草酸濃度控制器的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開一種草酸濃度控制器，包括主機臺、計量補給部以及測定控制部；所述計量補給部包括酸液進入口、酸液回流口以及凈水補給口；待測酸液從所述酸液進入口進入流經所述計量補給部后從所述酸液回流口流出；所述計量補給部向所述測定控制部提供部分所述待測酸液；所述測定控制部包括電導率測定計和溫度測定計；所述電導率測定計測量所述待測酸液的電導率；所述溫度測定計測量所述待測酸液的溫度；所述的測定控制部向所述計量補給部發出補給指令，控制所述凈水補給口向所述酸液回流口提供凈水補給。本實用新型根據藥液的電導率，實時計算出藥液的濃度，并進行控制，能更好的保證產品的質量，并且有效的延長藥液的使用壽命，減少使用費用。
【專利說明】草酸濃度控制器
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及蝕刻液濃度測定控制設備領域，尤其涉及一種草酸濃度控制器。
【背景技術】
[0002]TFT、觸摸屏ITO膜蝕刻液用量比較大，必須24H連續生產，對蝕刻液濃度控制必須實時進行，用化學滴定法，周期長，而且需要離線測量，不能很好的實時監控。實際在生產過程中，為了節省ITO膜蝕刻液的用量，ITO膜蝕刻液需要反復使用，一次加入量在400L左右，因此需要實時對草酸濃度進行測定以保證藥液濃度在一定的可控范圍內。一般采用測量草酸溶液的電導率來技術草酸的濃度，但是由于草酸溶液在使用過程中需要加熱，而溫度對液體的電導率是有很大影響的，因此草酸液體的溫度對濃度的計算帶來了干擾。
實用新型內容
[0003]本實用新型的目的是:提供一種草酸濃度控制器，根據草酸液濃度與電導率曲線、草酸液溫度與電導率曲線，通過實時測量藥液的電導率和溫度計算出藥液的實時濃度，并根據實時濃度對系統進行補水，保證藥液濃度在一定的可控范圍內，減少了濃度波動對產品質量的影響。
[0004]為了實現上述目的，本實用新型的技術方案是:
[0005]一種草酸濃度控制器，包括主機臺、計量補給部以及測定控制部；所述計量補給部包括酸液進入口、酸液回流口以及凈水補給口 ；待測酸液從所述酸液進入口進入流經所述計量補給部后從所述酸液回流口流出；所述計量補給部向所述測定控制部提供部分所述待測酸液；所述測定控制部包括電導率測定計和溫度測定計；所述電導率測定計測量所述待測酸液的電導率；所述溫度測定計測量所述待測酸液的溫度；所述的測定控制部向所述計量補給部發出補給指令，控制所述凈水補給口向所述酸液回流口提供凈水補給。
[0006]進一步的，所述計量補給部還包括凈水供應口，連接于外部凈水源。
[0007]進一步的，還包括廢液排放口。
[0008]本實用新型由于采用了上述技術，使之與現有技術相比具有的積極效果是:
[0009]本實用新型由于設置了測定控制部和計量補給部，測定控制部又包括電導率測定計和溫度測定計，通過實時測量藥液的電導率和溫度，根據草酸液的濃度與電導率曲線、草酸液溫度與電導率曲線，計算出藥液的實時濃度，并根據實時濃度對系統進行補水，保證藥液濃度在一定的可控范圍內，減少了濃度波動對產品質量的影響。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型草酸濃度控制器的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0011]以下結合附圖進一步說明本實用新型的實施例。
[0012]請參見圖1所示，包括主機臺1、計量補給部2以及測定控制部3 ;所述計量補給部2包括酸液進入口 4、酸液回流口 5以及凈水補給口 8 ;待測酸液從所述酸液進入口 4進入流經所述計量補給部2后從所述酸液回流口 5流出；所述計量補給部2向所述測定控制部3提供部分所述待測酸液；所述測定控制部3包括電導率測定計31和溫度測定計32 ;所述電導率測定計31測量所述待測酸液的電導率；所述溫度測定計32測量所述待測酸液的溫度；所述的測定控制部3向所述計量補給部2發出補給指令，控制所述凈水補給口 8向所述酸液回流口 5提供凈水補給。
[0013]優選的，所述計量補給部2還包括凈水供應口 7，連接于外部凈水源。
[0014]優選的，還包括廢液排放口 6，用于草酸濃度控制器內的廢液排出。
[0015]本實用新型通過測定控制部3通過實時測量藥液的電導率和溫度，根據草酸液的濃度與電導率曲線、草酸液溫度與電導率曲線，計算出藥液的實時濃度，并根據實時濃度確定系統需要的補水量，然后向計量補給部2發出指令，通過凈水補給口 8向酸液回流口 5補給凈水，保證藥液濃度在一定的可控范圍內，減少了濃度波動對產品質量的影響。
[0016]請參見圖1所示，根據生產需求，從刻蝕機臺10中的TANKA(儲液箱)or TANK B中給機臺供液，供液的同時通過酸液進入口 4給本實用新型草酸濃度控制器供應液體，測定控制部3測得供液的導電率和溫度，并計算得待測液的濃度，進而計算補水的量和時間，濃度偏得越高，相對補水時間越長。
[0017]綜上所述，本實用新型根據藥液的電導率和溫度，實時計算出藥液的濃度，并進行控制，能更好的保證產品的質量，并且有效的延長藥液的使用壽命，減少使用費用。
【權利要求】
1.一種草酸濃度控制器，其特征在于:包括主機臺(1)、計量補給部(2)以及測定控制部⑶；所述計量補給部⑵包括酸液進入口(4)、酸液回流口(5)以及凈水補給口⑶；待測酸液從所述酸液進入口(4)進入流經所述計量補給部(2)后從所述酸液回流口(5)流出；所述計量補給部⑵向所述測定控制部⑶提供部分所述待測酸液；所述測定控制部(3)包括電導率測定計(31)和溫度測定計(32);所述電導率測定計(31)測量所述待測酸液的電導率；所述溫度測定計(32)測量所述待測酸液的溫度；所述的測定控制部(3)向所述計量補給部⑵發出補給指令，控制所述凈水補給口⑶向所述酸液回流口(5)提供凈水補給。
2.根據權利要求1所述的草酸濃度控制器，其特征在于:所述計量補給部(2)還包括凈水供應口(7)，連接于外部凈水源。
3.根據權利要求1所述的草酸濃度控制器，其特征在于:還包括廢液排放口(6)。
【文檔編號】G05D11/13GK204256544SQ201420646795
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年11月2日 優先權日:2014年11月2日
【發明者】姚強, 蔣繼德, 劉寧, 繆星鑫 申請人:上海斡鈮禾自動化科技有限公司