專利名稱：生產管理系統及用于該系統的主機和記錄媒體的制作方法
技術領域：
本發明涉及伴隨底板再利用的濺射靶極的生產工序中使用的有效系統；具體涉及在靶極制造廠與靶極用戶之間通過數據通信使各種信息的發送和接收順利進行，使濺射靶極的生產效率能夠提高的濺射靶極的生產管理系統以及用于該系統的主機和程序。
如圖7所示，所述濺射靶極ST是在被稱為底板的基底BP上粘貼由靶極的粉狀原料成形、燒結而成的靶極材料TA而構成的。并且，用于濺射后其靶極材料TA被腐蝕到貼近底板BP表面附近的濺射靶極ST可被再次利用，其方法是除去底板BP上的殘留靶極材料TA，然后在經再生的底板BP上粘貼新的靶極材料TA。
一般，底板采用純銅或銅合金制成，偶爾也有用不銹鋼的。
一直以來，濺射靶極是由靶極制造廠(以下簡稱制造廠)接受使用它的靶極用戶(以下簡稱用戶)的定單后生產的，只在用戶向制造廠訂貨后才開始制造。并且，用戶根據訂購的濺射靶極的數量準備底板，發送給制造廠；制造廠根據定單制造靶極原料粉，在形成靶極材料后，在所述底板上粘貼上靶極材料，然后將制成品濺射靶極向用戶發貨。
另外，底板是可以反復再生利用的；用戶用過的濺射靶極被送回制造廠家，在將靶極材料部分剝離后，將底板的粘貼面洗凈(使底板再生)，將再生后的底板再次作為濺射靶極的基底使用。
圖6(A)是表示一般的濺射靶極生產工序的說明圖。
首先，將制造廠向用戶供貨的，比如100個制成品靶極裝入用戶的100臺濺射裝置。一般，裝入裝置的濺射靶極在4～5周內被完全消耗掉，用戶在濺射靶極消耗掉之前或是消耗掉之后，向制造廠訂購下一批濺射靶極。
接著，制造廠根據用戶的定單開始準備靶極原料。在目前情況下，制造原料粉大約需要6周；成形、燒結靶極大約需要3周。在此期間，用戶辦理用過的濺射靶極的發送，配合制造廠所進行的靶極的成形、燒結工序，及時發送已用靶極。
將用戶發送給制造廠的已用靶極的靶極材料部分剝離、洗凈，使底板再生。檢查再生后的底板是否可以再次利用，若可以再次利用，則粘貼上事先成形的新靶極材料，將制成的濺射靶極作為制成品發給用戶。從制造廠將底板再生到粘貼上靶極主體約需2周。這樣，傳統的濺射靶極的生產工序中，從用戶定購濺射靶極到制造廠交貨至少需要約11周時間。
另一方面，檢查經再生的底板，判斷不可再次利用時，如圖6(B)所示，要大約花費2周～1個月時間由用戶或制造廠另外準備底板。即發送庫存的底板備品，或是在無備品時，當時制造新的底板。這一部分產品的交貨被推遲，這樣從用戶發出靶極定單到制造廠交貨所需的時間變為約14～16周。
圖5是表示制造廠的生產管理系統的系統構成的方框圖。標號10指用以登記用戶發來的濺射靶極定單的、例如設置在制造廠營業科等地的通信終端裝置；標號20指設置在工廠各部門(生產管理科、加工/檢查部門、成形部門、原料部門、物流部門等)的通信終端裝置。這些通信終端裝置10、20連接企業內部網服務器30以及企業內部LAN用的DNS服務器50，構成企業內部LAN。另外，在企業內部LAN上連接生產管理數據庫服務器(例如SQL服務器)40，構成制造廠內的生產管理系統，利用各通信終端裝置10、20可以閱讀存儲在SQL服務器40中的關于靶極生產管理的信息。如上所述，傳統上只在制造廠內部通過電子數據發送和接收關于生產管理的信息，用戶的定單處理以及讓原料制造廠準備原料粉等安排均通過收發電話、FAX、信件等模擬數據方式進行。
按所述生產方法，從用戶向制造廠定購濺射靶極到制造廠將作為制成品的濺射靶極發貨不僅需要很長時間，而且，由于制造廠從向用戶發送濺射靶極到接受下一定單期間無法有效利用制造靶極的設備，而用戶從用完濺射靶極到接收下批濺射靶極期間無法有效利用濺射裝置等，因此，使得供需雙方的設備利用率低下，無法提高生產效率。
另外，也有這樣的情況由于底板是否適合再次利用的判斷，是在從用戶發送的已用靶極中將底板再生并進行檢查之后才做出的，因此在不將靶極材料部分從底板剝離就無法見到的翹曲、粘貼面缺陷等不良底板被發現的場合，處理周期就會很長，從而使交貨日期推遲。
再有，用戶預先備有多批靶極，在第一批靶極用完后再裝入第二批靶極，與此同時將用過的第一批靶極發送給制造廠并重新定購靶極；在第二批靶極用完后裝入第三批靶極，與此同時將用過的第二批靶極發送給制造廠并重新定購靶極。像這樣，為依次向濺射裝置中裝入靶極而準備多批靶極，是可以有效利用濺射裝置，但是在這種情況下用戶始終要備有數量至少三倍于濺射裝置臺數的底板，并需將它們反復再生使用，如此就產生了制作大量底板的費用和管理運用成本增大的問題。
本發明的目的在于提供一種可使用戶高效率利用濺射裝置的、又能使制造廠大大縮短濺射靶極的交貨日期的濺射靶極的生產管理系統與用于該系統的主機以及記錄有生產管理系統用程序的媒體。
發明的公開為達成所述目的，本發明的濺射靶極生產管理系統中設有多個用以定購以濺射法使規定對象物上形成薄膜時使用的濺射靶極的用戶側通信終端裝置，根據用戶的定單生產濺射靶極的制造廠側通信終端裝置，以及管理全部系統的主機，它們各自經由規定的通信線路連接。所述主機包括存儲部分和用戶識別信息確認部分，其存儲部分至少存有為識別所述多個用戶而設的用戶識別信息；為識別作為所述濺射靶極基底使用的、可以粘貼規定靶極材料的底板而設的識別信息；登記再生使用歷史的歷史信息，其中包括每個底板作為濺射靶極使用的次數以及當時粘貼上的靶極材料的質地、品種的種類和先前再生加工時底板和靶極材料粘貼面上的缺陷、翹曲等判定結果等；其用戶識別信息確認部分對照所述用戶識別信息，判斷是否為滿足規定條件的用戶。所述用戶側信息終端裝置，在根據所述用戶識別信息確認功能，確認了所述用戶是滿足規定條件的用戶時，可以訪問存儲在所述主機中的信息。所述歷史信息，在底板作為濺射靶極被反復再生、加工時，根據從所述制造廠側通信終端裝置上輸入的信息加以更新。
由此，用戶可以根據底板的歷史信息得知現有的底板還可以用多久。因此，由于用戶在定購下批靶極時，在已用靶極中只挑選出可再次利用的底板發送，另一方面對不能再次利用的底板則事先準備替代的底板，因此，制造廠在從已用靶極中將底板再生，并進行檢查時，發現不能再次利用的底板的可能性降低，不用擔心由于要重新置備底板造成交貨日期延長。
同時，所述存儲部分中存儲著表示所述制造廠接受用戶定購后生產濺射靶極的狀況的靶極生產信息。所述靶極生產信息，根據從所述制造廠側通信終端裝置輸入的信息，每當生產工序轉移到下一工序時被更新。
由此，由于用戶能夠實時確認定購靶極的生產狀況，可以安心地等待成品靶極的交貨。并且，在底板再次利用的判斷中發現存在不能再次利用的底板時，只要在制造廠處的靶極成形工序結束前另外準備的底板就可以了，因此，可以根據制造廠的生產狀況時間充分地進行準備。
另外，所述存儲部分中存有靶極使用信息，它表示所述用戶接受由所述制造廠交付的濺射靶極，裝入濺射裝置并已經開始使用。所述靶極使用信息，每當濺射靶極開始使用時，根據從所述用戶側通信終端裝置輸入的信息被更新。
由此，由于制造廠能夠預測下批的定單，可以事先準備原料、制造原料粉等，以縮短交貨日期。作為靶極使用信息，例如有裝入濺射裝置的日期、預計用完的日期以及用于靶極的底板的識別信息等。
并且，所述制造廠的通信終端裝置由放置在與濺射靶極的生產相關的各個部門的多個通信終端裝置構成，且最好經由各通信終端裝置通過局域網等通信手段連接到所述主機。
并且，還設有防止無訪問權的用戶的通信終端裝置非法訪問所述主機的非法訪問防止機構、機能。由此，可防止只有用戶與制造廠可共享的信息被第三者非法訪問，實現安全管理。
并且，所述主機上還可設有根據所述歷史信息判斷底板是否適合再次利用的再生判定部分。另外，也可在存儲部分中預先存有用以根據所述歷史信息來判斷底板是否適合再次利用的程序，而在例如被要求進行關于再次利用的判斷時執行該程序。
在用戶側也可以通過歷史信息判斷用于下批靶極的底板能否再次利用，制造廠也可以通過確認，而不必再接收無法再次利用的底板。同時，由于通過再利用判斷機能可以自動判斷底板是否適合再次利用，因此可以更準確地避免接收不能再次利用的底板。
另外，在自動判斷底板是否適合再次利用時，對一直以來使用的底板，其使用次數、所粘貼靶極的種類，對底板與靶極材料的粘貼面的判斷結果，以及與底板是否適合再次利用之間的關系都存入數據庫，利用該數據庫可以更準確地判斷底板是否適合再次利用。
再有，還設有根據預約定購信息制定生產計劃的生產計劃制定部分；預約定購信息包括由所述用戶發送的用于下批濺射靶極的靶極原料的種類和使用的底板的識別信息。將制定的生產計劃存儲在所述主機的存儲部分中，同時向制造廠的通信終端裝置發送。具體地說，也可以將用以根據所述預約定購信息制定濺射靶極生產計劃的程序存儲在存儲部分中，例如在用戶向濺射裝置裝入靶極后，一經發送預約定購信息后就立即執行該程序。
由此，由于一接受用戶的預約定購，生產計劃立即被發送到制造廠的各部門(例如生產管理科、加工/檢查部門、成形部門、原料部門等)，各部門因此可以提前做好與靶極生產相關的準備，可以順利生產靶極。再有，制定的生產計劃也可以由各部門負責人進行調整。
圖2是利用本發明的生產管理系統的生產工序的說明圖。
圖3是存儲在本發明的生產管理系統的存儲裝置中的數據圖的一個構成例。
圖4是表示在本發明的生產管理系統中的信息流和物流的說明圖。
圖5是傳統制造廠內部的生產管理系統。
圖6是傳統的靶極生產工序的說明圖。
圖7是濺射靶極簡圖。
發明的最佳實施例下面，根據附圖對適合本發明的實施例進行說明。在本實施例中，制造廠的通信終端裝置通過企業內LAN連接在主機上，用戶的通信終端裝置經由電話線接通的因特網連接到主機上，信息的發送與接收用一般的網絡瀏覽器以主頁的形式進行。
圖1是表示與本發明相關的生產管理系統構成的方框圖。圖中，虛線100所圍部分是利用企業內LAN等通信網絡構成的制造廠內部的生產管理系統，與圖5的構成相同。標號10是用以登記用戶的靶極定單的、例如設置在總公司營業部等地的通信終端裝置。標號20是設置在工廠各部門(生產管理科、加工/檢查部門、成形部門、原料部門、物流部門、物資材料等)的通信終端裝置。另外，通信終端裝置10、20也可采用普通的個人計算機。
標號30指企業內部網服務器，標號40指存儲與生產管理有關的信息(BP歷史信息等)的生產管理數據庫服務器(例如SQL服務器)，標號50指企業內部LAN用的DNS服務器。各個通信終端裝置10、20與它們的服務器30、40、50通過LAN用電纜等連接起來，組成制造廠內部的生產管理系統100(企業內LAN)。
標號60指具有防止外部人員非法訪問機能的計算機(即所謂的防火墻)，標號70指向制造廠和用戶提供生產管理信息的用戶用因特網服務器，該用戶用因特網服務器70作為本發明的主機。該用戶用因特網服務器70中至少設有磁盤等存儲裝置和CPU。所述磁盤等存儲裝置用來存儲用戶的識別信息(用戶ID和密碼)、底板的識別信息、底板的歷史信息及實現本實施例的生產管理系統的生產管理用程序；所述CPU用來執行所述生產管理用程序，將各種信息以主頁形式在顯示器上顯示，或是通過用戶識別信息判斷是否為正式用戶。再有，作為存儲媒體可為多種類型，可以采用由磁、光、光磁存儲媒體或半導體存儲器構成的固定存儲裝置，或采用可自由裝拆的存儲裝置。
另外，在本實施例中，設置專用的計算機構成防火墻60，但也可以裝入具備防止第三者非法訪問主機之功能的軟件、固件來構成防火墻。
制造廠內部的生產管理系統100及用戶用因特網服務器70是通過防火墻60連接到因特網上的，可防止外部人員非法訪問，從而提高安全性。
另一方面，用戶的通信終端裝置80是通過因特網服務器90連接到因特網上的普通的個人計算機，通過防火墻60連接到制造廠提供的用戶用因特網服務器70上。
同時，用戶在連接上用戶用因特網服務器70后，要訪問與本公司的濺射靶極相關的信息時，要輸入用戶識別信息(用戶ID、密碼)，輸入的用戶識別信息經核對確認是正式用戶后，信息才被提供。此時，由于用戶ID、密碼的發送和接收是將公用密鑰與加密密鑰組合來實現保密的，可以進一步提高安全性。
一旦被確認為正式用戶，便可獲得與發送給用戶的濺射靶極相關的靶極使用信息(包括靶極識別序號、開始使用日期等)、表示用戶定購的下批靶極的生產狀況等靶極生產信息以及用戶擁有的底板信息等。由于對這些信息實行保密化后再發送或接收，可防止被因特網上的第三者看到。
這樣，本實施例中的生產管理系統，是將制造廠的通信終端裝置10、20及用戶的通信終端裝置80連接到用戶用因特網服務器70(主機)上構成的。同時，用戶用因特網服務器70中存儲著與生產管理相關的各種信息，從制造廠的通信終端裝置10、20及用戶的通信終端裝置80上，可以以主頁的形式閱讀這些生產管理信息，也可以根據信息內容進行寫入(更新)。
例如，用戶用因特網服務器70中存儲的生產管理信息，包括用戶識別信息、靶極使用信息、靶極生產信息、底板(BP)信息、底板(BP)再次利用的判斷結果等。其中，用戶識別信息、BP信息、靶極生產信息、BP再次利用的判斷結果由制造廠的通信終端裝置進行更新，靶極使用信息由用戶的通信終端裝置進行更新。
再有，也可以采用這樣的結構，也就是將所述生產管理系統信息存儲在生產管理數據庫服務器40中，必要時，用戶用因特網服務器70可從生產管理數據庫服務器40中提取生產管理信息。
下面，根據圖2～圖4，對從用戶裝入濺射靶極(開始使用靶極)后，到接收下批濺射靶極的流程進行說明。圖2是表示利用本發明的生產管理系統實現靶極生產工序的說明圖，圖3是存儲在用戶用因特網服務器70或生產管理數據庫服務器40中的數據圖的構成例。同時，圖4是表示本發明的生產管理系統中信息流和物流(底板、靶極等)的簡圖，虛線表示信息流，實線表示物流。
首先，將來自制造廠的底板由用戶80裝入底板裝置中。這些濺射靶極上附有制成品序號等識別信息，另外，用于靶極的底板上也刻印有識別序號，可以識別哪個底板被用于哪個濺射靶極。這些信息以例如圖3(A)所示的形式存儲在用戶用因特網服務器70或生產管理數據庫服務器40中。
用戶80在向濺射裝置中裝入濺射靶極的同時，在用戶用因特網服務器70中登記(裝入通知)開始使用裝入的濺射靶極的日期及預計用完的日期。并且，根據用戶的登記信息來更新圖3(A)的靶極使用信息數據庫。此時，用戶側通信終端裝置80通過防火墻60連接到用戶用因特網服務器上。而且，在訪問與本公司的濺射靶極相關的信息時，要求輸入用戶識別信息(用戶ID、密碼)，輸入的用戶識別信息經核對確認為是正式用戶后，信息才被提供，同時可進行濺射靶極開始使用日期等信息的登錄。
由此，制造廠可以把握當前用戶裝入的濺射靶極用完的時間，可以開始準備下批的靶極原料粉等。
另外，伴隨著用戶的裝入通知，制造廠判斷用于裝入的濺射靶極上使用的底板可否再次利用，將判斷結果用如○、△、×等符號登記在靶極使用信息(圖3(A))的判斷欄中。
具體的說，在圖4中，生產管理科①27根據生產管理數據庫服務器40中存儲的BP信息，判斷裝入的濺射靶極中使用的底板可否再次利用。并且，生產管理科①27登記是否適合再生的判斷結果，更新生產管理數據庫服務器40內部的靶極使用信息數據庫的信息。
在此，BP信息由可以識別各個底板的BP識別信息、表示它們被怎樣使用的BP歷史信息組成；具體地說，表示用圖3(C)所示的形式存儲的信息。在本實施例中，對應各個底板(BP識別信息)存儲BP歷史信息(使用次數)(圖3(C)左側)，并且將詳細的BP歷史信息存儲在各個底板上(圖3(C)右側)。另外，BP歷史信息的內容包括例如靶極的種類、使用次數、與底板材料的粘貼面上的缺陷及翹曲、上次的關于再利用是否適合的判斷等。
同時，本實施例中，伴隨著用戶的濺射靶極的裝入通知，判斷裝入的濺射靶極所用的底板是否適合再次利用，也可以在例如制造廠生產濺射靶極時，判斷用于該濺射靶極的底板能否再次利用。另外，也可以在用戶用因特網服務器上，存儲根據BP信息進行底板再次利用判斷的程序，以實現自動判斷。
由此，用戶通過訪問用戶用因特網服務器70，閱讀靶極使用信息，便可獲知哪個濺射靶極上使用的底板能再次利用。
一般，由于經2周到1個月準備就可以拿到底板，如果用戶根據判斷結果馬上準備底板，在制造廠制造原料粉以及成形、燒結靶極的大約9周時間內，可以準備其它的底板。
另外，關于底板是否適合再次利用的判斷結果，被從生產管理數據庫服務器40經由例如總公司營業部10發送到用戶，這樣用戶就可以迅速得知底板再次利用的判斷結果，同時可迅速準備新的底板。
并且，本實施例中，在裝入通知被發送的同時，用戶80將預約定購信息(靶極的種類、數量、交貨日期等)發送到用戶用因特網服務器70中，根據發送的信息，存儲在生產管理數據庫中的信息被更新。特別是在下批生產的靶極的種類與此次濺射靶極中使用的靶極不同時，由于用戶將靶極種類、品種等預約定購信息通知了制造廠，就不會出現錯誤準備原料粉的情況。
所述預約定購信息一被發送到用戶用因特網服務器，此預約定購信息就會通過生產管理數據庫服務器40被發送到制造廠地生產管理科②26的通信終端裝置中。生產管理科②26根據此預約定購信息，制定靶極生產計劃，向各個部門的通信終端裝置發送生產計劃。
再有，也可以在用戶用因特網服務器70中根據預約定購信息自動地制定生產計劃。此時，用戶用因特網服務器70制定的生產計劃發送到制造廠的各個通信終端裝置后，可由各個部門的負責人進行修改。因此，各個部門可以提前做好與濺射靶極生產相關的準備，可以使濺射靶極的生產順利進行。
根據所述靶極生產計劃，制造廠開始制造下批濺射靶極所使用的原料粉。
具體地說，首先，根據生產管理數據庫服務器40發送的生產計劃，在物資材料部門21向原料制造廠110發出制造靶極原料的定單的同時，在生產管理數據庫服務器40中登記靶極原料的定購完畢的情況。另外，物資材料21與原料制造廠110之間的往來也可以通過電話等模擬數據進行。
接下來，靶極原料在原料制造廠110制造出來后，物流部門①22在領取制造的靶極原料的同時，在生產管理數據庫服務器40中登記原料粉已經領取的情況。
并且，領取的靶極原料被提供給原料部門23，原料部門23在利用靶極原料制造原料粉的同時，在生產管理數據庫服務器40中登記原料粉的生產狀況。
制造的原料粉被提供給成形部門24，成形部門24在成形、燒結原料粉而制作成形板的同時，在生產管理數據庫服務器40中登記成形板的生產狀況。并且，將制造的靶極成形板提供給加工/檢查部門25。
這樣，制造廠在進行濺射靶極的生產的過程中，根據每次在生產工序轉換時，由各個部門的通信終端裝置21～24登記的信息，更新生產管理數據庫服務器40的靶極生產信息。用戶通過連接到用戶用因特網服務器70上，可以實時掌握例如圖3(B)所示的靶極生產信息。由此，用戶可以知道當前靶極生產處在哪一過程中(圖中為原料粉制造過程)，何時能結束該過程等信息。
并且，在開始準備將下批濺射靶極的底板所用的用過靶極發送給制造廠的同時；發現有不能再次利用的底板時，準備另外的底板，使得在靶極成形工序之后，能夠不停滯地轉換到靶極粘貼工序，從而推進生產作業。
一般，由于裝入濺射裝置的濺射靶極經4～5周就被完全消耗掉，所以在裝入的濺射靶極被消耗掉之前或是被消耗掉之后，將正式向制造廠的例如總公司的營業部10定購下批的濺射靶極。
如上所述，由于制造廠根據用戶的預約定購信息已經開始制造原料粉，所以可在接受用戶的正式定單后約2周內結束靶極原料粉的制造，并在其后約3周時間內進行靶極的成形、燒結。
此間，用戶對已用靶極進行發送處理，配合制造廠進行的靶極成形、燒結，發送已用靶極。由用戶發送的已用靶極，如圖4所示，由物流部門②28領取。并且，物流部門②28在生產管理數據庫服務器40上登記領取已用靶極，同時將領取的已用靶極提供給加工/檢查部門25。
另外，在已用靶極所用的底板中發現有不能再次利用的時，用戶請求制造廠例如總公司營業部10準備新的底板，由制造廠制造或是準備新的底板提供給加工/檢查部門25。或者，也可以由用戶準備新的底板發送給制造廠。
并且，在加工/檢查部門25處，從由物流部門②28提供的已用靶極中，將靶極部分剝離、洗凈后，對底板進行再生加工，并檢查是否可以再次利用。加工/檢查部門25在將檢查完畢的情況登記在生產管理數據庫服務器40中，同時將可以再次利用的底板提供給粘貼工序。另外，由于由用戶80發送的已用靶極上所用的底板，事先利用BP歷史信息已被判斷可再次利用，因此，在此檢查中，判斷出再生的底板不能再次使用的情況非常少，因不必重新準備底板，所以可按照生產計劃發送制成的靶極。
并且，在加工/檢查部門25處，在再生的底板或是新準備的底板上粘貼(粘合)上靶極的成形板，制造作為成品的濺射靶極。如圖2所示，該底板與靶極成形板的粘貼工序需要大約2周。
并且，物流部門③29在向用戶發送作為制成品的濺射靶極的同時，在生產管理數據庫服務器40中登記已發送完畢的情況。
這樣，每當制造廠的生產工序轉移時，都詳細更新存儲在生產管理數據庫服務器40中的生產管理信息，由此，用戶可以把握定購的濺射靶極的生產狀況，有計劃地進行濺射裝置的檢查、準備等工作。
以上結合實施例就本發明作了具體說明，但本發明并不僅限于所述實施例。例如，用戶側通信終端裝置與制造廠側主機，不僅可以通過利用一般公共電話線等的因特網連接起來，也可以用生產管理系統專用線連接起來。
并且，也可以在濺射靶極及底板上附加如磁性ID、條形碼等識別信息，通過專用裝置將所述識別信息自動讀取。
也就是說，可以在用戶裝入濺射裝置之前，通過所述讀取專用裝置將使用的濺射靶極的識別信息讀取出來，也可以使靶極的裝入通知與所述濺射靶極的識別信息自動發送給主機。或者，在濺射裝置主體上設置這樣的功能在裝入時自動讀取靶極識別信息，然后將裝入通知信息發送給規定的計算機。
另一方面，也可以在制造廠生產濺射靶極后，用讀取專用裝置將用于濺射靶極的底板的識別信息讀取出來，自動地更新和讀取的識別信息對應的BP歷史信息。同樣，也可以在生產工序轉換到下一個工序前，用所述讀取專用裝置將底板識別信息讀取出來，從而使得使用該底板的靶極生產信息自動更新。
工業利用的可能性本發明涉及利用伴隨底板再利用的濺射靶極的生產工序的有效生產管理系統，但本發明也可適用于用戶使用后由制造廠再生后再次利用的制成品的生產管理系統；在用戶與制造廠之間通過共享各種信息使生產效率得以提高。
權利要求
1.一種濺射靶極生產管理系統，至少包括經由預定通信線路連接起來的如下各部分多個用以定購在通過濺射法在預定對象物上形成薄膜時使用的濺射靶極的靶極用戶側的通信終端裝置，按照靶極用戶的定單生產濺射靶極的靶極制造廠側的通信終端裝置，以及管理整個系統的主機；其特征在于所述主機包括至少存儲如下信息的存儲裝置用以識別所述多個靶極用戶的用戶識別信息，用以識別各種作為所述濺射靶極的基底使用的、能夠粘貼上預定靶極材料的底板的識別信息；登記了包含各底板作為濺射靶極使用的次數及當時粘貼的靶極材料的質地、種類等使用歷史的歷史信息；對照所述用戶識別信息以判斷是否為滿足預定條件的用戶的用戶識別信息確認裝置；所述靶極用戶側通信終端裝置，在根據所述用戶識別信息確認裝置確認所述用戶是滿足預定條件的用戶時，使訪問所述主機中所存信息成為可能；在底板作為濺射靶極被反復再生、加工時，根據所述靶極制造廠的通信終端裝置輸入的信息更新補充所述歷史信息。
2.如權利要求1所述的濺射靶極生產管理系統，其特征在于所述存儲裝置中存有表示包含所述靶極制造廠接受用戶訂購的濺射靶極底板的再生加工或準備重新制造等內容的生產狀況的靶極生產信息；每當生產工序向下一工序轉移時，根據由靶極制造廠的通信終端裝置輸入的信息更新所述靶極生產信息。
3.如權利要求1或權利要求2中任一項所述的濺射靶極生產管理系統，其特征在于所述存儲裝置中存有表示所述靶極制造廠提供的濺射靶極在所述靶極用戶處的使用狀況的靶極使用信息；每當濺射靶極裝入濺射裝置開始使用時，根據由靶極用戶側通信終端裝置輸入的信息更新所述靶極使用信息。
4.如權利要求1至權利要求3中任一項所述的濺射靶極生產管理系統，其特征在于所述靶極制造廠的通信終端裝置由在每個與濺射靶極的生產相關的部門中設置的多個通信終端裝置組成，各通信終端裝置通過局域網等通信手段連接到所述主機。
5.如權利要求1至權利要求4中任一項所述的濺射靶極生產管理系統，其特征在于設有用以防止無訪問權的靶極用戶的通信終端裝置非法訪問所述主機的非法訪問防止機構與功能。
6.一種用于濺射靶極生產管理系統的主機，該主機管理經由預定通信線路連接而成的整個系統，其中設有多個用以定購在通過濺射法在預定對象物上形成薄膜時使用的濺射靶極的靶極用戶側的通信終端裝置，以及按照靶極用戶的定單生產濺射靶極的靶極制造廠側的通信終端裝置；其特征在于設有至少存有如下信息的存儲裝置用以識別所述多個靶極用戶的用戶識別信息，用以識別各種作為所述濺射靶極的基底使用的、能夠粘貼上預定靶極材料的底板的識別信息，以及登記了包含各底板作為濺射靶極使用的次數及當時粘貼的靶極材料的質地、種類等使用歷史的歷史信息；對照所述用戶識別信息判斷是否為滿足預定條件的用戶的用戶識別信息認證裝置；所述靶極用戶側通信終端裝置，在根據所述用戶識別信息確認裝置確認所述用戶是滿足預定條件的用戶時，使訪問存儲在所述主機中的信息成為可能；在底板作為濺射靶極被反復再生、加工時，根據所述靶極制造廠的通信終端裝置輸入的信息更新所述歷史信息。
7.如權利要求6所述的用于濺射靶極生產管理系統的主機，其特征在于設有根據所述歷史信息，判斷底板是否適合再次利用的再生判斷功能。
8.如權利要求6或權利要求7所述的用于濺射靶極生產管理系統的主機，其特征在于設有根據包含由所述靶極用戶發送的下批濺射靶極用的靶極材料的質地、種類及再生使用的底板的識別信息的預約定購信息，制定濺射靶極生產計劃的生產計劃制定功能；所制訂的生產計劃被存入所述存儲裝置，同時發送給靶極制造廠的通信終端裝置。
9.一種用于記錄濺射靶極生產管理系統用程序的媒體，該媒體記錄了在管理經由預定通信線路連接而成的整個系統的主機上運行的程序，該系統中設有多個用以定購在通過濺射法在預定對象物上形成薄膜時使用的濺射靶極的靶極用戶側的通信終端裝置，以及按照靶極用戶的定單生產濺射靶極的靶極制造廠側的通信終端裝置；所記錄的程序包括如下功能對至少包含如下信息的生產管理信息進行管理的管理功能用以識別所述多個靶極用戶的用戶識別信息，用以識別各種作為所述濺射靶極的基底使用的、能夠粘貼上預定靶極材料的底板的識別信息，以及登記了包含各底板作為濺射靶極使用的次數以及當時粘貼的靶極材料的質地、種類等使用歷史的歷史信息；由所述用戶識別信息認證機構與功能確認所述用戶是滿足預定條件的用戶時，允許訪問所述主機中所存信息的功能；支持從所述靶極制造廠或靶極用戶的通信終端裝置輸入所述生產管理信息的功能；以及使得在所述通信終端裝置上閱讀所述主機中所存的生產管理信息和所述輸入的生產管理信息成為可能的功能。
10.一種濺射靶極生產管理系統用程序，該程序在管理經由預定通信線路連接而成的整個系統的主機上運行，該系統中設有多個用以定購在通過濺射法在預定對象物上形成薄膜時使用的濺射靶極的靶極用戶側的通信終端裝置，以及按照靶極用戶的定單生產濺射靶極的靶極制造廠側的通信終端裝置；所述程序包括如下功能對至少包含如下信息的生產管理信息進行管理的管理功能用以識別所述多個靶極用戶的用戶識別信息，用以識別各種作為所述濺射靶極的基底使用的、能夠粘貼上預定靶極材料的底板的識別信息，以及登記了包含各底板作為濺射靶極使用的次數以及當時粘貼的靶極材料的質地、種類等使用歷史的歷史信息；由所述用戶識別信息認證機構與功能確認所述用戶是滿足預定條件的用戶時，允許訪問所述主機中所存信息的功能；支持從所述靶極制造廠或靶極用戶的通信終端裝置輸入所述生產管理信息的功能；以及使得在所述通信終端裝置上閱讀所述主機中所存的生產管理信息和所述輸入的生產管理信息成為可能的功能。
全文摘要
在靶極制造廠與靶極用戶之間構筑利用計算機網絡的濺射靶極的生產管理系統，共享底板的歷史信息、濺射靶極的生產信息、濺射靶極的使用信息等有關生產管理的各種信息。
文檔編號G06Q50/00GK1416553SQ01806352
公開日2003年5月7日 申請日期2001年9月13日 優先權日2000年11月16日
發明者中島光一, 矢島則行, 綿谷健一 申請人:株式會社日礦材料