專利名稱：：晶圓特性測試中探針卡測試儀和探針卡使用量的計數方法
技術領域：
：本發明涉及一種測試設備，尤其是一種晶圓特性測試中探針卡測試儀。本發明還設計一種晶圓特性測試中探針卡使用量的計數方法。
背景技術：
：在集成電路元器件測試過程中，經常要用到探針對晶圓進行測試。現在使用的探針都是包裝在探針卡上的，探針卡用完之后需要及時更換，從而使測試工作能夠順利進行。現行的探針卡用量的計數系統如圖1所示，該系統是在探針卡測試儀外部建立探針卡用量計數數據庫，該數據庫直接與探針臺通信、接受數據，該數據庫中的內容如表1所示，其預先設定產品類別及其所使用的探針卡型號和每次的用量等字段，通過從探針臺測試后得到的晶圓枚數與每次用量的乘積來實現對該探針卡實際用量的計數。<table>tableseeoriginaldocumentpage4</column></row><table>但是，該計數方法的準確性完全建立在產品必須使用相同的測試條件(即相同的探針卡用量)的基礎上，若產品不斷變更測試條件，不同條件下探針卡的實際用量會因數據庫中探針卡用量字段設定的固定數值無法得到準確的計算。即便在該數據庫中增加與產品類別關聯的測試條件字段來計算探針卡用量，也會因不同情況下測試條件的不斷變換而需經常維護數據庫(修改探針卡用量的設定值)使整個計數過程無法適合實際生產需要。例如，在表1中，產品AAA事先設定了探針卡用量的次數50次，但若產品AM需經常使用2個作業條件，其探針卡用量分別對應為50次和100次，按照數據庫中探針卡用量的設定值，探針卡實際用量只能按照50次進行計數。這就導致探針卡用量的計數不準確，而探針卡是有一定的使用壽命的，如果探針卡的使用超過了使用壽命，就會影響測試效果；如果探針卡的使用尚未達到使用壽命就進行了更換，又會造成浪費。
發明內容本發明所要解決的技術問題是提供一種晶圓特性測試中探針卡測試儀，以及采用上述探測卡測試儀實現的探針卡使用量的計數方法，能夠按照當前測試條件的信息實時、正確的計算探針卡的用量。為解決上述技術問題，本發明晶圓特性測試中探針卡測試儀的技術方案是，包括探針卡用量數據庫和測試條件數據庫，所述探針卡用量數據庫中包含有探針卡型號信息，以及與所述探針卡型號相對應的累計使用量信息；所述測試條件數據庫中包含有探針卡型號信息，以及與所述探針卡型號信息相對應的各種測試條件的信息，以及與所述各種測試條件信息相對應的在該測試條件下探針卡單次使用量的信息；所述探針卡用量數據庫與所述測試條件數據庫通過探針卡型號信息相互關聯。本發明還提供了一種利用上述的晶圓特性測試中探針卡測試儀實現的晶圓特性測試中探針卡使用量的計數方法，其技術方案是，所述測試儀取得所述測試條件信息以及所使用的探針卡型號的信息，根據所述測試條件信息和所使用的探針卡型號的信息在所述測試條件數據庫中查詢到所述探針卡單次使用量的信息，然后通過所述探針卡型號的信息關聯到所述探針卡用量數據庫，所述探針卡單次使用量乘以測試的晶圓數量就得到探針卡的實際使用量，對所述探針卡的實際使用量進行累計，得到累計使用量信息，將所述累計使用量信息根據探針卡型號信息對應的存儲到所述探針卡用量數據庫中。本發明按照實際使用條件客觀地統計了探針卡的使用次數，起到了有效監控探針卡使用狀態的作用，配合探針卡的定期維護和使用壽命管理，提高了自動化生產中探針卡的管理水平。下面結合附圖和實施例對本發明作進一步詳細的說明圖1為現有的探針卡測試系統的示意圖；圖2為采用本發明探針卡測試儀的測試系統的示意圖。具體實施例方式本發明晶圓特性測試中探針卡測試儀，包括探針卡用量數據庫和測試條件數據庫，所述探針卡用量數據庫中包含有探針卡型號信息，以及與所述探針卡型號相對應的累計使用量信息；所述測試條件數據庫中包含有探針卡型號信息，以及與所述探針卡型號信息相對應的各種測試條件的信息，以及與所述各種測試條件信息相對應的在該測試條件下探針卡單次使用量的信息；所述探針卡用量數據庫與所述測試條件數據庫通過探針卡型號信息相互關聯。所述探針卡用量數據庫中還包含有與所述探針卡型號相對應的探針卡使用壽命的信息。所述測試條件數據庫還包括產品類別的信息，所述產品類別的信息與所述探針卡型號信息、測試條件信息以及探針卡單次使用量信息相互對應。所述探針卡用量數據庫內數據結構可參見表2所示:<table>tableseeoriginaldocumentpage7</column></row><table>表2所述測試條件數據庫內數據結構可參見表3所示:<table>tableseeoriginaldocumentpage7</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage8</column></row><table>本發明晶圓特性測試中探針卡測試儀在使用時如圖2所示，所述探針卡測試儀連接到探針臺上，及時獲取諸如晶圓數量、測試條件等的各種需要的數據信息。本發明還提供了一種利用上述晶圓特性測試中探針卡測試儀實現的晶圓特性測試中探針卡使用量的計數方法，所述測試儀取得所述測試條件信息以及所使用的探針卡型號的信息，根據所述測試條件信息和所使用的探針卡型號的信息在所述測試條件數據庫中査詢到所述探針卡單次使用量的信息，然后通過所述探針卡型號的信息關聯到所述探針卡用量數據庫，所述探針卡單次使用量乘以測試的晶圓數量就得到探針卡的實際使用量，對所述探針卡的實際使用量進行累計，得到累計使用量信息，將所述累計使用量信息根據探針卡型號信息對應的存儲到所述探針卡用量數據庫中。所述探針卡用量數據庫中相對應的累計使用量信息大于或等于使用壽命信息時，所述探針卡測試儀發出更換探針卡的提示。所述測試儀取得所述測試條件信息以及所使用的探針卡型號的信息，并且還取得所述產品類別的信息，根據所述測試條件信息和所使用的探針卡型號的信息，以及產品類別的信息，在所述測試條件數據庫中査詢到所述探針卡單次使用量的信息。結合圖2、表2和表3的內容，現舉一例說明本發明晶圓特性測試中探針卡使用量的計數方法的具體實施過程。所述探針卡測試儀獲取信息，得知探針卡型號為A卡，產品類別為AAA，測試條件為條件2，晶圓數量為7，所述探針卡測試儀在所述測試條件數據庫中査詢，得到單次使用量為50，經過計算得到本次測試的實際使用量為單次使用量50X晶圓數量7=實際使用量350，在此之前，所述探針卡用量數據庫中的A卡的累計使用量為500，因此探針卡測試儀就將探針卡用量數據庫中的A卡的累計使用量更新為500+350=850。當累計使用量大于或等于使用壽命時，所述探針卡測試儀發出更換探針卡的提示。綜上所述，本發明按照實際使用條件客觀地統計了探針卡的使用次數，起到了有效監控探針卡使用狀態的作用，配合探針卡的定期維護和使用壽命管理，提高了自動化生產中探針卡的管理水平。權利要求1.一種晶圓特性測試中探針卡測試儀，其特征在于，包括探針卡用量數據庫和測試條件數據庫，所述探針卡用量數據庫中包含有探針卡型號信息，以及與所述探針卡型號相對應的累計使用量信息；所述測試條件數據庫中包含有探針卡型號信息，以及與所述探針卡型號信息相對應的各種測試條件的信息，以及與所述各種測試條件信息相對應的在該測試條件下探針卡單次使用量的信息；所述探針卡用量數據庫與所述測試條件數據庫通過探針卡型號信息相互關聯。2.根據權利要求1所述的晶圓特性測試中探針卡測試儀，其特征在于，所述探針卡用量數據庫中還包含有與所述探針卡型號相對應的探針卡使用壽命的信息。3.根據權利要求1所述的晶圓特性測試中探針卡測試儀，其特征在于，所述測試條件數據庫還包括產品類別的信息，所述產品類別的信息與所述探針卡型號信息、測試條件信息以及探針卡單次使用量信息相互對應。4.一種利用如權利要求1至3任意一項所述的晶圓特性測試中探針卡測試儀實現的晶圓特性測試中探針卡使用量的計數方法，其特征在于，所述測試儀取得所述測試條件信息以及所使用的探針卡型號的信息，根據所述測試條件信息和所使用的探針卡型號的信息在所述測試條件數據庫中査詢到所述探針卡單次使用量的信息，然后通過所述探針卡型號的信息關聯到所述探針卡用量數據庫，所述探針卡單次使用量乘以測試的晶圓數量就得到探針卡的實際使用量，對所述探針卡的實際使用量進行累計，得到累計使用量信息，將所述累計使用量信息根據探針卡型號信息對應的存儲到所述探針卡用量數據庫中。5.根據權利要求4所述的晶圓特性測試中探針卡使用量的計數方法，其特征在于，所述探針卡用量數據庫中相對應的累計使用量信息大于或等于使用壽命信息時，所述探針卡測試儀發出更換探針卡的提示。6.根據權利要求4所述的晶圓特性測試中探針卡使用量的計數方法，其特征在于，所述測試儀取得所述測試條件信息以及所使用的探針卡型號的信息，并且還取得所述產品類別的信息，根據所述測試條件信息和所使用的探針卡型號的信息，以及產品類別的信息，在所述測試條件數據庫中査詢到所述探針卡單次使用量的信息。全文摘要本發明公開了一種晶圓特性測試中探針卡測試儀，包括探針卡用量數據庫和測試條件數據庫，所述探針卡用量數據庫與所述測試條件數據庫通過探針卡型號信息相互關聯。本發明還公開了一種利用上述探針卡測試儀實現的晶圓特性測試中探針卡使用量的計數方法，所述測試儀取得所述測試條件信息以及所使用的探針卡型號的信息，在所述測試條件數據庫中查詢到所述探針卡單次使用量的信息，然后通過所述探針卡型號的信息關聯到所述探針卡用量數據庫，得到累計使用量信息，并進行存儲。本發明按照實際使用條件客觀地統計了探針卡的使用次數，起到了有效監控探針卡使用狀態的作用，配合探針卡的定期維護和使用壽命管理，提高了自動化生產中探針卡的管理水平。文檔編號G06F17/30GK101441625SQ20071009427公開日2009年5月27日申請日期2007年11月23日優先權日2007年11月23日發明者偉戴申請人:上海華虹Nec電子有限公司