專利名稱：半導體制造的數(shù)據(jù)追蹤方法與系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導體制造的數(shù)據(jù)追蹤方法與系統(tǒng)，特別是涉及一種半 導體制造中利用數(shù)據(jù)倉儲的子母分批追蹤的方法與系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導體的晶片制造主要包括產(chǎn)生新批的分批作業(yè)(Split Lot)、將母/ 子批或同產(chǎn)品合并的并批作業(yè)(Merge Lot)、判定重工流程的重工作業(yè) (Rework Lot)等操作。
在分批作業(yè)處理中，子母分批追蹤方法(Split Lot Tracking)是半導 體廠內(nèi)生產(chǎn)控制與工藝分析過程中相當基本且重要的工作?，F(xiàn)行技術(shù)是建立 一個批量歷史數(shù)據(jù)表格(Lot History Table),并且利用晶片處理當時的 批號(Lot — ID)與站點(Ope—No)當作主鍵(Primary Key)。在每一筆數(shù) 據(jù)中，批號(Lot —ID)中存放的是實際分批后的子批號。部分工藝處理系統(tǒng) 的數(shù)據(jù)庫設(shè)計會利用反正規(guī)化的技術(shù)再加上前一站的批號來執(zhí)行追蹤處理， 但因為每一站點會產(chǎn)生近千筆數(shù)據(jù)，故無法在單一筆數(shù)據(jù)中記錄所有分批的批號。
如圖3所示，批量歷史數(shù)據(jù)表格100顯示目前晶片處理的批號與站點， 其定義了 一批量關(guān)鍵號(Lot—Key—No )與一前 一 批量關(guān)鍵號 (PRE—Lot—Key—No )。該前一批量關(guān)4建號為一反向指標(Backward Pointer )， 用以指向該批量關(guān)鍵號，當要查詢某一子批量時，則必須根據(jù)該前一批量關(guān) 鍵號指向的該批量關(guān)鍵號，往前一批量歷史數(shù)據(jù)表格搜尋。
另外，如圖4所示，包括一主要(Master )批量表格210與一從屬(Slave ) 批量表格220,其是顯示目前晶片處理的批號與站點，且在從屬批量表格220 中定義了一批號(Lot-ID)與一終端批號(TERMINALLOT-ID)。該批號指向 該終端批號，用以表示目前批量(對應(yīng)該批號的批量)的子批量(對應(yīng)該終 端批號的批量)。同樣地，當要查詢某一子批量時，則必須根據(jù)該批號與該 終端批號，往前一批量歷史數(shù)據(jù)表格搜尋。
因此，每當在查詢凄史凈居庫中的完整分殺匕記錄時，必須用遞歸(Recursive ) 的方式重復讀取前一站的批號， 一直查詢到源頭數(shù)據(jù)為止，使得當要查詢其 中一筆分批記錄時，可能需要查詢近千次才可取得所欲數(shù)據(jù)。上述查詢方式 既復雜且緩慢，影響線上控制與分析效率甚巨。
因此，本發(fā)明提出了一種半導體制造中利用數(shù)據(jù)倉儲的子母分批追蹤的 方法，可快速且詳細地查詢到所需的生產(chǎn)數(shù)據(jù)。
發(fā)明內(nèi)容
基于上述目的，本發(fā)明實施例披露了一種數(shù)據(jù)追蹤方法。讀取一晶片批 量的分批歷史數(shù)據(jù)，并且判斷是否讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端。若未 讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端，則決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時 所需的一最大分批次數(shù)。根據(jù)該最大分批次數(shù)與目前分批次數(shù)決定目前站點 所需建立的虛擬子批數(shù)，并且根據(jù)該所需建立的虛擬子批數(shù)建立一目前站點 的至少一虛擬子批。復制該虛擬子批的源頭批量的工藝數(shù)據(jù)，以及當建立完 該站點的該虛擬子批后，繼續(xù)建立下一站點的虛擬子批。
本發(fā)明實施例還披露了 一種數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng)，包括一批數(shù)計算單元與一虛 擬子批建立單元。該批數(shù)計算單元讀取一晶片批量的分批歷史數(shù)據(jù)，并且判 斷是否讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端。若未讀取到該晶片批量的分批數(shù) 據(jù)尾端，則決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時所需的一最大分批次數(shù)。該 虛擬子批建立單元根據(jù)該所需建立的虛擬子批數(shù)建立一目前站點的至少一 虛擬子批，并且復制該虛擬子批的源頭批量的工藝數(shù)據(jù)。
圖1顯示本發(fā)明實施例的數(shù)據(jù)追蹤方法的步驟流程圖。 圖2顯示本發(fā)明實施例的數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng)的步驟流程圖。 圖3顯示批量歷史數(shù)據(jù)表格100。
圖4顯示主要(Master )批量表格210與一從屬(Slave )批量表格220。 圖5顯示本發(fā)明實施例的虛擬批量歷史數(shù)據(jù)表樹Virtual Reality ( VR )
Lot History Table) 320。以及
圖6顯示本發(fā)明實施例的三角形410中的批量歷史數(shù)據(jù)和三角形420中
的批量歷史數(shù)據(jù)。
附圖符號說明
500 -數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng) 510-批數(shù)計算單元 520 -虛擬子批建立單元
具體實施例方式
為了使本發(fā)明的目的、特征、及優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施 例，并結(jié)合附1~圖6，做詳細的說明。本發(fā)明說明書提供不同的實施 例來說明本發(fā)明不同實施方式的技術(shù)特征。其中，實施例中的各組件的配置 是為說明之用，并非用以限制本發(fā)明。且實施例中附圖標號的部分重復，是 為了簡化說明，并非意指不同實施例之間的關(guān)聯(lián)性。
本發(fā)明實施例披露了 一種半導體制造的數(shù)據(jù)追蹤方法與系統(tǒng)。
參考圖5,在本發(fā)明實施中，除了原本的批量歷史數(shù)據(jù)表格(Lot History Table)310,另外設(shè)計了 一個虛擬批量歷史數(shù)據(jù)表格(Virtual Reality ( VR ) Lot History Table) 320。以下先說明每一表格中的參數(shù)
分批歷史數(shù)據(jù)(Split—History)包括分批后批號(Cur—Lot_ID)、分 批前批號(Prev—Lot —ID)與分批時間(Claim—Time)等參數(shù)。
批量歷史數(shù)據(jù)表格310是存放每一批晶片在每一工藝站執(zhí)行的歷史數(shù)據(jù) (Lot —History ),其定義了批號(Lot —ID)、站點(0pe_No )、該站完成 時間(Move—Out—Time )與當時批量(Move_0ut_Waf er—Cnt )等參數(shù)，并且 包括其它相關(guān)生產(chǎn)歷史數(shù)據(jù)(例如執(zhí)行機臺、批量、員工代號、生產(chǎn)參數(shù)... 等等)。
虛擬批量歷史數(shù)據(jù)表格320定義了批號(Lot — ID)、站點(Ope—No)、 對應(yīng)執(zhí)4亍站點該站完成時間(Move—Out-Time)、對應(yīng)IM亍站點當時的原始 批號(0rg—Lot — ID )、對應(yīng)執(zhí)行站點當時的批號的批量(Move—Out-Wafer-Cnt) 等參數(shù)，并且包括其它相關(guān)生產(chǎn)歷史數(shù)據(jù)(如執(zhí)行機臺、批量、員工代號、 生產(chǎn)參數(shù)…等等)。
虛擬批量歷史數(shù)據(jù)表格320內(nèi)的數(shù)據(jù)會在每次執(zhí)行分批作業(yè)時，復制此 一子批在分批當站之前所有站點的詳細作業(yè)數(shù)據(jù)，并附上原始的批號 (Org—LoUlD),而事實上該子批并未在之前的站點執(zhí)行過。
再參考圖6,三角形410中的批量歷史數(shù)據(jù)表示某一批晶片從第一站 第七站(Stepl St印7),在經(jīng)過分批作業(yè)后所得的實際生產(chǎn)歷史數(shù)據(jù) (Lot—History)。三角形420中的批量歷史數(shù)據(jù)表示對應(yīng)實際生產(chǎn)數(shù)據(jù)所 產(chǎn)生的虛擬生產(chǎn)數(shù)據(jù)(VR—Lot-History),其中每一虛擬子批數(shù)據(jù)附加一源 頭批量代號，表示站實際執(zhí)行時的批號。舉例來說，在第一站時，實際作業(yè) 時是以批量A操作，故其子批批量A. 1及A. 2為虛擬子批，且虛擬子批的批 量數(shù)據(jù)與批量A相同。并附加一源頭批量代號A,即表示該站實際執(zhí)行時是 以批量A操作，批量A. 1及A. 2并未操作該站。另外，在第3站時，批量A 已分批產(chǎn)生批量A. 1，故其子批批量A. 2為虛擬子批，且批量A. 2的批量數(shù) 據(jù)與批量A. l相同。批量A. 2附加一源頭批量代號A. 1,即表示該站實際執(zhí) 行時是以批量A. l操作。以此類推，即可在查詢時，快速地找到每一子/母 批完整的歷史數(shù)據(jù)。
此外，如前文所述，除了分批處理外，晶片批量亦在分批后執(zhí)行并批處 理，而其虛擬子批的產(chǎn)生與上述流程相同。
圖1顯示本發(fā)明實施例的數(shù)據(jù)追蹤方法的步驟流程圖。
首先，讀取某一晶片批量的分批歷史數(shù)據(jù)(Split—History)(步驟S1 )， 然后判斷是否讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端(End of File, EOF)(步 驟S2)。若是，表示該晶片批量并未執(zhí)行分批處理，則結(jié)束本流程。若否， 則決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時所需的最大分批次數(shù)(步驟S3 )。舉 例來說，如圖6所示，該晶片批量在七個站點執(zhí)行了七道工藝，其最大分批 次數(shù)為2,故虛擬晶片子批最多只需建立至A. 2即可。
接下來，根據(jù)該最大分批次數(shù)與目前分批次數(shù)決定目前站點所需建立的 虛擬子批數(shù)(步驟S4)。舉例來說，如圖6所示，在第四站中，批量A已具 有一子批A. 1，故其只需再建立一虛擬子批。接著，根據(jù)該所需建立的虛擬 子批數(shù)建立目前站點的虛擬子批(步驟S5 ),并且復制該虛擬子批的一源頭 批量的工藝數(shù)據(jù)(步驟S6)。舉例來說，如圖6所示，在第四站中，若晶片 批量A原本有25片晶片，子批A. 1經(jīng)由分批取得15片晶片，則虛擬子批A. 2 亦為15片晶片且具有與子批A. 1相同的工藝信息。當建立完該站點的虛擬 子批后，回到步驟S1繼續(xù)建立下一站點的虛擬子批。
圖2顯示本發(fā)明實施例的數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng)的步驟流程圖。
本發(fā)明實施例的數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng)500具有一批數(shù)計算單元510與一虛擬子
批建立單元520。
批數(shù)計算單元510讀取某一晶片批量的分批歷史數(shù)據(jù)，然后判斷是否讀 取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端。若是，表示該晶片批量并未執(zhí)行分批處理， 則結(jié)束本流程。若否，則決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時所需的最大分 批次數(shù)。接下來，根據(jù)該最大分批次數(shù)與目前分批次數(shù)決定目前站點所需建
立的虛擬子批數(shù)。虛擬子批建立單元520根據(jù)該所需建立的虛擬子批數(shù)建立 目前站點的虛擬子批，并且復制該虛擬子批的一源頭批量的工藝數(shù)據(jù)。
本發(fā)明實施例的數(shù)據(jù)追蹤方法建立對應(yīng)實際晶片批量的虛擬子批量，并 且每一子批量復制其源頭批量的工藝相關(guān)信息，以詳細追蹤并控制所有子母 批的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，并且可節(jié)省大量的查詢時間。
雖然本發(fā)明已以較佳實施例披露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng) 域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的前提下可作各種的更動與潤 飾，因此本發(fā)明的保護范圍以本發(fā)明的權(quán)利要求為準。
權(quán)利要求
1.一種數(shù)據(jù)追蹤方法，包括下列步驟讀取一晶片批量的分批歷史數(shù)據(jù)；判斷是否讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端；若否，根據(jù)該所需建立的虛擬子批數(shù)建立一目前站點的至少一虛擬子批；復制該虛擬子批的源頭批量的工藝數(shù)據(jù)；以及當建立完該站點的該虛擬子批后，繼續(xù)建立下一站點的虛擬子批。
2. 如權(quán)利要求1所述的數(shù)據(jù)追蹤方法，其還包括若未讀取到該晶片批量 的分批數(shù)據(jù)尾端，則決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時所需的一最大分批 次數(shù)。
3. 如權(quán)利要求2所述的數(shù)據(jù)追蹤方法，其還包括根據(jù)該最大分批次數(shù)與 目前分批次數(shù)決定目前站點所需建立的虛擬子批數(shù)。
4. 一種凄t據(jù)追蹤系統(tǒng)，包括一批數(shù)計算單元，其讀取一晶片批量的分批歷史數(shù)據(jù)，并且判斷是否讀 取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端；以及一虛擬子批建立單元，若未讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端，其根據(jù) 該所需建立的虛擬子批數(shù)建立一目前站點的至少一虛擬子批，并且復制該虛 擬子批的源頭批量的工藝數(shù)據(jù)。
5. 如權(quán)利要求4所述的數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng)，其中，若未讀取到該晶片批量的 分批數(shù)據(jù)尾端，該批數(shù)計算單元還決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時所需 的一最大分批次數(shù)。
6. 如權(quán)利要求5所述的數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng)，其中該批數(shù)計算單元還根據(jù)該最 大分批次數(shù)與目前分批次數(shù)決定目前站點所需建立的虛擬子批數(shù)。
7. —種儲存媒體，用以儲存一計算機程序，上述計算機程序包括多個程 序代碼，其用以加載至一計算機系統(tǒng)中并且使得上述計算機系統(tǒng)執(zhí)行一種數(shù) 據(jù)追蹤方法，包括下列步驟讀取一晶片批量的分批歷史數(shù)據(jù)； 判斷是否讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端；若否，根據(jù)該所需建立的虛擬子批數(shù)建立一目前站點的至少一虛擬子 批；復制該虛擬子批的源頭批量的工藝數(shù)據(jù)；以及 當建立完該站點的該虛擬子批后，繼續(xù)建立下一站點的虛擬子批。
8. 如權(quán)利要求7所述的儲存媒體，其還包括若未讀取到該晶片批量的分 批數(shù)據(jù)尾端，則決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時所需的 一最大分批次數(shù)。
9. 如權(quán)利要求8所述的儲存媒體，其還包括根據(jù)該最大分批次數(shù)與目前 分批次數(shù)決定目前站點所需建立的虛擬子批數(shù)。
全文摘要
一種數(shù)據(jù)追蹤方法。讀取一晶片批量的分批歷史數(shù)據(jù)，并且判斷是否讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端。若未讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端，則決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時所需的一最大分批次數(shù)。根據(jù)該最大分批次數(shù)與目前分批次數(shù)決定目前站點所需建立的虛擬子批數(shù)，并且根據(jù)該所需建立的虛擬子批數(shù)建立一目前站點的至少一虛擬子批。復制該虛擬子批的源頭批量的工藝數(shù)據(jù)，以及當建立完該站點的該虛擬子批后，繼續(xù)建立下一站點的虛擬子批。
文檔編號G06Q10/00GK101118617SQ20061010840
公開日2008年2月6日 申請日期2006年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月2日
發(fā)明者何煜文, 劉姿秀 申請人:力晶半導體股份有限公司