專利名稱：報警管理方法及其設備的制作方法
技術領域：
本發明涉及對由要管理的設備產生的報警信號進行統計并管理報警的方法和設備。要管理的實例設備是用于制造或檢驗半導體的半導體制造設備、用于制造或檢驗液晶顯示器的液晶顯示器制造設備，或者是用在這些設備上的離子束輻照設備。
背景技術：
對于管理由要管理的設備產生的報警信號，在相關技術中，將產生報警的案例簡單地加到各個報警中，或者是制作一個所謂的最壞情況表單，在此表單中，從數量最大的案例開始，依次列出各個報警；或者是繪制一個分析圖，例如百分比圖或排列圖(Pareto chart)。
此外，在產生報警的情況下，作為指定或提取用于統計的數據的篩選方法，通常，已經實施過了按日期和時間范圍來進行的篩選。作為另一個方法，也已經提出了用塊ID(lot ID，塊標識信息)的技術以進行篩選(見日本專利JP-A-6-332910中第0008和0012段，圖1)。
在相關技術的報警管理技術中有如下兩個問題(1)和(2)。
(1)獲得報警統計的方式與目的不相匹配。
進行報警統計的目的主要是要用該統計來改進管理設備的使用效率。由于使用效率的降低而引起的各種問題、故障和缺陷皆被設備的用戶或供應商認為是一個報警。用戶或供應商分析報警統計，并從看來是最重要的問題開始為各種情況制定應對措施，以便改進設備的使用效率。因此，報警統計必須盡可能準確地反映每個報警對該設備使用效率的影響。
然而，由于在每個報警案例中，相關技術的報警統計并未示出受到影響的程度，因此，通常得出的結論“最頻繁產生的報警就是最重要的報警”往往是不正確的。下面給出了這樣的一個例子。
假設，在一段特定的時間內，實例報警標識ID為1001的一個特定報警的案例數為20，并且在產生此報警時設備的平均停機時間為1小時；與此同時，產生另一個實例報警標識ID為3050的報警的案例數為5，而且在產生此報警時設備的平均停機時間為10小時。根據相關技術的報警統計，報警標識ID為1001的報警的重要程度被認為是后者的四倍。然而，在這段特定的時間內，在產生報警標識ID為1001的報警和報警標識ID為3050的報警時，因為設備的停機時數分別為20小時和50小時，所以，從有關要管理的設備的使用效率受到影響的程度來看，報警標識ID為3050的報警的重要程度是報警標識ID為1001的報警的重要程度的2.5倍。
在此例中，對為改進要管理的設備的使用效率而進行的報警統計分析作了說明。然而，還可以考慮其它的目的，例如，減少要管理的設備的維修費用，減少維修人員執行的操作步驟。有一個適當的方法可根據這些目的來評價影響將會是有用的；然而，用于制作報警統計的相關技術報警管理方法卻不能進行這樣的評價處理。
(2)報警統計不能用來尋求產生報警的原因。
與相關技術報警管理技術有關的另一個問題是將報警統計與代表要管理的設備的狀態的設備數據聯系(配對)起來的功能而引起的。如果產生了一個應對其采取措施的重要報警，這并不自動地表示報警統計所起的作用已經完成。盡管理想的是期望用報警統計來指出報警產生背后的原因，但是，并沒有不適當地提出要使用相關技術的報警統計，因為報警數據與設備數據之間的聯系不能令人滿意。
在日本專利JP-A-6-332910中揭示的一個方法與此觀點相關，即用塊ID來篩選報警，但此法也不能令人滿意。盡管塊ID與多個設備數據集是相互關聯的，但是，這些塊ID并非總是唯一地與這些設備數據集相配對。這就是說，即使是有一個對應的塊ID，設備的操作參數也并非總是與處理相應的塊時相同。更具體地說，即使在根據塊ID能夠指定用于處理一個特定塊的處理條件的處理處方(recipe)的情況下，也要根據多個設備操作參數(可被視為設備數據)來提供處理處方。這樣，即使在這些操作參數中有幾個看起來是某個報警產生的部分原因，但在不同的處理處方中，這些參數可能具有相同的數值。因此，使用塊ID的每個處理處方的篩選方法太不準確，并且難于指定會引起報警產生的操作參數。
發明內容
因此，本發明的目的之一就是要能夠根據一個目的來評價每個報警受到影響的程度。本發明的另一個目的是要能夠容易地找出產生報警的原因。
根據本發明的第一個方面，一種報警管理方法包括為由要管理的設備產生的每個報警提供一種或多種加權系數；將各種加權系數相乘，以得到每個報警的總加權系數；將總加權系數與“1”相乘，得到每個報警的加權案例數，“1”代表每個報警產生一次的案例數；以及將各個報警的加權案例數相加，以便進行報警產生案例的加權數的統計。
將各個報警的加權案例數相加，以便進行報警產生案例加權數的統計。
根據此報警管理方法，由于能夠為由要管理的設備產生的每個報警提供與一個目的一致的加權系數，因此，使用報警產生案例的加權數的統計，能根據此目的來評價每個報警受到影響的程度。
在報警管理方法的第一方面，根據報警管理方法的第二方面，一種或多種加權系數可以包括由用戶指定的、作為每個報警類型固有值的加權系數。
在報警管理方法的第一方面，根據報警管理方法的第三方面，一種或多種加權系數可包括每次報警產生時用戶指定的加權系數。
在報警管理方法的第一方面，根據報警管理方法的第四方面，一種或多種加權系數可包括根據預定規則自動確定的加權系數。
在報警管理方法的第四方面，根據報警管理方法的第五方面，根據從設備中產生要管理的特定報警直到取消該特定報警的時間段確定所述自動確定的加權系數。
根據本發明的第六方面，另一個報警管理方法包括用產生報警的日期和時間作為鍵，將由要管理的設備產生的每個報警和代表設備狀態的設備數據關聯；為預定設備數據制作趨勢圖，該預定設備數據含于從要管理的設備獲得的設備數據中；以及根據所述關聯在趨勢圖上顯示產生預先指定的報警的日期和時間。
根據此報警管理方法，由于由要管理的設備產生的報警通過將產生報警的日期和時間用作為鍵而與設備數據相關聯，因此能夠得到報警的產生和預定設備數據之間的關系。這就是說，由于通過使用趨勢圖與預定的設備數據值一起，能容易地確定產生報警的位置，并易于確定產生報警的原因。
根據本發明的第七方面，另外一種報警管理方法包括在含于設備數據中的預定設備數據具有預先指定的數值或者位于預先指定的數值范圍之中時，僅對由要管理的設備產生的報警進行統計，所述設備數據從該設備獲得并代表該設備狀態。
根據此報警管理方法，由于由此所做的統計可用于識別在要管理的設備的特定操作狀態下產生報警的情況，因此能容易地確定產生報警的原因。這樣獲得的統計也能有效地用于為特定情況下的報警而首先確定的應對措施。
在此報警管理方法的第一、第六或第七方面，根據報警管理方法的第八方面，可使用用于識別所述報警的報警ID來管理所述報警。
根據本發明的第九方面，一種報警管理設備包括數據采集裝置，用于為由要管理的設備產生的報警采集報警數據；數據庫裝置，用于存儲由數據采集裝置采集的報警數據；以及報警統計裝置，用于使用由數據庫裝置存儲的報警數據來進行報警統計，該報警統計裝置包括加權系數提供單元，用于為每個報警提供一種或多種加權系數；總加權系數計算單元，用于將每個報警的加權系數相乘，以便獲得總加權系數；加權案例數計算單元，用于將總加權系數與“1”相乘，以得到每個報警的加權案例數，“1”代表每個報警產生一次的案例數；以及統計制作單元，用于將各個報警的加權案例數相加，以獲得報警產生案例加權數的統計。
根據本報警管理設備，由于能夠為由要管理的設備產生的每個報警提供與預期目的一致的加權系數，因此，利用報警產生案例的加權數的統計，能夠根據該預期目的來評價每個報警受到影響的程度。
在報警管理設備的第九方面，根據報警管理設備的第十方面，所述報警統計裝置可以包括加權系數設置單元，用于為每個報警類型設置唯一的加權系數作為加權系數之一。
在報警管理設備的第九方面，根據報警管理設備的第十一方面，所述報警統計裝置可以包括加權系數設置單元，用于為每次產生報警設置加權系數作為加權系數之在報警管理設備的第九方面，根據報警管理設備的第十二方面，所述報警統計裝置可以包括加權系數確定單元，用于根據預定的規則自動確定加權系數作為加權系數之一。
在報警管理設備的第十二方面，根據報警管理設備的第十三方面，所述加權系數確定單元可根據從所述設備中產生要管理的特定報警直到取消該特定報警的時間段，確定加權系數。
根據本發明的第十四方面，另一種報警管理設備包括數據采集裝置，用于為由要管理的設備產生的報警采集報警數據；數據庫裝置，用于存儲由數據采集裝置采集的報警數據；以及報警統計裝置，用于使用由數據庫裝置存儲的報警數據來進行報警統計，該報警統計裝置包括連接單元，用于使用產生報警的日期和時間作為鍵，將由設備產生的每個報警與代表設備狀態的設備數據關聯，趨勢圖制作單元，用于為含于設備數據中的預定設備數據制作趨勢圖，以及顯示單元，用于顯示由趨勢圖制作單元制作的趨勢圖，并根據所述關聯在趨勢圖上顯示產生預先指定的報警的日期和時間。
根據此報警管理設備，由于由要管理的設備產生的報警是用產生報警的日期和時間作為鍵而與設備數據關聯起來的，因此，能夠得到報警的產生和預定的設備數據之間的關系。這就是說，使用趨勢圖和設備數據的預定值一起，可以容易地識別所產生的報警，并能易于確定產生報警的原因。
根據本發明的報警管理設備的第十五方面，一種另外的報警管理設備包括數據采集裝置，用于為由要管理的設備產生的報警采集報警數據；數據庫裝置，用于存儲由數據采集裝置采集的報警數據；以及報警統計裝置，用于使用由數據庫裝置存儲的報警數據來進行報警統計，該報警統計裝置包括篩選單元，用于僅提取那些作為統計目標的報警，這些報警是在含于設備數據中的預定設備數據具有預先指定的值或者位于預先指定的數值范圍中時由所述設備產生的；以及統計制作單元，用于統計由篩選單元提取的報警。
根據此報警管理設備，由于這樣制作的統計可用于識別在要管理的設備的特定操作狀態下產生報警的情況，因此能夠容易地確定產生報警的原因。這樣制作的統計也能夠有效地用于為特定情況下的報警而首先確定的應對措施。
在此報警管理設備的第九、第十四或第十五方面，根據報警管理設備的第十六方面，所述報警可由用于識別所述報警的報警ID來管理。
圖1是一個方塊圖，該圖示出了一個執行根據本發明的報警管理方法的實例報警管理設備和一個要管理的實例設備；圖2是一個示出實例數據的概念圖，圖中配有報警數據的加權系數；圖3是一個方塊圖，該圖示出了報警統計裝置的一個實例配置；圖4是一個方塊圖，該圖示出了報警統計裝置的另一個實例配置；圖5是一個實例趨勢圖；圖6是一個方塊圖，該圖示出了報警統計裝置的另一個配置；圖7是一個方塊圖，該圖示出了執行根據本發明的另一個報警管理方法的另一個實例報警管理設備和另一個要管理的實例設備；以及圖8是一個概念圖，該圖示出了配有報警數據加權系數的另一個數據實例。
具體實施例方式
圖1是一個方塊圖，該圖示出了一個使用根據本發明的報警管理方法的實例報警管理設備，以及一個要用此報警管理設備來管理的實例設備。通過信號傳輸通道18將報警管理設備20與一個要管理的設備10相連。
在此實施例中，要管理的設備10包括用于控制構成設備10的各種裝置(未示出)的子控制器13到16，用于控制所有子控制器13到16的主控制器12；環狀的信號傳輸通道18，它將控制器12到16連接起來，并一起組成網絡。
如果設備10是離子注入器，一種離子束輻照設備，那么，子控制器13到16就是如下所述的裝置。
子控制器13是用于控制對晶片進行的離子注入操作的注入控制器，這類操作如像目標晶片上的機械掃描、用離子束進行的掃描和離子劑量的控制。
子控制器14是離子束控制器，用于控制各類裝置的各種能源，這些裝置產生離子束并將此離子束傳送到晶片。
子控制器15是終端站控制器，用于控制晶片的處理。
子控制器16是系統控制器，用于控制除能源之外的其它裝置，并用于控制真空系統。
由要管理的設備10產生的每個報警都可以作為直接表示報警內容的文本形式來管理。然而，在此實施例中，每個報警是通過使用報警ID(alarm ID)來加以管理的，此報警ID為識別報警提供了識別信息，并且，由于能夠減少要處理的數據量和簡化報警的顯示，所以，這個方法是優選的。因此，在此實施例中，報警ID是在要管理的設備10之內傳送的，并從設備10傳送到報警管理設備20。盡管報警ID是唯一地與報警內容相關聯的，但是，為了易于了解兩者之間的關系，可以將文本格式的、顯示報警ID和報警內容相互關聯的表單存于主控制器12中，并可在需要用它時讀取它。
在此實施例中，除了控制子控制器13到16的功能而外，當主控制器12或子控制器13到16之一產生報警的時候，主控制器12也有向報警管理設備20中的數據采集裝置22傳輸報警數據的功能，產生由報警ID、報警日期和時間組成的報警數據。進而，當操作員排除了產生報警的原因，并按下了主控制器12的報警消除按鈕(未示出)的時候，主控制器12就取消了該報警，并將由該報警的報警ID、取消報警的日期和時間組成的報警數據傳送到數據采集裝置22。這就是說，由要管理的設備10(更具體地說，在本實施例中是主控制器12)產生的報警數據包括報警ID、報警產生的日期和時間，或者包括報警ID、取消報警的日期和時間。
在此實施例中，報警管理設備20包括數據采集裝置22、數據庫裝置24和報警統計裝置16，它們全都通過信號傳輸通道19互連起來。
數據采集裝置22采集由要管理的設備10產生的報警數據，在要把代表設備10的狀態的數據與報警連接起來的時候，也采集由設備10產生的設備數據(這將在下面加以說明)。實例設備數據包括處理處方、用于設備操作參數的設置值和監視值。數據采集裝置22采集這些數據集，并將這些數據存儲在數據庫裝置24中。數據采集裝置22也有通知報警統計裝置26已收到報警數據的功能。
數據庫裝置24存儲由數據采集裝置22采集到的報警數據。圖2示出了存儲在數據庫裝置24中的實例報警數據AD。報警數據AD包括報警ID、報警產生日期和時間，以及報警取消日期和時間。下面將說明加權系數。為了提供報警ID和設備數據之間的連接，由數據采集裝置22收集到的報警數據也存儲在數據庫裝置24的數據庫中。
報警統計裝置26利用存儲在數據庫裝置24中的報警數據或利用報警數據和設備數據來制作報警統計。對于報警統計裝置26而言，下面將分別詳細說明為了給每個報警加權而進行的處理(A)和為了把報警與設備數據連接而進行的處理(B)。
首先，將說明為了給每個報警加權而進行的處理(A)。
如圖3中的實例所示，報警統計裝置26包括加權系數提供單元30、總加權系數計算單元32、加權案例數計算單元34和統計制作單元36。加權系數提供單元30為每個報警提供一種或多種加權系數。總加權系數計算單元32對每個報警乘加權系數，以便獲得報警的總加權系數。加權案例數計算單元34將總加權系數與“1”相乘，以得到加權的案例數，在此，“1”代表報警產生一次的案例數。統計制作單元36將各個報警的加權案例數相加，以統計報警產生案例的加權數。
在本實施例中，報警統計裝置26進而包括顯示單元38、輸入/輸出單元39、存儲單元40、加權系數設置單元42和加權系數確定單元44，下面將對這二者加以說明。顯示單元38顯示由統計制作單元36提供的統計。輸入/輸出單元39輸入或輸出必要的數據。存儲單元40存儲各種數據。最好配備有這些單元，在本實施例中，這些單元是通過信號傳輸通道54互連起來的。顯示單元38可以是顯示器件。
為每個報警ID的報警數據AD提供了一種或多種加權系數，此加權系數被當作為每個報警的屬性，在本實施例中，這些加權系數與報警數據AD一起被存儲在數據庫裝置24中。在示出了已加上了加權系數的報警數據AD的圖2中，使用了兩個加權系數；然而，加權系數的數目不只限于兩個，這對圖8也同樣適用。
加權系數大致可分為如下兩類。
(1)為每個報警類型唯一確定的加權系數如上所述，由于在本實施例中用報警ID管理報警，因此，也可將加權系數看成是為每個報警ID唯一確定的加權系數。下面將對此進行詳細說明。
(2)在每次產生報警時唯一確定的加權系數“每次產生報警”不限于報警產生或取消的時間，并且該加權系數也可視為是使用除報警ID之外的其它數據為報警確定的加權系數。這就是說，即使產生了若干個報警，并為每個報警提供了報警ID，但是，在每個情況下，加權系數可能不相同。下面將對此進行詳細說明。
對于每個報警類型(即每個報警ID)，用戶可將加權系數(1)指定為固定值，而加權系數設置單元42可為此報警類型設置加權系數。加權系數設置單元42可以是裝在顯示單元38的前顯示面上的觸摸屏或者鍵盤。然后，將由加權系數設置單元42設置的加權系數和相應的報警ID一起存入到表內存儲單元40中。在取消特定的報警時，報警統計裝置26用報警ID作為鍵查找此表，并確定該報警的加權系數，并將此報警數據AD的加權系數提供到數據庫裝置24中。由此而得到的數據示于上述的圖2中。
加權系數(1)的實例應用可以是從特定報警的數據的報警統計取消。除了與由于操作失誤而引起的維護和修理工作相關的情況而外，還有其它頻繁產生報警的情況，例如，在設備10的存儲柜門是開著的時候。盡管，在實際操作中這些報警固然是重要的，但是，對于用于改進要管理的設備10的使用效率的報警統計而言，是不需要這些報警的。因此，如果為這些報警ID設置的加權系數為0，而將制作報警統計所需要的報警ID設置為除0之外的任意值，如1或更大，就能從報警統計中容易地去除不必要的報警數據。
用戶可為每次產生報警指定加權系數(2)。加權系數設置單元42也能進行這樣的設置。這就是說，在本實施例中，加權系數設置單元42既作為設置加權系數(1)的設置單元，也作為設置加權系數(2)的設置單元。加權系數(2)是在要取消所產生的報警時設置的。更具體地說，當要取消一個報警時，能夠根據顯示在顯示單元38的控制屏幕上的對話來指定(輸入)加權系數(2)。報警統計裝置26在用報警標識ID作為鍵時為存儲在數據庫裝置24中的報警數據AD提供以此方式指定的加權系數。按此方式得到的數據示于上述的圖2之中。
由于要取消報警時，報警統計裝置26上可能沒有人能夠輸入加權系數，因此，可為報警統計裝置26配備這樣的功能，即它允許隨后集中錄入加權系數。這方面的實例方法是方法(a)，根據呈現在顯示單元38的控制屏上的數據來指定報警ID和報警取消日期和時間，并通過加權系數設置單元42來輸入必要的加權系數；和方法(b)，由報警統計裝置26的輸入/輸出單元39將報警取消表單作為文件輸出，并將所需要的加權系數加到此文件中，由輸入/輸出單元39讀取作為結果而得到的文件，以便將此加權系數輸入到報警統計裝置26中。對于方法(b)而言，用于讀取已加上加權系數的文件的輸入/輸出單元39可以是加權系數設置單元。
作為使用方法(a)或方法(b)的例子，利用由報警產生伴隨的程序數或操作費用來決定并輸入報警的加權系數。例如，操作員可將程序數和操作費用的值相加，預先獲得加權系數，并在取消報警時輸入該系數。另外，操作員也可將這些值報告給管理人員，管理人員可在規定的時期內，譬如每周或每月，輸入這些加權系數。
在加權系數(2)中，有的是報警統計裝置26能夠根據預先指定的規則自動確定的。加權系數確定單元44執行這個確定過程。取消報警時，加權系數確定單元44根據預定的規則自動確定加權系數，而加權系數提供單元30將此加權系數作為兩個之一加到存儲在數據庫裝置24中的報警數據AD中。由于確定此加權系數不需要人力，因此需要比較少的勞動力。
作為此功能的實例應用，將對應要管理的設備10停機以產生報警的一段時間用作為加權系數。然后，在取消報警時，加權系數確定單元44用報警ID作為鍵，查找數據庫裝置24，獲得報警產生的時間，并從當前報警的取消時間減去該報警產生時間。其結果是，能夠得到從產生目標報警到取消目標報警的時間。然后，加權系數提供單元30確定與得到的這段時間一致的加權系數，并將此加權系數當作為兩個之一，加到存儲在數據庫裝置24內的報警數據AD中。通過此處理過程，就能夠把要管理的設備10的使用效率受到影響的程度加到報警統計中。
在統計制作單元36制作報警統計時，報警統計裝置26最好具有用于改變一種或多種加權系數的有效/無效的功能。在此實施例中，為加權系數提供單元30配備了這個功能。總加權系數計算單元32將加權系數提供單元30認為是有效的加權系數相乘，并且得到每個報警的一個總加權系數。加權案例數計算單元34將此總加權系數與“1”相乘，并且得到加權案例數，在此，“1”代表報警產生一次的案例數。當總加權系數為2.5時，加權案例數為1×2.5＝2.5(案例)。統計制作單元36將各個報警的加權案例數相加，制作報警產生案例的加權數的統計。
報警產生案例加權數的統計形式可以是所謂的最壞情況表單，其中的各個報警依次排列，并以產生次數最多的報警為開頭；也可用像百分比圖或排列圖之類的分析圖來使其變得更為直觀。在此情況下，最好是用報警ID來表示各個報警；不過也可以用包含相應內容的文本。
報警管理設備20能夠利用報警統計裝置26來實施報警管理方法，并可借此方法來為由要管理的設備10產生的每個報警提供一種或多種加權系數，并使這些加權系數彼此相乘以得到每個報警的總加權系數，然后，將此總加權系數與“1”相乘，以得到各個報警的加權案例數，在此，“1”代表每個報警產生的案例數。再將各個報警的加權案例數相加，以便制作報警產生案例的加權數的統計。
根據此報警管理方法和報警管理設備20，通過使用加權系數，而不是利用相關技術將產生的報警數簡單相加，能夠制作可實行數值判斷的報警統計。這就是說，由于能夠為由要管理的設備10產生的每個報警提供與某個目的相一致的加權系數，這樣，根據所產生的報警的加權數的統計，就可以按照其目的來評價每個報警所產生的影響。
現在對將報警和設備數據連接起來而進行的處理(B)加以說明。
如圖4中的例子所示，報警統計裝置26包括連接單元46、趨勢圖制作單元48以及顯示單元38。連接單元46用產生報警的日期和時間作為鍵，并且用于將由要管理的設備10產生的報警與代表設備10的狀態的設備數據關聯。趨勢圖制作單元48為含于設備數據中的預定設備數據繪制趨勢圖。顯示單元38顯示由趨勢圖制作單元48產生的趨勢圖，并用于根據連接關系在趨勢圖上還顯示產生預先指定的報警的日期和時間。趨勢圖的水平軸表示時間，垂直軸表示具體的數值，而趨勢圖表示具體數值沿著時間軸的具體數值的趨勢或變化。顯示單元38的例子已經說明。
在此實施例中，報警統計裝置26還包括作為優選部件的輸入/輸出單元和存儲單元40。上面已經說明這些部件通過信號傳輸通道54連接起來。
具有報警統計裝置26的報警管理設備20能夠執行報警管理方法，借此方法，可用報警產生的日期和時間作為鍵，將由要管理的設備10產生的報警與代表設備10的狀態的設備數據關聯；借此方法，可為預定的設備數據繪制趨勢圖，該預定的設備數據含于從要管理的設備10獲得的設備數據之中；借此方法，根據關聯，在趨勢圖上顯示產生預先指定的報警的日期和時間。
根據此報警管理方法和報警管理設備20，由于由要管理的設備10產生的報警是用報警產生日期和時間作為鍵而與設備數據聯系起來的，因此，能夠得到報警的產生和預定設備數據之間的關系。這就是說，利用趨勢圖能夠容易理解借以產生報警的預定設備數據的數值。因此，能夠容易地確定產生報警的原因。
假設產生的報警是“注入離子質量異常”(如報警ID＝3025)。連接單元46將設備數據“注入離子質量設置值”指定為要與此報警ID相連接的數據。通常，連接單元46也指定要進行連接的時間。一旦收到趨勢圖制作指令，趨勢圖制作單元48就訪問數據庫裝置24，并查找位于指定時間之內的設備數據(注入離子質量設置值)，并繪制此設備數據的趨勢圖。圖5示出了該例子。
隨后，顯示單元38顯示圖5所示的、由趨勢圖制作單元48制作的趨勢圖。此外，根據數據連接并利用圖符64，在趨勢圖上顯示產生預先指定的報警(如報警ID＝3025和3026)的日期和時間。換句話說，代表報警產生的圖符64顯示在產生這些報警的日期和時間的位置上。在圖5中，示出了報警ID＝3025的圖符64。由于圖5例子中的水平軸代表時間，因而將日期顯示在日期顯示部分60中。根據水平軸和日期顯示部分60可以給出報警產生的日期和時間。水平軸可以代表日期和時間，而報警ID可以與圖符64一起顯示。然而，在本實例中，由于圖符64周圍的顯示是簡化的和易于識別的，因此，更優選的是配備引導顯示部分62，以便給出圖符64和報警ID之間的關聯。
在圖5的例子中，在注入的離子質量的設置值為40的情況下，由于頻繁產生報警ID＝3025的報警的趨勢易于得到，可以將此用作為發現產生報警原因的輔助手段。
可將報警數據篩選功能用作為另一個連接功能。在此情況下，如圖6中的例子所示，報警統計裝置26包括篩選單元50，該單元僅提取那些作為統計目標的報警，這些報警是在含于設備數據中的預定設備數據有預先指定的數值或者有在預先指定的數值范圍中的值時產生的；統計制作單元52，用于統計由篩選單元50提取的報警。應當注意，可將預定的設備數據、預先指定的數值或數值范圍輸入到篩選單元50中。
在此情況下，報警統計裝置26還包括作為優選部件的顯示單元38、輸入/輸出單元39和存儲單元40。上面已經說明了這些部件是通過信號傳輸通道54相連接的。
包括報警統計裝置26的報警管理裝置20可以執行該報警管理方法，用于在預定數據具有預先指定的值或者在預先指定的數值范圍中的值時，僅使用那些由設備10產生的報警，并用于制作這些報警的統計，該預定數據含于從設備10中獲得的、并代表設備10的狀態的設備數據之中。
根據此報警管理方法和報警管理設備20，由于能夠參照所做的統計來識別在要管理的設備10的具體操作狀態下的報警產生的情況，因此能夠容易地確定產生報警的原因。此外，照此方式制作的統計對于采取應對措施也是有效的，這種應對措施首先是為作為特定情況的結果而產生的報警用的。
例如，對于篩選單元50而言，為設備數據“注入離子質量設置值”指定特定值(如11)作為篩選標準。然后，僅用那些在注入離子質量為11時產生報警來做統計。因此，能夠得到在注入離子質量值為11的特定條件下的報警產生情況，這對采取應對措施是有效的，這種應對措施首先是為作為該特定情況的結果而產生的報警用的。
在圖1所示的例子中，用單個報警管理設備20來管理由要管理的一個設備10產生的報警。然而，也能用單個報警管理設備20來管理由多個設備10產生的報警。這方面例子示于圖7。
在圖7的例子中，有5個要管理的設備10a到10e。在10a到10e的這些設備中，每一個的配置都與圖1中設備10的配置相同。在這個例子中，報警管理設備20包括5個數據采集裝置22a到22e，用于分別采集由設備10a到10e傳輸的數據。數據采集裝置22a到22e的每一個的功能與圖1中的數據采集裝置22的功能相同。只需要一個數據庫24和一個報警統計裝置26，并由數據采集裝置22a到22e共用。
在此例中，只要可能識別在設備10a到10e中是哪設備產生了報警，就能按照與僅用設備10時相同的方式來管理報警。為了提供這樣的管理，如圖8中的例子所示，僅僅必須將作為用于識別要管理的設備的識別信息的一個設備ID加到報警數據AD上，并且可讓5個設備10a到10e使用此相同的報警ID。
由于可用設備ID和報警ID標明報警，基本上不用改變就能使用示于圖3、4或6中的報警統計裝置26，并且可使用上述的每個報警管理方法。
此外，如圖1所示，在當前只管理一個設備而今后要管理多個設備的情況下，只需要準備圖8所示的數據，并且也只需要輸入作為設備ID的單個值(如1)。按照這樣的安排，在要管理的設備的數目增加時，能很容易地應對未來的操作。
可用計算機來提供本實施例中的報警管理設備20。
具有此配置的本發明具有如下效果。
根據本發明的第一和第九方面，由于能夠為由要管理的設備產生的各個報警提供與目的一致的加權系數，因而，參照所產生的報警的加權數的統計，能夠與目的一致地評價報警產生的影響的程度。
根據本發明的第二和第十方面，由于為各個報警類型指定加權系數作為唯一值，因此可輕易從報警統計中除去不必要的報警。
根據本發明的第三和第十一方面，能夠為各個報警隨意提供與目的一致的加權系數。
根據本發明的第四和第十二方面，由于不需要人力就能提供加權系數，因此能減少對人工勞動的需要。
根據本發明的第五和第十三方面，可將要管理的設備的使用效率受到影響的程度加到報警統計中。
根據本發明的第六和第十四方面，由于由要管理的設備所產生的報警是通過用報警產生日期和時間作為鍵而與設備數據相關聯的，因此能夠獲得報警的產生和預定的設備數據之間的關系。即，通過使用趨勢圖能夠容易地識別產生報警時預定的設備數據的值。結果，能容易地確定報警產生的原因。
根據本發明的第七和第十五方面，由于可參照由此制作報警統計而獲得在要管理的設備的特定操作狀態下的報警產生情況，因此，能夠很容易地確定報警產生的原因。此外，照此方式制作的統計對采取應對措施也是有效的，該應對措施首先用于為在特定情況下產生的報警。
根據本發明的第八和第十六方面，能夠減少要處理的數據量，并能簡化報警的顯示。
權利要求
1.一種報警管理方法，包括為由要管理的設備產生的每個報警提供一種或多種加權系數；將各種加權系數相乘，以得到每個報警的總加權系數；將總加權系數與“1”相乘，得到每個報警的加權案例數，“1”代表每個報警產生一次的案例數；以及將各個報警的加權案例數相加，以便進行報警產生案例的加權數的統計。
2.根據權利要求1所述的報警管理方法，其中，所述一種或多種加權系數包括由用戶指定的、作為每個報警類型固有值的加權系數。
3.根據權利要求1所述的報警管理方法，其中，所述一種或多種加權系數包括每次報警產生時用戶指定的加權系數。
4.根據權利要求1所述的報警管理方法，其中，所述一種或多種加權系數包括根據預定規則自動確定的加權系數。
5.根據權利要求4所述的報警管理方法，其中，根據從設備中產生要管理的特定報警直到取消該特定報警的時間段確定所述自動確定的加權系數。
6.一種報警管理方法，包括用產生報警的日期和時間作為鍵，將由要管理的設備產生的每個報警和代表設備狀態的設備數據關聯；為預定設備數據制作趨勢圖，該預定設備數據含于從要管理的設備獲得的設備數據中；以及根據所述關聯在趨勢圖上顯示產生預先指定的報警的日期和時間。
7.一種報警管理方法，包括在含于設備數據中的預定設備數據具有預先指定的數值或者位于預先指定的數值范圍之中時，僅對由要管理的設備產生的報警進行統計，所述設備數據從該設備獲得并代表該設備狀態。
8.根據權利要求1所述的報警管理方法，其中，使用用于識別所述報警的報警ID來管理所述報警。
9.根據權利要求6所述的報警管理方法，其中，使用用于識別所述報警的報警ID來管理所述報警。
10.根據權利要求7所述的報警管理方法，其中，使用用于識別所述報警的報警ID來管理所述報警。
11.一種報警管理設備，包括數據采集裝置，用于為由要管理的設備產生的報警采集報警數據；數據庫裝置，用于存儲由數據采集裝置采集的報警數據；以及報警統計裝置，用于使用由數據庫裝置存儲的報警數據來進行報警統計，該報警統計裝置包括加權系數提供單元，用于為每個報警提供一種或多種加權系數；總加權系數計算單元，用于將每個報警的加權系數相乘，以便獲得總加權系數；加權案例數計算單元，用于將總加權系數與“1”相乘，以得到每個報警的加權案例數，“1”代表每個報警產生一次的案例數；以及統計制作單元，用于將各個報警的加權案例數相加，以獲得報警產生案例加權數的統計。
12.根據權利要求11所述的報警管理設備，其中所述報警統計裝置包括加權系數設置單元，用于為每個報警類型設置唯一的加權系數作為加權系數之一。
13.根據權利要求11所述的報警管理設備，其中所述報警統計裝置包括加權系數設置單元，用于為每次產生報警設置加權系數作為加權系數之一。
14.根據權利要求11所述的報警管理設備，其中所述報警統計裝置包括加權系數確定單元，用于根據預定的規則自動確定加權系數作為加權系數之一。
15.根據權利要求14所述的報警管理設備，其中所述加權系數確定單元根據從所述設備中產生要管理的特定報警直到取消該特定報警的時間段，確定加權系數。
16.一種報警管理設備，包括數據采集裝置，用于為由要管理的設備產生的報警采集報警數據；數據庫裝置，用于存儲由數據采集裝置采集的報警數據；以及報警統計裝置，用于使用由數據庫裝置存儲的報警數據來進行報警統計，該報警統計裝置包括連接單元，用于使用產生報警的日期和時間作為鍵，將由設備產生的每個報警與代表設備狀態的設備數據關聯，趨勢圖制作單元，用于為含于設備數據中的預定設備數據制作趨勢圖，以及顯示單元，用于顯示由趨勢圖制作單元制作的趨勢圖，并根據所述關聯在趨勢圖上顯示產生預先指定的報警的日期和時間。
17.一種報警管理設備，包括數據采集裝置，用于為由要管理的設備產生的報警采集報警數據；數據庫裝置，用于存儲由數據采集裝置采集的報警數據；以及報警統計裝置，用于使用由數據庫裝置存儲的報警數據來進行報警統計，該報警統計裝置包括篩選單元，用于僅提取那些作為統計目標的報警，這些報警是在含于設備數據中的預定設備數據具有預先指定的值或者位于預先指定的數值范圍中時由所述設備產生的；以及統計制作單元，用于統計由篩選單元提取的報警。
18.根據權利要求11所述的報警管理設備，其中，所述報警由用于識別所述報警的報警ID來管理。
19.根據權利要求16所述的報警管理設備，其中，所述報警由用于識別所述報警的報警ID來管理。
20.根據權利要求17所述的報警管理設備，其中，所述報警由用于識別所述報警的報警ID來管理。
全文摘要
一種報警管理設備，包括數據采集裝置，用于采集由要管理的設備產生的報警數據；數據庫裝置，用于存儲采集的報警數據；報警統計裝置，用于利用存儲的報警數據來進行報警統計。該報警統計裝置包括加權系數提供單元，用于為每個報警提供一種或多種加權系數；總加權系數計算單元，用于將這些加權系數相乘，以便獲得每個報警的總加權系數；加權案例數計算單元，用于將總加權系數與“1”相乘，以獲得加權案例數，“1”代表每個報警產生的案例數；以及統計制作單元，用于將各個報警的加權案例數相加，以便對報警產生案例的加權數進行統計。
文檔編號G06Q50/04GK1506896SQ200310118869
公開日2004年6月23日 申請日期2003年12月1日 優先權日2002年11月29日
發明者巖澤康司 申請人:日新意旺機械股份公司