專利名稱：多臺鈦泵的并聯驅動電路的制作方法
技術領域：
本發明涉及電子技術領域，具體是一種多臺鈦泵的并聯驅動電路。
技術背景
鈦泵是由許多厚為0. 1 0. 3mm、直徑為12 40mm的不銹鋼薄壁圓筒構成鈦泵陽極筒，以及在陽極的兩端厚為1 3mm的鈦陰極構成。鈦泵陽極筒的軸線與鈦陰極的表面垂直，二者之間加3 7KV的電壓，鈦泵陽極筒的軸向加1000 3000高斯的均勻磁場。鈦泵陽極筒中運動的電子，有軸向速度分量和徑向速度分量，鈦泵陽極筒內的電子會受到洛侖茲力作用和電場力作用，其運動為軸向的直線運動和橫截面上的輪滾線運動。使電子運動軌跡大大延長，電子與中性氣體分子的碰撞幾率增大，提高了電離效率，使得在很低的氣壓下也能發生放電。上述現象稱為潘寧放電。氣體分子和旋轉的電子碰撞而被電離成氣體離子，該氣體離子在電場的作用下，飛向并轟擊鈦陰極，產生兩種作用1、濺射鈦原子，形成鈦膜；2、打出二次電子。上述過程中，濺射出來的鈦原子，淀積在鈦泵陽極筒的內壁和鈦陰極的表面上，形成新鮮的鈦膜維持鈦泵的抽氣能力。氣體離子的濺射能力隨著入射的該氣體離子的能量、質量和入射角的不同而不同，能量大、質量大的氣體離子的濺射能力也大。為了保證鈦泵陽極筒上的鈦膜的吸氣能力，必須保證足夠的濺射率，即要求有足夠的電壓，以保證氣體離子得到足夠的轟擊能量。通過該氣體離子轟擊，可打出二次電子，二次電子受電磁場作用進入旋轉電子云里，補充失去的電子。每個氣體分子被電離的同時，都至少放出一個電子，這些電子也進入到旋轉電子云里，它們和二次電子一起補償因跑到陽極上而損失的電子，從而能不斷地維持潘寧放電。
鈦泵的電源一般是使用5KV倍壓整流電源，負載電流大時，輸出電壓下降到幾百伏。通常用流過鈦泵正負極間的電流反映所抽空間的真空度。
現有技術中，一臺鈦泵需要一臺鈦泵電源。一臺鈦泵電源的外殼為一個3U機箱， 因此在多臺鈦泵使用時，需要多個相適配的鈦泵電源，多個鈦泵電源進行工作造成成本的浪費，多個鈦泵電源又需要占用很大的空間。發明內容
本發明的主要目的是提供一種多臺鈦泵的并聯驅動電路，使多臺鈦泵只需要一個鈦泵電源。
本發明解決其技術問題所采用的技術方案是
—種多臺鈦泵的并聯驅動電路，其包括電源接入端和至少兩個鈦泵電源接入點， 所述鈦泵電源接入點連接鈦泵電源接線端，所述電源接入端與每一個鈦泵電源接入點之間串接有第一電阻或者所述鈦泵電源接入點與鈦泵電源接線端之間串接有第一電阻。
優選地，所述鈦泵電源接入點還通過第二電容連接接地端。
優選地，所述每個鈦泵電源接入點都通過分壓電路連接第一運算放大器的正電壓輸入端；
所述第一運算放大器的負電壓接入端通過第二電阻連接所述第一運算放大器的輸出端，所述第一運算放大器的輸出端為用于電流顯示信號采樣的第一采樣點。
優選地，所述第一運算放大器的正電壓輸入端或者所述第一運算放大器的輸出端為用于所述鈦泵電壓信號采樣的第二采樣點，用于所述鈦泵電壓信號采樣的第二采樣點通過相互并聯的二極管連接在第二運算放大器的負電壓輸入端，所述第二運算放大器的負電壓輸入端為參考電壓接入端，所述第二運算放大器的輸出端輸出鈦泵電壓調節反饋信號。
優選地，所述每個鈦泵電源接入點都通過分壓電路連接第一運算放大器的正電壓輸入端；具體包括所述鈦泵電源接入點與所述第一運算放大器的正電壓接入端之間串接有第三電阻，所述第一運算放大器的正電壓接入端還通過第四電阻連接接地端。
優選地，所述第一運算放大器的負電壓接入端還通過第五電阻連接接地端。
優選地，所述第一運算放大器的輸出端還分別通過第六電阻和第一電容連接接地端。
優選地，所述第五電阻與所述接地端之間還連接有第七電阻。
優選地，所述第一電阻的阻值為1M-10M歐姆，所述第二電阻的阻值為10-1M歐姆。
優選地，所述第三電阻與所述第四電阻的阻值比為(100-10000) 1。
優選地，所述第七電阻為電位器。
實施本發明的技術方案，具有以下有益效果本發明提供的多臺鈦泵的并聯驅動電路，使鈦泵電源的高壓輸出端經電阻隔離分別對多臺鈦泵進行供電，鈦泵電源輸出的功率大大減小，實現了一臺鈦泵電源穩定的供應多臺鈦泵的功能。另外，由該驅動電路中通過采樣電路采樣各臺鈦泵的電流信號，經具有高輸入阻抗的運算放大器放大該電流信號，送至比較電路，再反饋給鈦泵電源，實現鈦泵電源的電壓調節，使鈦泵得到的電壓更加穩定。
圖1為本發明實施例提供的第一種驅動電路的應用圖。
圖2為本發明實施例提供的第二種驅動電路的結構原理圖。
圖3為本發明實施例提供的具有驅動電路的機箱結構示意圖。
本發明目的的實現、功能特點及優點將結合實施例，參照附圖做進一步說明。
具體實施方式
為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發明，并不用于限定本發明。
本發明實施例提供的第一種多臺鈦泵的并聯驅動電路，如圖1所示，該驅動電路包括一個電源接入端HV分別連接三個第一運算放大器UO、UU U2的正電壓輸入端，該實施例中，電源接入端HV連接鈦泵電源，每個第一運算放大器對應有一個鈦泵，在其他的實施例中也可以有更多的運算放大器，相應的可以有更多的鈦泵，圖1中，三個第一運算放大器UO、U1、U2分別對應有三個鈦泵(即鈦泵A、鈦泵B和鈦泵C)。
所述電源接入端HV與所述第一運算放大器UO的正電壓輸入端之間設置有鈦泵電源接入點A，所述鈦泵電源接入點A連接有鈦泵A的電源接線端1，所述鈦泵A的另一端2接地；
所述第一運算放大器UO的負電壓接入端通過第二電阻R6連接所述第一運算放大器UO的輸出端，所述第一運算放大器UO的輸出端為鈦泵A的用于電流顯示信號采樣的第一采樣點；鈦泵A的電流采樣信號輸入到顯示模塊進行電流的顯示，將采樣的電流信號送給顯示模塊，監控人員可清楚鈦泵A的真空狀態。
進一步的，所述第一運算放大器UO的輸出端還作為用于所述鈦泵電壓信號采樣的第二采樣點通過二極管Dl連接在第二運算放大器U3的負電壓輸入端。
同樣的，所述電源接入端HV與所述第一運算放大器Ul的正電壓輸入端之間設置有鈦泵電源接入點B，所述鈦泵電源接入點B連接有鈦泵B的電源接線端1，所述鈦泵B的另一端2接地。
所述第一運算放大器Ul的負電壓接入端通過第二電阻R7連接所述第一運算放大器Ul的輸出端，所述第一運算放大器Ul的輸出端為鈦泵B的用于電流顯示信號采樣的第一采樣點；鈦泵B的電流采樣信號輸入到顯示模塊進行電流的顯示，將采樣的電流信號送給顯示模塊，監控人員可清楚鈦泵B的真空狀態。
進一步的，所述第一運算放大器Ul的輸出端還作為用于所述鈦泵電壓信號采樣的第二采樣點通過二極管D2連接在第二運算放大器U3的負電壓輸入端。
同樣的，所述電源接入端HV與所述第一運算放大器U2的正電壓輸入端之間設置有鈦泵電源接入點C，所述鈦泵電源接入點C連接有鈦泵C的電源接線端1，所述鈦泵C的另一端2接地；
所述第一運算放大器U2的負電壓接入端通過第二電阻R8連接所述第一運算放大器U2的輸出端，所述第一運算放大器U2的輸出端為鈦泵C的用于電流顯示信號采樣的第一采樣點；鈦泵C的電流采樣信號輸入到顯示模塊進行電流的顯示，將采樣的電流信號送給顯示模塊，監控人員可清楚鈦泵C的真空狀態。
進一步的，所述第一運算放大器U2的輸出端還作為用于所述鈦泵電壓信號采樣的第二采樣點通過二極管D3連接在第二運算放大器U3的負電壓輸入端。
在該應用中，所述第二運算放大器U3的負電壓輸入端為參考電壓接入端(該參考電壓可以根據需要進行設置)，所述第二運算放大器U3的輸出端輸出鈦泵的電壓調節反饋信號，第二運算放大器U3的輸出端將該鈦泵的電壓調節反饋信號輸出到鈦泵電源中。根據第二運算放大器U3所要放大的倍數的需要，第二運算放大器U3的負電壓輸入端與所述第二運算放大器U3的輸出端之間連接有第九電阻R10。
本實施例中，第一運算放大器的輸出端也同時作為鈦泵電壓信號的采樣點，通過將三處的鈦泵電壓信號的采樣點的鈦泵電壓的采樣信號輸入到第二運算放大器U3的正電壓輸入端，與所述參考電壓進行比較，哪處的鈦泵電壓的采樣信號的電壓最大，則將該最大的電壓與參考電壓進行比較，根據比較的結果得到該鈦泵的電壓調節反饋信號，該鈦泵的電壓調節反饋信號反饋到鈦泵電源中，以進行該鈦泵電源的電壓調節，使鈦泵電壓更加穩定。
在本實施例中，為了調節所述第一運算放大器U0、U1、U2的放大倍數，所述第一運算放大器W、Ul、U2的負電壓接入端還分別通過第五電阻R3、R4、R5連接接地端。在本實施例中，為了保護所述鈦泵，防止鈦泵被鈦泵電源的高電壓擊壞，保證鈦泵電壓的穩定性，所述鈦泵電源接入點A、B、C與所述電源接入端HV之間分別連接有第一電阻R0、R1、R2。另外，在本實施例中，電源接入端HV通過電阻RrO連接第四運算放大器Ur的正電壓輸入端， 通過該第四運算放大器to的輸出端作為鈦泵的電源輸出電壓采樣點，該鈦泵的電源輸出電壓采樣點連接顯示模塊，通過該顯示模塊顯示出鈦泵的電源輸出電壓采樣信號，以對所述鈦泵電源進行監控。其中，所述第四運算放大器to的負電壓輸入端通過第十電阻Rrl連接接地端，所述第四運算放大器Ur的負電壓輸入端還通過第十一電阻Rr2連接所述第四運算放大器to的輸出端。
本發明實施例提供的第二種多臺鈦泵的并聯驅動電路，如圖2所示，該驅動電路包括電源接入端HV分別連接三個第一運算放大器U0、UU U2的正電壓輸入端，該實施例中，電源接入端HV用于連接鈦泵電源，每個第一運算放大器對應有一個鈦泵，在其他的實施例中也可以有更多的運算放大器，相應的可以有更多的鈦泵，圖2中，三個第一運算放大器UO、Ul、U2分別對應有三個鈦泵(即鈦泵A、鈦泵B和鈦泵C)。
所述電源接入端HV與所述第一運算放大器UO的正電壓輸入端之間設置有鈦泵電源接入點E，所述鈦泵電源接入點E通過第一電阻RO連接有鈦泵A的電源接線端；
所述第一運算放大器UO的負電壓接入端通過第二電阻R6連接所述第一運算放大器UO的輸出端，所述第一運算放大器UO的正電壓輸入端為用于電流顯示信號采樣的第一采樣點；該用于電流顯示信號采樣的第一采樣點的電流采樣信號輸入到顯示模塊進行電流的顯示，將采樣的電流信號送給顯示模塊，監控人員可清楚鈦泵A的真空狀態。
所述第一運算放大器UO的輸出端通過二極管Dl連接在第二運算放大器U3的負電壓輸入端。
同樣的，所述電源接入端HV與所述第一運算放大器Ul的正電壓輸入端之間設置有鈦泵電源接入點F，所述鈦泵電源接入點F通過第一電阻Rl連接有鈦泵B的電源接線端；
所述第一運算放大器Ul的負電壓接入端通過第二電阻R7連接所述第一運算放大器Ul的輸出端，所述第一運算放大器Ul的正電壓輸入端為用于電流顯示信號采樣的第一采樣點；該用于電流顯示信號采樣的第一采樣點的電流采樣信號輸入到顯示模塊進行電流的顯示，將采樣的電流信號送給顯示模塊，監控人員可清楚鈦泵B的真空狀態。
所述第一運算放大器Ul的輸出端通過二極管D2連接在第二運算放大器U3的負電壓輸入端。所述第二運算放大器U3的負電壓輸入端為參考電壓接入端(該參考電壓可以根據需要進行設置)，所述第二運算放大器U3的輸出端輸出鈦泵電壓調節反饋信號。
同樣的，所述電源接入端HV與所述第一運算放大器U2的正電壓輸入端之間設置有鈦泵電源接入點G，所述鈦泵電源接入點G通過第一電阻R2連接有鈦泵C的電源接線端；
所述第一運算放大器U2的負電壓接入端通過第二電阻R8連接所述第一運算放大器U2的輸出端，所述第一運算放大器U2的正電壓輸入端為用于電流顯示信號采樣的第一采樣點；該用于電流顯示信號采樣的第一采樣點的電流采樣信號輸入到顯示模塊進行電流的顯示，將采樣的電流信號送給顯示模塊，監控人員可清楚鈦泵C的真空狀態。
所述第一運算放大器U2的輸出端通過二極管D3連接在第二運算放大器U3的負電壓輸入端。所述第二運算放大器U3的負電壓輸入端為參考電壓接入端(該參考電壓可以根據需要進行設置)，所述第二運算放大器U3的輸出端輸出鈦泵電壓調節反饋信號。
該應用中，第二運算放大器U3的輸出端將該鈦泵的電壓調節反饋信號輸出到鈦泵電源中。根據第二運算放大器U3所要放大的倍數的需要，第二運算放大器U3的負電壓輸入端與所述第二運算放大器U3的輸出端之間連接有第九電阻R10。第一運算放大器的正電壓輸入端作為鈦泵電壓信號的采樣點，通過將三處的鈦泵電壓信號的采樣點的鈦泵電壓的采樣信號輸入到第二運算放大器U3的正電壓輸入端，與所述參考電壓進行比較，哪處的鈦泵電壓的采樣信號的電壓最大，則將該最大的電壓與參考電壓進行比較，根據比較的結果得到該鈦泵的電壓調節反饋信號，該鈦泵的電壓調節反饋信號反饋到鈦泵電源中，以進行該鈦泵電源的電壓調節，鈦泵電源的輸出電壓隨著負載電流的減小不斷加高，最終鈦泵電源的電壓維持相對穩定，鈦泵的真空度也維持在一定范圍內。
在本實施例中，進一步地，所述鈦泵電源接入點E與所述第一運算放大器UO之間串接有第三電阻R35。同樣的，所述鈦泵電源接入點F與所述第一運算放大器Ul之間串接有第三電阻R36。同樣的，所述鈦泵電源接入點G與所述第一運算放大器U2之間串接有第三電阻R37。所述第一運算放大器U2的正電壓接入端還通過第四電阻R16連接接地端，以分減第一運算放大器U2的電壓。另外，在其他的實施例中，也可以用電容來替代第三電阻 R37和第四電阻R16，以及進行限流分壓。
在本實施例中，進一步地，所述第一運算放大器UO的正電壓接入端還通過第四電阻R14連接接地端，所述第一運算放大器UO的負電壓接入端還通過第五電阻R3連接接地端，所述第一運算放大器UO的輸出端還分別通過第六電阻R18和第一電容C4連接接地端。 同樣的，所述第一運算放大器Ul的正電壓接入端還通過第四電阻R15連接接地端，所述第一運算放大器Ul的負電壓接入端還通過第五電阻R4連接接地端，所述第一運算放大器Ul 的輸出端還分別通過第六電阻R20和第一電容C5連接接地端。同樣的，所述第一運算放大器U2的正電壓接入端還通過第四電阻R16連接接地端，所述第一運算放大器U2的負電壓接入端還通過第五電阻R5連接接地端，所述第一運算放大器U2的輸出端還分別通過第六電阻R22和第一電容C7連接接地端。以對所述第一運算放大器進行保護。
在本實施例中，進一步地，所述鈦泵電源接入點E通過第二電容C9連接接地端。同樣的，所述鈦泵電源接入點F通過第二電容Cll連接接地端。同樣的，所述鈦泵電源接入點 G通過第二電容C12連接接地端。以進行鈦泵的保護。
在本實施例中，進一步地，所述第五電阻R3與所述接地端之間還串聯有第七電阻 R23。同樣的，所述第五電阻R4與所述接地端之間還串聯有第七電阻R24。同樣的，所述第五電阻R5與所述接地端之間還串聯有第七電阻R25。以進行第一運算放大器的負電壓輸入端的電壓微調，優選地，所述第七電阻為電位器，以方便調節，也可以根據需要為固定電阻值的電阻器。
本實施例中，優選地，所述第一電阻的阻值為1M-10M歐姆。
本實施例中，優選地，所述第三電阻與所述第四電阻的阻值比為 (100-10000) 1。
本實施例中，優選地，所述第二電阻的阻值為10-1M歐姆。
因為鈦泵在維持真空時需要的功率相當小，而在啟動時需要較大的功率。按照現有技術一般一臺鈦泵需要一臺鈦泵電源這樣鈦泵在啟動時的電流較大，對電源的要求較高，例如在啟動時電源達到20mA，以后慢慢減小，電壓只要幾百伏，而到達真空維持時電壓可達到5000V甚至更高，那么此電源的輸出功率就要考慮電壓和電流的最大值就會為5000V*20mA = 100W的功率才會保證安全使用。而采用本發明的技術在鈦泵電源接入點A 串接的第一電阻的阻值較大，例如此第一電阻的阻值為3M歐姆，那么鈦泵電源的輸出端輸出電流最大就只有1. 7毫安(mA)，這樣輸出功率就大大減小5000V*1. 7mA = 5. 5W，此鈦泵電源可以給更多的(如2-18個)鈦泵供電。只是啟動時需要真空度好一些，啟動時間增加3 5個小時。這不會影響整個多鈦泵組成的系統的啟動運行。
將采樣的電流信號送給顯示模塊，監控人員方可清楚設備的真空狀態。在鈦泵電源接入點串接大阻值的第一電阻R0，然后在0 IOV的附近取點送給第一運算放大器Ul放大該采樣的電流信號后，再將此采樣的電流信號減去第一電阻Rl上流過的電流，即為流過鈦泵的電流值。
每個電流采樣電路中的第一運算放大器的放大系數是依據設置在多個鈦泵之前的限流電阻(取樣電阻，即第一電阻之間)的阻值比例而定，例如鈦泵A之前的第一電阻 RO和第二個鈦泵之前的第一電阻Rl的阻值比例為10，則相應的鈦泵A之后的采樣電路中的第一運算放大器UO的放大系數是鈦泵B之后的采樣電路的第一運算放大器Ul的放大系數的十分之一。
上述各實施例提供的驅動電路較以往鈦泵的供電方式節省了很大的空間，以往的一個鈦泵電源就為一個3U機箱，IU = 1. 75英寸=4. 445厘米，3U = 5. 25英寸=13. 3；35厘米，現在用一個2U機箱就可以控制三臺鈦泵。如圖3所示，該2U機箱107中設置有多臺鈦泵并聯驅動電路的驅動板108，該驅動板108電連接鈦泵電源電壓控制信號端101、鈦泵電源輸入端102、與上位機接口的接口端103、通過BNC連接的高壓輸出接口端104、105、106， 該鈦泵電源電壓控制信號端101、鈦泵電源輸入端102、與上位機接口的接口端103、高壓輸出接口端104、105、106都設置在機箱107上。
另外，在上述實施例中，也可以不對該驅動電路進行電流和電信號的采樣及通過該采樣信號對鈦泵電源進行調壓。因此該驅動電路僅僅可以只包括電源接入端和至少兩個鈦泵電源接入點，所述鈦泵電源接入點連接鈦泵電源接線端，所述電源接入端與每一個鈦泵電源接入點之間串接有第一電阻或者所述鈦泵電源接入點與鈦泵電源接線端之間串接有第一電阻。該第一電阻為阻值較大的電阻，鈦泵電源的輸出端串接阻值較大的第一電阻，例如此阻值為3M歐姆，那么鈦泵電源輸出的電流最大就只有1. 7mA，這樣輸出功率就大大減小5000V*1. 7mA = 5. 5W，此鈦泵電源給18個鈦泵供電都可以實現。只是啟動時需要真空度要高一些，啟動時間增加3 5個小時。這不會影響整個系統的啟動運行。另外，在進一步的實施例中，所述鈦泵電源接入點還通過第二電容連接接地端。以對鈦泵電源的電壓進行分壓和限流。
以上僅為本發明的較佳實施例而已，并不用以限制本發明，凡在本發明的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。8
權利要求
1.一種多臺鈦泵的并聯驅動電路，其特征在于，包括電源接入端和至少兩個鈦泵電源接入點，所述鈦泵電源接入點連接鈦泵電源接線端，所述電源接入端與每一個鈦泵電源接入點之間串接有第一電阻或者所述鈦泵電源接入點與鈦泵電源接線端之間串接有第一電阻。
2.如權利要求1所述多臺鈦泵的并聯驅動電路，其特征在于，所述鈦泵電源接入點還通過第二電容連接接地端。
3.如權利要求2所述多臺鈦泵的并聯驅動電路，其特征在于，所述每個鈦泵電源接入點都通過分壓電路連接第一運算放大器的正電壓輸入端；所述第一運算放大器的負電壓接入端通過第二電阻連接所述第一運算放大器的輸出端，所述第一運算放大器的輸出端為用于電流顯示信號采樣的第一采樣點。
4.如權利要求3所述多臺鈦泵的并聯驅動電路，其特征在于，所述第一運算放大器的正電壓輸入端或者所述第一運算放大器的輸出端為用于所述鈦泵電壓信號采樣的第二采樣點，每個用于所述鈦泵電壓信號采樣的第二采樣點通過二極管連接在第二運算放大器的負電壓輸入端，所述第二運算放大器的負電壓輸入端為參考電壓接入端，所述第二運算放大器的輸出端輸出鈦泵電壓調節反饋信號。
5.如權利要求4所述多臺鈦泵的并聯驅動電路，其特征在于，所述每個鈦泵電源接入點都通過分壓電路連接第一運算放大器的正電壓輸入端；具體包括所述鈦泵電源接入點與所述第一運算放大器的正電壓接入端之間串接有第三電阻，所述第一運算放大器的正電壓接入端還通過第四電阻連接接地端。
6.如權利要求5所述多臺鈦泵的并聯驅動電路，其特征在于，所述第一運算放大器的負電壓接入端還通過第五電阻連接接地端。
7.如權利要求6所述多臺鈦泵的并聯驅動電路，其特征在于，所述第一運算放大器的輸出端還分別通過第六電阻和第一電容連接接地端。
8.如權利要求6所述多臺鈦泵的并聯驅動電路，其特征在于，所述第五電阻與所述接地端之間還連接有第七電阻。
9.如權利要求4所述多臺鈦泵的并聯驅動電路，其特征在于，所述第一電阻的阻值為 1M-10M歐姆，所述第二電阻的阻值為10-1M歐姆，所述第三電阻與所述第四電阻的阻值比為(100-10000) 1。
10.如權利要求8所述多臺鈦泵的并聯驅動電路，其特征在于，所述第七電阻為電位ο
全文摘要
本發明提供一種多臺鈦泵的并聯驅動電路，包括電源接入端和至少兩個鈦泵電源接入點，所述鈦泵電源接入點連接鈦泵電源接線端，所述電源接入端與每一個鈦泵電源接入點之間串接有第一電阻或者所述鈦泵電源接入點與鈦泵電源接線端之間串接有第一電阻。鈦泵電源輸出功率就大大減小，可以實現了一臺鈦泵電源穩定的供應多臺鈦泵的功能。
文檔編號G05F1/56GK102541135SQ201110136628
公開日2012年7月4日 申請日期2011年5月25日 優先權日2011年5月25日
發明者張正祥, 徐偉力, 李迎春, 樊仲維 申請人:北京國科世紀激光技術有限公司