專利名稱：半導體制造設備控制系統中配置設備單元工作狀態控制法的制作方法
技術領域：
本發明涉及半導體制造設備控制系統中配置設備單元的工作狀態控制方法，特別涉及半導體制造設備控制系統中配置設備單元的工作狀態實時識別方法，和當用預定的單元監控模塊識別出不正常工作的單元時把不正常工作單元與正常工作單元立即分開的方法。
一般通過高精密工藝來制造半導體器件。把高功能設備配置在半導體生產線上，用于高精密加工。
操作員通過半導體制造設備的控制系統精心監視設備的操作，以提高設備的工作效率。
如
圖1所示，半導體制造設備3設置在生產線上。待加工的批量加工件(lot)10加入到設備3中。
此時，操作員通過與設備3聯機連接的操作員接口PC(O/I PC)2精心監視設備3的工作。
設備3用設備服務器(沒畫)聯機連接到主計算機1。主計算機1聯機連接至O/I PC2。
當操作員把基本制造數據，例如，要在設備3中加工的批量加工件10的標識符(ID)和要對批量加工件10進行加工的設備3的標識符(ID)，輸入計算機1時，主計算機1根據輸入的基本制造數據檢索用于處理批量加工件10的加工條件數據的數據庫。
此后，操作員檢查加工條件數據，并輸入加工起始指令或終止指令。之后，批量加工件在設備3的內外快速被跟蹤。
此時，設備3用其工作單元，例如，加載部件和卸載部件(沒畫)，室4等，對批量加工件10進行加工。
設備3對批量加工件10進行加工時，操作員通過O/I PC2對設備3的工作精心監視，以連續識別單元的工作狀態，如果某單元中出現了任何問題，例如，室4中的一個室出了問題，操作員立即切斷設備，停止整個加工。由此防止因不正常工作單元造成的工作問題。
但是，這種半導體制造設備的常規控制系統有一些問題。
首先，即使只在設備的幾個單元中出現了錯誤而其它單元還是正常工作的情況下，操作員很難實時識別不正常工作的單元。結果，當識別出不正常工作的單元時，不能立即把不正常工作單元與正常加工流程分開。
第二，把批量加工件加進不正常工作單元時，會出現工作問題。
第三，當識別出不正常工作單元時，為了維修不正常工作單元要關閉整個設備。
本發明的目的是，通過包含在主計算機中的單元狀態監控模塊，通過識別設備的單元的實時工作狀態，并把不正常工作單元與正常工作流程分開，以防止由不正常工作單元造成的工作問題。
本發明的另一目的是，通過單元狀態監控模塊，只單獨關閉不正常工作單元，使其與其它正常工作單元分開，以提高工作效率。
為實現上述目的和其它優點，半導體制造設備控制系統中配置設備單元的狀態控制方法包括以下步驟接收來自設備的各單元的工作狀態數據；檢索與各單元對應的參考數據；確定各單元的工作狀態數據是否處在與各單元對應的參考數據范圍內；如果確定工作狀態數據處在參考數據范圍內，則返回到接收來自設備的各單元的工作狀態數據；如果確定各單元中的一個單元的工作狀態數據不處在參考數據范圍內，則改變一個單元的變量ID(variableID)的關鍵值(key value)；把改變了關鍵值的變量ID加載到預定單元的控制消息上，并把其上加載了變量ID的單元控制消息下載到設備中，以改變一個單元的工作狀態。
單元控制消息最好是流函數消息。
單元控制消息最好是S1F12。
變量ID最好是ECID。
把改變了關鍵值的變量ID加到預定的單元控制消息和把其上加載了變量ID的單元控制消息下載到設備中的步驟之后，半導體制造設備中單元的工作狀態控制方法最好還包括以下步驟把預定的告警消息下載到設備中；確定是否有由設備發出的警報；如果確定設備沒發出警報，則返回到把預定告警消息下載到設備中的步驟；如果確定設備發出了警報，則把預定的報警消息下載到設備中。
告警消息和報警消息最好是流函數消息告警消息最好是S2F41。
報警消息最好是S10F3或S10F5。
因此，按本發明，實時識別半導體制造設備的工作狀態，識別之后立即把不正常工作單元與其它正常工作單元分開。
通過參見附圖對優選實施例的詳細說明，本發明的上述目的和其它優點將變得更清楚。
圖1是半導體制造設備的常規控制系統的原理圖；圖2是實施本發明的半導體制造設備的控制系統的原理圖；圖3是按本發明的半導體制造設備控制系統中配置設備的單元的工作狀態控制方法的流程圖；圖4是按本發明的半導體制造設備控制系統中配置設備的單元的工作狀態控制方法的第一實施例的流程圖。
以下將參見展示出本發明優選實施例的附圖更充分地說明本發明。但是，本發明也能以許多不同的形式實施，本發明不受這里所述實施例的限制；提供這些實施例使對本發明的公開更充分和更完全，以便充分展示給本領域的技術人員。
如圖2所示，主計算機1包括單元狀態監控模塊20，用于接收關于設備3的單元的工作狀態數據，它是由設備3經設備服務器(沒畫)加載的。
當單元狀態監控模塊20插入主計算機1時，設備3也具備了適當的報告功能，因此能把設備3的各單元的工作狀態實時報告給單元狀態監控模塊20。
單元狀態監控模塊20連續監視存貯在主計算機1中的稱作參考數據的各單元工作狀態，以實時檢查各單元是否正常工作。如果確定一些單元不正常工作，則立即關閉不正常工作單元，將其與其它正常工作單元分開。
例如，在第一室4a中出現了錯誤，單元狀態監控模塊20就關閉第一室4a，使第一室4a與其它正常工作室，即與第二室4b和第三室4c分開。由于只關閉了第一室，其它室4b和4c仍然工作，設備中的加工連續進行，使生產力提高。
如圖3所示，首先，單元狀態監控模塊實時接收連續由設備3加載的設備3的各單元的工作狀態數據，因此。單元狀態監控模塊20能立即識別設備3的各單元的工作狀態。
之后，單元狀態監控模塊20檢索相應于存貯在主計算機1的數據庫中的設備3的各單元參考數據(S20)。單元狀態監控模塊20比較收到的工作狀態數據與檢索的參考數據，并確定是否有任何一個單元產生的工作狀態數據不處在相應于該單元的參考數據范圍內(S30)。
這時，如果確定各單元的工作狀態數據處在相應于各單元的參考數據范圍內，則沒有單元會產生不在相應于該單元的參考數據范圍內的工作狀態數據，單元狀態監控模塊20返回到第一步驟S20，并連續接收工作狀態數據。
反之，如果確定各單元的某些工作狀態數據不在參考數據范圍內，任何單元產生了不在相應于該單元的參考數據范圍內的工作狀態數據時，則單元狀態監控模塊20把該確定結果傳送到主計算機1。之后，主計算機1將產生工作狀態數據超出參考數據范圍的該單元變量ID的關鍵值改變為關閉狀態(S40)。結果，不正常工作單元與其它正常工作單元分開。例如，假若第一室4a的工作時間量參考數據和收到的第一室的工作數據分別是10,000小時和10,001小時，則確定第一室4a的工作狀態數據不在其參考數據范圍內。之后，單元狀態監控模塊20確定第一室4a中發生一些問題，并將該確定報告主計算機。按該確定，主計算機1將第一室4a變量ID的關鍵值，改變為關閉狀態，使第一室4a與其它正常工作室4b和4c立即分開。
由主計算機1改變的變量ID最好是設備的恒定ID(ECID)它能全部一起改變室4的工作狀態。
步驟S40之后，單元狀態監控模塊20接收來自主計算機1的具有改變了關鍵值的變量ID，把該變量ID加載到一單元控制消息上，并把其上加載了變量ID的該單元控制消息下載到設備3中(S50)。因此，該設備能立即關閉不正常工作單元，即，第一室4a。
這時，按本發明特征，從該單元狀態監控模塊20下載的單元控制消息是允許平滑通信的流函數消息。
該單元控制消息的流函數模形最好是能標準化的S1F12。例如，如果識別出第一室4a是不正常工作，該單元狀態監控模塊20關閉第一室4a，將其與其它正常工作室4b和4c分開。首先，該單元狀態監控模塊20接收變量ID的ECID，其中，通過主計算機1把該關鍵值狀態變成關閉狀態，并把ECID加載到流函數消息的S1F12上。之后，該單元狀態監控模塊20把其上加載了ECID的S1F12下載到設備3。結果，按改變了關鍵值的ECID，只把第一室4a關閉，并立即將它與其它正常工作室4b和4c分開。
常規控制系統中，由于操作員難以實時識別不正常工作單元，不正常工作單元不能立即與正常工作流程分開。而且，使產品加入不正常工作單元，會出現工作問題。
但是在按本發明的控制系統中，主計算機1在無操作員干涉的情況下通過單元狀態監控模塊20能實時識別不正常工作單元并用單元控制消息把不正常工作單元立即與正常工作單元分開。由此能防止因不正常工作單元造成的工作問題。
如圖4所示，在該單元控制消息下載到設備3的步驟50之后，該單元狀態監控模塊20可把引發警報聲的告警消息下載到設備3，因此，設備3可按告警消息中的遠程指令而產生有預定音量的報警聲。(S61)，產生報警時，操作員能實時識別設備3的某單元中出現的工作問題，并采取適當的措施立即解決工作問題。
該告警消息最好是允許平滑通信的流函數消息。
該告警消息的流函數模形最好是適合于標準化的S2F41。
該告警消息下載到設備3之后，該單元狀態監控模塊20連續監視設備3的工作，并確定是否有設備3產生的警告(S62)。
如果確定設備3沒產生告警，該單元狀態監控模塊20確定通信中出現了問題，并把控制處理流程返回到步驟S61，重復告警消息下載到設備3的步驟。
反之，如果確定設備3產生了告警，則單元狀態監控模塊20執行把有正文的報警消息下載到設備3的監視器的下一步驟，操作員可用視覺識別不正常工作單元(S63)。按報警消息的正文，操作員識別不正常工作單元，并立即采取適當措施，解決不正常工作單元造成的工作問題。
與單元控制消息或告警消息相同，報警消息最好是允許平滑通信的流函數消息。
報警消息的流函數模形最好是適合標準化的S10F3或S10F5。S10F5比S10F3能傳送更大量的正文。
報警消息可以下載到O/I PC2以及設備3的監視器中。因此，盡管從設備3至操作員之間有很大距離，操作員通過離它很近的O/I PC2能識別不正常工作單元并立即采取適當措施。
因此，通過主計算機重復上述步驟能有效控制設備。
如此所述，按本發明，通過單元狀態監控模塊20能實時控制設備單元的工作狀態。由此，使不正常工作單元能立即與其它正常工作單元分開。
本發明能用于設置在生產線中并需要預定控制而效率不受損失的半導體制造設備中。
已參考所述實施例說明了本發明。但是，本領域的技術人員應了解，本發明顯然還會有許多替換、改進和變化。因此，本發明包括在所附的權利要求規定的本發明精神和范圍內的所有這些替換、改變和變化。
如上所述，按半導體制造設備控制系統的配置設備單元的狀態控制方法，其中，預定的單元狀態監控模塊被插入主計算機中，以實時識別不正常工作單元，并立即將其與正常工作流程分開。由此防止由不正常工作單元造成的工作問題，使整個生產效率顯著提高。
權利要求
1．一種半導體制造設備控制系統中配置設備單元的狀態控制方法，其特征是，包括以下步驟接收來自所述設備的所述各單元的工作狀態數據；檢索對應于所述各單元的參考數據；確定所述各單元的所述工作狀態數據是否處在對應于所述各單元的所述參考數據的范圍內；如果確定所述工作狀態數據處在所述參考數據內，返回到接收工作狀態數據的所述步驟，如果確定所述各單元中的一個單元的所述工作狀態數據不處在所述參考數據范圍內，改變所述一個單元的變量ID的關鍵值；和把改變了關鍵值的所述變量ID加載到預定的單元控制消息上，并將其上加載了所述變量ID的所述單元控制消息下載到所述設備中，來改變所述設備的所述一個單元的工作狀態。
2．按照權利要求1的方法，其特征是，所述單元控制消息是流函數消息。
3．按照權利要求2的方法，其特征是，所述單元控制消息是S1F12。
4．按照權利要求1的方法，其特征是，所述變量ID是ECID。
5．按照權利要求1的方法，其特征是，在把改變了關鍵值的所述變量ID加載到預定單元控制消息上并把其上加了所述變量ID的所述單元控制消息下載到所述設備中的步驟之后，還包括以下步驟把預定的告警消息下載到所述設備中；確定所述設備是否產生了告警；和如果確定所述設備沒有發出告警，返回到把預定的告警消息下載到所述設備中的步驟，如果確定從所述設備發出告警，把預定的報警消息下載到所述設備中。
6．按照權利要求5的方法，其特征是，所述告警消息和所述報警消息是流函數消息。
7．按照權利要求6的方法，其特征是，所述告警消息是S2F41。
8．按照權利要求6的方法，其特征是，所述報警消息是S10F3或S10F5。
全文摘要
一種半導體制造設備的控制系統中配置設備單元的狀態控制方法,其中,主計算機中包括有預定的單元狀態監控模塊,通過單元狀態監控模塊能實時識別不正常工作單元,當識別出正常工作單元時立即將其與正常工作流程分開,結果,防止了由不正常工作單元造成的工作問題并提高了設備的生產力。
文檔編號G05B19/418GK1223456SQ9811673
公開日1999年7月21日 申請日期1998年7月30日 優先權日1998年1月14日
發明者趙平日 申請人:三星電子株式會社