元。端部單元是在 屏蔽布線的布線路徑端部的折疊連接用的圖案，在圖10表示其一例。為 了使布線的疏密均勻，按照如下的規則制作端部單元。
'將圖案(基本單元)的外框設定為將2個布線圖案(基本單元)沿 橫向排列后所得到的大小。
'使所有的布線間隔相等。
'將布線和圖案外框的間隔設為布線間隔的1 / 2。
將圖案的原點(圖IO的記號"X")定為外框的中央。
補充說明一下，規則值是以設計規則為根本，由布線占據率、布線探 測器的能力決定。
按照以上的規則決定端部單元的端子的位置。
'在與沿著橫向排列所使用的布線圖案(基本單元)時的端子位置相 同的位置僅是一側的邊上布置端部單元的端子。
使布線的順序自兩端朝著中央看時相同(在圖11， A—B—C ' C—B
—A)
端子位置決定后，布線名稱相同的端子之間用90度的路徑連接。這 樣就做出一個端部單元。同樣地做出多個端子位置、布線路徑互異的端部 單元。圖12顯示這樣制作的用于90度布線型式(1)的端部單元之例。 圖13顯示用于90度布線型式(2)的端部單元之例。
<45度布線型式〉
如圖14所示，45度布線型式用45度和90度構成布線路徑(如布線
路徑相對于LSI芯片周邊的任意一條邊成為45度或90度的結構)。按照
以下規則決定端子位置。
將布線的入口和出口配置在相對于圖案外框的中央(圖14的記號 "X")點對稱的位置，布線名稱A、 B、 C、 D的順序相反。
端子位置決定后，布線名稱相同的入口和出口用45度和90度的路徑 連接起來。于是制造一個基本單元。同樣地做出多個端子位置、布線路徑 互異的基本單元。在圖15 圖16中顯示這樣制作的45度布線型式的基本 單元之例。在圖17中顯示用于45度布線型式的端部單元。 〈所使用的基本單元型式的選擇(ST200) > 制作了多個各種型式的基本單元、端部單元后，接著選擇在屏蔽布線 使用的基本單元的型式。
〈基本單元及端部單元的配置(ST300) > 按對應于所選擇的基本單元的型式而異的配置規則配置基本單元及 端部單元。下面做具體說明。
〈90度布線型式(1)的基本單元及端部單元的布線方法〉
(1) 布線圖案(基本單元)的配置 按照布線圖案外框的間距在屏蔽區域鋪設布線圖案(參考圖18 (a))。
此時，隨機地選擇布線圖案。
(2) 布線圖案(基本單元)的重新配置 將所配置的布線圖案的中自下開始第奇數編號的布線圖案以各自的
原點為中心進行Y軸反轉。反轉后，制作多個縱向的布線路徑(參考圖18 (b))。
(3) 端部圖案(端部單元)的配置
在配置區域的下端，以端部圖案外框的間距將端部圖案在橫向上布置 成一行。此時，隨機地選擇端部圖案。在配置區域的上端，以端部圖案外 框的間距將上下反轉的端部圖案在橫向上布置成一行。此時，隨機地選擇 端部圖案。在布線圖案有偶數段的情況下，將上端端部圖案挪動布線圖案 的一個外框尺寸那么大(參考圖18 (c));在有奇數段的情況下，挪動布 線圖案的1.5個外框尺寸那么大(參考圖18 (d))。
圖19顯示如上所述布線的屏蔽線之例。
〈90度布線型式(2)的基本單元及端部單元的布線方法〉
(1) 布線圖案(基本單元)的配置 以布線圖案外框的間距在屏蔽區域鋪設布線圖案。此時，隨機地選擇
布線圖案，以圖案的原點為中心隨機地進行Y軸反轉。配置后，制作多個 縱向的布線路徑(參考圖20 (a))。
(2) 端部圖案(端部單元)的配置
在配置區域的下端，以端部圖案外框的間距將端部圖案在橫向上布置 成一行。此時，隨機地選擇端部圖案。在配置區域的上端，以端部圖案外 框的間距挪動布線圖案的一個外框尺寸那么大將上下反轉了的端部圖案 在橫向上布置成一行。此時，隨機地選擇端部圖案(參考圖20 (b))。 在圖21顯示按照上述做法布線的屏蔽線之例。 〈45度布線型式的基本單元及端部單元的布線方法〉
(1) 布線圖案(基本單元)的配置l 按照布線圖案外框的間距在屏蔽區域配置布線圖案。此時，隨機地選
擇布線圖案，以圖案的原點為中心隨機地進行Y軸反轉(參考圖22 (a))。
(2) 布線圖案(基本單元)的配置2 將配置開始位置自所述O)的位置朝著縱向和橫向挪動布線圖案外
框尺寸的1/2，按照布線圖案外框的尺寸配置個數和(1)相等的布線圖 案，以圖案的原點為中心隨機地進行Y軸反轉。此時，隨機地選擇布線圖 案。配置后，制作多個縱向的布線路徑(參考圖22 (b))。
(3) 端部圖案(端部單元)的配置
將配置開始位置自(1)的位置在橫向上挪動布線圖案外框尺寸的1 /2，按照布線圖案外框的尺寸將端部圖案在橫向上配置成一行。此時， 隨機地選擇端部圖案。在配置區域的上端，按照端部圖案外框的間距將上 下反轉的端部圖案在橫向上配置成一行。此時，隨機地選擇端部圖案。按 照布線圖案的段數在橫向上挪動配置位置(參考圖22 (c))。 在圖23按以上做法布線的屏蔽線之例。
補充說明一下，在以上所說明的布線方法中通過巧妙地決定端部圖案 (端部單元)的插入位置，便可使布線路徑復雜化，如圖24及圖25所示。 (實施例2)
實施例2的屏蔽線的布線方法的概略步驟和圖1所示的步驟一樣。在 該實施例中，配置總是平行的多種路徑的基本單元和同一路徑不相鄰的折 回連接用端部單元。因而，對于利用探測器對屏蔽布線除去區域的電路布 線的電路解析，使屏蔽布線的2路徑以上的區域的解析所需的加工時間變
成2倍以上，可提高加工難度。以下，具體說明的。
<基本單元、端部單元的制作(ST100)〉 首先，說明成為屏蔽布線的基本單位的基本單元的設計規則。這里， 為了使布線的疏密均勻，如下所述規定設計規則。 '假定圖案(基本單元)的外框為長方形。
在布線最上層將布線和其他的布線相平行的配置成一條直線。 '假定布線和基本單元外框的間隔是布線間隔的1/2。
將端子配置在圖案外框的對邊、利用布線將配置在一邊的端子和配 置在另一邊的端子連接起來的位置上。
補充說明一下，以設計規則為根本，由布線鋪設率或布線探測器的能 力來決定布線間隔。
按以上規則制作基本單元。這里，制作型式(1)及型式(2) 2種型 式的基本單元。如圖26 (a)所示，型式(1)是布線路徑相對芯片呈90 度(布線的路徑相對LSI芯片周邊的任意一條邊呈90度)；如圖26 (b) 所示，型式(2)是布線路徑相對芯片呈45度(布線的路徑相對LSI芯片 周邊的任意一條邊呈45度)。
接著，制作在布線路徑端部的折回連接用端部單元。端部單元是在屏 蔽布線的布線路徑端部的折回連接用圖案，按下述決定設計規則。 '假定端部單元的外框是橫向排列2個基本單元那么大。 '假定布線最上層、布線下層以及連接布線最上層和布線下層的接點 將布線配置成同一路徑折回后不相鄰的狀態。
'假定布線最上層和基本單元外框的間隔是在布線最上層的布線間 隔的1/2。
'在和橫向排列2個基本單元時的端子位置相同的位置只在一側的邊 上配置端子。
補充說明一下，以設計規則為根本，由布線鋪設率或布線探測器的能
力決定布線間隔。
圖27 (a) 圖27 (c)顯示按以上規則制作的端部單元之例。在這些 端部單元中，各個端子利用布線下層及接點和其它端子中布置在與它本身 相鄰的端子以外的任意一個端子相連接。在圖27 (a) (c)所示的端部 單元中，端子間連接的對應關系各自不同。
<所使用的基本單元型式的選擇(ST200) >
對于各型式制作多個基本單元、端部單元后，接著，選擇在屏蔽布線 使用的基本單元的型式。
〈基本單元及端部單元的配置(ST300)〉
首先，按照基本單元外框的間距在屏蔽區域鋪設所選擇的基本單元。 接著，在屏蔽線的起點和終點以外的端部對準己配置了端子的邊配置所選 擇的端部單元。在圖28表示已這樣配置的單元列之例。圖28 (a)是己配 置了型式(1)的基本單元及端部單元的例子；圖28 (b)是己配置了型式 (2)的基本單元及端部單元的例子。
圖29 (a)表示按以上所述布線的屏蔽線路徑的例子。于是，通過布 置同一路徑不相鄰的折回連接用端部單元，則即使利用探測器對屏蔽布線 除去區域的電路布線的電路解析，也能使屏蔽布線的2路徑以上的區域的 解析所需的加工時間變成2倍以上，而可提高加工難度。
補充說明一下，在圖29 (a)所示的例子中，因為僅使用端子間連接 的對應關系相同的端部單元(這里，是圖27 (a)所示的型式)，所以最上 層的布線成為路徑l、路徑2、路徑3、路徑4、路徑l、路徑2、路徑3、 路徑4、…非常規則。與此相對，在圖29 (b)所示的例子中，因為使用 端子間的連接對應關系各自不同的端部單元(這里，圖27 (a)所示的型 式、圖27 (b)所示的型式、圖27 (c)所示的型式)，所以最上層的布線 成為路徑1、路徑2、路徑3、路徑4、路徑3、路徑4、路徑1、路徑2、… 不規則。于是，通過使用端子間的連接的對應關系各自不同的多個端部單 元，雖然最上層布線是規則圖案(平行地配置一條直線的多條布線的圖 案)，卻可產生規則性很低的屏蔽線路徑，從而可提高電路解析的難度。 (實施例3)
在圖30表示實施例3所涉及的基本單元的構造。該基本單元是用階
梯形的90度的路徑實現在實施例1、 2所示的一般的45度布線型式的基 本單元的45度的路徑的，降低了在45度的端部的處理和加工的難度。在 該基本單元中，階梯形部分的加工被磨鈍而變成接近45度布線。另外， 和通常的45度的路徑相比，下層的露出面積的減少量就是變成了階梯形 的這一部分。補充說明一下，在圖30中，用階梯形的90度的路徑實現所 有的45度的路徑，不僅如此，也可以用階梯形的90度的路徑實現一部分 45度的路徑。通過和實施例1、 2 —樣將圖30所示的基本單元鋪設在屏蔽 區域，即可實現屏蔽布線。 (實施例4)
圖31顯示實施例4的屏蔽布線構造。在本屏蔽布線構造中，以與保 護布線完全重疊的方式將下層的屏蔽線布線。不管上層的屏蔽線的方向如 何。通過使其成為這樣的屏蔽布線構造，便可完全隱藏所保護的布線，而 且可使得難和一層屏蔽區分。而且，通過將保護對象設為重要布線壓低費 用，而且剝離下層屏蔽后無法形成電路。 (實施例5)
圖32顯示實施例5的屏蔽布線構造。在該屏蔽布線構造中，將最上 層設為屏蔽布線層，局部地混入電路布線(覆蓋到面積率上限為止)。在 中間層的空區域通過自動處理插入虛擬布線(到各層的面積率上限為止)。 連接各個虛擬布線和下層的布線，在各處預先形成布線橋。通過做成這樣 的屏蔽布線構造，則即使剝離任何層也都會全面鋪設，而且，若剝離越厲 害就越不容易形成電路，解析也就更加困難。
一產業上的實用性一
本發明可以用在用以保護要求電路信息、內部信息具有高機密性、安 全性的半導體芯片免遭復制、竄改等破壞的屏蔽布線配置中。
權利要求
1.一種屏蔽布線的布線構造，是在路徑端部折回并連接起來的多條屏蔽布線，所述多條屏蔽布線的每一條，與所述多條屏蔽布線中的自身路徑不同的路徑的屏蔽布線相鄰。
2. 如權利要求1所述的屏蔽布線的布線構造，其特征在于所述多 條屏蔽布線是通過配置多個基本單元而形成的，所述基本單元中配置的多 條布線的路徑互不相交，所述基本單元中，所述多條布線的路徑與半導體芯片的某一邊構成45 度或90度，所述基本單元內的所述多條布線的路徑的兩端，分別配置在所述基本 單元相對的2邊，使備好的所述基本單元中的一個基本單元的多條布線的一端或另一 端，連接備好的所述基本單元中的另一個基本單元的多條布線的一端或另 一端，來實施基本單元的配置，形成布線。
3. 如權利要求2所述的屏蔽布線的布線構造，其特征在于所述多 條屏蔽布線的折回部利用端部單元進行折回連接，所述端部單元，其端子僅配置在與垂直于所述基本單元內的布線方向 排列的2個所述基本單元的端子位置相同部位一側的邊，所配置的所述端部單元的端子的每一個，與所配置的其它端子中的自 身鄰接的端子以外的端子中的某一個連接。
4. 如權利要求2或3所述的屏蔽布線的布線構造，其特征在于所 述基本單元內的所述多條布線的每一條，由其一端與另一端之間為一直線 的路徑所構成，所述多條布線彼此相互平行配置。
全文摘要
一種屏蔽布線的布線構造，在路徑端部折回并連接起來，多條屏蔽布線的每一條，與多條屏蔽布線中的自身路徑不同的路徑的屏蔽布線相鄰。
文檔編號G06F17/50GK101373758SQ200810166690
公開日2009年2月25日 申請日期2004年8月27日 優先權日2003年8月28日
發明者和田博文, 松野則昭, 角田真人 申請人:松下電器產業株式會社