雙路射頻電源的調整裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及射頻電源，特別涉及雙路射頻電源的調整裝置。
【背景技術】
[0002]在進行串級質譜分析(MS/MS)時，離子進入傳輸通道靠氣流和射頻電場進行傳輸，理想的射頻電場能夠保證離子在穩定區域傳輸，而實際上加載在離子光學系統上的兩路射頻電壓往往出現偏差，偏差表現為兩路射頻電源的相位和幅值上，造成偏差的原因有很多，比如隨著時間連接器的接觸電阻、結構件阻抗特性、耦合電容性能等因素發生變化，而偏差導致的結果表現為儀器靈敏度降低，性能下降。
【實用新型內容】
[0003]為了解決上述現有技術方案中的不足，本實用新型提供了一種精度高、響應快、抗干擾能力強的雙路射頻電源的調整裝置。
[0004]本實用新型的目的是通過以下技術方案實現的:
[0005]一種雙路射頻電源的調整裝置，所述調整裝置包括:
[0006]幅值檢測模塊，所述雙路射頻電源的電感分別連接耦合電容，將電壓幅值轉換為電流信號，再將電流信號轉換為電壓信號，從而獲知電壓幅值，之后兩路電壓幅值送差分放大器，幅值差值傳送到調整模塊；
[0007]相位檢測模塊，所述雙路射頻電源的電感側部分別設置天線，天線獲得的相位信號分別傳送到鑒相器，相位差傳送到所述調整模塊；
[0008]調整模塊，所述調整模塊用于根據接收到的所述幅值差值和相位差值調整所述雙路射頻電源。
[0009]與現有技術相比，本實用新型具有的有益效果為:
[0010]1、相位檢測的精度高、安裝簡便、抗干擾能力強，響應速度快；提高了離子傳輸系統的穩定性，提高離子聚焦效果，提高離子傳輸效率
[0011]2、幅值差值檢測精度在IV以內，相位精度在0.5度以內，設計巧妙，簡單直觀，測量準確；
[0012]3、不需要打開真空箱就可以得到兩路RF電源的對稱性；
[0013]4、電路本身抗干擾能力強，不受真空腔內部射頻電源干擾；
[0014]5、解決了由于器件的參數差異引起的性能問題，不但可以應用于質譜儀中，還可以應用于類似等離子射頻電源的設計中。
【附圖說明】
[0015]參照附圖，本實用新型的公開內容將變得更易理解。本領域技術人員容易理解的是:這些附圖僅僅用于舉例說明本實用新型的技術方案，而并非意在對本實用新型的保護范圍構成限制。圖中:
[0016]圖1是根據本實用新型實施例的雙路射頻電源的調整裝置的電路圖；
[0017]圖2是根據本實用新型實施例的幅值檢測模塊的電路圖；
[0018]圖3是根據本實用新型實施例的相位檢測模塊的電路圖。
【具體實施方式】
[0019]圖1-3和以下說明描述了本實用新型的可選實施方式以教導本領域技術人員如何實施和再現本實用新型。為了教導本實用新型技術方案，已簡化或省略了一些常規方面。本領域技術人員應該理解源自這些實施方式的變型或替換將在本實用新型的范圍內。本領域技術人員應該理解下述特征能夠以各種方式組合以形成本實用新型的多個變型。由此，本實用新型并不局限于下述可選實施方式，而僅由權利要求和它們的等同物限定。
[0020]實施例:
[0021]圖1示意性地給出了本實用新型實施例的雙路射頻電源的調整裝置的電路圖，應用在質譜分析中，如圖1所示，所述調整裝置包括:
[0022]幅值檢測模塊，如圖2所示，射頻電源幅值電壓由高壓耦合電容轉化為電流，再經過整流、濾波和放大轉變成直流電壓(高壓電容連接在射頻電源振蕩回路中，分別檢測兩路射頻電源的電壓幅值)，通過差分放大電路得到兩者之差，把差值電壓轉化為數字量送MCU ;
[0023]相位檢測模塊，如圖3所示，相位檢測信號由天線耦合得到，天線距離電感線圈0.6-1.2cm，兩路相位信號經過濾波、放大后進行鑒相，把相位差轉化為電壓值，然后由24位ADC (數字模擬轉化器)轉化為數字量送MCU ；
[0024]MCU通過根據電壓差值調整其中兩路射頻電源的射頻放大電路增益，最終使兩路射頻電壓幅值差值控制在設定范圍內；并根據所述相位差值得到相位調整量，由16位DAC輸出射頻電壓相位控制電路，使兩路射頻電壓相位差控制在設定范圍內。
【主權項】
1.一種雙路射頻電源的調整裝置，其特征在于:所述調整裝置包括: 幅值檢測模塊，所述雙路射頻電源的電感分別連接耦合電容，將電壓幅值轉換為電流信號，再將電流信號轉換為電壓信號，從而獲知電壓幅值，之后兩路電壓幅值送差分放大器，幅值差值傳送到調整模塊； 相位檢測模塊，所述雙路射頻電源的電感側部分別設置天線，天線獲得的相位信號分別傳送到鑒相器，相位差傳送到所述調整模塊； 調整模塊，所述調整模塊用于根據接收到的所述幅值差值和相位差值調整所述雙路射頻電源。
2.根據權利要求1所述的調整裝置，其特征在于:所述天線和電感線圈間的距離為0.6-1.2cm0
3.根據權利要求1所述的調整裝置，其特征在于:所述相位信號經過濾波、放大后送所述鑒相器。
4.根據權利要求1所述的調整裝置，其特征在于:所述鑒相器輸出的相位差信號經過濾波后送調整t吳塊。
5.根據權利要求1所述的調整裝置，其特征在于:所述幅值差值和相位差經過A/D轉換后送所述調整模塊。
【專利摘要】本實用新型提供了一種雙路射頻電源的調整裝置，所述調整裝置包括：幅值檢測模塊，所述雙路射頻電源的電感分別連接耦合電容，將電壓幅值轉換為電流信號，再將電流信號轉換為電壓信號，從而獲知電壓幅值，之后兩路電壓幅值送差分放大器，幅值差值傳送到調整模塊；相位檢測模塊，所述雙路射頻電源的電感側部分別設置天線，天線獲得的相位信號分別傳送到鑒相器，相位差傳送到所述調整模塊；調整模塊，所述調整模塊用于根據接收到的所述幅值差值和相位差值調整所述雙路射頻電源。本實用新型具有精度高、響應快等優點。
【IPC分類】G05F1-56
【公開號】CN204462919
【申請號】CN201520011085
【發明人】張建, 韓雙來, 鄧豐濤
【申請人】聚光科技(杭州)股份有限公司, 杭州譜育科技發展有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請日】2015年1月8日