專利名稱：在自動化制造環境中主動軟件代理的特性化的制作方法
技術領域：
本發明涉及自動化制造環境，更詳而言之，涉及在自動化制造環境中主動軟件代理的特性化。
背景技術：
不斷增加的技術需求以及全球對于精密電子裝置的接受已造成對于大型且復雜的集成電路空前的需求。于半導體產業的競爭中要求盡可能在最有效益的方法下進行產品的設計、制造以及營銷。這些要求促使制造技術的改進必須跟上電子產業發展的快速步調。為符合這些要求而于材料與制造設備上產生許多技術的提升同時顯著的增加集成電路設計的數量。這些改進也要求計算機資源以及其它高精密設備的利用，以在設計與制造之外，進一步對于排程、控制與制造流程自動化予以輔助。
首先就集成電路或微芯片的制造而論，該些集成電路或微芯片由包含典型的可為數微米尺寸的數量級的結構與特征的現代化半導體裝置所制造而成。該些特征置于該半導體裝置已劃分的區域中，該些特征包括有傳導性的、不具有傳導性的或半傳導性的(亦即通過摻雜于定義的區域中以提供傳導性)。該制程通常涉及通過一系列的制造工具以處理大量的晶片。每一個制造工具執行詳述于后的四個基本運作的一或二個運作。該四個基本運作系依據整體制程予以執行以最終產生完整的半導體裝置。
集成電路系由半導體基材材料的晶片所制成。多種的材料層在制程中被增加、移除及/或處理以形成該集成化的電子電路而以產生該裝置。該制程本質上包含系列化的四個基本運作●布層(layering)，或增加不同材料的薄層至晶片借以產生半導體；●圖案化，或移除增加層的選定部分；●摻雜，或通過該增加層中的開孔置入特定量的摻雜物于該晶片選定的部分；以及●熱處理，或加熱或冷卻該材料以在處理的晶片中產生期望的結果。
盡管只有四個基本運作，但卻可依據特定的制程以數百種不同的方式予以組合。可參照Peter Van Zant，Microchip Fabrication A PracticalGuide to Semiconductor Processing(3d Ed.1997 McGraw-Hill Companies，Inc.)(ISBN 0-07-067250-4)。
然而控制半導體制造廠卻是具有挑戰性的任務。半導體制造廠(或稱為fab)是一個復雜的環境，其中包括許多的部件(典型的為四萬個或更多的晶片)，以及許多的部件種類(典型的為一百個或更多的部件種類)，在同一時間被制造。當每一個晶片通過該fab時，將會經歷超過三百種處理步驟，其中的許多步驟是利用相同的機器。大型的制造廠可能包含大約五百臺以上的計算機控制機器以執行此種晶片處理。通過該些制造廠的其中之一對物料進行路徑設定、排程(scheduling)與追蹤是非常困難且復雜的任務，即使通過計算機化的制造廠控制系統的輔助亦然。
有效率的管理用以制造如半導體芯片等的設備必須監視制程中的各種不同的方面。舉例而言，典型的需要追蹤現存原物料的數量、在制品的狀態以及在制程中的每一個步驟的機器與工具的有效性。一個重要的決定在于選擇何一批次應該在任一給定時間于各機器上執行。此外，于制程中的大部分機器必須安排固定的預防性維護(preventativemaintenance；PM)以及設備質量驗證(equipment qualification；Qual)程序，以及必須定期執行診斷與修理的程序，如此才不會妨礙制程本身。
解決此問題的一種途徑系執行自動化的“制造執行系統(Manufacturing Execution System；MES)”。自動化MES可讓用戶查看并操作于制造環境中有限范圍的機器與工具的狀態或實體(entity)。此外，MES可執行批次或通過制程的在制品的發送與追蹤以使資源可在最有效率的方法下予以管理。具體言之，為響應MES的提示，用戶輸入所要求有關于在制品或實體狀態的信息。舉例而言，當用戶于一特定的實體上執行PM時，維護技術人員(maintenance technician；MT)將PM或事件(event)的執行登入MES屏幕中借以更新存儲于數據庫中關于該實體狀態的信息予以更新。此外，當實體被記錄為修理或維護時，該MT會將該信息登入至該MES數據庫中，以防止該實體的使用直至之后登錄回復至生產準備狀態為止。
僅管MES系統有足夠的能力執行追蹤批次或機器，但是此種系統仍存在著一些缺陷，最明顯的便是它們的被動性，欠缺先進的排程且無法支持高度自動化的制造廠運作。現行的MES系統過于依賴制造人員對于制造廠狀態的監視并僅于本次操作中初啟動作。舉例而言，直至晶片制造技術人員(wafer fabrication technician；WFT)發出適當的MES指令否則批次不會開始進行處理。此外，于進行處理之前，WFT必須發出MES指令以從自動物料檢索系統(automated material handling system；AMHS)中檢索出批次，該AMHS可充分預先計劃當該機器變為有效時該批次存在于該機器中。若該WFT檢索該批次的速度不夠快或忽略于最早有效時間初啟處理，該機器將會閑置而將對生產造成不利的沖擊。
于該典型的MES系統中的缺陷種類強調于制程的有效運作中WFT的重要性。WFT執行許多關鍵功能。舉例而言，WFT依據他們的注意與時間的允許初啟發送、運送以及處理。他們制定排程決定，如在相對等待接近的批次的情況下是否執行不完整的批次，或執行PM或質量驗證程序以替代處理批次的步驟。于此背景中，該術語“被動”是指相對自我啟動或自我初啟而言在該控制系統中的動作必須通過FWT初啟。
然而，FWT的存在必然會產生一些無效率的情況。該些情況典型的存在于最好的WFT與最差的WFT之間表現的差異。一位WFT通常必須同時監視多個工具或批次的處理，致使難以專注于各個批次或工具。此外，現代化的制程的尺寸與復雜性亦導致WFT預見或預防下游瓶頸或因上游動作所產生的短缺是極度困難的。WFT的換班、工作中的休息以及休息日亦會產生無效率或機器的閑置時間等不利于制程的沖擊。正因為WFT的重要性通過該自動化MES的缺陷而擴大，因此WFT的無效率亦因其本身的重要性而擴大。
因此，利用于現今晶片制造廠中的制造廠控制系統是被動的且無法具有高度自動化。這些系統有賴于晶片制造廠技術人員以及其它制造廠工作人員監視該制造廠的狀況、持續的對固定的改變做出響應、做出快速的運籌決定以及以適時的方式初啟并協調制造廠控制行動。這些晶片制造廠技術人員系為代理(agent)，用以提供于制造廠控制系統中所缺乏的行動要素。據此，在現今高度競爭的半導體產業中制造廠的效率端視該些代理的可利用性、生產力、技術層次以及協調性。晶片制造廠技術人員必須監視并操作置于制造廠中不同間隔中的大量的工具。他們被迫在許多工具、間隔、物料控制系統以及不同的制造廠控制系統間穿梭。當制造廠的生產導入更多且更復雜的程序時，很難在不增加員工或系統能力的情況下解決復雜性增加的問題。晶片制造廠技術人員對于上游或下游的運作、工具狀態、在制品以及資源的有效性的預見性是有限的。
然而，關鍵的運籌決定通常是依據有限且過時的信息，該信息僅部分的通過制造廠控制系統提供。晶片制造廠技術人員耗費大量時間在與系統互動、監視制造廠事件與狀態的改變以及如MES登入等其它無附加價值職務的執行。換班會中斷制造廠的運作且同時技術人員無法提供所需的監視與協調。盡管技術人員付出最大的努力，工具的使用本身對于其它如制程時間、庫存規模、制造廠輸出以及前述所有的混合等關鍵的制造廠衡量(metric)仍會造成不利的沖擊。隨著對于內部間隔物料控制以于新的300毫米級晶片制造廠中傳輸12時晶片的需求。公知的制造廠控制系統已無法提供此種復雜程度的排程或執行控制。
本發明用以解決或至少減少一個或全部前述的問題。
發明內容
本發明包含一種利用特性化、自主的主動軟件代理以實現自動化制造環境的裝置以及方法，該軟件代理通過其所代表的實體類型以及于處理流程中所執行的功能予以特性化。該裝置包括處理流程，該處理流程包含多個制造區域實體以及多個用以安排該制造區域實體的第一子集的軟件代理，該制造區域實體的第一子集系用以消費由該制造區域實體的第二子集所供應的處理資源。該方法包括例示該軟件代理并接著允許該軟件代理依據程序化運作。
通過前述伴隨圖式的詳細說明將更了解本發明的內容，于該圖式中相同的組件符號用以表示相同的組件，該圖式包括圖1概念的顯示依據本發明所架構并運作的第一處理流程的特定實施例的一部分；圖2概念的顯示圖1中的計算機裝置各個硬件與軟件架構選擇部分的部分方塊圖；圖3A概念的顯示于第一層級上的代理，亦即，作為圖1的第二處理流程中的消費者代理以及供應者代理的特性化的部分方塊圖；圖3B顯示用于第3A圖的處理流程的契約網絡協商協議的浮動市場模式實現的流程；圖4概念的顯示于圖1的處理流程中關于類型、實體以及功能的代理的特性化的部分方塊圖；圖5A與圖5B顯示例示實施例的對象導向程序化環境中用于二層級的代理的繼承層級；以及圖6顯示于圖1的處理流程的AEMS中代理的各種層級。
本發明容許多種的修飾或替換。特定的實施例將通過附圖于本說明書中予以詳細說明，然而，需了解者，系于本說明書中所揭露的特定實施例并非用以限定本發明于特定的型態中，相反的，所有的修飾、等效變更以及替換均為權利要求范圍中所定義的本發明的精神與范圍所涵蓋。
具體實施例方式
本發明的實施例將揭露如下。為求明確，于本說明書中不會將實際實施時的所有特征全部揭露。當然，須注意的是于任何實際實施例的發展中，為達到研究者的特定目的多數的實施特性必須予以決定，例如為屈就與系統相關或與商業相關的限制等，如此將會從一種實施方式改變到另外一種實施方式。此外，須注意的是，此種研究是復雜且耗時的，但對熟習該項技術者而言卻是例行公事。
圖1概念性顯示依據本發明所架構并運作的第一處理流程100的特定實施例的一部分。該處理流程100系用以制造半導體裝置。然而，本發明可應用于其它類型的半導體制程中。因此，于上述的處理流程100中，該晶片135的批次130可更一般性的稱之為“工件”。該處理工具115及于其上所執行的處理運作于所有的實施例中并不需要與半導體裝置的制造相關。然而，為明確之故并能進一步對本發明有所了解，于例示實施例的背景所揭露的發明中關于半導體制造有關的術語將予以保留。因此，術語“批次”可廣泛的予以定義，代表任何可于制程中處理的工件。
該處理流程100所例示的部分包括二個站105，每一個站105包括與處理工具115溝通的計算裝置110。該站105相互間通過通訊連接120溝通。于例示的實施例中，該計算裝置110以及通訊連接120包含較大的計算系統，如網絡125，的一部分。顯示于圖1中處理工具115所處理的晶片135的批次130最終將會成為集成電路裝置。
圖2描述依據本發明的計算機裝置110的各個硬件與軟件架構的選擇部分。該硬件與軟件架構的某些方面(特別卡、基本輸入/輸出系統、輸入/輸出裝置等)沒有示出。為求明確而將該些方面予以省略，而不致模糊本發明的特征所在。然而，受益于本發明的本領域技術人員應了解到，計算機裝置110的硬件與軟件架構可包括許多慣常特征。
于例示實施例中，該計算裝置110為利用UNIX架構操作系統200的工作站，但本發明的范圍當不限于此。該計算裝置110實際上可通過任何種類的電子計算裝置予以實現，如膝上型計算機、桌上型計算機、迷你計算機、主架構計算機或超級計算機等。于某些可替代的實施例中，該計算裝置110甚至可為嵌入于該處理工具115的處理器或控制器。本發明亦不限于UNIX架構的操作系統。亦可利用其它可替代的操作系統(如Windows操作系統、Linux操作系統或DOS操作系統等)。本發明并不受限于特定的計算裝置110。
該計算裝置110進一步包括通過總線系統215與部分的存儲單元210溝通的處理器205。該存儲單元210典型的至少包括硬盤或隨機存取內存。于某些實施例中，該計算裝置110復包括可移除的存儲裝置，如光盤230或軟式磁盤235或如磁帶或zip磁盤(未圖式)等其它的形式。該處理器205可為任何已知適合的處理器。舉例而言，該處理器可為通用微處理器或數字信號處理器。于例示實施例中，該處理器205為Athlon處理器，其可通過先進微裝置公司(AMD)于市場上取得，但本發明的范圍并不限于此。太陽微系統(SUN)的64位UltraSPARC或32位microSPARC，獲任何英特爾的Itanium、Pentium或Alpha均可予以替換利用。該計算裝置110包括監視器240、鍵盤245以及鼠標250伴隨其相關聯的界面軟件255(顯示于圖2中)共同構成用戶接口260。盡管并非實施本發明所必須，但于例示實施例中的用戶接口為圖形用戶接口(GUI)。
圖2顯示該計算裝置110軟件架構的選擇部分。于例示實施例中，每一個計算裝置110包括于存儲單元210中常駐于該計算裝置110的軟件代理265。需注意者系軟件代理265可常駐于處理流程100中以替代常駐于該計算裝置110中。該軟件代理265的位置并非關鍵，某些計算裝置110可具有多個常駐于其中的軟件代理265而其它的計算裝置110則可能不具有任何軟件代理265。如WORKSTREAM等自動化MES 270常駐于至少一計算裝置110中。
再參閱圖1，如前所述，通過該通訊連接120的連接該計算裝置110還可為較大的計算系統125的一部分。于此實施例中的例示的計算系統可包括局域網絡、廣域網絡、系統網絡、企業內網絡甚或因特網。該計算系統125利用網絡化主/從架構，但于可替代的實施例中可利用點對點或其它類型的網絡架構。因此，于部分可替代的實施例中，多個該計算裝置110彼此可直接溝通。該通訊連接120可為無線、同軸電纜、光纖或雙絞線連結。于多數實施例中所利用單一的計算系統125，該通訊連接120將具有實施特性且可以任何適當的公知方法予以實施。該計算系統125可利用任何公知適當的通訊協議，如傳輸控制協議/因特網協議(TCP/IP)等。
請并同參閱圖1與圖2，該軟件代理265共同的負責有效率的安排與控制通過該制程的晶片135的批次130。每一個處理工具115代表某些可作為此用途的資源。舉例而言，處理工具115可為用以制造該晶片135的某些部份的制造工具，亦即，該晶片135的布層、圖案化、摻雜或熱處理。或者，該處理工具115可為用以評估該處理程序100不同部分的效能的測量工具。因此，該軟件代理265可用以評估用以依序處理的晶片135的批次130的多個資源、分配通過該處理工具115所提出的資源以及彼此協調以分配用以依序處理的晶片135的批次130的資源。
于例示實施例中，該軟件代理265于啟動時自我設定，智能的，狀態察覺，且灌輸有特定的目標據此可實現自主的初始運作。該軟件代理265還可依據其所處的環境的變化自我調整。于例示實施例中該軟件代理265為對象導向程序化環境中的多個對象，然而本發明可通過其它非對象導向的技術予以實現。它們的運作相對的簡單且可通過描述語言與多個特性部分的予以設定。該運作用以達成選擇的目標，如達成分配批次的期限、達成預定質量等級、機器利用的極大化以及安排預防性維護的適當時機。為推動此些目標，該軟件代理265與該MES 270間相互聯系并與現存的制造廠控制系統(未標示)相整合。受益于本發明的本領域技術人員應了解到，用以實現聯系與整合的方法可依據該MES 270與制造廠控制系統的特性予以特制化。
該軟件代理265共同的預先安排每一個批次130于特定符合條件的處理工具115上的一個或多個運作，其包括詳述于后的必須資源的運送。其包括做出最佳化決定，如執行不完整的批次，反對等待即將到來的批次130，以及安排預防性維護的適當時機或符合規格。該軟件代理265安排并起動如批次運送與處理、執行MES處理、監視處理與運送以及對于未安排的動作或偏離安排的動作做出響應等動作。更具體而言，該軟件代理265可例如為●安排并初啟批次130所必須的物料運送執行以符合其于特定工具115的下一個處理約定；●監視運送活動并對偏離有所響應；●通過特定約定的初啟時間，安排并初啟傳送裝置至專用的機器端口；●通過自動辨識與設備事件檢測機器端口載體的到達；●初啟處方下載并通過設備接口并處理至處理工具115；●執行MES處理；●監視處理活動并通知WFT異常狀況；●通過設備事件偵測接近完成的處理并通過認證的處理工具115為處理流程中的下一個處理安排處理約定；●初啟運送至最接近的存儲區或附近的處理工具115；●偵測載體離開并釋放該端口；●安排預防性維護程序并于適當的時間通知WFT；●安排限定程序并于適當的時間通知WFT；以及●安排用以處理或執行預防性維護與設備質量驗證的資源(如十字標、裝填機、卸載機等等)。
需注意的是，依據執行的層級，給定的實施例可執行上述任何或全部的功能，甚或上述未列出的功能。
如進一步詳述于后的內容，該軟件代理256可在數個不同層級上特性化以促進其運作。其中一個層級是“類型”，亦即不管該軟件代理256于處理流程100中代表“消費者”或“供應者”。更具體而言，不管該軟件代理256代表消費者或供應者均是通過其表現的實體類型決定并于背景中表示該表現的發生。舉例而言，軟件代理256可代表晶片135的批次130(亦即批次代理)、處理工具115(亦即機器代理)、處理資源(亦即資源代理)或執行預防性維護與設備質量驗證(亦即PM代理)。需注意的是，如后的更完整說明，某些軟件代理256代表制造區域的實體在某些背景中為消費者而在其它的背景中則為供應者。該軟件代理256亦可通過功能，亦即通過該軟件代理256于處理流程中所執行的功能而特性化。每一個特性化的軟件代理256于本實施例的執行的處理流程100的整體執行中擔任不同的角色。
需注意，該軟件代理256無須一對一的相對應于如批次130、處理工具150等制造區域實體。相對的，大多數的區域實體中的每一個實體通過一組代理來表現。舉例而言，如后的更完整說明，批次130或處理工具115可同時具有排程代理與處理代理。如此有助于呈現特性化運作的特性化對象的設計借以支持區域實體功能的單一方面。
請參閱第3A圖，于一般情況下，于例示的處理程序300中該軟件代理256典型的分成消費者代理305以及供應者代理310。該消費者代理305代表消費者注意事項，如在批次130或PM程序320，在該批次130于適時且以有效率的方法通過處理流程100或各自于允許的窗口執行預防性維護與設備質量驗證之前。供應者代理310代表供應者325的注意事項，如處理工具115的機器在符合消費者需求資源的情況先于批次130于適時且以有效率的方法通過處理流程100。舉例而言，代表晶片135的批次130的軟件代理256可考慮為消費者代理305而代表處理工具115的軟件代理256則可考慮為供應者代理，因為該處理工具115提供由該批次130所消費的處理服務。需注意者，如前所述以及如后的更完整說明，軟件代理256在一種背景中會被分配為供應者代理310而在其它背景中則被分配為消費者代理305。
如前所述，介于消費者代理305以及供應者代理310間的區別在排程的背景中特別有幫助。于例示實施例中通過該軟件代理256初啟的動作排程圍繞著與處理相關聯的預算、成本以及比率。更詳而言之，為促進用以分配資源的契約網絡協商協議的實現，預算、成本以及比率的組合用以實現浮動市場模式信道。所建構的組合用以促進期望的行為，如符合期限、機器的有效利用等等。更具體而言，該消費者代理305使用的預算分配予消費者315借以取得供應者325的處理服務。同樣的，該供應者325針對其所呈現的處理服務，如處理時間，該消費者315收費。消費者315所愿意支付的預算總額是依據該消費者315需要該處理資源以繼續停留于排程的無利益以及該供應者325依據其需要填補其排程無利益而收取的費用總額而定。于此處的例示實施例中，該預算與成本以美金表示，但并非本發明實施所必要。任何度量單位均可用以替代之。
請參閱第3B圖，其為方法330的例示。該方法330可在不同的實施例予以實施，以下將就特定的一種實施例予以說明。該消費者軟件代理305與供應者軟件代理310利用契約網絡協商協議信道以為該供應者325安排消費者315。為該消費者315可進入該供應者325的服務該消費者305與該供應者310協商。該存取被稱之為約定。于特定的實施例中，該消費者305與該供應者310均會標示該約定于其各自的日歷中。
方法330通過提供消費者315其接著需要消費的特定處理資源的預算而初啟，該資源可例如為于該處理工具115上的處理時間，如步驟335所示。該消費者315接著通過消費者軟件代理305發出競標(bid)請求以供消費者315取得該處理資源，如步驟340所示。于一實施例中，該消費者軟件代理305要求所有來自所有符合消費者315利益的供應者競標。當消費者軟件代理305要求競標時，其給予供應者310適當的信息如該消費者的確認；初啟運送的最早時間；待安排處理運作、該消費者315可接受的最遲完成時間；該消費者315運送至該供應者310的初啟位置；以及該消費者的預算計算表(budget calculator)。
該供應者325接著通過其所有的供應者軟件代理310提交至少一個該競標要求的競標響應至該消費者315，如步驟345所示。于替代的實施例中，供應者軟件代理310不會提交任何競標。如前所述，供應者軟件代理維持日歷327以追蹤約定。當接收到競標要求時，該供應者軟件代理310搜索該日歷327以找出該供應者305可能提供所要求的服務的時間空隙。針對每一個可能的時間空隙，該供應者305提交由初啟與結束時間以及選擇的成本所構成的競標。
該消費者315接著通過消費者軟件代理305選擇由該時間與選擇的成本所構成的被提交的競標。該消費者315針對所選定的競標通過消費者軟件代理305授予契約至該供應者325，如步驟355所示。然而，該供應者325典型的在不間斷的基準上與數個消費者315。有可能在該供應者325接著安排另一個消費者315在某種程度上與所提交的競標相沖突以致于其無法再接受該契約。因此，該供應者325通過供應者軟件代理310檢查該日歷327以確認其是否可執行該競標并接受該契約。若該競標于該日歷327上仍可實行，該供應者325接著確認該授予的契約，如步驟360所示，且該消費者與供應者安排該約定362于各該日歷323、327上。約定為時間周期，確認于該時間周期中該供應者325須強制其本身執行該行動。
因此，于處理流程300中通過供需經濟實力作出決定。更具體言之，依據所選擇的因素，如領先或延遲等，分配該消費者軟件代理305以取得服務多少有些競爭性。依據一些因素，如于供應者軟件代理310的日歷中利用的程度等，分配供應者軟件代理310以供應這些服務多少有些競爭性。需注意，該些決定通過可設定資產或作為決定基礎影響預算與成本的曲線而于外部執行。如同此種方式一致的運作，該消費者與供應者軟件代理305、310相互合作以適時并有效率的方式滿足該消費者305。
圖4描述半導體制造流程400的部分，其中圖2的軟件代理265包含特性化的所有三個層級。更具體而言，該流程400包括●預防性維護排程代理(PMSA)418，其為消費者軟件代理，用以代表用于處理工具預防性維護以及設備質量驗證程序的排程功能；●批次排程代理(LSA)405，其為消費者軟件代理，用以代表用于排程功能的批次130；●機器排程代理(MSA)410，依據運作的背景，其為消費者或供應者軟件代理，用以代表用于排程功能的處理工具115；以及●資源排程代理(RSA)415，其為供應者軟件代理，用以代表用于排程功能的十字標410。
盡管未顯示于圖中，該批次130、處理工具115、預防性維護以及設備質量驗證程序(未圖標)以及十字標420均具有相應的處理代理，當執行行動的時間到達時該排程代理405、410、415、418傳送控制至該處理代理。需注意，RSA 415可用以代表其它類型的處理資源，如偽(dummy)晶片、空卡匣、WFT、MT等等。該處理流程400執行該浮動市場模式進入前述圖3A與圖3B相關的契約網絡協商協議。當停留在排程上時該LSA 405嘗試最小化成本。當最大化利益時該MSA 410嘗試最佳化工具利用。
該LSA 405嘗試維持代表于排程上的批次130。該MSA 410嘗試最大化所代表的處理工具115的利用。同樣的，該RSA 415嘗試最大化所代表如該十字標420等資源的利用。需注意者，系于其它實施例中，該RSA 415可代表其它類型的資源，如機器裝載資源、偽晶片、卡匣、晶片制造廠技術人員、維護技術人員等等。該PMSA 418尤其會嘗試找機會安排在處理工具115上的預防性維護以及設備質量驗證。該些不同的代理405、410、415與418在為了處理資源的消費的協商約定的背景下通過依據它們需要或期望所維持的排程調整它們提出或預計支付該些服務的價格執行該些動作。
更具體言之，批次130典型的與一些設備的部份協商，如處理工具115。該LSA 405嘗試找出處理工具所提出的時間空隙，該時間控系將允許該批次130符合其本身的期限并于適當時間提供予次依瓶頸機器站。于此同時，該MSA 410嘗試取得批次130用以通過最佳化該處理工具115利用的方式予以處理。整體而言，該MSA 410的目標是最大化其所有的各個處理工具115的整體利用、關于該批次130的相對優先、減少設定或處方的變更以及最佳化其所有的批次130的尺寸。如此的代理共同的互動致使在特定處理工具115上的批次130排程在特定時間窗口中。
一般而言，該LSA 405通過發布要求競標信息425至所有代表處理工具115具有執行所期望的制造運作的能力的MSA 410以初啟該協商。基于此點，因為該處理工具115提供處理服務，亦即處理時間，因此MSA410被作為供應者。一旦收到要求競標信息425，每一個具有能力的處理工具115的MSA 410，確認可能的競標，辨識出將需要符合要求的十字標420以執行該工作，并發布其所有的要求競標信息430至所有符合要求的資源亦即十字標420的RSA 415。由于該處理工具115現在正在消費處理服務，亦即伴隨該十字標420的時間，故于此時該MSA410已從供應者換成消費者。代表符合要求的十字標420的每一個RSA 415提交一個或多個競標435，該MSA 410自包含于其所有的競標460中選擇出一個競標。該MSA 410已經確認所需的資源，而回復到處理服務的供應者角色。若另一個可能的競標通過該MSA 410確認，其會再次要求來自適當的RSA415的競標。
代表具有能力的處理工具115的每一個MSA 410提交一個或多個競標460予發布該要求競標信息425的該LSA 405。該LSA 405自所有MSA410所提交的競標460中選擇一個競標460。該LSA 405接著授予提交被選擇的競標460的MSA 410該契約465。該MSA 410檢查其所有的機器日歷470，確認該競標仍然存在，且于存在時授予提交被選擇的競標435的十字標420該契約440。該RSA 415檢查其所有的資源日歷445，確認該競標仍然存在，并安排該約定475a于該資源日歷445上。該RSA 415接著確認該契約具有確認競標信息455，且該MSA 410安排有關于提供該資源競標435的RSA415的約定475b于其所有的機器日歷470上。該MSA 410接著發送經確認的競標信息480至該LSA 405。該LSA 405接著安排相應的約定475c于其所有的批次日歷485上。當該約定475a、475b、475c的執行時間到達時，該排程代理405、410與415傳送控制至其所有的各個處理代理(未圖標)。
因此，盡管相同類型的代理通常被程序化為具有相同的行為，僅在出現差異時才會產生特別化的代理。相對于前述該MSA 410與該LSA405以及RSA 415的行為可明顯的呈現出其差異。然而，同樣的，于例示實施例中存在著更細微的差異。舉例而言，其中具有許多類型的處理工具115，且每一種類型的處理工具115應該要處理不同的特性，因此各個軟件代理265需要特性化。于本實施例中例示的特性可提供該些代理予以特性化，該些特性包括●該處理工具115處理晶片、批次130、批次130的群組(batch)或晶片的群組其中之一；●該處理工具115連續的(亦即在初啟第二單元處理之前完成第一單元的處理)或接續的(亦能夠于完成第一單元的處理之前初啟第二單元處理)處理晶片、批次130或群組其中之一；●用于處理工具115的端口數量；●用于處理工具115的端口為輸入、輸出或輸入/輸出其中之一；●用于處理工具115的容器(chamber)連續或并行的使用其中之一；●是否該處理工具115可拘束預防性維護；●在處理工具115中的容器的數量；●是否該處理工具115包括內部存儲單元；●是否該處理工具115當處理另一批次或群組可將批次130或群組織處理予以排列；●該處理工具115要求裝載及/或卸載其中之一；以及●是否該處理工具115要求資源，且如果要求時，是否該些資源系為專用資源或共享資源。
然而，需注意，隨著該些因素被特性化的機器代理或任何軟件代理265將具有高度的執行特性。
舉例而言，考慮到于實施時，機器代理通過它們處理晶片、批次或群組等等其中之一予以特性化。于特定的實施例中，可利用下列的機器代理●基線處理代理；●晶片級處理代理；●晶片級，接續處理代理；●晶片級，群組接續處理代理；●晶片級，群組處理代理；●批次級處理代理；●批次級，接續處理代理；●批次級，群組處理代理；●批次級，群組接續處理代理；●基線排程代理；●晶片級排程代理；●晶片級，接續排程代理；
●晶片級，群組接續排程代理；●晶片級，群組排程代理；●批次級排程代理；●批次級，接續排程代理；●批次級，群組排程代理；●批次級，群組接續排程代理。
此特定實施例利用對象導向程序化技術執行該些代理且該基線代理提供層級確認而其它的代理則為該層級的下一層級。日歷，如于第3A圖中的日歷327，可如同與它們相關聯的機器般予以特性化。因此，于前述的實施例中，可利用以下的特性化日歷●晶片級，接續日歷；●晶片級，連續日歷；●晶片級，連續群組日歷；●晶片級，群組接續日歷；●批次級，連續日歷；●批次級，接續日歷；●批次級，連續群組日歷；以及●批次級，群組接續日歷。
然而，需注意，此并非本發明的實施所必需者。
亦可利用其它代理特性化。預防性維護代理可通過它們所執行的維護程序予以特性化，其執行的維護程序可基于時間、處理過的晶片、處理過的批次、處理過的群組、處理時間、事件的發生等等。于特定的實施例中，可利用以下的特性化預防性維護代理●以晶片為基礎的預防性維護排程代理；●以時間為基礎的預防性維護排程代理；●以處理單元(如處理過的批次130的數量、如處理過的群組的數量)為基礎的預防性維護排程代理；●以處理時間(如累積的處理時間)為基礎的預防性維護排程代理；●以事件為基礎的預防性維護排程代理(如處理事件結束時)；●晶片級預防性維護處理代理；
●時間級預防性維護處理代理；●處理單元級(如處理過的批次130的數量、如處理過的群組的數量)預防性維護處理代理；●處理時間級(如累積的處理時間)預防性維護處理代理；以及●事件級預防性維護處理代理(如處理事件結束時)。
由于預防性維護排程代理種類的不同，故每一個預防性維護排程代理包含獨特的行為。舉例而言，以時間為基礎的預防性維護排程代理依據時間(如三十日的預防性維護)安排預防性維護。以時間為基礎的預防性維護排程代理通過于最后的預防性維護發生日期加三十日以確定預防性維護的期日到達。另一方面，以事件為基礎的預防性維護排程代理則有不同的行為。該以事件為基礎的預防性維護排程代理依據該工具(如末端蝕刻預防性維護)上所發生的事件安排預防性維護。當該以事件為基礎的預防性維護排程代理偵測末端蝕刻事件發生時，期將會安排該特定的處理工具115的預防性維護。
LSA基于以下的理由可予以特性化●優先權；●產品；以及●產品族。
因此，LSA在選擇競標時可具有不同的行為。舉例而言，較高優先權的批次將依據其可接受處理的時間選擇競標，而較低優先權的批次將依據成本選擇競標。批次亦可依據該批次的產品族而有不同的行為。舉例言之，考慮快閃處理器批次與微處理器批次，快閃處理器應該盡可能快的通過處理流程的運作。于此情況中，該批次將依據時間選擇競標。另一方面，微處理器則會有相反的行為且將依據成本選擇競標。
資源代理可如同排程或處理代理而通過它們所代表的專用資源(裝載資源)或共享資源(如WFT、十字標、偽晶片或空載體)，以及它們所代表的特別資源類型而予以特性化。其它的特性化可利用于替代的實施例中。
于例示實施例中的該對象導向程序化環境相當適于該些類型的特性化。熟習此項技藝的人士應了解，對象導向程序化環境包含多個軟件執行對象，期中的每一個均屬于一種對象類型或對象層級。于例示實施例中，處理代理以及排程代理屬于二種不同的物件層級。于層級中的對象可被區分至繼承層級(inheritance hierarchy)，其中低層級的繼承高層級的特性且包括不同于高層級的屬性與特性。
如圖5A所示，考慮用于MSA對象層級的該繼承層級500，該MSA502為MSA的基線層級。該MSA 502包含由所有MSA所共享的行為。舉例而言，該MSA 502負責產生并移除約定初啟時間與終止時間警報。該代理還建構一些共通的幫助者層級，舉例而言，其包括約定變更通知者，約定變更收聽者、機器初啟、機器收聽者、競標要求認購者、早期啟動器、處罰償還計算器、沖擊評估者、轉換批次權利重新排程者以及機器競標要求者。前述所有的概念將進一步詳述于后。該MSA 502亦用以負責要求工具狀態。該LSA還請求該MSA 502以產生或確認競標。于該MSA 502中的所有型為由多個MSA所繼承。該些MSA包括批次MSA 504、批次接續MSA 506、群組MSA 508、群組批次MSA 510、群組批次接續MSA 512、群組晶片MSA 514、群組晶片接續MSA 516、晶片機器排程代理518以及晶片接續MSA 520。
除繼承該基線行為外，每一個特性化MSA包含獨特行為并跨越某些繼承的行為。于例示實施例中，大多數的獨特行為是基于該處理工具115與該MSA處理批次130相關聯的程度。部分的該些行為包括處理工具狀態、處理設備事件、對于約定狀態改變的響應、對于制造廠改變的響應、決定批次或群組織消費時間以及特性化幫助者層級的產生(詳述于后)。為說明該排程代理間不同的行為，以下將比較并對比晶片MSA 518與群組批次MSA 510。
晶片MSA 518(代表，如電漿剝除工具)為給定的批次一次處理一晶片。另一方面，群組批次MSA 510(代表，如熔爐)一次處理數個批次的群組。于初始化期間，代理510、518均會要求工具狀態。通過該代理510、518所接收工具狀態是獨特的。該晶片MSA 518將依據晶片接收包含信息的工具狀態而群組批次MSA 510則依據批次群組接收工具狀態。每一個代理510、518將單獨的處理工具狀態以發現該機器的狀態。介于該代理510、518間的另一個不同是其處理設備事件的方式。該事件依據該機器如何處理批次而定。對于晶片機器而言，某些設備事件是以晶片為基礎。對應于群組批次機器，該設備事件的一部分是以時間為基礎。舉例而言，當該處理工具115幾乎完成該批次130或群組的處理時會觸發接近完成事件。于晶片級機器上，當剩余的晶片達到給定數量時觸發該事件。于群組批次機器上，當時間剩余達到特定的門限時觸發該事件。
該晶片MSA 518與群組批次MSA 510間的新約定的消費時間的決定亦不相同。批次130所包含的晶片135的數量以及該處理運作決定于晶片級機器上的消費時間。另一方面，群組批次MSA 510利用群組消費時間作為處理以及處理運作。當該排程代理接收該接近完成的事件時，該代理決定是否應該擴大或縮小該約定。之于晶片MSA 518，該代理518確定剩余待處理晶片的數量。其接著將依據剩余晶片數量決定剩余消費時間。其將依據該剩余的消費時間縮小或擴大該約定。該群組批次MSA510接收于該接近完成事件中剩余消費時間，其將依據該剩余消費時間決定縮小或擴大該約定。
可替代的，考慮圖5B的繼承層級550。該RSA對象層級552為所有RSA的基線層級。該基線RSA 522包含由所有的RSA所共享的行為。舉例而言，該基線RSA 522負責產生并移除約定初啟時間與終止時間警報。該基線RSA 522進一步劃分至二個子層級專用的RSA 554與共享的RSA 556。專用的資源的典型的例示是用以負責于群組處理工具115上裝載或卸載批次130的裝載資源。此種專用的資源由專用的RSA 554代表，如該裝載RSA 558。共享的資源的典型的例示為十字標、空卡匣、偽晶片、WFT以及MT。此種共享的資源由共享的RSA 556代表，如十字標排程代理560、該空卡匣排程代理562、偽晶片排程代理564、WFT排程代理568、MT排程代理570。
裝載RSA 588的特性化行為的其中一種是裝載順序最佳化。每次裝載RSA 558接收到關于批次130的最早到達時間的更新的約定變更事件時，其將決定于群組中所有批次130的最佳化裝載順序，據此所有該群組相關的裝載可在最短的時間完成。裝載RSA 558的另一個特性化行為是當該群組工作令批次130遲到時執行卸載約定的排程。于期望的設定中，在該第一群組工作的卸載初啟時間之前該第二群組工作的所有裝載將被安排完成。因此當該第一群組工作的卸載完成時，可初啟第二群組工作的裝載，且于第一群組中的批次130的卸載將被安排在第二群組的裝載終止時間后。然而，若該第二群組中的一個批次130無法在該第一群組工作的卸載初啟時間前于足以被裝載的時間之前到達該處理工具115，針對該批次130的裝載約定會被安排至該第一群組卸載完成之后。于此情況下，該RSA將依據于該處理工具115上處理的處理運作的性質而有不同的特性化行為。于一種情況中，于一種批處理工具115上處理運作的執行系非常接近處理路徑的末端，且該RSA總是于該卸載終止后隨即為該第一群組安排卸載約定，并接著該遲到的裝載約定被安排至該第一群組卸載之后。于其它的一些情況中，該處理運作并不是非常接近處理路徑的末端，且沒有任何緊急的情況催促該卸載約定，因此該遲到的批次130將會被安排在該第一群組工作卸載之后裝載且該第一群組的卸載將被安排在該第二群組工作的裝載完成后。
因為專用的資源的性質，故對于專用的RSA 544而言，不會有移動約定的要求以于約定之間運送該資源。然而，由于該資源必須于處理工具115與批次130的群組間共享，因此對共享的RSA 556而言，當二個約定被安排于二個不同的位置時必須于二個約定之間安排移動約定。因此共享的RSA 556將具有其專屬的特性化行為以產生并標示資源處理約定當該資源的運送有其必要時將產生并標示移動約定。共享的RSA 556還具有關于競標產生與競標確認的特性化行為。其允許較高優先權的處理工具115或批次130取代低重要性的處理工具115或批次130的約定。
其它特性化的RSA亦呈現其它的特性化行為。就WFT或MT排程代理568、570而言，其每一個均具有特性化行為以考慮關于該技術人員個人素質(技術)的限制，而破壞時間要求或交接限制。介于該WFT與MT之間的一個不同點是典型的MT在維修或預防性維護的期間中必須全程參與，而WFT則可能只需要該時間的一部分。舉例而言，WFT于裝載或卸載過程中必須在處理工具115處但于該處理工具115進行處理時可執行其它的任務。空卡匣排程代理562具有特性化行為因為其系動態的產生并于被使用后接著停止。空卡匣在其被用以存儲晶片之后已不再是被共享的資源，而當晶片自該卡匣中被移除時載運有生產批次的卡匣可變回空卡匣。因為此些晶片要求周期性的翻新，因此偽晶片排程代理564具有特性化行為。偽晶片系用以填充于部分要求最小裝載尺寸以正確執行處理的批次機器的空槽中。偽晶片必須在特定次數的使用后自服務中取出且直到他們被翻新之前不能再被使用。
因此，例示實施例中的AEM 600包含一些軟件構件，其中部份包括圖6中所示的軟件對象。其包括下列的層級●排程代理層級610，復包括●LSA 630，其依據特定的批次130的利益安排處理與相關聯的移動約定；●MSA 650，其依據特定的機器的利益安排與其它排程代理的約定；●PM排程代(PSA)640，其依據特定的機器的利益安排特定的預防性維護以及設備質量驗證約定；●RSA 660，其安排次要資源(如十字標、WFT、MT)的使用；●處理代理層級620，進一步包括●批處理代(LPA)670，其執行批處理以及移除約定；●機器處理代理(MPA)690，其執行批次設定、批處理或群組處理以及預防性維護以及設備質量驗證約定；●預防性維護處理代理(PPA)680，其執行預防性維護以及設備質量驗證約定；●資源處理代理(RPA)685，其執行特定資源約定(機器裝載資源的裝載與卸載，資源移動、資源利用)；以及●批次初啟代理層級602，還包括●匱乏避免批次初啟代(SALSA)605，其適時的釋放批次以避免瓶頸匱乏；以及●排定的釋放批次初啟代理(SRLSA)615，其依據預設的排程釋放批次。
于替代的實施例中可利用其它的層級。
如前所述，該SALSA代理605決定何時新批次130被是放置該制造廠的處理流程中。更詳而言之，該SALSA代理605監視于處理流程中的在制品(WIP)并識別出于處理流程中一個或多個產生瓶頸的工作站。該SALSA代理605計算用以表示接近每一個瓶頸工作站的制品數量的WIP值并于評估期間決定所推估出的該WIP值是否降低至控制限度以下。當于評估期間所推估出的該WIP值降低至控制限度以下時，釋放選定數量的額外的制品置該制造線中。于部分實施例中，該SALSA代理605甚至決定選定數量的額外的制品的一個或多個產品類型。
該AEM 600還包含于幫助者層級中的一些軟件構件(未圖標)，其由軟件代理265所利用以實現其功能。這些其它的構件大致上可歸類如下●計算器，用以計算不同的量(如批次預算計算器、最少消費時間計算器、競標成本計算器)；●安排者，用以安排不同的事件(如移動安排者)；●收聽者，用以偵測并報告選定事件的發生或狀態的改變(如批次收聽者、競標收聽者)；●警報時鐘，其提供時間(真實或模擬的時間)予AEM 500的構件且能夠為特定的時間或期間以及待喚醒的收聽者設定警報；以及●轉換器，其提供接口予其它型態的制造設備，如MES、EI、AMHS，其可例如為●MES轉換器，其與MES間產生接口以執行MES處理。如追蹤輸入/輸出批次或機器、使批次停擺等等；●EI轉換器，其發送指令置設備接口(如下載處方、要求工具狀態等等)以及通過設備事件派遣者接收來自設備接口的事件信息；●AMHS轉換器，其發送移動指令至該AMHS并來自該AMHS的移動狀態更新；以及●通知轉換器，其發送不同形式的通知(如屏幕、呼叫器、電子郵件等等)至制造廠人員(如WFT)。
表1列出用于本發明的一特定實施例中由代理使用的幫助者層級構件。
表1.通過軟件代理所呼叫的幫助者層級對象
于此特定的實施例中，是利用對象導向程序化環境技術予以實現。于對象導向計算的專門術語中，軟件“代理”為自主、主動物件。以其指令集為前提，軟件代理可相應于區域狀況采取自主行動，借以產生適當的系統行為。本發明提出代理增強系統，其定義、設定以及部署自主且可移動的軟件代理，以模仿并提升于半導體制造設備中實際的代理的功能，該半導體制造設備可例如為制造廠工作人員、物料、設備資源等等。本領域技術人員應可了解代理或其它軟件對象可包括一個或多個軟件對象。于此所使用的術語“對象”應將其理解成軟件對象，且可由其它軟件對象所組成。相反的，本領域技術人員應可了解單一對象的功能可與其它功能相結合。應了解到，前述與分離的對象相關聯的功能可結合至單一對象相關聯的功能中。
于此的詳細說明中的某些部分就軟件執行的處理而論必然的會涉及計算系統或計算裝置的內存中數據位的運作符號表示。該些描述與表示系由此技術中的人士所利用最有效率的傳達其工作的本質予其它本領域技術人員的手段。該處理與運作要求物理量的物理操作。盡管并非必要，通常，該些量具有可用以存儲、轉換、結合、比較以及其它的操作的電、磁或光學信號等形式。有時為了方便說明，更主要是為了共通習慣的原因，而將該些信號稱之為位、值、組件、符號、特性、術語、數字等等。
然而，須銘記于心的是，所有這些或相同的數與與適當的量產生關聯而僅為了方便而應用于此些量中。貫穿本說明書的內容，除非特別的交代或其它顯而易見的方式，這些關于電子裝置或于傳送或顯示裝置中的動作或處理的描述，是指操作與轉換由部分電子裝置的存儲單元中的物理(電、磁或光學)量所代表的數據成其它同樣由該存儲單元中的物理量所代表的資料。表示該些描述的術語的例示為處理、計算機處理、計算、決定、顯示等等，但不以此為限。
另需注意者，本發明的軟件執行的型態典型的依據某些程序存儲媒介的形式予以編碼或于某些類型的傳送媒介上執行。該程序存儲媒介可為磁性(軟盤或硬盤)或光學(如光盤只讀存儲器或CD ROM)，亦可為只讀或隨機存取的存儲媒介。同樣的，該傳送媒介可為雙絞線、同軸電纜、光纖或一些其它公知適用的傳送媒介。本發明并不受限于任何假定綜上所述，前述所揭露的特定實施例僅用以例示，對于具有因本發明的教示而獲得利益的本領域技術人員而言，本發明可輕易的通過不同但等效的方式修改與實施。此外，除后述的權利要求范圍外，并不意圖限定于此處所顯示的詳細結構或設計。明顯的，前述所揭露的特定實施例可予以替換或修改且所有的變更均包含于后述權利要求范圍的范圍中。因此，本發明的保護請求如后述的申請專利范圍所列。
權利要求
1.一種于自動化制造環境中的處理流程，其特征在于多個制造區域實體(115、130、320、420)；以及代表該制造區域實體(115、130、320、420)的代理裝置(265)系用以安排該制造區域實體(115、130、320、420)的第一子集消費通過該制造區域實體(115、130、320、420)的第二子集所提供的處理資源(420)，該代理裝置通過被代表的實體(115、130、320、420)的類型予以特性化。
2.如權利要求1所述的處理流程，其中該制造區域實體(115、130、320、420)包括下列的至少一者處理工具(115)；該處理工具(115)的預防性維護與設備質量驗證(320)；該處理工具(115)所利用的處理資源(420)；以及于該處理工具(115)上所處理的批次(130)。
3.如權利要求1所述的處理流程，其中該代理裝置包括用以代表該制造區域實體(115、130、320、420)的排程裝置以及用以代表該制造區域實體(115、130、320、420)的代表處理裝置的至少一者。
4.如權利要求1所述的處理流程，其中該代理裝置包括用以代表處理工具(115)的裝置、用以代表批次(130)的裝置、用以代表預防性維護程序(320)的裝置以及用以代表資源(420)的裝置的至少一者。
5.如權利要求1所述的處理流程，其中該代理裝置復通過該制造區域實體(115、130、320、420)所表示的特性予以特性化。
6.一種自動制造環境，包含多個制造區域實體(115、130、320、420)，其包括多個處理工具(115)；多個該處理工具(115)的預防性維護與設備質量驗證(320)；多個該處理工具(115)所利用的處理資源(420)；以及多個于該處理工具(115)上所處理的批次(130)；以及計算系統，其包括多個用以于該處理工具(115)上安排并執行動作的機器代理(650、690)；多個用以安排于該處理工具(115)上處理的批次(130)并執行動作以幫助于該處理工具(115)上批次(130)的處理的批次代理(630、670)；多個用以通過該處理工具(115)安排處理資源(420)的利用并執行動作以幫助由該處理工具(115)所利用的處理資源(420)的資源代理(660、685)；以及多個用以于該處理工具(115)上安排并執行預防性維護與設備質量驗證(320)的預防性維護代理(640、680)。
7.如權利要求6所述的自動制造環境，其中該機器代理(650、690)包括用以于該處理工具(115)上安排動作的機器排程代理(650)以及用以于該處理工具(115)上執行安排的動作的機器處理代理(690)的至少一者。
8.如權利要求6所述的自動制造環境，其中該多個機器代理(650、690)系依據下列的至少一者予以特性化該處理工具(115)處理晶片(135)、批次(130)、批次(130)之群組(batch)或晶片(135)的群組其中之一；該處理工具(115)連續的或接續的處理晶片(135)、批次(130)或群組其中之一；用于處理工具(115)的接口數量；用于處理工具(115)的接口系輸入、輸出或輸入/輸出其中之一；用于處理工具(115)的容器(chamber)系連續或并行的使用其中之一；是否該處理工具(115)可拘束預防性維護；于處理工具(115)中的容器的數量；是否該處理工具(115)包括內部存儲單元；是否該處理工具(115)當處理另一批次(130)或群組可將批次(130)或群組織處理予以排列；該處理工具(115)要求裝載及/或卸載其中之一；以及是否該處理工具(115)要求資源(420)，且如果要求時，是否該些資源(420)系為專用資源或共享資源。
9.如權利要求6所述的自動制造環境，其中該批次代理(630、670)包括批次排程代理(630)以及批處理代理(670)的至少一者。
10.如權利要求6所述的自動制造環境，其中該批次排程代理(630)以及批處理代理(670)的至少一者系通過該批次所表示的優先權、產品或產品族的至少一者予以特性化。
11.如權利要求6所述的自動制造環境，其中該資源代理(660、685)包括資源排程代理(660)以及資源處理代理(685)的至少一者。
12.如權利要求6所述的自動制造環境，其中該預防性維護代理(640、680)包括預防性維護排程代理(640)以及預防性維護處理代理(680)的至少一者。
13.如權利要求6所述的自動制造環境，復包含多個批次初啟代理(605、615)。
14.一種自動制造環境，包含多個制造區域實體(115、130、320、420)，其包括多個處理工具(115)；多個該處理工具(115)的預防性維護與設備質量驗證(320)；多個該處理工具(115)所利用的處理資源(420)；以及多個于該處理工具(115)上所處理的批次(130)；以及計算系統，其包括多個用以于該處理工具(115)上為該預防性維護與設備質量驗證(320)、處理資源(420)以及批次(130)安排動作的排程代理(610)；以及多個用以執行該安排的動作的處理代理(620)。
15.如權利要求14所述的自動制造環境，其中該排程代理(610)以及處理代理(620)的至少一者系依據該實體所表示的性質予以特性化。
16.如權利要求14所述的自動制造環境，其中該排程代理(610)包括下列的至少一者用以于該處理工具(115)上安排動作的機器排程代理(650)；用以于該處理工具(115)上安排處理批次(130)的批次排程代理(630)；用以于該處理工具(115)上安排預防性維護與設備質量驗證(320)的預防性維護排程代理(640)；以及用以安排由該處理工具(115)所利用的處理資源(420)的資源排程代理(660)。
17.如權利要求14所述的自動制造環境，其中該處理代理(620)包括下列的至少一者用以于該處理工具(115)上執行安排的動作的機器處理代理(690)；用以于該處理工具(115)上執行動作以幫助該批次(130)的處理的批處理代理(670)；用以執行動作以幫助該處理工具(115)處理資源(420)的利用的資源處理代理(685)；以及多個用以于該處理工具(115)上執行預防性維護與設備質量驗證(320)之預防性維護處理代理(680)。
18.如權利要求14所述的自動制造環境，其中該軟件代理(265)包括批次初啟代理(602)。
全文摘要
一種利用特性化、自主的主動軟件代理以實現自動化制造環境的裝置以及方法，該軟件代理(agents)(265)通過其所代表的實體類型以及于處理流程中所執行的功能予以特性化。該裝置包括處理流程，該處理流程包含多個制造區域實體(115、130、320、420)以及多個用以安排該制造區域實體(115、130、320、420)的第一子集的軟件代理(610)，該制造區域實體(115、130、320、420)的第一子集系用以消費由該制造區域實體(115、130、320、420)的第二子集所提供的處理資源。該方法包括例示該軟件代理(265)并接著允許該軟件代理(265)依據程序化運作。
文檔編號G06F9/46GK1628273SQ02829058
公開日2005年6月15日 申請日期2002年12月20日 優先權日2002年5月31日
發明者G·瑪塔, S·C·奈特里斯, L·D·巴托, Y·李 申請人:先進微裝置公司