半導體設備的遠程控制中基于標簽的通信方法

半導體設備的遠程控制中基于標簽的通信方法
【專利摘要】一種半導體設備的遠程控制中基于標簽的通信方法，先建立SECS信息模板集合，然后建立設備端和主機端的SECS連接，再進行設備端和主機端之間的SECS信息發送和接收。SECS信息模板集合包括設備端SECS信息模板集合和主機端SECS信息模板集合，設備端SECS信息模板集合包括多個設備端SECS信息模板，設備端SECS信息模板分別為每個生產功能配置，主機端SECS信息模板集合包括多個主機端SECS信息模板集合，SECS信息模板包括生產功能所對應的國際SEMI標準E5中的SECS信息格式及必需具有的所有標簽，所有標簽包括一個信息標簽和必需具有的所有變量數據項標簽，必需具有的所有變量數據項標簽是指該SECS信息格式擁有的所有變量數據項標簽，每個變量數據項必需被賦予一個變量數據項標簽。
【專利說明】半導體設備的遠程控制中基于標簽的通信方法【技術領域】
[0001] 本發明涉及網絡通訊協議【技術領域】。在基于SEMI標準的SECS通訊中，使用由SEMI標準E5規定的SECS 11信息格式；具體地說，本發明在SEMI標準E5的基礎之上，規定了一種實施SECS II信息的方法。
【背景技術】
[0002]半導體制造生產線要求高清潔度、高無塵，尤其在晶圓制造產線上，大部分制造設備工作在高真空狀態中，人工操作容易造成有害氣體的泄漏；隨著制造工藝復雜程度的增加，每個制程開始前與結束后都會有一定數量的數據在設備與制造執行系統和其它軟件系統(如先進制程系統等)之間交互，人工輸入這些數據已不可能，而且生產線上的設備一般來自不同的設備制造商，設備上使用的軟件系統和技術不一樣，這給產線的自動化帶來一定的困難。為此，國際半導體行業協會SEMI推出了很多標準，以指導設備廠商和生產線單位的自動化，實現不同設備、工藝、流程等的集成。以SEMI標準為框架的自動化集成，不但能行之有效地解決這些問題，而且給生產線帶來生產率的提高、良率的改進等優點，是現在和今后半導體產線生產自動化的必然趨勢。
[0003]SECS (SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 的縮寫)通訊是指在 SECS 協議(SEMI標準E4、E37)下，使用SECS信息格式(由SEMI標準E5定義)來進行設備與產線軟件之間的通訊，是實現眾多不同設備在產線上自動化集成的基礎。
[0004]半導體生產線上眾多設備的操作和控制、生產數據的交互，都是通過SECS通訊來實現的。國際半導體行業SEMI標準E4、E5、E37分別規定了 SECS通訊的協議和格式，其中E5規定了 SECS信息的定義及其含義，但是并沒有給出實施的方法或者途徑，從而出現了諸多不同的實施方法，如近年出現的使用XML格式方法，這種方法的缺點是沒有使用SEMI標準E5中定義了 SECS信息格式，使得發送的信息與實際定義的格式之間出入很大，而且沒有E5中的定義那樣直觀、易讀；目前國際上普遍使用的，還是15年前的方法途徑，也就是使用E5中的格式定義，但是在定義中引入結構體、前函數、后函數、一般標簽等等，現有技術的標簽法則是:對于一個SECS信息，可以使用標簽，也可以不使用標簽，標簽不能完全鑒別SECS信息模板，標簽與SECS信息模板不是對應關系。這種方法的缺點是，它使得SECS通訊的實施變得復雜，而且設備的控制系統需要處理SECS信息本身，但是設備的控制系統僅對SECS信息中的設備數據或者指令數據感興趣，完全沒有必要知道SECS信息中的輔助數據，這種方法是基于15年前的軟件技術，適合于結構性的計算機編程，但是，近10年內面向對象軟件技術得到了充分的發展，這個技術已經無法與之完全匹配了。

【發明內容】

[0005]本發明提供一種能夠降低SECS通訊協議與設備控制系統之間耦合性的半導體設備的遠程控制中基于標簽的通信方法。
[0006]本發明的技術解決方案如下: 一種半導體設備的遠程控制中基于標簽的通信方法，先建立SECS信息模板集合，然后建立設備端和主機端的SECS連接，再進行設備端和主機端之間的SECS信息發送和接收。
[0007]與現有技術相比，本發明具有如下優點:
通過使用本發明，可以實現SECS協議軟件的國產化，實現眾多生產設備、生產工藝、生產計劃、產品種類之間的自動化集成，提高半導體生產線的生產能力、生產率。
[0008]盡管目前一般的設備均采用HSMS通訊方式，但是仍有相當數量的舊設備僅使用RS232通訊方式；本發明通過使用標簽方法，把HSMS和RS232方式結合起來，從而實現使用同一個SECS通訊平臺來操作控制新舊設備，提高了半導體工廠的自動化水平。
[0009]從技術角度來說，通過上述標簽方法，實現了 SECS通訊協議與設備控制系統之間的順利交接，并最大限度地降低了它們之間的耦合性，從而可以充分利用面向對象技術，極大地簡化了 SECS協議的設計和編程；而現有技術中，對于一個SECS信息，可以使用標簽，也可以不使用標簽，所以無法使用標簽來作為上下貫通的對應手段，導致SECS信息與標簽之間的不對應，使得每個SECS信息都必須有個類來表達(在設備端，往往會有100多個不同的SECS信息定義)，底層SECS協議還必須使用具體的SECS信息本身來作為實例，往返于SECS協議模塊和上層應用模塊之間，不但耦合程度高，而且不能充分利用面向對象技術。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為SECS通訊結構圖。
[0011]圖2為SECS通訊總體步驟圖。
[0012]圖3為數據事件結構圖。
[0013]圖4為建立SECS通訊連接流程圖。
[0014]圖5為發送信息流程圖。
[0015]圖6為接收信息流程圖。
[0016]圖7為應用結構圖。
【具體實施方式】
[0017]一種半導體設備的遠程控制中基于標簽的通信方法，其特征在于，先建立SECS信息模板集合，然后建立設備端和主機端的SECS連接，再進行設備端和主機端之間的SECS信息發送和接收。在本實施例中，
所述SECS信息模板集合包括設備端SECS信息模板集合和主機端SECS信息模板集合，設備端SECS信息模板集合包括多個設備端SECS信息模板，設備端SECS信息模板分別為每個生產功能配置，主機端SECS信息模板集合包括多個主機端SECS信息模板集合,設備端SECS彳目息模板和主機端SECS彳目息模板米用以下方法獲得:
SECS信息模板包括:該生產功能所對應的國際SEMI標準E5中的SECS信息格式，以及該信息格式必需具有的所有標簽，所述必需具有的所有標簽包括一個信息標簽和必需具有的所有變量數據項標簽，所述必需具有的所有變量數據項標簽是指該SECS信息格式擁有的所有變量數據項標簽，每個變量數據項必需被賦予一個變量數據項標簽；信息標簽在SECS信息模板集合中與其它信息標簽相比必須具有唯一性，實現信息標簽唯一性的方法如下:把英文字母s、SECS信息格式的分類整數、英文字母f、SECS信息格式的功能整數、英文字母V、整數η，依順序組成信息標簽，所述整數η是指當前SECS信息格式在SECS信息模板集合中的次序，如果是第一個，整數η等于1，如果是第二個，整數η等于2，以此類推；(例子:slf 13vl, slf 13v2, slf 14vl, slf 14v2,等等)；
所有變量數據項標簽必須在當前SECS信息模板范圍內唯一，實現變量數據項標簽唯一性的方法如下:把英文字母V、整數m依順序組成變量數據項標簽，所述整數m是指當前變量數據項在當前SECS信息格式中的次序，如果是第一個變量數據項，整數m等于1，如果是第二個變量數據項，整數m等于2，以此類推(例子:vl，v2, v3,等等)；
設備端和主機端的SECS連接的建立方法如下:
在設備端建立服務器型網絡層套接，并開始收聽，如果套接建立不成功，則退出當前步驟；在主機端建立客戶型網絡套接，如果套接建立不成功，則退出當前步驟，主機端啟動連接請求間隔計時器(HSMS方式為T6，RS232方式為T2)，向設備端發送SECS連接請求數據信息(HSMS方式為SELECT, req, RS232方式為ENQ，分別由E37和E4定義)，如果主機端在間隔計時器內收到設備端許可連接的數據信息(HSMS方式為SELECT, res, RS232方式為EOT,分別由E37和E4定義)，連接成功；其它情況均為連接失敗；設備端如果是處于連接狀態，便拒絕所有連接請求，
設備端和主機端之間的SECS信息發送包括以下步驟:
步驟4.1:設備產生關于生產功能的數據事件，所述數據事件包括數據和標簽，所述數據包括該生產功能所對應SECS信息模板中的分類整數(即Stream Number )、功能整數(即Function Number)、所有變量數據項的數據,所述標簽包括該生產功能所對應SECS信息模板中的信息標簽，以及該生產功能所對應SECS信息模板中所有變量數據項標簽；
步驟4.2:從設備端SECS信息模板集合中逐一選取設備端SECS信息模板，并將所選設備端SECS信息模板上的信息標簽、分類整數Stream Number、功能整數Function Number、變量數據項的數據類型及長度、變量數據項標簽分別與所述數據事件中的信息標簽、分類整數Stream Number、功能整數(Function Number)、變量數據項的數據類型及長度、變量數據項標簽進行比較，若出現所選設備端SECS信息模板上的信息標簽、分類整數StreamNumber)、功能整數Function Number、變量數據項的數據類型及長度、變量數據項標簽分別與所述數據事件中的信息標簽、分類整數Stream Number、功能整數Function Number、變量數據項的數據類型及長度、變量數據項標簽完全相等，則將數據事件中變量數據項的數據賦給所選設備端SECS信息模板上的具有相同變量數據項標簽的變量數據項，去除賦值后的設備端SECS信息模板中的所有標簽，并將去除標簽后的SECS信息作為需要發送的設備端SECS信息；否則，則放棄當前數據事件的發送，
步驟4.3:按照國際SEMI標準E4或者E37，將所述步驟4.2生成的需要發送的設備端SECS信息轉換為字節數組，并加上SECS信息頭字節數組和長度字節數組后，發送給主機。
[0018]根據權利要求4所述的半導體設備的遠程控制中基于標簽的通信方法，其特征在于，所述的設備端和主機端之間SECS信息接收包括以下步驟:
步驟5.1:主機接收到加上SECS信息頭字節數組和長度字節數組的字節數組，按照國際SEMI標準E4或者E37，把字節數組還原成一個具體的SECS信息。
[0019]步驟5.2:從主機端SECS信息模板集合中逐一選取主機端SECS信息模板，并將所選主機端SECS信息模板上的分類整數Stream Number、功能整數Function Number、方向字節、W字節、列表以及變量數據項分別與步驟5.1所述具體的SECS信息的分類整數Stream Number、功能整數Function Number、方向字節、W字節、列表以及變量數據項進行比較，列表的比較僅比較列表所包含元素的個數是否相等，變量數據項的比較僅比較數據的類型和長度，若出現所選主機端SECS信息模板上的分類整數Stream Number、功能整數Function Number、方向字節、W字節、列表以及變量數據項分別與步驟5.1所述具體的SECS信息的分類整數Stream Number、功能整數Function Number、方向字節、W字節、列表以及變量數據項完全相等，則將所選具體的SECS信息模板作為步驟5.1所述具體的SECS信息的匹配模板，并進入步驟5.3 ;否則，視步驟5.1所述SECS信息為不可理解的信息而放棄。
[0020]步驟5.3:將從步驟5.1所述SECS信息中取得分類整數Stream Number)、功能整數Function Number、變量數據項的值與從步驟5.2所述主機端SECS信息模板中取得信息標簽和變量數據項標簽，組成一個數據事件。
[0021]下面參照附圖，對本發明的具體實施方案作出更為詳細的說明:
根據設備所能提供的生產功能和環節，界定設備所需要使用的SECS信息模板集合，并使用本發明的標簽法則，形成一個文本文件，稱之為SML文件，該文件定義了設備進行SECS通訊的所有SECS信息模板；
按照HSMS (E37)或者RS232 (E4)方式建立SECS通訊鏈接；
使用SECS信息模板及它所包含的標簽來進行SECS信息的編碼和解碼，實現對設備的操作控制和數據交互；斷開SECS通訊鏈接；
定義設備所需要使用的SECS信息信息模板集合的方法:根據設備的用途及其能夠向生產線提供的功能，使用SEMI標準E5的定義格式，對E5中定義的信息模板和含義與設備能夠提供的功能逐一對照，界定出所有需要使用的信息模板定義；然后把這些信息模板定義編輯成一個文本文件，在編輯過程中，需要按照本發明加入標簽，其規則如下:每個信息模板定義，都必須伴有一個標簽，而且只有一個標簽(注:國際上也使用標簽，但沒有這個規定，而且標簽的法則不同，使用方法和范圍也不同，見下)，這個標簽是SECS信息模板層次的標簽，必須在整個SML文件中具有唯一性；每個SECS信息模板定義是由列表和數據項組成，列表不能被指定有標簽；數據項分為常量數據項和變量數據項，常量數據項為在SECS通訊中，它的值永遠不變的數據項，變量數據項為在SECS通訊中，它的值可能變化的數據項(注釋:例如，某個SECS信息中某個數據項的值為整型數據5，下次發送或者接收與該信息完全類似的信息時，可能該數據項的值為整型數據10);常量數據項不能被指定有標簽，而變量數據項必須被指定一個標簽，這個標簽必須在當前的信息模板定義內唯一；標簽的命名法則如下:標簽由英文字母和數字組成；即使有多個同類同種(即相同Stream和Function數字，詳見SEMI標準E5)的信息模板定義，也必須使用不同的標簽；標簽在SML文件中的語法:緊跟在每個SECS信息聲明之后，使用字符=，然后是具體的標簽名，見具體實施例；SEMI標準E5給出了標準內的SECS信息模板定義，由于不同設備有不同的用途，且SML文件是針對個別設備的，所以一個SML文件，除了包含SEMI標準E5給出的SECS信息模板集合的某個子集合外，還可能包含有設備自定義的SECS信息模板，但自定義的SECS信息模板也必須符合SEMI標準E5的要求，采用SEMI標準E5相同的格式，而且也必需使用本發明的標簽規則。[0022]在SECS通訊鏈接建立后，對要發送的數據進行解析編碼，具體步驟為:對上層應用需要發送的數據，必須伴有SECS信息層次的標簽，該標簽對應于唯一一個SECS信息模板，如果要發送的SECS信息的定義中有變量項，該變量項的數據也必須伴有正確的標簽，如果沒有標簽或者標簽不在上述字典中，便拒絕發送或者出錯；把標簽所對應的信息模板與上層應用伴發來的數據進行匹配，如果不匹配，便拒絕發送或者出錯，如果匹配，直接通過以上建立的套接發送；匹配比較時，要檢查Stream Number (參見SEMI標準E5)和Function Number (參見SEMI標準E5)是否相等，如果有一個不等,便拒絕發送或者出錯；如果模板中有變量數據項，那么請求數據中必需包含所有變量數據項的值和它們相應的標簽，根據標簽與信息模板中的相應變量數據項進行詳細的比較，比較數據類型、數據長度；
當接收到一個SECS信息后，對接收到的信息進行解碼，具體步驟為:與信息模板字典中的信息模板逐一相比較，如果當字典中的所有模板用完后還沒有找到匹配，視為不能理解和處理的信息，按照相關SEMI標準予以拒絕；如果符合該信息集合的某個模型，便接受并把相應的標簽和該信息數據一起通知上層應用處理該信息，同一個標簽下的信息按先后順序通知上層應用處理。匹配時首先比較Stream Number(參見SEMI標準E5)和FunctionNumber (參見SEMI標準E5)，然后對刪選后的對象進行深層次的匹配，包括所有列表和數據項；數據項的匹配僅需匹配數據類型和數據長度，如果數據項為變量數據項，除了記錄該變量數據項的值外，還須記錄下該變量數據項的標簽，并把它們對應起來；列表的匹配完全使用SEMI標準E5的定義；
斷開SECS通訊鏈接的步驟為:如果網絡套接正在接收或者發送數據過程中，便等待；如果不是，RS232的方式下,直接斷開套接；HSMS的方式下,首先發送Separate, req (由E37定義)，然后斷開套接。
[0023]本發明適用于基于SEMI標準的SECS通訊中，使用由SEMI標準E5規定的SECS II信息格式；具體地說，本發明是在遵循SEMI標準E4、E5、E37的基礎上，提出了新的標簽法貝U，并引入了其它相應的概念。
[0024]如圖1所示，網絡層是指網絡計算層，包括數據連接，物理網絡等；RS232協議或者TCP/IP協議為傳輸層，是通用的網絡通訊手段；SECS協議層(E4或者E37)相當于對話層，它可以使用TCP/IP途徑，也可以使用RS232途徑，來發送SEMI標準E5的相關信息。其中SEMI標準E4描述了使用RS232途徑時的對話規則，而SEMI標準E37描述了使用TCP/IP途徑時的對話規則。上層應用是指產線上的遠程控制主機(Host)或者設備端的SECS/GEM系統，均為SECS信息的邏輯處理和反應層次。應用結構如圖5，圖5中的設備可以為任何一種需要集成的設備，設備與遠程控制主機之間使用SECS通訊，遠程控制主機(Host)與制造執行系統(MES系統)或者其它產線軟件系統(如SAP等)之間并不使用SECS通訊，而是使用其它信息軟件技術，如RPC，CORBA等。
[0025]下面描述一個實施例來說明本發明的實施過程，一般的設備要使用上百個SECS信息模板，一個完整的SECS信息模板文件都比較大；本實施例是設備端發送SECS信息S1F13給主機端，并等待接收從主機端發過來的SECS回復信息S1F14，完成一個發送和接收循環，這兩個信息模板也是所有設備必需包括的，按照SEMI標準E5，S1F13的含義可以有多種用途，可以使用它來詢問對方是不是在線，應用層也可以使用它來判斷對方是否處于工作狀態等等，主機端的SECS通訊一般采用主動模式，而設備端一般采用被動模式。[0026]作為設備端，必須具有詢問主機端是否處在工作狀態的功能，該功能一般使用S1F13和S1F14來完成，按照SEMI標準E5的通用格式，定義S1F13和S1F14的信息模板如下:
S1F13 = slfl3vl OUTPUT W#申明一個出發、必須回復的信息
<L [0]>.#該信息不包含任何列表和數據項
S1F14 = slfl4vl INPUT#申明一個進來的信息，信息標簽為slf 14vl
<L [2]#該信息包含了 2個元素的列表
〈B [1]>=vl#這是一個Binary變量數據項,標簽名為vl
<L [2]#2個兀素的列表，嵌入上一層次的列表
〈A [8] > = v2#這是一個字符串變量數據項，標簽名為v2
<A [8] ‘ASM V1.0’ > #這是一個字符串常量數據項，沒有標簽名
>#內嵌列表結束
>.#列表結束，信息定義結束
這里定義了二個SECS信息模板S1F13和S1F14，標簽名分別為slfl3vl和slfl4vl。其中S1F14為S1F13的回復信息模板，根據SEMI標準E5的定義，S1F13信息可以用來詢問對方是否工作正常，所以必須得到回復信息，它的回復信息必須是S1F14;回復信息中，如果標簽名為vl的變量數據項的值為0，表示工作正常，可以進行下一步的命令，如果不是0，是其它整形值，表示對方在錯誤狀態中，或者其它情況；標簽名為v2的數據項是對方軟件的版本號，它下面的數據項是常量，表示對方的類型號；
2.按照上述定義分別建立標簽名為slfl3vl和slfl4vl信息模板表達，并把標簽名slfl3vl和與之對應的信息模板，slfl4vl和與之對應的信息模板存放在字典中；每個SECS信息模板包含了它的列表和數據項的表達，如果數據項為變量數據項，必須伴有該數據項的標簽，所得到的含有信息模板表達的字典便是設備端的信息模板集合；在建立信息模板表達過程中，要按照本發明組成信息標簽和變量數據項標簽；
3.建立SECS通訊鏈接，如圖2所示。首先在設備端(即被動端)建立服務器型網絡套接，然后在主機端(主動端)建立客戶型網絡套接；如果有一端套接建立不成功，則退出該步驟；在主機端啟動連接請求間隔計時器(HSMS方式為T6，RS232方式為T2)，然后向設備端發送SECS連接請求數據信息(HSMS方式為SELECT, req, RS232方式為ENQ，分別由E37和E4定義)，判斷間隔計時器是否超時，如果超時，便退出；如果沒有超時，判斷是否收到許可連接的數據信息(HSMS方式為SELECT, res, RS232方式為EOT，分別由E37和E4定義)，如果是表示連接成功，從而進入連接狀態，如果沒有接收到許可連接的數據信息，便進入判斷間隔計時器是否超時和接收許可連接的數據信息的循環；設備端在接收到主機端的SECS連接請求數據信息(HSMS方式為SELECT, req, RS232方式為ENQ，分別由E37和E4定義)后，判斷是否已經處在連接狀態，如果是，便拒絕回復，如果沒有處在連接狀態，向主機端發送許可連接信息SELECT.res或者EOT，并進入連接狀態；
4.在進入連接狀態后，雙方便可以發送和接收SECS信息了。設備端上層功能產生數據事件(參考圖3)，該數據事件伴有信息標簽slfl3vl，分類整數為1，功能整數為13，沒有變量數據項；把該數據事件與字典中的SECS信息模板逐一進行比較，如果不一致，結束并報出錯信息；匹配比較時，首先匹配信息標簽，然后檢查Stream Number (參見SEMI標準E5)以及Function Number (參見SEMI標準E5)，然后再匹配變量數據項和它們的標簽,如果有一個不等，便選擇下一個模板，如果沒有找到模板便拒絕發送或者出錯；本實施例與信息模板字典中的信息標簽名為slfl3vl的信息模板相匹配，沒有變量數據項，按照國際SEMI標準E4或者E37，把匹配好的具有具體數據的信息模板轉換為字節數組，并加上SECS信息頭字節數組和長度字節數組后，通過已經建立的連接，發送給主機；
5.主機端從網絡套接接收到字節數組后，需要按照國際SEMI標準E4或者E37，把字節數組還原成一個SECS信息，對還原后的SECS信息與主機端的SECS信息模板進行匹配，然后才能知道該SECS信息的用意，主機端剛接收到的SECS信息與主機端SECS信息模板中的slfl3vl相匹配，匹配后形成相應的數據事件，把該數據事件交給有關功能處理器來處理，具體匹配和形成數據事件的過程與設備端接收到SECS信息后類似(見本實施例步驟7的描述);
6.主機端功能處理模塊在接收到Slfl3vl的數據事件后，形成信息標簽為SlfHvl的數據事件，發送S1F14給對方，其過程與設備端完全相同；下面描述設備端接收到S1F14的字節數組后的還原過程；
7.設備端從網絡套接接收到字節數組，參考圖6，按照國際SEMI標準E4或者E37，把字節數組還原成一個SECS信息，對還原后的SECS信息與設備端的SECS信息模板進行匹配:把該SECS消息與在步驟2字典中的SECS信息模板逐一相匹配，如果當字典中的所有模板用完后還沒有找到匹配，按照SEMI SECS標準E37 (TCP/IP途徑)或者E4(RS232途徑)拒絕；匹配時首先比較Stream Number (參見SEMI標準E5)和Function Number (參見SEMI標準E5)是否分別為I和14，然后對刪選后的模板對象進行深層次的匹配，包括所有列表和數據項，一般來說，如果模板中有變量數據項，那么每個變量數據項需要逐一進行詳細的比較，譬如數據類型，數據長度等等；本實施例首先匹配最外層的列表是否具有正好2個元素，如果是，再對這2個元素分別進行匹配，第一個是Binary變量數據項，匹配它的類型及長度；第二個是嵌套的列表，嵌套列表的第一個元素是長度為8的字符串變量數據項，需要進行比較類型和長度，嵌套列表的第二個元素是長度為8的字符串常量量數據項，不但需要比較數據類型和長度，還需要進行比較它們具體的數值；本實施例與設備端SECS信息模板字典中的信息標簽為SlfHvl的模板相匹配，記錄下相應的信息標簽名slfHvl，并把接收到S1F14中的變量數據項分別與它們的標簽名vl和v2對應起來，然后把這些數據和它們的標簽名，以及信息標簽名slfl4vl形成一個數據事件，交給上層功能應用接口來處理；
8.斷開鏈接。一般來說，SECS通訊一旦連接上后，無需斷開鏈接，生產是年復一年，循環往復的；如果需要斷開鏈接，首先判斷網絡套接是否正在接收或者發送數據過程中，如果是便等待；如果不是，RS232的方式下，直接斷開套接；HSMS的方式下，首先發送Separate, req (由E37定義)，然后斷開套接；斷開套接回收有關網絡資源。
[0027] 以上實施例包含了二個SECS消息格式，一般來說，一個SML文件需要包含100個以上的SECS消息模板定義，但是SECS通訊過程完全一樣。
【權利要求】
1.一種半導體設備的遠程控制中基于標簽的通信方法，其特征在于，先建立SECS信息模板集合，然后建立設備端和主機端的SECS連接，再進行設備端和主機端之間的SECS信息發送和接收。
2.根據權利要求1所述的半導體設備的遠程控制中基于標簽的通信方法，其特征在于，所述SECS信息模板集合包括設備端SECS信息模板集合和主機端SECS信息模板集合，設備端SECS信息模板集合包括多個設備端SECS信息模板，設備端SECS信息模板分別為每個生產功能配置，主機端SECS信息模板集合包括多個主機端SECS信息模板集合,設備端SECS彳目息模板和主機端SECS彳目息模板米用以下方法獲得: SECS信息模板包括:該生產功能所對應的國際SEMI標準E5中的SECS信息格式，以及該信息格式必需具有的所有標簽，所述必需具有的所有標簽包括一個信息標簽和必需具有的所有變量數據項標簽，所述必需具有的所有變量數據項標簽是指該SECS信息格式擁有的所有變量數據項標簽，每個變量數據項必需被賦予一個變量數據項標簽；信息標簽在SECS信息模板集合中與其它信息標簽相比必須具有唯一性，實現信息標簽唯一性的方法如下:把英文字母s、SECS信息格式的分類整數、英文字母f、SECS信息格式的功能整數、英文字母V、整數η，依順序組成信息標簽，所述整數η是指當前SECS信息格式在SECS信息模板集合中的次序，如果是第一個，整數η等于I，如果是第二個，整數η等于2，以此類推； 所有變量數據項標簽必須在當前SECS信息模板范圍內唯一，實現變量數據項標簽唯一性的方法如下:把英文字母V、整數m依順序組成變量數據項標簽，所述整數m是指當前變量數據項在當前SECS信息格式中的次序，如果是第一個變量數據項，整數m等于1，如果是第二個變量數據項，整數m等于2，以此類推。
3.根據權利要求1所述的半導體設備的遠程控制中基于標簽的通信方法，其特征在于，設備端和主機端的SECS連接的建立方法如下: 在設備端建立服務器型網絡層套接，并開始收聽，如果套接建立不成功，則退出當前步驟；在主機端建立客戶型網絡`套接，如果套接建立不成功，則退出當前步驟，主機端啟動連接請求間隔計時器(HSMS方式為T6，RS232方式為T2)，向設備端發送SECS連接請求數據信息(HSMS方式為SELECT, req, RS232方式為ENQ，分別由E37和E4定義)，如果主機端在間隔計時器內收到設備端許可連接的數據信息(HSMS方式為SELECT, res, RS232方式為EOT,分別由E37和E4定義)，連接成功；其它情況均為連接失敗；設備端如果是處于連接狀態，便拒絕回復。
4.根據權利要求3所述的半導體設備的遠程控制中基于標簽的通信方法，其特征在于，設備端和主機端之間的SECS信息發送包括以下步驟: 步驟4.1:設備產生關于生產功能的數據事件，所述數據事件包括數據和標簽，所述數據包括該生產功能所對應SECS信息模板中的分類整數Stream Number、功能整數Function Number、所有變量數據項的數據,所述標簽包括該生產功能所對應SECS信息模板中的信息標簽，以及該生產功能所對應SECS信息模板中所有變量數據項標簽； 步驟4.2:從設備端SECS信息模板集合中逐一選取設備端SECS信息模板，并將所選設備端SECS信息模板上的信息標簽、分類整數Stream Number、功能整數Function Number、變量數據項的數據類型及長度、變量數據項標簽分別與所述數據事件中的信息標簽、分類整數Stream Number、功能整數Function Number、變量數據項的數據類型及長度、變量數據項標簽進行比較，若出現所選設備端SECS信息模板上的信息標簽、分類整數StreamNumber、功能整數Function Number、變量數據項的數據類型及長度、變量數據項標簽分別與所述數據事件中的信息標簽、分類整數Stream Number、功能整數Function Number、變量數據項的數據類型及長度、變量數據項標簽完全相等，則將數據事件中變量數據項的數據賦給所選設備端SECS信息模板上的具有相同變量數據項標簽的變量數據項，去除賦值后的設備端SECS信息模板中的所有標簽，并將去除標簽后的SECS信息作為需要發送的設備端SECS信息；否則，則放棄當前數據事件的發送， 步驟4.3:按照國際SEMI標準E4或者E37，將所述步驟4.2生成的需要發送的設備端SECS信息轉換為字節數組，并加上SECS信息頭字節數組和長度字節數組后，發送給主機。
5.根據權利要求4所述的半導體設備的遠程控制中基于標簽的通信方法，其特征在于，所述的設備端和主機端之間SECS信息接收包括以下步驟: 步驟5.1:主機接收到加上SECS信息頭字節數組和長度字節數組的字節數組，按照國際SEMI標準E4或者E37，把字節數組還原成一個具體的SECS信息； 步驟5.2:從主機端SECS信息模板集合中逐一選取主機端SECS信息模板，并將所選主機端SECS信息模板上的分類整數Stream Number、功能整數Function Number、方向字節、W字節、列表以及變量數據項分別與步驟5.1所述具體的SECS信息的分類整數Stream Number、功能整數Function Number、方向字節、W字節、列表以及變量數據項進行比較，列表的比較僅比較列表所包含元素的個數是否相等，變量數據項的比較僅比較數據的類型和長度，若出現所選主機端SECS信息模板上的分類整數Stream Number、功能整數Function Number、方向字節、W字節、列表以及變量數據項分別與步驟5.1所述具體的SECS信息的分類整數Stream Number、功能整數Function Number、方向字節、W字節、列表以及變量數據項完全相等，則將所選具體的SECS信息模板作為步驟5.1所述具體的SECS信息的匹配模板，并進入步驟5.3 ;否則，視步驟5.1所述SECS信息為不可理解的信息而放棄； 步驟5.3:將從步驟5.1所述SECS信息中取得分類整數Stream Number)、功能整數Function Number、變量數據項的值與從步驟5.2所述主機端SECS信息模板中取得信息標簽和變量數據項標簽，組成一個數據事件。
【文檔編號】G05B19/418GK103513639SQ201310463037
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年10月8日 優先權日:2013年10月8日
【發明者】周炳君 申請人:周炳君