專利名稱：改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)以制成組件之方法及其單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明系關(guān)于一種設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)被指定的方法，其規(guī)定組件，如集成電路裝置或另一個(gè)電子組件，的幾何設(shè)計(jì)。
背景技術(shù)：
做為實(shí)例，設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)為柵格數(shù)據(jù)，其規(guī)定個(gè)別像素于柵格內(nèi)，或是向量數(shù)據(jù)，其規(guī)定使用特定長度及特定方向的向量之設(shè)計(jì)。在最簡單的情況，設(shè)計(jì)為二度空間的，如在集成電路位置的設(shè)計(jì)之情況。做為實(shí)例，三度空間設(shè)計(jì)被用于規(guī)定各種位置間的關(guān)系。幾何設(shè)計(jì)規(guī)定組件組件間之外部形狀，如中間連接的輪廓或接點(diǎn)孔洞中間連接區(qū)域的形狀。
本發(fā)明目的為訂定一種改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的簡單方法，其特別合適用于最適化一種設(shè)計(jì)，本發(fā)明亦在于訂定其相關(guān)單元。
關(guān)于該方法的目的系由在權(quán)利要求1所訂定的方法步驟達(dá)到，發(fā)展系訂定于子權(quán)利要求。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明方法包括許多下列方法步驟的循環(huán)之自動(dòng)執(zhí)行-設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)被用于產(chǎn)生經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，其被儲(chǔ)存及規(guī)定幾何設(shè)計(jì)，與設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的幾何設(shè)計(jì)比較其系為局部改變。
-該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)被用于確認(rèn)經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)。
-接著，該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)與要被改變的設(shè)計(jì)的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)比較。
-依據(jù)比較結(jié)果保留該未經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)或以該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)取代。
-在下一個(gè)循環(huán)，該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)被用做要被改變的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)。為該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)所計(jì)算的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)被用做要被改變的設(shè)計(jì)的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)。
本發(fā)明方法表示目前為止主要為人工執(zhí)行的設(shè)計(jì)最適化可自動(dòng)執(zhí)行，在最適化關(guān)系內(nèi)的設(shè)計(jì)之自動(dòng)評(píng)估使得以簡單方式達(dá)到自動(dòng)最適化為可能。
局部改變基本上保留了目前為止已達(dá)到的設(shè)計(jì)優(yōu)點(diǎn)，因而，位于局部區(qū)域外的這些設(shè)計(jì)部分在循環(huán)期間不被改變，位于要被局部改變的區(qū)域內(nèi)的這些部分可被改變使得在每一個(gè)循環(huán)僅進(jìn)行相當(dāng)中度的變化。
評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)系依據(jù)組件形式及組件的特定結(jié)構(gòu)而定，單一評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)可被考慮或是整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)，其包括許多評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)，其亦評(píng)估與另一個(gè)沖突的需求。
例如，在最簡單的情況，評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)的比較為差值的生成。
然而，亦可使用其它比較方法。
合適規(guī)則被指定以保留或取代未經(jīng)改變的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，這些規(guī)則為決定性的或是依據(jù)隨機(jī)變量而定。考慮隨機(jī)變量提供在循環(huán)期間亦接收小遺失的選擇以最終改良整體設(shè)計(jì)至一種若每一個(gè)循環(huán)皆需要產(chǎn)生改良所無法達(dá)到的程度。
在本發(fā)明方法的一個(gè)發(fā)展中，局部改變的區(qū)域及此區(qū)域的大小被確認(rèn)或規(guī)定而不需使用隨機(jī)函數(shù)?；蛘?，該區(qū)域及其大小亦使用隨機(jī)函數(shù)確認(rèn)。經(jīng)由確認(rèn)該區(qū)域及其大小的方法之合適選擇，可減少以要被改良的設(shè)計(jì)為基準(zhǔn)的特定改良所需的循環(huán)數(shù)目。
在后續(xù)發(fā)展中，局部改變的區(qū)域及此區(qū)域的大小以在平均分布的基礎(chǔ)被選擇，此方法確保所有設(shè)計(jì)區(qū)域皆相同程度地被包括于該方法?；蛘?，該區(qū)域或其大小由偏好會(huì)特別破壞對(duì)本方法目的的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)之改變的區(qū)域或大小而被選擇。例如，若在方法進(jìn)行期間意欲減少評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)，則較偏好評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)為特別高的區(qū)域。此方法亦使得特定改良所需的循環(huán)數(shù)目被減少。
在改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的方法之另一個(gè)發(fā)展中，例如，具正方形面積的區(qū)域被選擇以產(chǎn)生該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)于由要被改變的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)所指定的設(shè)計(jì)。此接著為關(guān)于在經(jīng)選擇區(qū)域的設(shè)計(jì)之設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的確認(rèn)。該經(jīng)確認(rèn)設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)以規(guī)定函數(shù)為基礎(chǔ)而被改變，其產(chǎn)生在該經(jīng)選擇區(qū)域的設(shè)計(jì)的幾何改變。以此方式，設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)可以簡單方式被更改。
幾何改變可使用簡單影像處理方法進(jìn)行，例如使用篩檢函數(shù)或使用簡單的幾何函數(shù)，如再定位、鏡像對(duì)映、旋轉(zhuǎn)、擴(kuò)張或收縮。簡單的幾何改變亦包括所選擇區(qū)域的設(shè)計(jì)以在要被改變的其它設(shè)計(jì)位置的幾何類似區(qū)域之設(shè)計(jì)取代或是以類似于經(jīng)選擇設(shè)計(jì)部分的指定設(shè)計(jì)部分取代。幾何改變不受限于要被改變的設(shè)計(jì)大小，例如，若增加總面積大小亦為允許的，則在許多情況總評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)依然可被改良。
若，在一個(gè)發(fā)展中，幾何改變的規(guī)定系使用隨機(jī)函數(shù)確認(rèn)，則沒有任何改變?cè)O(shè)計(jì)之復(fù)雜規(guī)則需被指定。由測試及后續(xù)評(píng)估該改變，可以簡單方式得到改良。
電子組件的合適評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)為下列評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)，特別-短路的關(guān)鍵區(qū)域，-中斷的關(guān)鍵區(qū)域，-在設(shè)計(jì)的角隅數(shù)目或邊緣數(shù)目，-電流運(yùn)載容量，-耦合電容，-組件重疊，及-設(shè)計(jì)總面積。
關(guān)鍵區(qū)域系藉由假設(shè)在規(guī)定尺寸分布的圓形缺陷而確認(rèn)，選擇該尺寸分布使得在組件制造期間產(chǎn)生的缺陷以盡可能最佳的方式仿真。
在一個(gè)細(xì)節(jié)中，許多垂直排列的中間連接平面的設(shè)計(jì)使用本發(fā)明方法同時(shí)進(jìn)行。以此方式，設(shè)計(jì)可被特別佳地最適化，例如就耦合電容或中間連接間的重疊之觀點(diǎn)。
在后續(xù)發(fā)展中，評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)為自至少兩個(gè)不同評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)確認(rèn)的整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)。在后續(xù)發(fā)展中，加權(quán)因子被指定，當(dāng)整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)由個(gè)別評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)確認(rèn)時(shí)，加權(quán)因子被使用，此使得當(dāng)進(jìn)行該方法時(shí)不同程度地考慮各種評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)為可能。其亦提供特別評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)在方法執(zhí)行開始時(shí)在改變具較大的影響之選擇，該影響接著在方法進(jìn)行期間減少以小的加權(quán)因子影響評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)。該加權(quán)以線性方式或者是基于非線性函數(shù)執(zhí)行。
在后續(xù)發(fā)展中，關(guān)于未經(jīng)改變結(jié)果數(shù)據(jù)的置換之決定系以隨機(jī)函數(shù)為基礎(chǔ)進(jìn)行，此方法不僅允許必須立即產(chǎn)生對(duì)該設(shè)計(jì)的改良之變化在循環(huán)進(jìn)行，其亦允許基于特定機(jī)率，對(duì)評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)不會(huì)產(chǎn)生任何損傷或是僅不顯著的損傷之變化被接受。
在后續(xù)發(fā)展中，支持或反對(duì)隨機(jī)函數(shù)接受性的決定之依存性基于循環(huán)數(shù)降低，此表示例如在方法開始時(shí)造成損傷的部分設(shè)計(jì)的接受性較在方法結(jié)束時(shí)更常被接受，此種方法亦稱為經(jīng)仿真退火。
在本發(fā)明方法的另一個(gè)發(fā)展中，設(shè)計(jì)具為它們所選的柵格尺寸，其等于用于傳送設(shè)計(jì)于石刻印罩上，如至光屏蔽，的屏蔽曝光光束的寬度，使用此方法所產(chǎn)生的設(shè)計(jì)因而可容易地轉(zhuǎn)移至光屏蔽而不需額外方法。然而，在一個(gè)替代方案的情況下，設(shè)計(jì)具為它們所選的柵格尺寸，其小于屏蔽曝光光束的寬度，此種步驟亦有時(shí)產(chǎn)生非常適合曝光的屏蔽。
本發(fā)明亦相關(guān)于一種數(shù)據(jù)處理裝置及合適進(jìn)行本發(fā)明方法的程序或是其發(fā)展的其中一個(gè)。前述的技術(shù)效用因而亦應(yīng)用于數(shù)據(jù)處理裝置及程序。
其設(shè)計(jì)系使用本發(fā)明方法改良的合適組件為，特別是-一種集成電路裝置，特別是發(fā)生在較大電路裝置(經(jīng)常是如超過一百倍或甚至超過一千倍)的子電路，此系關(guān)于接點(diǎn)孔洞區(qū)域的或是基本邏輯功能(如OR閘或NAND閘)的記憶胞元的電路，-一種顯示器，特別是平面屏幕，-感知器，-微機(jī)械組件，-印刷電路板，及-以膜為基礎(chǔ)的電或電子組件。
然而，來自其它技術(shù)區(qū)域的組件亦使用本發(fā)明方法最適化。
本發(fā)明示例具體實(shí)施例參考所附圖標(biāo)被解釋于下文，其中圖1A至圖1C顯示基于第一示例具體實(shí)施例的設(shè)計(jì)最適化，圖2顯示基于第二示例具體實(shí)施例的最適化結(jié)果，圖3顯示最適化一設(shè)計(jì)的方法步驟，
圖4顯示在中間連接點(diǎn)的電流密度的評(píng)估函數(shù)的數(shù)據(jù)，圖5顯示在中間連接點(diǎn)及接點(diǎn)孔洞間的重疊之評(píng)估函數(shù)的數(shù)據(jù)，及圖6顯示最適化該設(shè)計(jì)的電子電路之功能單元。
具體實(shí)施例方式
圖1A顯示集成電路裝置的一部分的設(shè)計(jì)10。該設(shè)計(jì)10包含無分支中間連接點(diǎn)的輪廓12及以T形狀分支的中間連接點(diǎn)的輪廓14。輪廓12及14系于坐標(biāo)系統(tǒng)16表示，坐標(biāo)系統(tǒng)16具在x-方向顯示柵格尺寸的x-軸18及在y-方向顯示柵格尺寸的y-軸20。該設(shè)計(jì)10在x-方向具二十個(gè)柵格點(diǎn)及在y-方向具十六個(gè)柵格點(diǎn)的大小。
輪廓12由自端點(diǎn)T1移動(dòng)至端點(diǎn)T2的三個(gè)邊線22、24及26及自端點(diǎn)T3移動(dòng)至T4的三個(gè)邊線28、30及32而示于該設(shè)計(jì)10。輪廓14由自端點(diǎn)T5移動(dòng)至端點(diǎn)T6的三個(gè)邊線34、36及38及自端點(diǎn)T7移動(dòng)至端點(diǎn)T8的四個(gè)邊線40至46，及由自端點(diǎn)T9移動(dòng)至端點(diǎn)T10的兩個(gè)邊線48、50而示出。十個(gè)角隅點(diǎn)52至70分別以各種方向位于兩個(gè)邊線22至50之間的接觸點(diǎn)。邊線22至50系位于x-方向，y-方向或與y-軸20成45度至135度的角。端點(diǎn)T1及T3表示在由輪廓12示出的無分支中間連接點(diǎn)上的左手側(cè)連接，端點(diǎn)T2及T4表示在無分支中間連接點(diǎn)上的右手側(cè)連接。
端點(diǎn)T5及T7表示在由輪廓14示出的分支中間連接點(diǎn)上的左手側(cè)連接，端點(diǎn)T6及T10表示在分支中間連接點(diǎn)上的右手側(cè)連接。端點(diǎn)T8及T9表示在中間連接點(diǎn)的底部連接，且表示設(shè)計(jì)10的方向系如在圖1B所示。
在示例具體實(shí)施例中端點(diǎn)T1至T10的位置被嚴(yán)格地指定，此表示在設(shè)計(jì)10的最適化期間，該輪廓12及14可僅在位于端點(diǎn)T1至T10之間的區(qū)域內(nèi)被改變。另一方面，端點(diǎn)T1至T6的位置為固定的。
圖1B顯示在再定位區(qū)域100具再定位的設(shè)計(jì)10a，再定位發(fā)生于當(dāng)在第一循環(huán)進(jìn)行參考圖3于下文解釋的最適化方法時(shí)。再定位區(qū)域100位于設(shè)計(jì)10的頂部左手角落及在x-方向具七個(gè)柵格點(diǎn)的長度及在y-方向20具六個(gè)柵格點(diǎn)的長度，該再定位區(qū)域100包含端點(diǎn)T1及T3。區(qū)域100的右手側(cè)邊界線102在輔助點(diǎn)HT1(其系約略位于邊線22的中心)與邊線22相交，右手側(cè)邊界線102在輔助點(diǎn)HT2(其系些微位于邊線28的中心點(diǎn)右邊)與邊線28(位于平行于邊線22)相交。在區(qū)域100內(nèi)，邊線22及28由虛線104及106表示，因?yàn)檫吘€22及28系于第一最適化循環(huán)以隨機(jī)選擇方向及由隨機(jī)選擇的柵格點(diǎn)數(shù)目再定位于此處。
在示例具體實(shí)施例中，假設(shè)在第一方法步驟該隨機(jī)選擇的方向?yàn)榕cy-方向相反的方向，隨機(jī)選擇的柵格尺寸具值一，參考再定位箭頭108。因?yàn)樵谠俣ㄎ粎^(qū)域100的再定位，虛線104由一個(gè)柵格點(diǎn)計(jì)數(shù)計(jì)再定位至y-方向20。然而，端點(diǎn)T1及輔助點(diǎn)HT1于它們的原先位置維持不變，虛線104產(chǎn)生新的邊線110，其平行于虛線104及結(jié)束于角隅點(diǎn)E1及E2，則依據(jù)柵格，亦即，當(dāng)維持相鄰關(guān)系時(shí)，角隅點(diǎn)E1及E2由斜邊線112及114分別連接至端點(diǎn)T1及輔助點(diǎn)HT1。
虛線106以相同方式再定位，在此情況下，結(jié)果為邊線116，其系平行于虛線104向下一個(gè)柵格點(diǎn)再定位及位于兩個(gè)角隅點(diǎn)E3及E4之間。接著，產(chǎn)生邊線118，其自端點(diǎn)T3移動(dòng)至角隅點(diǎn)E3，產(chǎn)生邊線120使得其自端點(diǎn)T4移動(dòng)至輔助點(diǎn)HT2。
由再定位箭頭108表示的再定位操作再定位無分支中間連接點(diǎn)的輪廓12于區(qū)域100內(nèi)的向下一個(gè)柵格點(diǎn)而不改變?cè)谠摲椒ǖ妮喞?2的寬度。再定位被執(zhí)行使得端點(diǎn)T1至T10及輔助點(diǎn)HT1及HT2，于此在設(shè)計(jì)10的邊線22至50與再定位區(qū)域100的邊界線102相交，皆維持不改變于它們的位置。由經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)10a開始，參考圖3于下文解釋的評(píng)估經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)10a之步驟被執(zhí)行，若對(duì)設(shè)計(jì)10的改良被建立，設(shè)計(jì)10總是被接受用于其余最適化方法且具變化產(chǎn)生于區(qū)域100的變化。另一方面，若沒有任何改良被進(jìn)行，則其余最適化總被執(zhí)行且不具產(chǎn)生于區(qū)域100的變化，亦即再次自設(shè)計(jì)10開始。
在最適化方法的后續(xù)循環(huán)中，再定位區(qū)域再次被隨機(jī)選擇，如再定位區(qū)域122，其較再定位區(qū)域100更位于設(shè)計(jì)10或10a的中心，再定位區(qū)域122亦些微較再定位區(qū)域100為大。在再定位區(qū)域122，邊線再次以隨機(jī)選擇方向及由隨機(jī)選擇的柵格點(diǎn)數(shù)目再定位。
圖1C顯示使用參考圖3于下文解釋的最適化方法由設(shè)計(jì)10所產(chǎn)生的設(shè)計(jì)10b。在最適化期間，短路以和中斷一樣高加權(quán)兩倍。中間連接點(diǎn)的輪廓12及14被改變，及產(chǎn)生輪廓12b及輪廓14b，四個(gè)邊線150至156現(xiàn)在位于端點(diǎn)T1及T2之間，現(xiàn)在僅兩個(gè)邊線156及158位于端點(diǎn)T3及T4之間。
分支中間連接點(diǎn)的輪廓14b系由兩個(gè)邊線160及162形成于端點(diǎn)T5及T6之間，由三個(gè)邊線164、166及168形成于端點(diǎn)T7及T8之間及由兩個(gè)邊線170及172形成于端點(diǎn)T9及T10之間。在該設(shè)計(jì)10b，現(xiàn)在僅八個(gè)角隅點(diǎn)180至194，此簡化了屏蔽制造。
圖2顯示設(shè)計(jì)10c，當(dāng)使用圖3進(jìn)行最適化方法時(shí)，其由設(shè)計(jì)10產(chǎn)生，且短路已以中斷一樣高加權(quán)十倍。未分支中間連接點(diǎn)的輪廓12c現(xiàn)在由四個(gè)邊線200至206在端點(diǎn)T1及T2之間示出及由三邊線208、210及212在端點(diǎn)T3及T4之間示出。分支中間連接點(diǎn)的輪廓14c系由三個(gè)邊線214、216、218在端點(diǎn)T5及T6之間示出，由三個(gè)邊線220、222及224在端點(diǎn)T7及T8之間示出及由三個(gè)邊線226、228及230形成于端點(diǎn)T9及T10之間示出。在該設(shè)計(jì)10c有十一個(gè)角隅點(diǎn)250至270?？扇菀椎亓私庠谥虚g連接點(diǎn)的輪廓12c、14c之間的空間及在中間連接點(diǎn)之間的空間已以犧牲輪廓12c、14c的寬度及中間連接點(diǎn)的寬度被自動(dòng)加寬，以減少短路的發(fā)生。角隅點(diǎn)的數(shù)目僅增加一個(gè)角隅點(diǎn)，其表示基于設(shè)計(jì)10c的屏蔽制造與設(shè)計(jì)10相較僅不顯著地更復(fù)雜。
圖3顯示最適化產(chǎn)生集成電路裝置的設(shè)計(jì)之方法步驟，例如最適化示于圖1的設(shè)計(jì)10。該方法以規(guī)定許多參數(shù)于方法步驟300開始，做為實(shí)例，步階計(jì)數(shù)變量n被設(shè)定為值一，例如顯示步階數(shù)N的常數(shù)被設(shè)定為值一千。整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM被設(shè)定為非常小的值，如負(fù)一萬的值。此整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM的值在方法進(jìn)行期間意欲變得盡可能大，因?yàn)槠渲迪禐榕c預(yù)期成本位準(zhǔn)成反比關(guān)系。此外，加權(quán)因子W1等于二及W2等于一被指定，其顯示短路評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)的加權(quán)及中斷評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)的加權(quán)。在方法步驟300的值的規(guī)定系依據(jù)要被最適化的設(shè)計(jì)形式而定。此外，值的規(guī)定系由最適化的目的而定，例如，參考相關(guān)于第1C及2圖的說明。
在方法步驟302，要被最適化的設(shè)計(jì)，如設(shè)計(jì)10系由包含于GSD2檔案的數(shù)據(jù)指定。該設(shè)計(jì)10為人工設(shè)計(jì)方法的結(jié)果或早期自動(dòng)最適化的結(jié)果(例如其現(xiàn)在意欲以不同標(biāo)準(zhǔn)為基礎(chǔ)再最適化)，經(jīng)指定設(shè)計(jì)被儲(chǔ)存為目前為止的最佳設(shè)計(jì)，亦即為”絕佳”設(shè)計(jì)。
在后續(xù)方法步驟304，進(jìn)行本方法的數(shù)據(jù)處理裝置自動(dòng)地選擇設(shè)計(jì)內(nèi)的再定位區(qū)域，如再定位區(qū)域100或再定位區(qū)域122。此考慮如隨機(jī)函數(shù)。此外，在方法步驟304，再定位區(qū)域的大小被指定，例如同樣地考慮隨機(jī)函數(shù)于指定尺寸范圍內(nèi)。
接著，偏移方向及偏移標(biāo)準(zhǔn)在方法步驟306被選擇，且例如再次如考慮隨機(jī)函數(shù)。在后續(xù)方法步驟308，在再定位區(qū)域100、122內(nèi)要被最適化的設(shè)計(jì)部分接著以在方法步驟306所決定的值為基礎(chǔ)偏移，偏移操作已參考圖1B對(duì)再定位區(qū)域100解釋于上文。
在方法步驟310，采用該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)，較佳為僅考慮再定位區(qū)域100加適當(dāng)邊界區(qū)域，做為計(jì)算短路發(fā)生的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)BM1及中斷發(fā)生的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)BM2的基準(zhǔn)。在此情況下，”關(guān)鍵區(qū)域”被考慮，其應(yīng)用于指定尺寸的缺陷。
在方法步驟312，目前進(jìn)行的方法步驟的整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM被計(jì)算。在此情況下，評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)BM1、BM2及加權(quán)因子W1與W2被使用。做為實(shí)例，下列式子應(yīng)用GBM(n)＝W1·BM1+W2·BM2在方法步驟314，在方法步驟312所計(jì)算的整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM(n)與在前一個(gè)方法循環(huán)所計(jì)算的整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM(n-1)比較，或是在第一循環(huán)的情況下，與在方法步驟300所指定的整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM比較。若整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)的值在目前的循環(huán)已增加之結(jié)果成立，則方法步驟314之后立即為方法步驟316，于此對(duì)設(shè)計(jì)的改變被接受，此外，當(dāng)改變被接受時(shí)，在方法步驟312為整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)所計(jì)算的值被紀(jì)錄為對(duì)執(zhí)行進(jìn)一步循環(huán)為有效的整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)。
相反的，若在方法步驟314整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM未增加之結(jié)果成立，亦即整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM維持不變或是在大小上減少，則方法步驟314之后立即為方法步驟318。
在方法步驟318，使用考慮隨機(jī)函數(shù)的經(jīng)指定方法以確認(rèn)是否要接受對(duì)設(shè)計(jì)的改變用于其余方法或是拒絕之。在此方面所使用的函數(shù)為下列函數(shù)，例如在”大都會(huì)方法”的情況下p＝exp(-ΔGBM/T)其中p表示接受機(jī)率，exp表示指數(shù)函數(shù)，ΔGBM表示在GBM(n-1)及GBM(n)之間的差，及T表示等于仿真溫度的參數(shù)。
參數(shù)T可在方法進(jìn)行期間被改變，例如以下列兩個(gè)式子的其中一個(gè)為基礎(chǔ)T(n)＝T0/(1+1n n)，T(n)＝T0/(1+n)，其中T0表示物理上等于高溫的常數(shù)，n表示步階計(jì)數(shù)變量及1n表示自然對(duì)數(shù)。
使用指數(shù)函數(shù)，在整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM的減少(其系由變更產(chǎn)生)被做為決定值p的基礎(chǔ)，其表示變更被接受的機(jī)率，使用隨機(jī)數(shù)產(chǎn)生器以產(chǎn)生隨機(jī)在零及一之間的范圍的數(shù)目。若使用隨機(jī)數(shù)產(chǎn)生器所產(chǎn)生的隨機(jī)數(shù)小于使用函數(shù)所決定的值，則存在接受。相反地，若隨機(jī)數(shù)大于或等于由函數(shù)所得到的值，則對(duì)設(shè)計(jì)的改變被拒絕。若設(shè)計(jì)被接受，則在方法步驟312所計(jì)算的整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)亦被接受用于其余該方法。相反地，若改變被拒絕，則在方法步驟312所計(jì)算的整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)同樣地被拒絕為無效的。
方法步驟316及方法步驟318之后皆立即為方法步驟319，于此進(jìn)行檢查以決定目前的設(shè)計(jì)是否具較最佳設(shè)計(jì)為小的整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)。若目前設(shè)計(jì)的整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)小于最佳設(shè)計(jì)的整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)，則目前的設(shè)計(jì)被接受做為最佳設(shè)計(jì)。相反地，若目前設(shè)計(jì)的整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)不小于最佳設(shè)計(jì)的整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)，則目前的設(shè)計(jì)不被接受做為最佳設(shè)計(jì)，此表示不改變最佳設(shè)計(jì)。
在方法步驟320，其在方法步驟319之后，進(jìn)行檢查以決定步階計(jì)數(shù)變量n的值是否已達(dá)到經(jīng)指定步階數(shù)目的值N。若其不為此情況，則方法步驟320之后立即為方法步驟322，在方法步驟322，步階計(jì)數(shù)變量n的值增加值一。此外，參考圖6于下文解釋的函數(shù)之選擇性被持續(xù)地增加或是以另一個(gè)合適方法為基礎(chǔ)，此亦增加在隨機(jī)選擇期間的選擇性，當(dāng)方法循環(huán)數(shù)目增加，在所接受設(shè)計(jì)中損傷的機(jī)率降低。
當(dāng)方法步驟322已進(jìn)行，該方法以新的循環(huán)在方法步驟304持續(xù)，該方法現(xiàn)在系在包括方法步驟304至322的方法回路，該回路被執(zhí)行直到方法步驟320建立步階計(jì)數(shù)變量n達(dá)到步階數(shù)目的值N。在此情況下，方法步驟320之后立即為方法步驟324，于此最適化方法結(jié)束。如在檔案中儲(chǔ)存做為最佳設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)被輸出做為結(jié)果。
替代或是除了剛剛解釋的中止選擇，若整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM的變化未到達(dá)k循環(huán)的指定限制，其中k為大于2的自然數(shù)，如100，方法亦可被結(jié)束。特別是在較大k值的情況下，必須假設(shè)”穩(wěn)定”解答已達(dá)到。
參考圖3解釋的最適化方法為一種經(jīng)仿真退火的形式，其確保整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM的最大化不僅發(fā)現(xiàn)局部最大值亦發(fā)現(xiàn)整體極大值。此表示依據(jù)在方法步驟300的規(guī)定事實(shí)上最適設(shè)計(jì)及不僅次最優(yōu)設(shè)計(jì)被確保。
圖4顯示評(píng)估函數(shù)400的數(shù)據(jù)，其為另一個(gè)示例具體實(shí)施例期間所使用以額外確認(rèn)評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)BMD以評(píng)估在經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)的電流密度D。評(píng)估函數(shù)400被示于坐標(biāo)系統(tǒng)402，其具顯示電流密度D的值的x-軸404及顯示評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)BMD的值的y-軸406。在非常小電流密度D至最大電流密度Dmax的范圍中，評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)MD的值隨著下降的指數(shù)函數(shù)自非常大的正值降至小的正值，超過最大電流密度Dmax則由評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)BMD的非常大的負(fù)數(shù)之選擇”處罰”，因?yàn)槠溥`背設(shè)計(jì)規(guī)則。在方法步驟310，電流密度D為意欲使用經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)產(chǎn)生的結(jié)構(gòu)而計(jì)算，之后，該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)BMD的伴隨值系使用評(píng)估函數(shù)400為該經(jīng)計(jì)算電流密度D確認(rèn)及當(dāng)計(jì)算整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM時(shí)以加權(quán)因子W3加權(quán)。
圖5顯示在中間連接點(diǎn)及位于其下方的接點(diǎn)孔洞間的重疊U之評(píng)估函數(shù)450的數(shù)據(jù)。評(píng)估函數(shù)450被示于坐標(biāo)系統(tǒng)452，其具顯示重疊U的值的x-軸454及顯示評(píng)估重疊的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)BMU的值的y-軸456。若沒有重疊或是橫過實(shí)際重疊方向的距離增加時(shí)，重疊U的值亦可變?yōu)樨?fù)的。對(duì)重疊U的負(fù)值，該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)BMU具大的負(fù)值，對(duì)小的重疊U，該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)BMU具小的正值。當(dāng)重疊U增加時(shí)，則評(píng)估函數(shù)450以指數(shù)函數(shù)增加。
在后續(xù)示例具體實(shí)施例中，在方法步驟310該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)BMU被用于計(jì)算整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM，使用加權(quán)因子W4加權(quán)該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)BMU。
圖6顯示電子電路550之功能單元，其被用于最適化該設(shè)計(jì)10及因而進(jìn)行參考圖3解釋的方法步驟。隨著一個(gè)示例具體實(shí)施例，該電路550不包含處理器，而是僅包含邏輯電路。
該設(shè)計(jì)10系儲(chǔ)存于記憶單元552，使用設(shè)計(jì)變化單元554以改變于再定位區(qū)域106、122的設(shè)計(jì)。該設(shè)計(jì)變化單元554使用總線系統(tǒng)556以雙向地存取該記憶單元552。使用評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算單元558至562計(jì)算評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)BM1至BMm，其中m為表示最后評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)的自然數(shù)，評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算單元558至562讀取該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)，如10a，的數(shù)據(jù)，其系經(jīng)由總線系統(tǒng)556儲(chǔ)存于內(nèi)存552。
整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM系在整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算單元566計(jì)算，其輸入側(cè)系經(jīng)由線路568連接至該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算單元558至562的輸出。計(jì)算單元566執(zhí)行在圖3為方法步驟312說明的整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)之計(jì)算，該計(jì)算單元566輸出經(jīng)計(jì)算整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM至控制單元572，其系經(jīng)由線路570用于控制最適化方法。
該控制單元572經(jīng)由線路574控制在電路550的其它單元以控制如設(shè)計(jì)變化單元554。做為實(shí)例，控制線路574被用于規(guī)定再定位區(qū)域的位置，如100、122，再定位的方向，如108，及再定位標(biāo)準(zhǔn)。
在另一示例具體實(shí)施例中，該電路550亦包含處理器600，其執(zhí)行儲(chǔ)存于記憶單元552的程序之指令，該處理器600經(jīng)由總線系統(tǒng)602存取該記憶單元552。當(dāng)執(zhí)行在該程序的指令時(shí)，于使用該處理器600時(shí)，該設(shè)計(jì)變化單元554、該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算單元558至562、該GBM計(jì)算單元566及該控制單元572的函數(shù)被提供。取代線路568、570及574，參數(shù)至記憶胞元的轉(zhuǎn)移被用于數(shù)據(jù)互換。
盡管方法步驟316及318應(yīng)用于經(jīng)仿真退火的”大都會(huì)方法”，在后續(xù)示例具體實(shí)施例中，方法步驟316及方法步驟318皆涉及基于整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)間的差所進(jìn)行的隨機(jī)決定，決定隨機(jī)數(shù)比較值的合適函數(shù)為如S型函數(shù)，其梯度系依據(jù)溫度T的值而定。
在另一示例具體實(shí)施例中，取代”經(jīng)仿真退火”最適化方法，使用不同的最適化方法-做為實(shí)例，再定位被確認(rèn)在每一個(gè)方法循環(huán)產(chǎn)生對(duì)整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)GBM的最大改良，此種方法已知為計(jì)算最大上升或下降的方法(最陡坡降法)，-或是”泛型算法”，其中基于經(jīng)指定標(biāo)準(zhǔn)自另一種設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)區(qū)域被接受，或是-該最適化方法的組合。
在進(jìn)一步示例具體實(shí)施例中，整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)在大小上減少以改良該設(shè)計(jì)，為進(jìn)行此，必須選擇評(píng)估函數(shù)使得對(duì)該設(shè)計(jì)改良產(chǎn)生較小的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)以制成組件的方法，特別是一制成一集成電路配置組件的方法，其中設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)乃被指定(302)，其乃規(guī)定要改變組件的幾何設(shè)計(jì)(10)，其中該設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)被用于產(chǎn)生經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，其被儲(chǔ)存(308)且規(guī)定一幾何設(shè)計(jì)(10a)，其與該設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的幾何設(shè)計(jì)(10)比較乃屬于一局部改變，其中，該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)(10a)被用于確認(rèn)(312)該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)(10a)的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)(BM1、GBM)，其中，該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)(10a)的該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)(GBM)乃與要被改變的該設(shè)計(jì)(10)的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)(BM1、GBM)作比較(314)，及其中，依據(jù)該比較結(jié)果而保留該未經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)或是以該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)取代(316、318)，許多改變，比較以及關(guān)于取代的決定的循環(huán)乃自動(dòng)執(zhí)行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于該局部改變的區(qū)域(100)及/或此區(qū)域(100)的大小乃不需使用隨機(jī)函數(shù)而被確認(rèn)，或者該局部改變的區(qū)域(100)及/或此區(qū)域的大小乃使用隨機(jī)函數(shù)確認(rèn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的方法，其特征在于該局部改變的區(qū)域(100)及/或此區(qū)域(100)的大小乃以平均分布為基礎(chǔ)而選擇或者是由偏好會(huì)特別破壞朝向所述方法目的的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)(GBM)之改變的區(qū)域及/或大小而選擇。
4.根據(jù)先前權(quán)利要求其中一項(xiàng)的方法，其特征在于選擇一區(qū)域(100)以產(chǎn)生該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)(10a)于要被改變的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)所規(guī)定的設(shè)計(jì)，其特征在于關(guān)于在該經(jīng)選擇區(qū)域(100)中的設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)乃被確認(rèn)，及在于該經(jīng)確認(rèn)設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)以一規(guī)定函數(shù)為基礎(chǔ)而改變，該規(guī)定函數(shù)引起在該經(jīng)選擇區(qū)域的設(shè)計(jì)的幾何改變。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的方法，其特征在于該幾何改變?yōu)榻逡恢付ň嚯x或由指定的柵格點(diǎn)尺寸及在指定方向的數(shù)目的該區(qū)域(100)內(nèi)的一設(shè)計(jì)部分的再定位(308)，及/或在于該幾何改變?yōu)樵谠搮^(qū)域(100)的一設(shè)計(jì)部分在一經(jīng)指定鏡像軸的鏡像對(duì)映，及/或在于該幾何改變?yōu)樵谠搮^(qū)域(100)的一設(shè)計(jì)部分沿經(jīng)指定旋轉(zhuǎn)中心及經(jīng)由一指定旋轉(zhuǎn)角的旋轉(zhuǎn)，及/或在于該幾何改變?yōu)樵谠搮^(qū)域(100)的一設(shè)計(jì)部分在至少一指定方向及由至少一指定尺度因子下的均勻或非均勻的放大或縮小，及/或在于該幾何改變乃與在該區(qū)域(100)的一設(shè)計(jì)部分的線路之平滑有關(guān)，及/或在于該幾何改變?yōu)樵谠摻?jīng)選擇區(qū)域(100)的設(shè)計(jì)部分乃為以來自該設(shè)計(jì)的另一區(qū)域的一設(shè)計(jì)部分、或以經(jīng)指定設(shè)計(jì)部分、或以來自該方法的一早期循環(huán)的設(shè)計(jì)的相對(duì)應(yīng)設(shè)計(jì)部分而作的取代，該相對(duì)應(yīng)區(qū)域位于在該設(shè)計(jì)的與該經(jīng)選擇區(qū)域的相同位置或具與該經(jīng)選擇區(qū)域的類似幾何，而該相對(duì)應(yīng)區(qū)域較佳為自目前為止在該方法確認(rèn)的最佳設(shè)計(jì)區(qū)域，及/或，其中，與要被改變的該設(shè)計(jì)(19)的總面積相較，該幾何改變乃導(dǎo)致該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)(10a)的總面積變化。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5的方法，其特征在于至少一該幾何改變的規(guī)定使用一隨機(jī)函數(shù)而確認(rèn)。
7.根據(jù)先前權(quán)利要求其中一項(xiàng)的方法，其特征在于該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)的確認(rèn)包括確認(rèn)(310)短路的一關(guān)鍵區(qū)域，此區(qū)域而針對(duì)該經(jīng)改變的設(shè)計(jì)或區(qū)域(100)而確認(rèn)，及/或中斷的一關(guān)鍵區(qū)域，此區(qū)域乃針對(duì)該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)(10a)或區(qū)域(100)而確認(rèn)，及/或在于該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)的確認(rèn)包括確認(rèn)在該經(jīng)改變的設(shè)計(jì)(10a)或在該區(qū)域(100)中的角隅數(shù)目(E1至E4)或邊緣數(shù)目(110至120)，及/或在于該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)的確認(rèn)包括確認(rèn)至少一要使用該設(shè)計(jì)(10、10a)而產(chǎn)生的結(jié)構(gòu)的電流運(yùn)載容量(D)，及/或在于該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)的確認(rèn)包括確認(rèn)在要被制造的集成電路裝置組件與至少一要使用該設(shè)計(jì)(10、10a)產(chǎn)生的結(jié)構(gòu)間的耦合電容，及/或在于該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)的確認(rèn)包括確認(rèn)在要被制造的集成電路裝置組件及至少一個(gè)要使用該設(shè)計(jì)(10、10a)產(chǎn)生的結(jié)構(gòu)間的重疊(U)，及/或在于該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)的確認(rèn)包括計(jì)算該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)(10a)的總面積。
8.根據(jù)先前權(quán)利要求其中一項(xiàng)的方法，其特征在于該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)為由至少兩不同評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)(BM1，BM2)所確認(rèn)的一整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)(GBM)，及/或在于當(dāng)確認(rèn)該整體評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)(GBM)時(shí)，具不同值的加權(quán)因子(W1，W2)乃被指定及用于加權(quán)該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)(BM1，BM2)。
9.根據(jù)先前權(quán)利要求其中一項(xiàng)的方法，其特征在于關(guān)于保留及/或取代該未改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的決定乃以一隨機(jī)函數(shù)為基礎(chǔ)而進(jìn)行(316，318)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的方法，其特征在于該決定對(duì)該隨機(jī)函數(shù)的依存性乃基于循環(huán)數(shù)(n)而減少。
11.根據(jù)先前權(quán)利要求其中一項(xiàng)的方法，其特征在于設(shè)計(jì)(10、10a)具為其所選的柵格尺寸，其等于用于傳送該設(shè)計(jì)(10、10a)至石刻印罩上的屏蔽曝光光束的寬度，或是在于該設(shè)計(jì)(10、10a)具尺寸小于該屏蔽曝光光束的寬度而所選的柵格尺寸。
12.一種數(shù)據(jù)處理裝置(550)，其自動(dòng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)以制成組件，特別是為一集成電路裝置的組件，具有一記憶單元(552)，用以儲(chǔ)存要被改變的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)及規(guī)定要針對(duì)該組件而改變的一幾何設(shè)計(jì)(10)，具變化單元(554)，其使用該設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)以產(chǎn)生一經(jīng)改變的設(shè)計(jì)(10a)的經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)及將它們儲(chǔ)存于該記憶單元(552)，具評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)確認(rèn)單元(558至562)，其由該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)確認(rèn)評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)(GBM)，具有一比較單元，其比較該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)(10a)的該評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)(GBM)與要被改變的設(shè)計(jì)的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)，及具有一控制單元(572)，其依據(jù)比較結(jié)果而保留該未經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)或以該經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)取代它們，及其自動(dòng)促使許多改變，比較及關(guān)于取代的決定的循環(huán)的執(zhí)行。
13.根據(jù)權(quán)利要求12的數(shù)據(jù)處理裝置(550)，其特征在于至少一另一單元，其操作包括進(jìn)行如根據(jù)權(quán)利要求1至11其中一項(xiàng)的方法。
14.一種程序或具一程序的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存，其包含由執(zhí)行包括如權(quán)利要求1至11其中一項(xiàng)的方法的一處理器(600)所執(zhí)行的一指令序列。
全文摘要
本文件敘述了一種方法，其中，規(guī)定組件的幾何設(shè)計(jì)(10)的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)乃被說明。該設(shè)計(jì)用于產(chǎn)生經(jīng)改變的幾何設(shè)計(jì)，例如經(jīng)由在一區(qū)域(100)中的再定位。對(duì)該兩種設(shè)計(jì)，評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)被確認(rèn)及比較，依據(jù)該比較結(jié)果，該未經(jīng)改變?cè)O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)會(huì)被保留或以該經(jīng)改變的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)取代。此方法連續(xù)進(jìn)行許多循環(huán)以最適化該設(shè)計(jì)。
文檔編號(hào)G06F17/50GK1662911SQ03814224
公開日2005年8月31日 申請(qǐng)日期2003年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月17日
發(fā)明者O·科德, H·梅茲納 申請(qǐng)人:因芬尼昂技術(shù)股份公司