專利名稱：半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理方法與系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種統(tǒng)計(jì)制程管制方法，且特別是涉及一種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)(Engineering Data Warehouse,簡(jiǎn)稱為EDW)的處理方法與系 統(tǒng)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)今的12吋半導(dǎo)體廠為了生產(chǎn)資源共享的考慮，會(huì)將多個(gè)半導(dǎo)體的生 產(chǎn)動(dòng)線予以機(jī)動(dòng)調(diào)整混合，故一批晶片在A晶片廠進(jìn)入自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS ) 以在各機(jī)臺(tái)執(zhí)行制程時(shí)，可能需移動(dòng)至B晶片廠的機(jī)臺(tái)執(zhí)行制程，而實(shí)際上 A晶片與B晶片廠為兩個(gè)獨(dú)立不相關(guān)的實(shí)體工廠。若再加上其它備援晶片廠， 則所有晶片廠可組合而成一個(gè)半導(dǎo)體廠生產(chǎn)聚落(Multi-Fab Cluster),如 圖1所示。在生產(chǎn)聚落中，與工程數(shù)據(jù)查詢與分析相關(guān)的技術(shù)因?yàn)榻Y(jié)構(gòu)上的復(fù)雜性 而衍生出不同問題。就工程數(shù)據(jù)分斗斤(Engineering Data Analysis,以下簡(jiǎn)稱為EDA)而 言，每一晶片廠內(nèi)都有一套EDA系統(tǒng)，其用于提供晶片在制品(Wafer In Process,簡(jiǎn)稱為WIP)、測(cè)量數(shù)據(jù)、機(jī)臺(tái)狀態(tài)...等數(shù)據(jù)查詢。然而，當(dāng)晶片 批量在各晶片廠交互運(yùn)行的過程中，若制程數(shù)據(jù)沒有經(jīng)過適當(dāng)?shù)恼恚瑢?huì) 產(chǎn)生如下問題。以晶片角度來看，若某批晶片在晶片廠A、 B交互運(yùn)行，但晶片廠A與 B都只有該批晶片與測(cè)量的片段數(shù)據(jù)。以產(chǎn)品良率分析來看，必須要能取得 該批晶片的全部生產(chǎn)歷程，才能前后關(guān)聯(lián)性間相互影響的完整數(shù)據(jù)。以設(shè)備 的角度來看，因某一晶片廠的設(shè)備負(fù)責(zé)制造或測(cè)量來自其它晶片廠的晶片， 所以各晶片廠的數(shù)據(jù)也必須反饋到該設(shè)備所在的數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)，否則將無法完整 分析該設(shè)備的效能。以產(chǎn)品的角度來看，某一制程產(chǎn)品可能同時(shí)在晶片廠A、 B、 C都有數(shù)據(jù)，如要針對(duì)該制程產(chǎn)品做全面分析，則無法僅根據(jù)某個(gè)晶片廠 的EDA結(jié)果來得到完整數(shù)據(jù)。為了解決上述問題，各晶片廠的EDA數(shù)據(jù)庫仍僅儲(chǔ)存各晶片廠的實(shí)際執(zhí)行數(shù)據(jù)，即真正有在某一晶片廠的制造執(zhí)行系統(tǒng)(Manufacturing Execution System,簡(jiǎn)稱為MES )執(zhí)行過的晶片批量才會(huì)產(chǎn)生制程數(shù)據(jù)，這樣可不必修 改相關(guān)硬件結(jié)構(gòu)，但卻無法完全解決上述問題，且應(yīng)用系統(tǒng)因?yàn)樾枰黾舆B 接不同數(shù)據(jù)庫的功能，同時(shí)讓使用者自已決定要去哪個(gè)晶片廠的數(shù)據(jù)庫找尋 數(shù)據(jù)，故會(huì)增加軟件層面的困難度。另 一方面，可將多廠聚落的各個(gè)數(shù)據(jù)庫完全復(fù)制到另 一集中的超大型數(shù) 據(jù)庫，而各應(yīng)用系統(tǒng)可向該超大型數(shù)據(jù)庫查詢完整數(shù)據(jù)。但其缺點(diǎn)為硬件成 本太高，且當(dāng)再擴(kuò)充晶片廠時(shí)，中央數(shù)據(jù)庫必須做相對(duì)應(yīng)的擴(kuò)充，這樣在執(zhí) 行效能上可能發(fā)生瓶頸，另外，在數(shù)據(jù)復(fù)制的過程中，相同數(shù)據(jù)的重復(fù)性太 高而導(dǎo)致判斷上的困難。因此，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理方法與系統(tǒng)。發(fā)明內(nèi)容基于上述目的，本發(fā)明實(shí)施例披露了一種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的 處理系統(tǒng)，包括一事實(shí)表派工器、 一維度表派工器、 一第一電子傳遞層、一 第二電子傳遞層、 一第一工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)、 一第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù) 倉儲(chǔ)以及一代理主機(jī)。該代理主機(jī)收到與一晶片批量相關(guān)的交易數(shù)據(jù)，根據(jù) 該交易數(shù)據(jù)與該晶片批量的母廠編號(hào)，利用該事實(shí)表派工器或該維度表派工 器，并經(jīng)由該第一或第二電子傳遞層將該交易數(shù)據(jù)加載該第一或第二工程數(shù) 據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。本發(fā)明實(shí)施例還披露了 一種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理方法，其 適用于一半導(dǎo)體聚落，其中該半導(dǎo)體聚落至少包括一第一晶片廠與一第二晶 片廠。該第一晶片廠至少包括一代理主機(jī)、 一事實(shí)表派工器、 一維度表派工 器、 一第一電子傳遞層與一第一EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。該第二晶片廠至少包括一第 二電子傳遞層與一第二EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。通過該代理主機(jī)收到與一晶片批量相 關(guān)的交易數(shù)據(jù)，并且根據(jù)該交易數(shù)據(jù)與該晶片批量的母廠編號(hào)，利用該事實(shí) 表派工器或該維度表派工器，并經(jīng)由該第一或第二電子傳遞層將該交易數(shù)據(jù)加載該第一或第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。
圖1顯示本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體聚落的示意圖。
圖2顯示本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理系統(tǒng)的結(jié) 構(gòu)示意圖。
圖3顯示本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理方法的步 驟流程圖。
附圖符號(hào)說明 110-代理主機(jī)
120-事實(shí)表派工器
130-維度表派工器
140-第一電子傳遞層
150-第二電子傳遞層
160 第一EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)
170 第二EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)
具體實(shí)施例方式
為了使本發(fā)明的目的、特征、及優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施 例，并結(jié)合圖2至圖3，做詳細(xì)的說明。本發(fā)明說明書提供不同的實(shí)施例來 說明本發(fā)明不同實(shí)施方式的技術(shù)特征。其中，實(shí)施例中的各組件的配置為說 明之用，并非用以限制本發(fā)明。且實(shí)施例中附圖符號(hào)的部分重復(fù)，是為了簡(jiǎn) 化說明，并非意指不同實(shí)施例的間的關(guān)4關(guān)性。
本發(fā)明實(shí)施例披露了一種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理方法與系統(tǒng)。
本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理方法與系統(tǒng)是當(dāng)一 晶片廠在MES或其它前端交易(Transaction)系統(tǒng)(例如，Defect、 WAT、 CP、 AT...等等)接收某一晶片批量的數(shù)據(jù)時(shí)，刺用一代理主機(jī)(以下簡(jiǎn)稱為 Proxy)統(tǒng)一判斷該晶片批量的母廠為何。當(dāng)該晶片批量的母廠編號(hào)與該晶 片廠的編號(hào)相同時(shí)(即，該晶片廠為該晶片批量的母廠)，則由該晶片廠的 電子傳遞層(Electron Transport Layer,以下簡(jiǎn)稱為ETL )將該晶片批量 的制程數(shù)據(jù)加載其EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。若該晶片母廠編號(hào)與該晶片廠的編號(hào)不相同，則利用該P(yáng)roxy將該晶片批量的制程數(shù)據(jù)傳送給該晶片批量的母廠所屬 的ETL，并同步由該母廠的ETL與該晶片廠的ETL加載所屬的EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。 此外，利用該P(yáng)roxy將與該晶片批量相關(guān)的中繼數(shù)據(jù)(Meta Data)(即，與 全公司一致性的數(shù)據(jù)，例如，Product、 Route-Step、 Equipment、 Lot...等 等)復(fù)制到各晶片廠的EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。
筒言之，該代理主機(jī)接收與一晶片批量相關(guān)的交易數(shù)據(jù)時(shí)，根據(jù)該交易 數(shù)據(jù)與該晶片批量的母廠編號(hào)，利用一事實(shí)表派工器或一維度表派工器，并
經(jīng)由第一或第二電子傳遞層將該交易數(shù)據(jù)加載第一或第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù) 據(jù)倉儲(chǔ)。
圖2顯示本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理系統(tǒng)的結(jié) 構(gòu)示意圖。
該處理系統(tǒng)包括一代理主才幾110、 一事實(shí)表派工器(Fact Table Dispatcher) 120、 一維度表派工器(Dimension Table Dispatcher) 130、 一第一電子傳遞層140、 一第二電子傳遞層150、 一第一 EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)160 與一第二EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)170。代理主機(jī)110、事實(shí)表派工器120、維度表派工 器130、第一電子傳遞層140與第一EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)160設(shè)置于第一晶片廠(例 如,A廠)中。第二電子傳遞層150與第二EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)170設(shè)置于第二晶 片廠(例如，M廠)中。需注意到，在本實(shí)施例中，僅以兩個(gè)晶片廠來做說 明，但在實(shí)務(wù)應(yīng)用上則不以此為限，其可應(yīng)用于一半導(dǎo)體廠生產(chǎn)聚落。
第一晶片廠的代理主機(jī)110收到與一晶片批量相關(guān)的交易數(shù)據(jù) (Transaction Data)，該交易數(shù)據(jù)包括事實(shí)數(shù)據(jù)(Fact Data)或維度數(shù)據(jù) (Dimension Data )。事實(shí)數(shù)據(jù)包括ED、 Daily Check、 Inline QC、 Defect、 WAT、 CP/SP、 AP/FT.,.等制程數(shù)據(jù)。將事實(shí)數(shù)據(jù)中的所有制程數(shù)據(jù)經(jīng)由分類 后可產(chǎn)生維度數(shù)據(jù)，其至少包括設(shè)備數(shù)據(jù)與產(chǎn)品數(shù)據(jù)。
代理主機(jī)110判斷接收的交易數(shù)據(jù)為事實(shí)數(shù)據(jù)或維度數(shù)據(jù)。若該交易數(shù) 據(jù)為事實(shí)數(shù)據(jù)，則代理主機(jī)110接著判斷該晶片批量的母廠為何。若該晶片 批量的母廠編號(hào)與該第一晶片廠的編號(hào)相同(即，該第一晶片廠為該晶片批 量的母廠)，則代理主機(jī)11Q利用事實(shí)表派工器120并經(jīng)由該第一晶片廠的 第一電子傳遞層140將與該事實(shí)凄史據(jù)(即，A廠晶片數(shù)據(jù))加載該第一晶片 廠的第一EDA;.數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)160。
若該晶片批量的母廠編號(hào)與該第一晶片廠的編號(hào)不相同時(shí)(即，該第一晶片廣非為該晶片批量的母廠，此時(shí)該晶片批量的母廠為該第二晶片廠，則 代理主機(jī)110利用事實(shí)表派工器120并經(jīng)由該第二晶片廠的第二電子傳遞層
150將與該晶片批量相關(guān)的該交易數(shù)據(jù)中的該事實(shí)數(shù)據(jù)(即，M廣晶片數(shù)據(jù)) 加載該第二晶片廠的第二EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)170,同時(shí)經(jīng)由該第一晶片廠的第一 電子傳遞層140將該事實(shí)數(shù)據(jù)(即，M廠晶片數(shù)據(jù))加載該第一晶片廠的第 一EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)160。
若該交易數(shù)據(jù)為維度數(shù)據(jù)，則代理主機(jī)110利用維度表派工器130并經(jīng) 由該第一晶片廠的第一電子傳遞層140與該第二晶片廠的第二電子傳遞層 150,將該維度數(shù)據(jù)分別加載該第一晶片廠的第一 EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)160與該第 二晶片廠的第二EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)170。
需注意到，在實(shí)務(wù)操作上，在同一時(shí)間點(diǎn)通常僅能處理某一晶片批量在 兩個(gè)晶片廠間的工程數(shù)據(jù)，故僅以兩個(gè)晶片廠的結(jié)構(gòu)來做說明，而多晶片廠 的硬件結(jié)構(gòu)的設(shè)置與圖1類似，故不再另行贅述。
圖3顯示本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理方法的步 驟流程圖。
本發(fā)明實(shí)施例的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理方法適用于多晶片廣的半導(dǎo)體聚 落，該半導(dǎo)體聚落至少包括一第一晶片廠與一第二晶片廠。第一晶片廠至少 包括一代理主機(jī)、 一事實(shí)表派工器、 一維度表派工器、 一第一電子傳遞層與 一第一EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。第二晶片廠至少包括一第二電子傳遞層與一第二EDA 數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。
該代理主機(jī)收到與一晶片批量相關(guān)的交易數(shù)據(jù)(步驟S21),該交易數(shù) 據(jù)為事實(shí)數(shù)據(jù)或?qū)⑹聦?shí)數(shù)據(jù)經(jīng)由分類后所產(chǎn)生的維度數(shù)據(jù)。該代理主機(jī)判斷 接收的交易數(shù)據(jù)為事實(shí)數(shù)據(jù)或維度數(shù)據(jù)(步驟S22 )。若該交易數(shù)據(jù)為事實(shí)數(shù) 據(jù)，則該代理主機(jī)接著判斷該晶片批量的母廠編號(hào)與該第 一 晶片廠的編號(hào)是 否相同(步驟S23)。若該晶片批量的母廠編號(hào)與該第一晶片廠的編號(hào)相同 (即，該第一晶片廠為該晶片批量的母廠)，則該代理主機(jī)利用該事實(shí)表派 工器并經(jīng)由該第一電子傳遞層將該事實(shí)數(shù)據(jù)(即，A廠晶片數(shù)據(jù))加載該第 一EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)(步驟S24)。
若該晶片批量的母廠編號(hào)與該第一晶片廠的編號(hào)不相同時(shí)(即，該第一 :晶片廠非為孩晶片批量的母廠，此時(shí)該晶片批量的母廠為該第二晶-片廠-.(-例 如，M廠))，則該代理主機(jī)利用該事實(shí)表派工器并經(jīng)由該第二電子傳遞層將
8該事實(shí)數(shù)據(jù)加載該第二 EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)，同時(shí)經(jīng)由該第 一電子傳遞層將該事實(shí) 數(shù)據(jù)加載該第一EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)(步驟S25)。若該交易數(shù)據(jù)為維度數(shù)據(jù)，則該 代理主機(jī)利用該維度表派工器并經(jīng)由該第一電子傳遞層與該第二電子傳遞 層，將該維度數(shù)據(jù)分別加載該第一 EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)與該第二 EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)(步 驟S26 )。
本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理方法與系統(tǒng)只在ETL 的最前端與MES或各交易系統(tǒng)橋接部分架上Proxy,以應(yīng)用于各晶片廠的MES 與交易系統(tǒng)，而原本數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的ETL運(yùn)算邏輯不會(huì)受到影響。此外，只有數(shù) 據(jù)量極小的中繼數(shù)據(jù)(Meta Data)會(huì)重復(fù)放置到各廠的數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)，故不需 要重復(fù)且昂貴的硬件投資及管理負(fù)擔(dān)，而可以最低的成本發(fā)揮最大的效益， 同時(shí)每一晶片廠的工程數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)即使在其晶片廠與外界網(wǎng)絡(luò)中斷情形 下，依舊能完成99%的工作。
完整的中繼數(shù)據(jù)在各廠都有一份完整數(shù)據(jù)，如此各廠的應(yīng)用系統(tǒng)，都能 夠只面對(duì)單一數(shù)據(jù)庫，就能清楚的查到完整的基本數(shù)據(jù)，例如，公司所有的 產(chǎn)品信息，所有的晶片批量識(shí)別碼，都能直接查詢到。同時(shí)在晶片批量的中 繼數(shù)據(jù)中并建有晶片批量的工程履歷(Lot-Passport )，清楚標(biāo)示某批晶片 過去跑過哪些晶片廠。若應(yīng)用面需要了解別廠某批晶片的數(shù)據(jù)，也能很清楚 的知道要將數(shù)據(jù)庫聯(lián)機(jī)到哪些晶片廠。
晶片在制品及所有測(cè)量數(shù)據(jù)，因數(shù)據(jù)量極大，故分散放置于各晶片廠。 如此一來，該批量晶片不管跑到哪一個(gè)晶片廠，其完整的制程數(shù)據(jù)都可以在 母廠被查詢并做交叉分析(Correlation Analysis )。同時(shí)，若以才幾臺(tái)為出 發(fā)角度，則該機(jī)臺(tái)所有執(zhí)行過制程的晶片， 一樣可以被簡(jiǎn)單的查詢到。
本發(fā)明還提供一種記錄媒體(例如光盤片、磁盤片與抽取式硬盤等等)， 其記錄一計(jì)算機(jī)可讀取的權(quán)限簽核程序，以便執(zhí)行上述的半導(dǎo)體聚落的工程 數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理方法。在此，儲(chǔ)存于記錄媒體上的權(quán)限簽核程序，基本上是 由多數(shù)個(gè)程序代碼片段所組成的(例如建立組織圖程序代碼片段、簽核窗體 程序代碼片段、設(shè)定程序代碼片段、以及部署程序代碼片段)，并且這些程 序代碼片段的功能對(duì)應(yīng)到上述方法的步驟與上述系統(tǒng)的功能方塊圖。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，但其并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng) 域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的前提下，當(dāng)可作若-干的更改與 修飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以本發(fā)明的權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1. 一種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理系統(tǒng)，包括一事實(shí)表派工器；一維度表派工器；一第一電子傳遞層，耦接于該事實(shí)表派工器；一第二電子傳遞層，耦接于該維度表派工器；一第一工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)，耦接于該第一電子傳遞層；一第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)，耦接于該第二電子傳遞層；以及一代理主機(jī)，耦接于該事實(shí)表派工器與該維度表派工器，其收到與一晶片批量相關(guān)的交易數(shù)據(jù)，根據(jù)該交易數(shù)據(jù)與該晶片批量的母廠編號(hào)，利用該事實(shí)表派工器或該維度表派工器，并經(jīng)由該第一或第二電子傳遞層將該交易數(shù)據(jù)加載該第一或第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)，其中，該代理主機(jī)、該事實(shí)表派工器、該維度表派工器、該第一電子傳遞層與該第一工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)設(shè)置于第一晶片廠中，而該第二電子傳遞層與該第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)設(shè)置于第二晶片廠中。
2. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理系統(tǒng)，其中， 該代理主機(jī)判斷該交易數(shù)據(jù)為事實(shí)數(shù)據(jù)或維度數(shù)據(jù)，若該交易數(shù)據(jù)為該事實(shí) 數(shù)據(jù)，則判斷該晶片批量的母廠編號(hào)與該第一晶片廠的編號(hào)是否相同，若該 晶片批量的母廠編號(hào)與該第一晶片廠的編號(hào)不相同但與該第二晶片廣的編 號(hào)相同，則利用該事實(shí)表派工器并經(jīng)由該第二電子傳遞層將該事實(shí)數(shù)據(jù)加載 該第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)，同時(shí)經(jīng)由該第一電子傳遞層將該事實(shí)數(shù)據(jù)加 載該第一工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。
3. 如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理系統(tǒng)，其中， 若該晶片批量的母廠編號(hào)與該第 一晶片廠的編號(hào)相同，則該代理主機(jī)利用該 事實(shí)表派工器并經(jīng)由該第一電子傳遞層將該事實(shí)數(shù)據(jù)加載該第一工程數(shù)據(jù) 分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。
4. 如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理系統(tǒng)，其中， 若該交易數(shù)據(jù)為維度數(shù)據(jù)，則該代理主機(jī)利用該維度表派工器并經(jīng)由該第一 電子傳遞層與該第二電子傳遞層，將該維度數(shù)據(jù)分別加載該第一工程數(shù)據(jù)分 析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)與該第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。
5. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理系統(tǒng)，其中， 該代理主機(jī)設(shè)置以與 一制造執(zhí)行系統(tǒng)或其它前端交易系統(tǒng)連接，以接收該'交 易數(shù)據(jù)。
6. —種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理方法，其適用于一半導(dǎo)體聚 落，其中該半導(dǎo)體聚落至少包括一第一晶片廠與一第二晶片廠，該第一晶片 廠至少包括一代理主機(jī)、 一事實(shí)表派工器、 一維度表派工器、 一第一電子傳遞層與一第一EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)，該第二晶片廠至少包括一第二電子傳遞層與一第二EDA數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)，該方法包括下列步驟通過該代理主機(jī)收到與 一晶片批量相關(guān)的交易數(shù)據(jù)；以及 根據(jù)該交易數(shù)據(jù)與該晶片批量的母廠編號(hào)，利用該事實(shí)表派工器或該維度表派工器，并經(jīng)由該第 一或第二電子傳遞層將該交易數(shù)據(jù)加載該第 一或第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)
7. 如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理方法，其中， 利用該代理主機(jī)判斷該交易數(shù)據(jù)為事實(shí)數(shù)據(jù)或維度數(shù)據(jù)；. 若該交易數(shù)據(jù)為該事實(shí)數(shù)據(jù)，則該代理主機(jī)判斷該晶片批量的母廠編號(hào) 與該第一晶片廠的編號(hào)是否相同；以及若該晶片批量的母廠編號(hào)與該第一晶片廠的編號(hào)不相同但與該第二晶 片廠的編號(hào)相同，則該代理主機(jī)利用該事實(shí)表派工器并經(jīng)由該第二電子傳遞 層將該事實(shí)數(shù)據(jù)加載該第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)，同時(shí)經(jīng)由該第 一 電子傳 遞層將該事實(shí)數(shù)據(jù)加載該第 一 工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。
8. 如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理系統(tǒng)，其中， 若該晶片批量的母廣編號(hào)與該第 一晶片廠的編號(hào)相同，則該代理主機(jī)利用該 事實(shí)表派工器并經(jīng)由該第 一 電子傳遞層將該事實(shí)數(shù)據(jù)加載該第 一 工程數(shù)據(jù) 分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。
9. 如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理系統(tǒng)，其中， 若該交易數(shù)據(jù)為維度數(shù)據(jù)，則該代理主機(jī)利用該維度表派工器并經(jīng)由該第一 電子傳遞層與該第二電子傳遞層，將該維度數(shù)據(jù)分別加載該第一工程數(shù)據(jù)分 析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)與該第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。
10. 如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理系統(tǒng)，其中， -該代理主機(jī)系設(shè)置以與一制造執(zhí)行系統(tǒng)或其它前端交易系統(tǒng)連接，以接收該交易數(shù)據(jù)。
全文摘要
一種半導(dǎo)體聚落的工程數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的處理系統(tǒng)。一代理主機(jī)收到與一晶片批量相關(guān)的交易數(shù)據(jù)，根據(jù)該交易數(shù)據(jù)與該晶片批量的母廠編號(hào)，利用一事實(shí)表派工器(dispatcher)或一維度表派工器，并經(jīng)由第一或第二電子傳遞層將該交易數(shù)據(jù)加載第一或第二工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)。
文檔編號(hào)G06Q10/00GK101504644SQ200810005448
公開日2009年8月12日 申請(qǐng)日期2008年2月4日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月4日
發(fā)明者何煜文, 張仕昌 申請(qǐng)人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司