一種藍寶石單晶爐加熱控制電路的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種加熱控制電路,具體涉及一種藍寶石單晶爐加熱控制電路,屬于藍寶石單晶爐技術領域。
【背景技術】
[0002]單晶爐是一種在真空氣體環境中,用鎢制加熱器將多晶氧化鋁等多晶材料熔化,用泡生法生長無錯位單晶的設備;而加熱器是藍寶石KY法單晶爐中的主要加熱組件;加熱器主要由鎢棒制作組成,采用泡生法工藝的藍寶石爐在加熱時需要高精度的加熱控制系統;現有技術中的藍寶石單晶爐加熱控制電路信號采集比較單一,加熱系統不夠穩定;且存在一定的遲延性,及電流電壓達到要求,而溫度沒有達到要求,其需要一定的加熱時間;此時如果僅僅采集溫度,將會造成溫度超過預設值。
【實用新型內容】
[0003](一 )要解決的技術問題
[0004]為解決上述問題,本實用新型提出了一種藍寶石單晶爐加熱控制電路,提高加熱控制的穩定性。
[0005]( 二)技術方案
[0006]本實用新型的藍寶石單晶爐加熱控制電路,包括數字控制器,及與數字控制器電連接的相加器;所述相加器輸出端連接到電源輸出端;及與數字控制器電連接的預設工藝參數的存儲模塊、及與電源輸出端電連接的電流采集路和電壓采集電路;所述電流采集路和電壓采集電路輸端均連接數字控制器和相加器;所述數字控制器還電連接有溫度采集電路。
[0007]進一步地,所述數字控制器通過DA轉換器電連相加器。
[0008]進一步地,所述電流采集路、電壓采集電路和溫度采集電路通過AD轉換器電連接數字控制器。
[0009]進一步地,所述數字控制器還電連接有聲光報警電路。
[0010]進一步地,所述數字控制器還電連接有IXD。
[0011](三)有益效果
[0012]與現有技術相比,本實用新型的藍寶石單晶爐加熱控制電路,采用雙閉環反饋控制結構;可以抑制控制系統的干擾,對負荷和操作條件的變化適應性強,控制質量高;能夠將存儲模塊內的預設工藝參數與溫度、輸出電壓、輸出電流對應起來,增加了系統的穩定性和減小加熱系統遲延。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型的整體結構示意圖。
【具體實施方式】
[0014]本實用新型的藍寶石單晶爐采用傳統的加熱電路;主要包括大功率電力變壓器、晶閘管、集成觸發芯片、熔斷器、電壓、電流互感器和其他輔助設備與電路;微機控制單晶爐直流加熱電源是將三相工頻交流電經過降壓后,通過Vl?V6這6個大功率晶閘管構成的三相全控整流橋整流成電壓可調的脈動直流,再通過平波電抗器將脈動的直流濾波變成光滑平穩的直流電供給單晶爐石墨加熱器。
[0015]如圖1所示的本實用新型的藍寶石單晶爐加熱控制電路,包括數字控制器,及與數字控制器電連接的相加器;所述相加器輸出端連接到電源輸出端;及與數字控制器電連接的預設工藝參數的存儲模塊、及與電源輸出端電連接的電流采集路和電壓采集電路;所述電流采集路和電壓采集電路輸端均連接數字控制器和相加器;所述數字控制器還電連接有溫度采集電路。
[0016]其中,所述數字控制器通過DA轉換器電連相加器。所述電流采集路、電壓采集電路和溫度采集電路通過AD轉換器電連接數字控制器。所述數字控制器還電連接有聲光報警電路。所述數字控制器還電連接有LCD。
[0017]數據采集時,能夠將電流、電壓和溫度對應起來,避免因為工作過程中遲延造成誤引導操作;本實用新型的藍寶石單晶爐加熱控制電路,采用雙閉環反饋控制結構;采用該種控制結構,可以抑制控制系統的干擾;對負荷和操作條件的變化適應性強,控制質量高;工作時可以將實時采集的電壓信號和電流信號輸入到相加器中,對數字控制器通過DA轉換器給定的電壓信號進行修正,同時還可以通過AD轉換器送至數字控制器;數字控制器進行分析處理;數字控制器利用系統現場反饋回來的電壓、電流值計算出即時的平均功率值P (P = UIcos,對于純阻性負載cos = 1),再送IXD顯示,工作人員就可以隨時查看輸出功率,看其能否滿足單晶生長過程中某些特定階段對溫度精度提出的要求。
[0018]上面所述的實施例僅僅是對本實用新型的優選實施方式進行描述,并非對本實用新型的構思和范圍進行限定。在不脫離本實用新型設計構思的前提下,本領域普通人員對本實用新型的技術方案做出的各種變型和改進,均應落入到本實用新型的保護范圍,本實用新型請
[0019]求保護的技術內容,已經全部記載在權利要求書中。
【主權項】
1.一種藍寶石單晶爐加熱控制電路,其特征在于:包括數字控制器,及與數字控制器電連接的相加器;所述相加器輸出端連接到電源輸出端;及與數字控制器電連接的預設工藝參數的存儲模塊、及與電源輸出端電連接的電流采集路和電壓采集電路;所述電流采集路和電壓采集電路輸端均連接數字控制器和相加器;所述數字控制器還電連接有溫度采集電路。2.根據權利要求1所述的藍寶石單晶爐加熱控制電路,其特征在于:所述數字控制器通過DA轉換器電連相加器。3.根據權利要求1所述的藍寶石單晶爐加熱控制電路,其特征在于:所述電流采集路、電壓采集電路和溫度采集電路通過AD轉換器電連接數字控制器。4.根據權利要求1所述的藍寶石單晶爐加熱控制電路,其特征在于:所述數字控制器還電連接有聲光報警電路。5.根據權利要求1所述的藍寶石單晶爐加熱控制電路,其特征在于:所述數字控制器還電連接有IXD。
【專利摘要】本實用新型公開了一種藍寶石單晶爐加熱控制電路,包括數字控制器,及與數字控制器電連接的相加器;所述相加器輸出端連接到電源輸出端;及與數字控制器電連接的預設工藝參數的存儲模塊、及與電源輸出端電連接的電流采集路和電壓采集電路;所述電流采集路和電壓采集電路輸端均連接數字控制器和相加器;所述數字控制器還電連接有溫度采集電路。本實用新型的藍寶石單晶爐加熱控制電路,采用雙閉環反饋控制結構;可以抑制控制系統的干擾,對負荷和操作條件的變化適應性強,控制質量高;能夠將存儲模塊內的預設工藝參數與溫度、輸出電壓、輸出電流對應起來,增加了系統的穩定性和減小加熱系統遲延。
【IPC分類】G05D23/20, C30B17/00, C30B29/20
【公開號】CN204731660
【申請號】CN201520448034
【發明人】胡明理, 何永慎, 李業林, 林政育, 李宗諺, 詹經略
【申請人】寧夏佳晶科技有限公司
【公開日】2015年10月28日
【申請日】2015年6月26日