專利名稱:用于管理批次整合的系統、用于管理批次整合的方法
技術領域:
本發明是有關于制程控制,特別是有關于用以在制造環境中將被分割的批次重新整合的系統與方法。
背景技術:
在接單制造(produce-to-order)的制造業中(例如半導體制造業),客戶下訂單的產品在開始制造時,多以完整的晶圓批次進行制造處理。一般而言,其中每個晶圓批次至多可以包含25片晶圓。而在進行制造處理的過程中,原本包含于同一批次中的晶圓,常常會被分離到不同的批次中進行處理,使得某一客戶訂單的產品,分散在各個批次中,而造成許多管理上及處理上的問題。例如,完整的批次A,在制造處理的過程中,被分割為5個部分A1~A5,上述A1~A5分別在不同的晶圓批次中。在這種情況下,當A1~A5以濕蝕刻處理時,是分別進行濕蝕刻處理,使得A1~A5的每一個,受到蝕刻的程度可能因為每次蝕刻反應的條件不同而有不同。而上述的制程不一致性,可能會導致產品品質不一的問題。當A1~A5進行測試時(例如晶圓驗收測試,wafer acceptancetest,WAT),測試的結果是分別產生并傳送給客戶。客戶在接收到A1~A5個部分測試結果后,必須自行將其整合,才能夠得到完整的測試結果。再者,當A1~A5被制造完成,運送給客戶時,也是一部分一部分分別運送。使得客戶在確認收貨及后續管理上造成困難。
因此,需要可以在制造環境中將被分割的批次重新整合的系統與方法。
發明內容
為達成上述目的,本發明提供制程控制的系統與方法,特別是用以在制造環境中將被分割的批次重新整合的系統與方法。
本發明提供一種用于管理批次整合的系統,其包括界面、儲存裝置、及處理器。該界面是用以接收一批次整合設定數據。該儲存裝置是用以儲存第一批次制造信息和該批次整合設定數據。該處理器是用以依據該批次整合設定數據與該第一批次制造信息,產生第二批次制造信息。
本發明所述的用于管理批次整合的系統,其中該批次整合設定數據包含用以辨識客戶、產品、及批次的識別信息,其中該批次整合設定數據包含一整合設定,其包含與該批次對應的一整合步驟及/或整合階段。
本發明所述的用于管理批次整合的系統,其中該第一及第二批次制造信息包含在制品信息,其包含與該批次對應的在制品的識別信息、產品信息、與一產品及/或批次對應的制程階段信息、一制程時程表、一批次派工設定數據。
本發明所述的用于管理批次整合的系統,進一步包含一制造執行系統,其是依據該第二批次制造信息,控制多個批次的處理程序。
本發明并提供一種計算機執行的用于管理批次整合的方法。該方法首先接收一批次整合設定數據。并提供第一批次制造信息。依據該批次整合設定數據與該第一批次制造信息,產生第二批次制造信息。
本發明所述的計算機執行的用于管理批次整合的方法,其中該批次整合設定數據包含用以辨識客戶、產品、及批次的識別信息,其中該批次整合設定數據包含一整合設定,其包含與該識別信息對應的一整合點設定、以及整合步驟及/或整合階段的設定。
本發明所述的計算機執行的用于管理批次整合的方法,其中該第一及第二批次制造信息包含在制品信息,其包含與該批次對應的在制品的識別信息,該第一和第二批次制造信息包含產品信息,其包含與一產品及/或批次對應的制程階段信息,且該第一及第二批次制造信息分別包含一制程時程表、一批次派工設定數據。
本發明所述的計算機執行的用于管理批次整合的方法,進一步依據該第二批次制造信息,控制多個批次的處理程序。
本發明所述的用于管理批次整合的系統、用于管理批次整合的方法,依據更新過的該制造數據的制程時程表和派工設定數據,使得制造程序中的產品物流被調整,使得能夠依據使用者的設定,將原本屬于同一批次,而在制程中被分割開來的批次重新整合為同一批次。
圖1顯示依據本發明實施例的具有批次整合管理的制造系統的示意圖;圖2顯示依據本發明實施例的用于管理批次整合的方法的流程圖。
具體實施例方式
為了讓本發明的目的、特征、及優點能更明顯易懂,下文特舉較佳實施例,并配合所附圖示圖1及圖2,做詳細的說明。本發明說明書提供不同的實施例來說明本發明不同實施方式的技術特征。其中,實施例中的各元件的配置是為說明之用,并非用以限制本發明。且實施例中圖式標號的部分重復,是為了簡化說明,并非意指不同實施例之間的關聯性。
圖1顯示依據本發明實施例的具有批次整合管理的制造系統的示意圖。制造系統10包含一批次整合管理子系統11及一制造子系統15。批次整合管理子系統11包括界面111、處理器113、以及儲存裝置115。其中,界面111接收由使用者14透過網絡12傳來的批次整合設定數據。其中,該批次整合設定數據包含用以辨識客戶、產品、及批次的識別信息,以及整合設定數據。該整合設定數據包含與一特定批次對應的一整合步驟及/或整合階段。儲存裝置115用以儲存使用者提供的該批次整合設定數據。處理器113用以依據該批次整合設定數據與一第一批次制造信息,產生一第二批次制造信息。其中,該第一批次制造信息可以從制造子系統15中的制造執行系統(MES)151取得,而處理器113所產生的該第二批次制造信息則傳回給制造執行系統151。該第一及第二批次制造信息分別包含在制品信息、產品信息、制程時程表、及批次派工設定數據。其中,該在制品信息包含與一特定批次對應的在制品的識別信息。其中,該產品信息包含與一產品及/或批次對應的制程階段信息。該第一及第二批次制造信息可以儲存于制造子系統15中的儲存裝置153中,且該第一及第二批次制造信息是用以作為制造裝置155運作的依據。當制造子系統15接收到該第二批次制造信息時,依據該第二批次制造信息更新該第一批次制造信息。而制造裝置155是依據更新過的批次制造信息(亦即,第二批次制造信息)來執行制造程序。
圖2顯示依據本發明實施例的用于管理批次整合的方法的流程圖。圖2所示的方法是可以實施于圖1所示的系統。
依據本發明實施例,該方法首先接收一批次整合設定數據,如步驟S21所示。在步驟S21中,首先輸入使用者識別數據和認證數據,如步驟S211所示。其中,該使用者識別數據和認證數據是由使用者14提供,并透過網絡12傳送到界面111,再轉送到處理器113。繼之,依據一對應的識別設定,執行一認證程序,如步驟S212所示。繼之,依據該使用者輸入的識別數據,從一數據庫(圖未顯示)中搜尋相對應的產品數據及/或批次數據,并呈現在界面111上,如步驟S213所示。繼之,由使用者輸入一產品及/或批次識別號碼,以確認選取的一產品及批次,如步驟S214所示。繼之,設定一批次整合設定數據,如步驟S215所示,其設定對應于一特定批次的整合執行點。上述使用者的識別數據、產品數據、批次數據、以及上述整合設定數據,總和稱之為批次整合設定數據。
在步驟S216中,提供對應于使用者選定的批次的目前制造數據。該制造數據包含在制品信息、產品信息、制程時程表、及批次派工設定數據。其中,該在制品信息包含與一特定批次對應的在制品的識別信息。其中,該產品信息包含與一產品及/或批次對應的制程階段信息。
在步驟S217中,將該批次整合設定數據與該目前的制造數據進行整合,以產生一更新的制造數據。更新的制造數據包含和該目前的制造數據相對應的在制品信息、產品信息、制程時程表、及批次派工設定數據。尤其是,依據更新過的該制造數據的制程時程表和派工設定數據,使得制造程序中的產品物流被調整,使得能夠依據使用者的設定,將原本屬于同一批次,而在制程中被分割開來的批次重新整合為同一批次。
當制程數據完成更新,則一制造裝置依據該更新的制程數據,執行產品制造程序,如步驟S218所示。
雖然本發明已通過較佳實施例說明如上,但該較佳實施例并非用以限定本發明。本領域的技術人員,在不脫離本發明的精神和范圍內,應有能力對該較佳實施例做出各種更改和補充,因此本發明的保護范圍以權利要求書的范圍為準。
附圖中符號的簡單說明如下制造系統10
批次整合管理子系統11制造子系統15界面111處理器113儲存裝置115使用者14網絡12制造執行系統(MES)151制造裝置155儲存裝置15權利要求
1.一種用于管理批次整合的系統,其特征在于,該用于管理批次整合的系統包括一界面,其是用以接收一批次整合設定數據;一儲存裝置,其是用以儲存第一批次制造信息和該批次整合設定數據;以及一處理器,其是用以依據該批次整合設定數據與該第一批次制造信息,產生第二批次制造信息。
2.根據權利要求1所述的用于管理批次整合的系統,其特征在于,該批次整合設定數據包含用以辨識客戶、產品、及批次的識別信息,其中該批次整合設定數據包含一整合設定,其包含與該批次對應的一整合步驟及/或整合階段。
3.根據權利要求1所述的用于管理批次整合的系統,其特征在于,該第一及第二批次制造信息包含在制品信息,其包含與該批次對應的在制品的識別信息、產品信息、與一產品及/或批次對應的制程階段信息、一制程時程表、一批次派工設定數據。
4.根據權利要求1所述的用于管理批次整合的系統,其特征在于,進一步包含一制造執行系統,其是依據該第二批次制造信息,控制多個批次的處理程序。
5.一種計算機執行的用于管理批次整合的方法,其特征在于,該計算機執行的用于管理批次整合的方法包括接收一批次整合設定數據;提供第一批次制造信息;以及依據該批次整合設定數據與該第一批次制造信息,產生第二批次制造信息。
6.根據權利要求5所述的計算機執行的用于管理批次整合的方法,其特征在于,該批次整合設定數據包含用以辨識客戶、產品、及批次的識別信息,其中該批次整合設定數據包含一整合設定,其包含與該識別信息對應的一整合點設定、以及整合步驟及/或整合階段的設定。
7.根據權利要求5所述的計算機執行的用于管理批次整合的方法,其特征在于,該第一及第二批次制造信息包含在制品信息,其包含與該批次對應的在制品的識別信息,該第一和第二批次制造信息包含產品信息,其包含與一產品及/或批次對應的制程階段信息,且該第一及第二批次制造信息分別包含一制程時程表、一批次派工設定數據。
8.根據權利要求5所述的計算機執行的用于管理批次整合的方法,其特征在于,進一步依據該第二批次制造信息,控制多個批次的處理程序。
全文摘要
本發明提供一種用于管理批次整合的系統、用于管理批次整合的方法,其包括一界面、一儲存裝置、及一處理器。該界面是用以接收一批次整合設定數據。該儲存裝置是用以儲存第一批次制造信息和該批次整合設定數據。該處理器是用以依據該批次整合設定數據與該第一批次制造信息,產生第二批次制造信息。本發明所述的用于管理批次整合的系統、用于管理批次整合的方法,依據更新過的該制造數據的制程時程表和派工設定數據,使得制造程序中的產品物流被調整,使得能夠依據使用者的設定,將原本屬于同一批次,而在制程中被分割開來的批次重新整合為同一批次。
文檔編號G06F17/00GK1804746SQ200510130509
公開日2006年7月19日 申請日期2005年12月13日 優先權日2004年12月23日
發明者黃啟仁, 林水典 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司