放大攝像設備和計量檢測設備的制作方法

專利名稱：放大攝像設備和計量檢測設備的制作方法
技術領域：
本發明涉及能夠對計量檢測對象物實施放大處理并將其顯示在圖像顯示設備上的攝像設備，能夠對計量檢測對象物實施計量檢測的計量檢測設備，以及使計量檢測設備能夠實施計量檢測用的計量檢測程序。
背景技術：
近年來，應用于各個不同技術領域中的精細加工技術正在迅速發展。對印刷電路基板實施加工的技術也不例外，隨著安裝在印刷電路基板上的部件的日趨小型化、高密度化，以及搭載在印刷電路基板上的設備的日趨小型化、高性能化，配線與配線間的間隔變的非常小(窄)。如果舉例來說，需要能夠制作出配線寬度為50微米(μm)，配線間隔為10微米(μm)～30微米(μm)的印刷電路基板。
目前使用的這種印刷電路基板的制造工藝，是通過腐蝕和鍍層方式形成配線型集成電路組件的，所以在每批制造成品中配線間的距離均會有些偏差。構成為印刷電路基板的配線型集成電路組件，盡管在設計時考慮了實施制造時所可能出現的偏差，然而當偏差較大時仍難以確保配線間具有預定的距離，所以在安裝上其它部件作為成品使用時，可能會出現諸如漏電和短路等問題。
為了能夠預先防止這種問題出現，在先技術中采用的是對印刷電路基板實施出廠檢查的方式。為了能夠確認配線型集成電路組件是否存在有短路現象，可以使用基板校驗設備實施電氣檢查，也可以由檢查者實施目測檢查。而且，可以由每批制造成品中取出預定數目的印刷電路基板實施抽查，也可以對全部印刷電路基板均實施檢查。檢查者可以將需要進行檢查的印刷電路基板搭載在基板檢查設備的工作臺面上，利用顯微鏡和放大鏡等對基板配線位置實施放大和目測確認，并且按照對配線間的距離實施計量檢測的方式實施檢查。
可以通過下述方式，利用所述基板檢查設備實施目測計量檢測(1)將印刷電路基板搭載在檢查設備的工作臺面上。
(2)移動工作臺面以對印刷電路基板實施位置調整，使刻印在顯微鏡中的物透鏡中央部處的十字標線或一字標線，與配線的邊緣位置相重合。
(3)對距離計量設備實施復位設置。
(4)移動工作臺面，一直到相鄰的配線邊緣與十字標線或一字標線重合時為止。
(5)對距離計量設備的輸出實施確認。
通過這一連串的作業，可以對配線間的距離實施計量檢測。
然而，當利用所述基板檢查設備實施目測計量檢測時，檢查者需要將作為檢查對象的印刷電路基板搭載在工作臺面上，當對尺寸比較大的印刷電路基板實施檢查時，還需要移動工作臺面以調整印刷電路基板的檢查位置，而這種調整是相當麻煩的。而且，還存在有檢查者需要通過顯微鏡實施計量檢測，因此會使檢查者感到眼睛疲勞、甚至會導致視力下降的問題。
目前，已經開發出對于諸如印刷電路基板等的、需要實施放大檢查的對象物，檢查者能夠在短時間里容易地實施確認、計量檢測的基板檢查設備。這種基板檢查設備是一種能夠利用顯微鏡(放大鏡)和攝像設備，將對象物的光學放大圖像顯示在圖像顯示設備上的放大觀察設備。
然而在這種在先技術中的基板檢查設備中，顯微鏡和攝像設備是固定設置著的，所以檢查者需要將作為檢查對象物的印刷電路基板搭載在工作臺面上，并且根據需要移動工作臺面以實施目測計量檢測。對于作為檢查對象物的印刷電路基板是由若干個小型基板構成的大尺寸印刷電路基板的場合，當檢查者對各小型基板實施檢查時，仍需要移動工作臺面以調整印刷電路基板的檢查位置。因此，仍然需要實施相當麻煩的調整操作。
為了能夠解決這一問題，在先技術中還采用了可搭載在作為檢查對象物的印刷電路基板上的放大攝像設備。檢查者在使用這種與實施圖像顯示用的監視設備相連接的放大攝像設備時，可以將放大攝像設備移動至需要實施檢查的位置處并將其設置在該位置處，從而可以容易地對位于該位置處的圖像實施確認。因此，和使用前述放大觀察設備的場合相比，可以在短時間里完成目測計量檢測。

發明內容
然而，如上所述的放大攝像設備是一種具有雙焦點的光學系統，雖然容易實施放大倍率的切換，但是卻僅可以在放大倍率被固定的預定倍率間實施切換。因此，存在有檢查者難以采用最適合檢查的放大倍率實施檢查，所以難以實施平滑穩定檢查的問題。
而且，這種放大攝像設備并不具有計量檢測程序，所以還存在有難以在畫面上，對采用如上所述的放大觀察設備攝像獲得的對象物實施計量檢測的問題。
而且，印刷電路基板上可能存在有微小的凹凸起伏，在對配線邊緣實施目測檢查時，如果能夠按立體形式觀察將更容易實施確認。然而，在先技術中的這種放大攝像設備是利用若干個發光二極管(LED)，由斜上方按預定角度對觀察面實施照明的，所以難以按立體形式對配線實施觀察，因此存在有會增大檢查者的負擔，使檢查者的眼睛容易產生疲勞的問題。
本發明就是解決上述問題用的發明，本發明的目的就是提供一種對于諸如印刷電路基板等的對象物，能夠容易地實施放大檢查而使檢查者不感到眼睛疲勞，并且能夠在短時間里對所需要位置處的尺寸實施計量檢測的放大攝像設備，計量檢測設備以及相應的計量檢測程序。
由本發明提供的、解決上述問題用的技術解決方案，可以呈下述的各種構成形式。
(1)一種放大攝像設備，其特征在于在底面開口的、可搭載在計量檢測對象物上的框架部件內部或表面處設置有對所述計量檢測對象物實施放大攝像處理用的放大攝像部；對所述放大攝像部的放大倍率實施變更處理用的倍率變更部；對由所述放大攝像部攝像獲得的圖像實施輸出處理用的圖像輸出部；由斜上方將光束照射至所述計量檢測對象物處用的上方照明部；由側方向將光束照射至所述計量檢測對象物處用的側向照明部；以及對所述上方照明部和所述側向照明部的光量實施調整用的光量調整部。
如果采用這種構成形式，攝像設備可以將由斜上方和側方向發射出的、光量實施過調整的光束照射至計量檢測對象物處。因此，可以使計量檢測對象物的各表面呈不同的明暗狀態，進而可以輸出有關計量檢測對象物的、具有立體感的放大圖像。而且，放大攝像設備可以搭載的計量檢測對象物上，所以還可以將其容易地移動至實施攝像處理的位置處。
(2)而且，這種放大攝像設備還可以進一步使所述光量調整部，能夠分別對所述上方照明部的光量和所述側向照明部的光量實施調整。
因此，還可以相應于計量檢測對象物，對由斜上方照射的光束和由測方向照射的光束實施光量調整，從而可以通過圖像顯示設備輸出容易實施確認的、呈立體形式的圖像。
(3)而且，這種放大攝像設備還可以進一步使所述框架部件具有上側框架部件和由透明樹脂制作的下側框架部件；而且，可以按照在以可自由轉動方式設置在上側框架部件下側端部處的、形成在環狀把手部處的螺紋部，與形成在下側框架部件上側端部處的螺紋部間的螺紋結合，實施可自由伸縮的結合方式，在所述下側框架部件的下側端部處形成有凸緣。
如果采用這種構成形式，還可以將下側框架部件螺紋結合在把手部處，所以可以通過對把手部實施的轉動操作，使下側框架部件產生伸縮移動。因此，還可以通過伸縮移動方式對焦點位置實施細微調整，而輸出沒有重影的清晰圖像。而且，可以采用透明材料制作下側框架部件，所以在對計量檢測對象物實施攝像處理時，還可以由外部容易地對目標位置實施確認。而且，還可以使收裝部件用的上側框架部件與下側框架部件分離設置，從而可以相應于計量檢測對象物的種類對下側框架部件實施更換，因此還可以按照與計量檢測對象物相適應的方式實施攝像處理。
(4)而且，這種放大攝像設備還可以進一步在所述上側框架部件和所述下側框架部件中的一個處，沿所述下側框架部件的伸縮方向配置有溝槽部，在另一個處配置有可與所述溝槽部間實現滑動嵌合的波起部。
如果采用這種構成形式，還可以使上側框架部件和下側框架部件通過溝槽部和波起部實現滑動嵌合，所以當轉動把手時，可以防止下側框架部件產生相應轉動，而使其僅能夠沿伸縮方向移動。
(5)而且，這種放大攝像設備還可以進一步配置有在所述下側框架部件的底面中位于所述放大攝像部的攝像位置處，形成有開口部的校準部，而且可以使所述開口部的周圍區域形成為研磨杯體形狀。
如果采用這種構成形式，還可以在對計量檢測對象物實施攝像處理時，對目標位置實施可靠的設定。而且，在對所述計量檢測對象物實施攝像處理時，還可以使由側向照明部發射出的光束不被校準部遮擋住。
(6)一種計量檢測設備，其特征在于具有如上述(1)至(5)項中任何一項所述的放大攝像設備；對由所述放大攝像設備輸出的圖像，以及對所述圖像實施計量檢測用的計量檢測指令一覽表實施顯示用的圖像顯示設備；對所述計量檢測指令一覽表中的計量檢測指令實施選擇，并且對顯示在所述圖像顯示設備上的圖像中的任意點實施指定用的指定設備；
以及依據顯示在所述圖像顯示設備上的圖像放大倍率，通過所述指定設備選擇出的計量檢測指令，以及圖像上的指定點實施運算，并且將運算結果顯示在所述圖像顯示設備上用的處理設備。
如果采用這種構成形式，還可以將由放大攝像設備攝像獲得的計量檢測對象物圖像顯示在圖像顯示設備上，而且可以利用指定設備對計量檢測指令實施選擇，對圖像上的任意點實施指定，并且還可以將與圖像放大倍率相對應的運算結果，顯示在圖像顯示設備上。因此，可以在畫面上對計量檢測對象物實施放大計量檢測。
(7)一種計量檢測設備，其特征在于具有由配置在呈凹入形狀的底面大體中央部處的、可朝向下側方向實施放大攝像處理的放大攝像部，以及對由所述放大攝像部攝像獲得的圖像實施輸出處理用的圖像輸出部構成的，可以移動且可以自行站立并對位于下側方向的計量檢測對象物實施攝像處理用的攝像設備；對由所述攝像設備輸出的圖像，以及可實施計量檢測的指令一覽表實施顯示用的圖像顯示設備；對所述計量檢測指令一覽表中的計量檢測指令實施選擇，并且對顯示在所述圖像顯示設備上的圖像中的任意點實施指定用的指定設備；以及依據通過所述指定設備選擇出的計量檢測指令，以及圖像上的指定點實施相應運算，并且將運算結果顯示在所述圖像顯示設備上用的計量檢測處理設備。
如果采用這種構成形式，還可以利用可以自行站立并對位于下側方向的計量檢測對象物實施攝像處理的攝像設備，對計量檢測對象物實施放大攝像處理，并且將其圖像顯示在圖像顯示設備上。而且，當對顯示在圖像顯示設備上的計量檢測指令一覽表中的計量檢測指令實施了選擇，并且對圖像上的任意點實施了指定時，計量檢測處理設備還可以依據計量檢測指令，以及圖像上的指定點實施相應的運算，并且將運算結果顯示在圖像顯示設備上。因此，檢查者在使用根據本發明構造的計量檢測設備時，可以對位于制造生產線上的印刷電路基板在保持原位的狀態下實施檢查。而且，還可以一邊對顯示在圖像顯示設備上的計量檢測對象物圖像實施確認，一邊實施計量檢測。因此，可以在短時間里方便地實施不會象在先技術那樣使眼睛感到疲勞的檢查操作，從而能夠大幅度地提高檢查效率。
(8)而且，這種計量檢測設備還可以進一步使所述放大攝像部能夠對攝像倍率實施切換。
如果采用這種構成形式，還可以對放大攝像部的攝像倍率實施切換，進而對計量檢測對象物的圖像實施攝像處理。因此，可以在與計量檢測對象物的位置相吻合時實施計量檢測，并可以對實施倍率切換后的圖像實施確認，所以可以實施平滑穩定的檢查。而且，可以在對計量檢測對象物實施計量檢測時，將適當大小的圖像顯示在圖像顯示設備上，所以還可以容易地對所需要的測定點實施指定操作。
(9)而且，這種計量檢測設備還可以進一步使所述攝像設備具有對位于底部方向的計量檢測對象物實施光束照射用的照明部。
如果采用這種構成形式，還可以利用照明部將光束照射在位于底部方向處的計量檢測對象物處，并利用放大攝像部實施攝像處理。因此，可以將色彩鮮明的圖像顯示在圖像顯示設備上，所以可以進一步減輕檢查者的眼睛疲勞程度。
(10)一種計量檢測程序，其特征在于可以使與所述(1)至(9)項中任何一項所述的放大攝像設備相連接的計算機具有
作為對由所述放大攝像設備輸出的圖像，以及對所述圖像實施計量檢測用的計量檢測指令一覽表實施顯示用的顯示組件的功能；作為對所述計量檢測指令一覽表中的計量檢測指令實施選擇，并且對顯示在所述圖像顯示設備上的圖像中的任意點實施指定用的指示組件的功能；作為依據由所述放大攝像設備輸出的圖像放大倍率，由所述計量檢測指令一覽表中選擇出的計量檢測指令，以及圖像上的指定點實施運算，并且對運算結果實施顯示用的處理組件的功能；作為對所述運算結果實施儲存用的儲存組件的功能；以及作為將所儲存的運算結果輸出至其它程序處理組件處用的輸出組件的功能。
如果采用這種構成形式，還可以依據計量檢測指令、在圖像上指定的任意點和圖像放大倍率實施相應的運算，并且將運算結果顯示在圖像顯示設備上，同時還可以將運算結果輸出至其它程序處理組件中。因此，還可以利用其它程序處理組件對運算結果實施加工，從而進一步提高數據的使用價值。
如果采用本發明，可以獲得如下所述的技術效果。
(1)攝像設備可以將由斜上方和側方向發射出的、實施過光量調整的光束照射在計量檢測對象物處，所以可以使計量檢測對象物上的每個表面呈不同的明暗程度，進而可以輸出與計量檢測對象物相關的、具有立體感的放大圖像。而且，放大攝像設備的構成形式使其可以搭載在計量檢測對象物之上，所以可以方便地將其移動至攝像位置。
(2)通過相對于計量檢測對象物調整由斜上方照射的光束光量和由側方向照射的光束光量的方式，還可以由圖像顯示設備輸出容易實施確認的、呈立體形式的圖像。
(3)還可以將下側框架部件螺紋安裝在把手部處，并且可以通過轉動把手部的方式使下側框架部件產生相對伸縮運動。由于可以通過這種伸縮移動對焦點位置實施細微調整，所以可以輸出不會產生重影的清晰圖像。而且，可以采用透明材料制作下側框架部件，所以當對計量檢測對象物實施攝像處理時，可以由外部容易地對目標位置實施確認。而且，還可以使收裝部件用的上側框架部件和下側框架部件分離設置，所以可以相應于計量檢測對象物的種類對下側框架部件實施更換，從而還可以按照與計量檢測對象物相適應的方式實施攝像處理。
(4)上側框架部件和下側框架部件還可以通過溝槽部和波起部實現滑動嵌合，所以當轉動把手部時，可以防止下側框架部件隨之產生轉動，而僅使其能夠沿伸縮方向移動。
(5)在對計量檢測對象物實施攝像處理時，可以可靠的設定目標位置。而且在對所述計量檢測對象物實施攝像處理時，還可以按照不使由側向照明部發射出的光束受到校準部遮擋的方式實施攝像處理。
(6)可以將由放大攝像設備攝像獲得的計量檢測對象物圖像顯示在圖像顯示設備上，并且可以利用指定設備對計量檢測指令實施選擇，對圖像上的任意點實施指定，并且可以將與圖像放大倍率相對應的運算結果，顯示在圖像顯示設備上。采用這種方式，還可以在畫面上對計量檢測對象物實施放大和計量檢測。
(7)檢查者在使用根據本發明構造的計量檢測設備時，可以一邊對顯示在圖像顯示設備上的計量檢測對象物圖像實施確認，一邊實施計量檢測，所以可以在短時間里方便地實施檢查，而不會象在先技術那樣使眼睛疲勞，因此能夠大幅度地提高檢查效率。
(8)可以在與計量檢測對象物的位置相吻合時實施計量檢測，并且可以對實施倍率切換后的圖像實施確認，所以可以平滑穩定地實施檢查。
(9)在對計量檢測對象物實施計量檢測時，可以將適當大小的圖像顯示在圖像顯示設備上，所以可以容易地確定所需要測定的點。而且，還可以將色彩鮮明的圖像顯示在圖像顯示設備上，所以可以進一步減輕檢查者的眼睛疲勞程度。
(10)可以依據計量檢測指令、在圖像上指定的任意點和圖像放大倍率實施運算，并且將運算結果顯示在圖像顯示設備上，同時還可以將運算結果輸出至其它程序處理組件中。采用這種構成形式，還可以利用其它程序處理組件對運算結果實施加工處理，從而可以進一步提高數據的使用價值。


圖1為表示作為本發明實施例的一種計量檢測設備大體構成形式用的方框圖。
圖2(A)，圖2(B)為表示該計量檢測設備大體構成形式用的立體圖。
圖3(A)，圖3(B)為表示顯示在該計量檢測設備中的顯示設備處的一個顯示畫面實例用的示意圖。
圖4為說明使用作為本發明實施例的計量檢測設備對計量檢測對象物實施計量檢測的過程用的流程圖。
圖5為表示作為本發明實施例的一種計量檢測設備大體構成形式用的方框圖。
圖6(A)，圖6(B)為攝像設備的主視圖和剖面圖。
圖7(A)，圖7(B)為表示一種計量檢測設備大體構成形式用的立體圖。
圖8(A)，圖8(B)為表示計量檢測設備中的計量檢測程序用的一個顯示畫面實例用的示意圖。
圖9(A)，圖9(B)為表示計量檢測設備依據計量檢測指令對計量檢測對象物實施計量檢測時，顯示在顯示設備上的一個顯示畫面實例用的示意圖。
圖10(A)，圖10(B)為表示輸出至表格計算軟件處的數據的示意圖。
具體實施例方式圖1為表示作為本發明實施例的一種計量檢測設備大體構成形式用的方框圖。這種計量檢測設備1可以由攝像設備2，作為計量檢測處理設備的處理設備3，作為圖像顯示設備的顯示設備4，以及指定設備5構成。
攝像設備2可以具有由放大部11、攝像部12和倍率調整部13構成的放大攝像部10，照明部14，光量調整部15，操作部16和信號輸入輸出部17。放大部11用于按預定倍率對計量檢測對象物實施放大處理，并且可以采用諸如光學透鏡等構成。攝像部12用于對由放大部11實施放大處理后的計量檢測對象物的圖像實施攝像處理。倍率調整部13用于對由放大部11實施放大處理用的計量檢測對象物倍率實施切換。照明部14用于將光束照射至由攝像部12實施攝像處理的計量檢測對象物處。光量調整部15用于對照明部14照射至計量檢測對象物處的照射光量實施調整。使用者可以利用操作部16對攝像設備2的放大倍率和照明光量實施調整。信號輸入輸出部17用于將由攝像部12攝像獲得的、與計量檢測對象物相關的圖像數據輸出至處理設備3處，并且將處理設備3輸出的倍率調整信號傳送至倍率調整部13，將光量調整信號傳送至光量調整部15。
處理設備3可以具有信號輸入輸出部21、控制部22、計量檢測部23、圖像處理部24和圖像輸出部25。信號輸入輸出部21用于對由攝像設備2和指定設備5給出的信號實施輸入，并且將倍率調整部13或照明部14用的調整信號輸出至攝像設備2。控制部22用于對處理設備3中的各部分實施控制。計量檢測部23用于在顯示設備4顯示出的計量檢測對象物圖像上，響應指定設備5給出的指定點和計量檢測指令實施計量檢測。圖像處理部24用于將攝像設備2攝像獲得的計量檢測對象物圖像，變換為能夠在顯示設備4上實施顯示的圖像數據。圖像輸出部25用于對圖像處理部24處理過的圖像數據實施輸出。
顯示設備4可以具有圖像輸入部31和顯示部32。圖像輸入部31用于對由處理設備3輸出的圖像數據實施讀取。顯示部32用于對可供計量檢測設備1實施的計量檢測指令實施顯示，并且對由攝像設備2攝像獲得的有關計量檢測對象物的圖像數據實施顯示。
指定設備5用于對顯示在顯示設備4上的、表示計量檢測對象物用的圖像上的任意點實施指定，并且用于對顯示在顯示部32處的計量檢測指令實施選擇。
攝像設備2中的放大部11可以通過倍率調整部13，(1)在若干個彼此不同的固定倍率間實施切換，(2)在由預定倍率至另一預定倍率間按所需任意倍率實施切換。對于采用方案(1)的場合，可以在低倍率和高倍率之間進行切換，所以可以在調整計量檢測位置時將低倍率圖像顯示在顯示設備4上，在實施計量檢測時將高倍率圖像顯示在顯示設備4上，從而可以在平滑穩定的狀態下實施檢測。對于采用方案(2)的場合，可以將放大至所需任意倍率的圖像顯示在圖像顯示設備4上，從而可以按照使用者所希望的倍率實施計量檢測。
下面對計量檢測設備1的一種具體構成形式進行說明。圖2(A)，圖2(B)為表示這種計量檢測設備大體構成形式用的立體圖。攝像設備2的底部可以呈凹入的形狀(拱形或門字形)。放大部11按照能夠對攝像設備2的底部方向實施攝像處理的方式，配置在該底部的大體中央部處。因此，攝像設備2可以自行站立并實施攝像處理。在攝像設備2的側面處還配置有操作部16。攝像設備2可以呈人手容易把持的大小，并且可以通過纜線與處理設備3相連接。
如果舉例來說，可以利用便攜式計算機6，構成本發明使用的處理設備3、顯示設備4和指定設備5。對于采用便攜式計算機6的場合，可以利用便攜式計算機6的主體作為處理設備3，利用便攜式計算機6上的液晶顯示部作為顯示設備4，并且利用便攜式計算機6上的鍵盤和觸敏板作為指定設備5。而且，也可以采用桌面式計算機構成本發明使用的處理設備3、顯示設備4和指定設備5。對于采用桌面式計算機的場合，可以利用計算機主體作為處理設備3，利用其監視設備作為顯示設備4，并且利用其鍵盤和鼠標作為指定設備5。
對于可以在攝像設備2上的信號輸入輸出部17與處理設備3上的信號輸入輸出部21之間實施數字信號傳遞的場合，還可以采用諸如RS-232C、USB、IEEE 1394等規格的輸入輸出接口。對于采用這種構成形式的場合，可以在信號輸入輸出部17處設置對圖像數據實施模擬/數字(A/D)變換用的組件，在信號輸入輸出部21處設置實施數字/模擬(D/A)變換用的組件。而且，對于采用這種輸入輸出接口的場合，還可以通過纜線向攝像設備2實施電源供給。
對于在攝像設備2上的信號輸入輸出部17與處理設備3上的信號輸入輸出部21之間實施模擬信號傳遞的場合，可以在信號輸入輸出部17和信號輸入輸出部21處設置視頻信號接口，并且通過視頻纜線對兩者實施連接。對于采用這種構成形式的場合，可以通過其它途徑向攝像設備2實施電源供給。
在利用計量檢測設備1對計量檢測對象物實施計量檢測時，可以將計量檢測對象物放置在諸如工作臺面等的水平面上，并且將計量檢測對象物設置在攝像設備2中的放大部11的下部處。換句話說就是，對于如圖2(A)所示的、計量檢測對象物的尺寸比攝像設備2的底部大的場合，可以將攝像設備2搭載在計量檢測對象物之上進行計量檢測。而且，對于如圖2(B)所示的、計量檢測對象物的尺寸比攝像設備2的底部小的場合，可以將計量檢測對象物配置在位于攝像設備2上的放大部11的下部處的、呈拱形或門字形的凹入空間內進行計量檢測。
按照如上所述的構成方式，攝像設備2可以對放大倍率實施變更，所以當將攝像設備2搭載在計量檢測對象物上時，可以在低倍率條件下實施攝像，并通過在顯示設備上觀察圖像的方式對計量檢測位置實施調整，而且可以在位置調整結束時將放大倍率切換至高倍率狀態，因此能夠高效率地對計量檢測對象物實施計量檢測。
攝像設備2還如圖2(A)，圖2(B)所示，能夠容易地實施移動，而且當按照如上所述的方式使用便攜式計算機6時，還可以在不會受到計量檢測對象物的尺寸和計量檢測場所影響的條件下，對計量檢測對象物實施計量檢測。因此，不再需要將計量檢測對象物搭載在象在先技術那樣的工作臺面上，通過顯微鏡對其實施觀察和計量檢測，所以可以高效率地對計量檢測對象物實施計量檢測。
下面對顯示在計量檢測設備1的顯示設備4處的顯示圖像實例進行說明。圖3(A)，圖3(B)為表示顯示在這種計量檢測設備中的顯示設備處的一個顯示畫面實例用的示意圖。而且，對于圖3(A)，圖3(B)表示的、對印刷電路基板上的兩點間距離實施計量檢測的場合，當對工具條上的計量檢測指令按鈕實施點取操作時，可以顯示出能夠由計量檢測設備1實施的計量檢測項目。通過對顯示在顯示設備4中的工具條上的倍率指令按鈕和明暗指令按鈕實施點取操作的方式，還可以通過處理設備3對攝像設備2的放大倍率和照明光量實施調整。
利用計量檢測設備1對計量檢測對象物實施的計量檢測，可以按照下述的順序實施。圖4為說明使用作為本發明實施例的計量檢測設備對計量檢測對象物實施計量檢測過程用的流程圖。可以首先操作攝像設備2上的操作部16或指定設備5，將攝像設備2的放大倍率設定為低倍率(步驟1)。將攝像設備2搭載在計量檢測對象物之上，并且對計量檢測位置實施調整(步驟2)。
隨后，對攝像設備2上的操作部16或指定設備5再次實施操作，將攝像設備2的放大倍率設定為高倍率(步驟3)。在這時，確認待計量檢測的對象物位置是否位于攝像位置處(步驟4)。對于攝像位置與待計量檢測位置不同的場合，實施進一步的細微調整(步驟5)。
處理設備3上的控制部22在選擇確定出計量檢測指令之前，一直處于待機狀態，對于細微調整結束，由步驟4確認攝像位置與待計量檢測的位置吻合的場合，再次操作指定設備5，對顯示在顯示設備4上的計量檢測指令實施選擇操作(步驟6)。控制部22按照能夠對圖像上計量檢測對象物的計量檢測點實施指定的方式，對圖像處理部24發出指示，并且將其顯示在顯示部32上(步驟7)。
檢查者可以依據顯示部32顯示出的指示，對所需要的若干個任意點實施點取處理(步驟8)。控制部22將與選擇出的計量檢測指令相關的信息、與圖像上指定點相關的信息、與攝像設備2的放大倍率相關的信息，傳送至計量檢測部23處。計量檢測部23依據所接收到的信息實施運算，并且將運算結果傳送至控制部22(步驟9)。
控制部22將所接收到的運算結果傳遞至圖像處理部24處，圖像處理部24將所接收到的運算結果變換為能夠在顯示設備4上實施顯示的文字。隨后，將表示運算結果的文字數據傳送至顯示設備4，并顯示在顯示設備4上(步驟10)。采用這種方式，重復實施如上所述的各步驟，便可以對若干個位置實施計量檢測。
下面以對所需任意兩點間的距離實施計量檢測的場合為例，對依據如上所述的各步驟實施計量檢測的一個具體實例進行說明。直至步驟5處的處理方式與所說明過的場合相同，所以在這兒省略了對它們的詳細說明，下面僅對步驟6之后的處理方式進行說明。在結束攝像設備2相對于計量檢測對象物的攝像位置調整之后，檢查者可以利用作為指定設備5的鼠標，對工具條上的計量檢測指令按鈕實施點取操作，以顯示出計量檢測指令一覽表。隨后，對兩點間距離實施計量檢測的指令實施選擇(點取)(步驟6)。
處理設備3上的控制部22向圖像處理部24發出指令，將表示諸如“對實施計量檢測用的兩點實施選取”的內容，顯示在顯示設備4的顯示部32上的畫面中(步驟7)。檢查者可以依據這一指示，對任意一點實施點取，進而對另一點實施點取(步驟8)。在顯示部32的顯示畫面上，可以將被點取的點標記為×，并且在標記×的附近位置處標記出點取的序號。
在這時，控制部22可以通過信號輸入部21，獲得由指定設備5給出的操作信號，對該信號實施處理并傳送至圖像處理部24，并且可以將指定設備5中的操作動作顯示在顯示設備4上，由計量檢測部23運行所選擇出的計量檢測指令。計量檢測部23可以依據攝像設備2的放大倍率數據，以及點取出的兩點位置數據實施運算(步驟9)。隨后，計量檢測部23可以將作為運算結果的兩點間距離數據傳送至控制部22。控制部22再將該兩點間距離數據傳送至圖像處理部24，由圖像處理部24將該兩點間距離數據變換成能夠由顯示設備4實施顯示的文字，并且將表示該兩點間距離用的文字數據傳送至顯示設備4。顯示設備4在顯示部32上的預定位置處，按照諸如“點1-點2間的距離30微米(μm)”的方式，對所接收到的、表示兩點間距離的文字數據和指令實施顯示。
而且不言而喻，對于對由任意三點確定的圓的半徑實施計量檢測的場合，也可以按照完全類似的方式，對半徑計量檢測指令實施選擇指定，并且按照能夠對三個點實施指定的方式在顯示設備4上顯示出相應的指示顯示，所以還可以依據該指示對三個點實施指定，進而對圓的半徑實施計量檢測。
而且，這種計量檢測設備1不僅可以按照如前所述的方式，對(1)兩點間的距離和(2)圓的半徑實施計量檢測，而且還可以實施如下所述的各種計量檢測(3)由任意三個點確定的頂點角度，(4)由任意兩個點確定的直線，與由另外兩個點確定的直線間的交點角度，(5)由任意三個點確定的圓中心坐標，與由另外三個點確定的圓中心坐標間的圓心距離，(6)由任意兩個點確定的直線，相對于由另外一點確定的垂直線的長度，(7)由任意兩個點確定的直線，相對于由另外一點確定的平行線間的距離，(8)由兩條X軸、兩條Y軸共四條坐標軸線包圍起來的四邊形的橫向距離(X)、縱向距離(Y)、對角線距離(D)，(9)由任意點圍起來的區域(圓、多邊形)的面積等。而且，這些計量檢測指令和運算程序均可以預先設定在控制部22處，從而使計量檢測設備1的使用者可以容易地利用這些計量檢測指令。
圖5為表示作為本發明實施例的一種計量檢測設備大體構成形式用的方框圖。與如圖1所示的、作為本發明第一實施例的計量檢測設備中相同的部分，已經由相同的參考標號表示，并且省略了對它們的詳細說明。這種計量檢測設備1可以由攝像設備2，處理設備3，圖像顯示設備4以及指定設備5構成。
攝像設備2可以具有放大部11，攝像部12，倍率調整部13，照明部14，光量調整部15，操作部16和信號輸出部18。攝像部12可以由電荷耦合型(CCD)攝像機等構成。信號輸出部18用于將攝像部12攝像獲得的計量檢測對象物圖像數據，傳送至處理設備3處。
本發明使用的攝像設備2可以具有兩個照明系統。換句話說就是，照明部14可以具有由計量檢測對象物的斜上方實施照明的上方照明部14a，以及由計量檢測對象物的側方向實施照明的側向照明部14b。相應的，光量調整部15可以由對上方照明部14a的光量實施調整用的上方光量調整部15a，以及對側向照明部14b的光量實施調整用的側向光量調整部15b構成。可以通過操作部16，分別實施對上方照明部14a和側向照明部14b的光量調整，以及點燃、熄滅等的操作。
處理設備3可以具有信號輸入部21、控制部22、儲存部26、圖像處理部24和圖像輸出部25。信號輸入部21用于對由攝像設備2和指定設備5給出的信號實施輸入。控制部22用于對計量檢測處理設備3中的各部分實施控制，并且用于實施各種運算處理(包括計量檢測處理)。在實施計量檢測處理時，為了能夠對顯示在顯示設備4上的計量檢測對象物圖像實施預定的計量檢測，可以依據使用者對指定設備5實施操作所確定的計量檢測指令，在圖像上指示出的計量檢測點，以及圖像的顯示倍率(放大倍率)等實施運算，進而實施相應的處理。
儲存部26用于對實施所述運算處理用的計量檢測程序，以及其它程序實施儲存。而且，還可以用于對通過計量檢測程序獲取到的計量檢測數據和由攝像設備2輸出的圖像數據實施儲存。圖像處理部24可以將攝像設備2攝像獲得的計量檢測對象物圖像，變換為能夠由顯示設備4實施顯示的圖像數據。而且，可以通過對指定設備5實施的操作，實施諸如將移動著的光標圖像等合成在計量檢測對象物圖像上等的處理。
圖像顯示設備4可以具有圖像輸入部31和顯示部32。圖像輸入部31用于對由計量檢測處理設備3輸出的圖像數據實施讀取，并將其輸出至顯示部32。
指定設備5可以利用光標，對顯示在顯示設備4上的、位于計量檢測對象物圖像中的任意點實施指定，并且可以對顯示在顯示部32處的計量檢測指令實施選擇。
攝像設備2中的放大部11與第一實施例相類似，可以通過倍率調整部13，(1)在若干個彼此不同的固定倍率間實施切換，(2)在由預定倍率至另一預定倍率間按所需任意倍率實施切換。
下面依據圖6(A)，圖6(B)，對攝像設備2的一種具體構成形式進行說明。圖6(A)，圖6(B)為表示攝像設備用的主視圖和剖面圖。正如圖6(A)，圖6(B)所示，攝像設備2的外形可以呈能夠自行站立的圓柱形，從而可以搭載在計量檢測對象物上，沿底面方向對放大了的計量檢測對象物實施攝像處理。攝像設備2可以呈人手容易把持的大小(比如說可以呈飲料罐的大小)。在攝像設備2的側面處，還設置有配置在操作部16處的倍率操作部46、上方光量操作部47a、側向光量操作部47b，在一個實施例中它們可以均呈撥號盤形式，從而還可以通過對各操作部實施的轉動操作，將放大倍率和光量調整至所需要的任意值。
在位于攝像設備2上的、呈圓筒形狀的主殼體41的大體中心位置處，還安裝著電荷耦合型(CCD)攝像機52和放大縮小透鏡55。當將攝像設備2呈自行站立形式設置在計量檢測對象物之上時，可以沿大體垂直方向對位于底面側位置處的對象物實施攝像處理。在作為上側框架部件的主殼體41前端部(底面側)處，還以可轉動方式安裝著作為環狀把手部的聚焦組件45。在聚焦組件45處形成有螺紋部，從而可以與位于由諸如丙稀樹脂等透明樹脂制作的、呈圓筒形的外罩部件43上側端部處的螺紋部間實施螺紋結合。在作為下側框架部件的外罩部件43處，還按照預定間隔形成有若干個呈拱形的切口部43a，從而在將攝像設備2呈自行站立形式設置在計量檢測對象物之上時，可以由外罩部件43的外部對計量檢測對象物上的計量檢測位置實施確認。而且，在聚焦組件45處還可以按照等間隔的形式形成有八個突起部。
通過轉動聚焦組件45的方式，可以改變外罩部件43與主殼體41間的相對位置，從而使攝像設備2產生伸縮移動。采用這種方式，可以改變放大縮小透鏡55的前端部與底面間的距離，從而在對計量檢測對象物實施攝像處理時，可以對焦點實施調整。如果舉例來說，當聚焦組件45轉動過一圈時，與主殼體41間的相對位置可以改變大約一毫米(mm)。
在主殼體41的下側部分處，還可以沿外罩部件43的伸縮方向形成凸緣部(波起部)，并且可以在外罩部件43處形成槽縫部(溝槽部)。這種凸緣部和槽縫部間呈滑動嵌合形式，從而當轉動聚焦組件45時，還可以防止外罩部件43產生相應轉動，而僅使其能夠沿伸縮方向移動。而且，為了在對轉動聚焦組件45實施焦點調整時，可以對外罩部件43實施擠壓固定，還可以在外罩部件43上的前端部(底面側)外側部分處，形成具有預定寬度的凸起部(凸緣)43b。
在外罩部件43上的前端部(底面側)處，還以可拆裝方式安裝著外罩部件校準板44，該外罩部件校準板44用于按照能夠對計量檢測對象物上的目標位置實施攝像處理的方式，對攝像設備2實施搭載處理。這種外罩部件校準板44可以呈圓盤形狀，在表面處粘貼有防止劃傷被計量檢測對象物用的薄膜(比如說可以采用注冊商標為“テフロン”的薄膜)，而且在大體中央位置處還形成有具有預定孔徑的貫穿孔44a。如果舉例來說，在孔44a的周圍位置處還可以形成有呈扇形的若干個孔44b，以便能夠方便地對對象物上的其它部分實施確認。而且，在外罩部件校準板44上的孔44a的周圍位置處，還可以按照當由側向照明部14b向計量檢測對象物實施光束照射時，不會對光束產生遮光的預定角度實施傾斜切割處理。換句話說就是，可以使其形成為研磨杯體形狀。
而且，外罩部件校準板44可以按照上述方式實施拆裝，當未安裝有外罩部件校準板44時，也可以實施攝像處理。而且，還可以采用其它形狀的外罩部件校準板，替換這種外罩部件校準板44。如果舉例來說，還可以將可動式外罩部件校準板安裝在校準部處，從而呈在使用校準部和不使用校準部的狀態下，均不能取下外罩部件校準板44的構成形式。
而且，還可以取下外罩部件43，并將其更換為呈其它形狀的外罩部件。采用這種構成方式，還可以相應于計量檢測對象物的種類對下部殼體實施更換，以實施與計量檢測對象物相適應的攝像處理。
如果舉例來說，攝像設備2可以在50倍～400倍間實施連續的倍率變換，并且可以呈容易將放大倍率設定、切換至50倍、100倍、200倍和400倍的構成形式。而且，還可以在放大縮小透鏡55的前端部處進一步安裝有透鏡組件，以便能夠在125倍～1000倍間實施倍率變換。
攝像設備2對計量檢測對象物實施光束照射用的照明部，可以具有如前所述的兩個照明系統。正如圖6(A)，圖6(B)所示，上方照明部14a可以由位于放大縮小透鏡55前端部附近處的、按預定間隔呈圓形配置著的若干個高輝度白色發光二極管(LED)構成。上方照明部14a可以對于位于底面側中央位置處的對象物，按照與底面成預定角度θ1的方式實施光束照射。側向照明部14b可以由位于外罩部件43內側底面附近位置處的、按預定間隔呈圓形配置著的若干個高輝度白色發光二極管(LED)構成。側向照明部14b可以對于位于底面側中央位置處的對象物，按照與底面成預定角度θ2的方式實施光束照射。計量檢測對象物的形狀可能彼此不同，對于計量檢測對象物具有水平面的場合，當角度θ1接近90度時由對象物反射至放大縮小透鏡55處的反射光束比較強，可能會出現暈影。因此，最好將角度θ1設定在60～75度。角度θ2比較大時，將難以獲得對象物的立體感。因此，最好將角度θ2設定在0～15度。在實施檢查時，可以通過對操作部16的操作，分別對上方照明部14a和側向照明部14b的光量實施調整，從而可以使計量檢測對象物上的每個表面呈不同的明暗程度，以便能夠在顯示設備4上顯示出具有立體感的圖像。
還可以采用除白色光束之外的、呈其它顏色的照明光束對計量檢測對象物實施照明。如果舉例來說，還可以采用紅色和綠色光束對計量檢測對象物實施輕松的檢查。而且，還可以采用能夠對攝像設備2中的上方照明部14a和側向照明部14b實施更換的構成形式，從而可以通過用安裝有其它顏色的發光二極管(LED)的基板，對安裝有高輝度白色發光二極管(LED)的印刷電路基板實施更換的方式，使用除了白色光束之外的其它顏色光束對對象物實施照射。
下面對計量檢測設備1的一種具體構成形式進行說明。圖7(A)，圖7(B)為表示計量檢測設備的一種大體構成形式用的立體圖。這種攝像設備2可以如前所述，其外形呈能夠自行站立的圓柱形狀，并且可以通過纜線7與計量檢測處理設備3相連接。
如果舉例來說，可以利用便攜式計算機6，構成本發明的計量檢測處理設備3、圖像顯示設備4和指定設備5。對于采用便攜式計算機6的場合，可以利用便攜式計算機6的主體作為計量檢測處理設備3，利用便攜式計算機6上的液晶顯示部作為圖像顯示設備4，并且利用便攜式計算機6上的鍵盤和觸敏板作為指定設備5。對于連接有鼠標的場合，也可以利用鼠標作為指定設備5。當然，也可以采用桌面式計算機構成本發明的計量檢測處理設備3、圖像顯示設備4和指定設備5。對于采用桌面式計算機的場合，可以利用計算機主體作為計量檢測處理設備3，利用監視設備作為圖像顯示設備4，并且利用鍵盤和鼠標作為指定設備5。
對于如圖5所示的、在攝像設備2上的信號輸出部18與處理設備3上的信號輸入部21之間，可以通過纜線7實施數字信號傳遞的場合，還可以采用諸如RS-232C、USB、IEEE 1394等規格的輸入輸出接口。對于采用這種構成形式的場合，可以在信號輸出部18處設置對圖像數據實施模擬/數字(A/D)變換用的組件，在信號輸入部21處設置實施數字/模擬(D/A)變換用的組件。而且，對于采用這種輸入輸出接口的場合，還可以通過纜線7向攝像設備2實施電源供給。
對于在攝像設備2上的信號輸出部18與處理設備3上的信號輸入部21之間實施模擬信號傳遞的場合，可以在信號輸出部18和信號輸入部21處設置視頻信號接口，并且通過視頻纜線對兩者實施連接。對于采用這種構成形式的場合，可以通過其它途徑向攝像設備2實施電源供給。
在利用計量檢測設備1對計量檢測對象物實施計量檢測時，可以將計量檢測對象物放置在諸如工作臺面等的水平面上，并且可以在位于安裝在攝像設備2上前端部(底面側)處的外罩部件校準板44上的大體中心位置處的孔44a處，按照與將被實施攝像處理的部分實施位置對準的方式，將攝像設備2設置在計量檢測對象物上。換句話說就是，對于如圖7(A)所示的、計量檢測對象物的尺寸比攝像設備2的底部大的場合，可以將攝像設備2搭載在計量檢測對象物之上進行計量檢測。而且，對于如圖7(B)所示的、計量檢測對象物的尺寸比攝像設備2的底部小的場合，可以將計量檢測對象物配置在位于攝像設備2上的外罩部件校準板44之下進行攝像處理。而且，也可以將攝像設備2上的外罩部件校準板44取下，將計量檢測對象物設置在外罩部件43的內側實施攝像處理。
按照如上所述的方式，攝像設備2可以對放大倍率實施變更，所以當將攝像設備2搭載在計量檢測對象物上時，可以在低倍率條件下實施攝像，并且通過在顯示設備上觀察圖像的方式對計量檢測位置實施調整，而且還可以在位置調整結束時將放大倍率切換至高倍率狀態，因此能夠高效率地對計量檢測對象物實施計量檢測。
而且如圖7(A)，圖7(B)所示，可以利用攝像設備2和便攜式計算機6構成這種計量檢測設備1，從而可以方便地移動整個計量檢測設備1。而且，本發明的計量檢測設備1由于可以按照如上所述的方式使用便攜式計算機6，所以不再需要使用專用的處理設備和圖像顯示設備，因此能夠降低成本。
對于僅僅需要對由攝像設備2攝像獲得的圖像數據實施顯示，并且實施圖像確認的場合，還可以采用如下所述的構成形式。使攝像設備2呈輸出模擬信號的構成形式，并且將攝像設備2上的模擬信號輸出插頭，直接與配置有視頻信號輸入端子的、諸如監視設備等的圖像顯示設備4相連接。采用這種構成形式，還可以采用成本低廉的監視設備實施構造，從而還可以獲得一種構成簡單、成本低廉且能夠在高倍率下實施目測檢查的計量檢測設備。
下面對顯示在計量檢測設備1的圖像顯示設備4上的計量檢測程序的一個顯示實例進行說明。圖8(A)，圖8(B)為表示計量檢測設備中的計量檢測程序用的一個顯示畫面實例用的示意圖。這種計量檢測程序可以預先配置在便攜式計算機6中以供運行。
在圖8(A)，圖8(B)中對于攝像獲得的印刷電路基板圖像，是采用可以簡單的對尺寸實施計算的格狀標尺(方框)形式實施顯示的。計量檢測設備1可以按照與攝像設備2的切換倍率相對應的方式，對這些格狀標尺實施切換。如果舉例來說，對于攝像設備2可以在50倍～400倍間實施連續的倍率變換，并且呈容易將放大倍率設定、切換至50倍、100倍、200倍和400倍的構成形式的場合，還可以使圖像顯示設備4能夠容易地對與這四種倍率相對應的格狀標尺實施設定。換句話說就是，作為規定倍率用的格狀標尺，可以呈如圖8(A)所示的、顯示在圖像顯示設備4的顯示部32上的格狀標尺61的形式。而且，也可以呈圖8(B)所示的參考用格狀標尺62的形式。采用這種構成形式，計量檢測設備1還可以通過運行計量檢測程序的方式，即使不使用計量檢測指令也可以簡單地對尺寸和距離等實施計量檢測。
顯示在圖像顯示設備4上的格狀標尺雖然簡單，但多少會有些誤差，然而當利用基準格狀標尺和基準確定用程序對顯示在顯示部32處的格狀標尺實施校正之后，便可以高精度地對尺寸實施計量檢測。如果具體的講就是，可以將計量檢測程序切換至校正模式，將對基準格狀標尺實施攝像獲得的圖像顯示在顯示部32處，并且對基準格狀標尺兩點間的距離實施計量檢測。按照基準格狀標尺上兩點間的距離對計量檢測結果實施校正，并且隨后顯示出修正后的值。在針對格狀標尺實施校正，并且按照下述方式使用計量檢測格狀標尺實施計量檢測之后，便可以對諸如兩點間距離和面積等實施正確的計量檢測。
圖9(A)，圖9(B)為表示計量檢測設備依據計量檢測指令對計量檢測對象物實施計量檢測時，顯示在顯示設備上的一個顯示畫面實例用的示意圖。對于圖9(A)，圖9(B)表示的、對兩點間距離實施計量檢測的場合，當對工具條上的計量檢測指令按鈕實施點取操作時，可以顯示出能夠由計量檢測設備1實施的計量檢測項目。
使用計量檢測設備1對計量檢測對象物實施計量檢測的步驟，與使用如前所述的、作為第一實施例的計量檢測設備，依據圖4說明過的計量檢測步驟相類似。不同點在于在實施計量檢測之前，需要利用基準格狀標尺對畫面上的格狀標尺實施校正處理，以便能夠正確地對計量檢測對象物實施計量檢測。而且，可以利用處理設備3將攝像設備2以自行站立形式設置在計量檢測對象物上，并且利用外罩部件校準板44對計量檢測的位置實施調整。
而且不言而喻，對于對由任意三點確定的圓的半徑實施計量檢測的場合，也可以按照完全類似的方式，對半徑計量檢測指令實施選擇指定，并且按照能夠對三個點實施指定的方式在顯示設備4上顯示出相應的指示顯示，所以還可以依據該指示對三個點實施指定，進而對圓的半徑實施計量檢測。
而且，作為第二實施例的計量檢測設備1與作為第一實施例的計量檢測設備相類似，也可以對諸如對(1)兩點間的距離和(2)圓的半徑等各種各樣的量實施計量檢測。而且，這些計量檢測指令和運算程序均可以預先設定在控制部22處，從而使計量檢測設備1的使用者可以容易地應用這些計量檢測指令。
而且，計量檢測設備1不僅可以利用計量檢測指令對計量檢測對象物實施計量檢測，還可以對對象物的計量檢測數據和圖像數據實施靈活運用。換句話說就是，還可以對計量檢測數據和圖像數據實施累積，并且作為可供表格計算軟件組件使用的數據實施輸出。如果舉例來說，對于同種類型的印刷電路基板，為了能夠對出現的不合格產品和位置偏差實施確認，還可以采用對若干個印刷電路基板上的預定位置實施檢查的方式。圖10(A)，圖10(B)為表示輸出至表格計算軟件組件處的數據用的示意圖。一般說來，可以將圖像粘貼在表格計算軟件中，所以可以如圖10(A)所示，將每個印刷電路基板的圖像數據和計量檢測數據制作成一張表，并且作為表格計算軟件組件用數據實施輸出。而且也可以如圖10(B)所示，對若干個印刷電路基板的計量檢測數據實施累積，并且在實施匯總后作為表格計算軟件組件用數據實施輸出。根據本發明構造的計量檢測設備利用這種功能，還可以利用預先設置在計算機中的表格計算軟件組件，對計量檢測數據實施加工處理。如果舉例來說，還可以方便地求出計量檢測數據的最大值、最小值、平均值、標準偏差等。
而且，由于可以利用便攜式計算機6構成本發明計量檢測設備中的處理設備3和顯示設備4，所以當將這種便攜式計算機與工廠和企業內部的LAN相連接時，還可以將由計量檢測設備獲得的計量檢測數據和通過攝像獲得的圖像數據交由其它計算機使用，從而可以更靈活地應用這些數據。如果舉例來說，質量管理部門的計算機還可以方便地對在檢查現場由本發明的計量檢測設備獲得的、有關計量檢測對象物的計量檢測數據和圖像數據實施確認，并且可以對其實施加工而靈活應用。
在上面的說明中，是以印刷電路基板作為本發明的計量檢測設備用計量檢測對象物為例進行說明的，然而本發明并不僅限于此，本發明還可以應用在各個技術領域中實施放大計量檢測。如果舉例來說，在對諸如液晶顯示設備、等離子顯示設備、屏蔽光刻掩膜加工設備、引線框架加工設備等的設備實施精細加工時，均可以利用本發明提供的計量檢測設備容易地實施目測檢查和計量檢測。
權利要求
1.一種計量檢測設備，其特征在于具有由配置在呈凹入形狀的底面大體中央部處的、可朝向下側方向實施放大攝像處理的放大攝像部，以及對由所述放大攝像部攝像獲得的圖像實施輸出處理用的圖像輸出部構成的，可以移動且可以自行站立并對位于下側方向的計量檢測對象物實施攝像處理用的放大攝像設備；對由所述放大攝像設備輸出的圖像，以及可實施計量檢測的指令一覽表實施顯示用的圖像顯示設備；對所述計量檢測指令一覽表中的計量檢測指令實施選擇，并且對顯示在所述圖像顯示設備上的圖像中的任意點實施指定用的指定設備；以及依據通過所述指定設備選擇出的計量檢測指令，以及圖像上的指定點實施相應運算，并且將運算結果顯示在所述圖像顯示設備上用的計量檢測處理設備。
2.如權利要求1所述的計量檢測設備，其特征在于所述放大攝像部對攝像倍率可以實施切換。
3.如權利要求1所述的計量檢測設備，其特征在于所述攝像設備還具有對位于底部方向的計量檢測對象物實施光束照射用的照明部。
全文摘要
本發明涉及一種放大攝像設備和計量檢測設備以及計量檢測程序。對于印刷電路基板等需實施放大檢查的對象物，可在不使檢查者感到疲勞的短時間內容易地實施計量檢測的計量檢測設備。該計量檢測設備(1)由攝像設備(2)、處理設備(3)、顯示設備(4)和指定設備(5)構成。利用可移動且可自行站立并對位于底部方向處的計量檢測對象物實施攝像處理用的攝像設備(2)，對計量檢測對象物實施放大攝像，并將所獲得的計量檢測對象物圖像顯示在顯示設備(4)上。通過對指定設備(5)的操作，通過顯示在顯示設備(4)上的計量檢測指令一覽表對計量檢測指令實施選擇，并對圖像上的任意點實施指定。可利用處理設備(3)依計量檢測指令和圖像上的指定點實施相應運算，且將結果顯示在顯示設備(4)上。
文檔編號G06T1/00GK1715830SQ20051008512
公開日2006年1月4日 申請日期2002年10月11日 優先權日2001年10月12日
發明者赤瀨川勝雄 申請人:日本雅克亞株式會社