專利名稱：行駛臺車系統及其自我診斷方法
技術領域：
本發明涉及行駛臺車系統的自我診斷。
背景技術：
在半導體工廠等中使用著用橋式吊車等行駛臺車搬運FOUP (晶圓搬運盒)等物品的系統。這樣的系統中要求保持整個系統高的設備運轉率，不單單是搬運物品，還需要預防維護構成系統的行駛臺車和行駛軌道等地面側設備。另外，在本說明書中將行駛軌道、非接觸供電線路等行駛軌道的附帶設備、裝載口、物品臨時存放用的緩沖區(暫存區)等地面側設備稱為行駛臺車系統的“基礎設施”。另外，關于行駛臺車系統的自我診斷，專利文獻1(JP4117625C)公開了從行駛臺車向系統控制器報告產生異常振動等，1)即使其他的行駛臺車在行駛軌道上的相同位置也再次發生異常時判別為基礎設施側異常、2)相同的行駛臺車即使在其他的位置上也再次發生異常時判別為行駛臺車側異常的技術。發明者研究了更準確地自我診斷系統的狀態、使預防性維修成為可能，獲得了本發明。[專利文獻 1]JP4117625C
發明內容
本發明的課題就是要更準確地自我診斷行駛臺車系統的狀態，預防故障的發生。本發明為搭載了異常檢測用傳感器的多個行駛臺車沿著行駛路徑行駛，檢測到異常時向地面側控制器進行報告的系統，其特征在于地面側控制器具備通過唯一確定行駛路徑上的位置的絕對坐標、將異常檢測用傳感器進行檢測的位置指定給行駛臺車的指定單元；行駛臺車具備用異常檢測用傳感器在指定的位置進行檢測、將包含檢測位置和檢測時刻的檢測數據向地面側控制器報告的報告單元。并且本發明還是搭載有異常檢測用傳感器的多個行駛臺車沿著行駛路徑行駛，檢測到異常時向地面側控制器進行報告的行駛臺車系統的自我診斷方法，其特征在于地面側控制器用唯一確定行駛路徑上的位置的絕對坐標將異常檢測用傳感器進行檢測的位置指定給行駛臺車；行駛臺車在指定的位置用異常檢測用傳感器進行檢測，將包含檢測位置和檢測時刻的檢測數據向地面側控制器報告。在本說明書中，有關行駛臺車系統的記載原封不動地適用于行駛臺車系統的自我診斷方法，反之，有關行駛臺車系統的自我診斷方法的記載原封不動地適用于行駛臺車系統。在本發明中，由于能夠精確地指定進行檢測的位置，因此能夠準確地檢測行駛臺車和行駛路徑的狀態。因此在故障實際發生前就能夠維修、預防維護行駛臺車或行駛路徑。優選地是，地面側控制器按預定的控制周期將目標位置指示給行駛臺車，并且在目標位置的指示的通信中指定進行檢測的位置；使行駛臺車到達指示的目標位置地按控制周期進行速度控制，并且在指定的位置處進行檢測。這樣一來，由于將進行檢測的位置包含在有關目標位置的指示的 通信中，因此通信不會變復雜。并且，從地面控制器指示目標位置的系統中，行駛臺車和行路路徑的故障會帶來大的不良影響。通過對這樣的系統進行預防維護，能夠將系統的處理能力維持在高水平。并且優選地是，在地面側控制器中設置有存儲單元，該存儲單元用于將上述傳感器的檢測數據與行駛臺車的至少速度和加速度關聯地進行存儲。由于檢測數據的意義依存于行駛臺車的速度和加速度，因此通過與這些數據相關聯進行存儲，能夠進行準確的分析。并且優選地是，行駛臺車具備與行駛有關的異常檢測用傳感器以及與移載有關的異常檢測用傳感器；地面側控制器指定行駛路徑上的行駛軌道的接縫、分支部、匯合部和轉彎區間作為用與行駛有關的異常檢測用傳感器進行檢測的位置；并且對行駛臺車的移載裝置和地面側的移載設備指定移載物品的位置，作為用與移載有關的異常檢測用傳感器進行檢測的位置。這樣一來，對于行駛和移載，能夠精確地指定位置來檢測狀態。尤其能準確地檢測行駛軌道的接縫處的臺階的狀態等。尤其優選地是，地面側控制器具備確定單元，該確定單元根據相同位置的多個行駛臺車的檢測數據、或者相同的行駛臺車在多個位置上的檢測數據，確定行駛路徑上的需要維修的地方以及需要維修的行駛臺車。在發現了異常或者其征兆時，根據是在行駛路徑的相同位置上再次發生還是在相同的行駛臺車上再次發生，能夠判別原因是在行駛路徑上還是在行駛臺車上。因此能夠確定需要維修的行駛路上的位置或者行駛臺車。而且優選地是，地面側控制器具備用于時序分析檢測數據的時序分析單元。由于通過時序分析能夠檢測異常的征兆，因此能更確實地進行預防維護。優選地是，行駛臺車具備振動傳感器和音量傳感器作為異常檢測用傳感器；在行駛臺車或地面側控制器上設置有頻率分析來自振動傳感器的數據和來自音量傳感器的數據的頻率分析單元。通過頻率分析，能夠判斷振動的原因是在于行駛電動機等，還是在于行駛路徑的間隙，或者是在于從行駛電動機到行駛車輪等之間的連結部的松動、摩損等。并且，如果頻率分析音量傳感器的信號，則能夠根據噪音的頻率更進一步確定上述判別。優選地是，地面側控制器具備用來自異常檢測用傳感器的檢測數據分析行駛臺車的狀態的行駛臺車分析單元、以及用來自異常檢測用傳感器的檢測數據分析行駛路徑的狀態的基礎設施分析單元；各分析單元具備根據檢測數據的瞬時值分析異常的瞬時值分析單元、時序分析檢測數據的時序分析單元、以及分析針對行駛臺車整體的檢測數據或者針對行駛路徑整體的檢測數據的集體分析單元。通過瞬時值分析能夠檢測異常及其即將到來之前的征兆，通過時序分析能夠檢測更早期的征兆。并且，通過集體分析能夠分析整個系統的狀態。
圖1為表示實施例的行駛臺車系統的布局的圖；圖2為表示實施例中的系統控制器與行駛臺車之間的通信路線的圖；圖3為表示實施例中的行駛臺車的結構與區域控制器的通信數據的圖；圖4為表示實施例中的利用系統控制器的自我診斷的圖；圖5為表示用診斷數據的頻率分析進行的預處理的圖；圖6為表示對診斷數據進行的瞬時值分析的圖7為表示對診斷數據進行的時序分析的圖；圖8為表示對診斷數據進行的集體分析的圖；圖9為表示對診斷數據進行的相關分析的圖。[標記說明]2.行駛臺車系統；4.制程區間路線；6.制程區內路線；8.維修路線； 9.停車路線； 10.行駛臺車；12.裝載口 ；14.緩沖區；16.分支部；18.匯合部；20.轉彎區間；22.升降機； 24.作業區域；30.系統控制器；32.區域控制器；34.地面LAN ；36.無線LAN ；40.通信單元；41.機上控制器；42.地圖；43.存儲器；45.行駛驅動單元；46.橫送單元；47. θ驅動單元；48.升降驅動單元；50.受電單元；52.線性傳感器；53.高度傳感器；54.振動傳感器； 55.音量傳感器；56.電流傳感器；60.通信單元；61.指令生成單元；62、65.存儲器；63.指定單元；66.預處理單元(FFT) ；68.行駛臺車分析單元；70.基礎設施分析單元；72.瞬時值分析單元；73.時序分析單元；74.集體分析單元；75.相關分析單元；78.監視器；80.打印機
具體實施例方式下面說明用于實施本發明的優選實施例。本發明的范圍應該能夠根據權利要求的范圍的記載、參考說明書的記載和該領域內眾所周知的技術，依從業者的理解而定。圖1 圖9表示實施例的行駛臺車系統2及自我診斷方法。在圖1等中，4為制程區間路線，6為制程區內路線，8為維修路線，將維修路線8的一部分作為停車路線9。10 為行駛臺車，這里為橋式吊車，但也可以是其他的行駛臺車，維修路線8也可以不是獨立的路線，兼用制程區內路線6的一部分。并且，由路線4 9構成行駛臺車10的行駛路徑。 例如，沿制程區內路線6有多個裝載口 12，與圖中沒有表示的半導體處理裝置等之間交接 F0UP。并且，沿制程區內路線6和制程區間路線4設置多個緩沖區14，臨時存放F0UP。行駛路徑除了直行區間外，還有分支部16、匯合部18及轉彎區間20，在這些部分行駛臺車10容易產生振動。并且，行駛路徑連接多個行駛軌道構成，在行駛軌道的接縫處容易產生振動。 另外，圖1中只表示了裝載口 12 轉彎區間20的一部分。維修路線8為進行行駛臺車10的維修和待機的路線，22為升降機，使行駛臺車10 在地面側與行駛軌道側之間升降，在地面側設置的作業區域24進行維修。并且，使行駛臺車10在維修路線8內行駛，檢測行駛時的振動、產生的噪音、各電動機的消耗電流、行駛停止位置及移載位置的精度等。為了收集行駛臺車10的狀態及與基礎設施有關的異常檢測用數據，橫貫制程區內路線6和制程區間路線4的整個區域收集異常檢測用數據。使行駛臺車10在維修路線8上進行行駛、移載等動作，從而能夠收集行駛臺車10的異常檢測用數據。另外，維修路線8也可以不設置。如圖2所示，系統控制器30控制整個行駛臺車系統，用地面LAN與多個區域控制器32連接，區域控制器32通過無線LAN36等，與自身管理的區域內的行駛臺車10通信。另外，也可以不設置區域控制器32，通過使系統控制器30直接與行駛臺車10通信等直接控制行駛臺車系統2全區域。圖3表示行駛臺車10的結構和與區域控制器32的通信。另外，在沒有設置區域控制器32的情況下，系統控制器30直接與行駛臺車10通信。行駛臺車10具備通信單元40，每預定的控制周期與區域控制器32通信自身的位置和速度、加速度及有無搬運中的物品等狀態、以及從各種傳感器獲得的傳感數據。并且，每預定的控制周期從區域控制器32 接收下一個控制周期的目標位置的位置指令，傳感器的檢測項目、移載及其他的指令。控制周期在實施例中為0. 1秒，最好是0. 01秒 1秒，1次的報告和指令既可以用一個數據包進行也可以用多個數據包進行，有關檢測的指令與位置等的指令在相同的通信中進行。并且， 區域控制器32與行駛臺車10的通信周期為0. 1秒左右，行駛臺車10的時鐘用從區域控制器32通知的時刻對時。因此來自行駛臺車10側的報告中既可以包含時刻數據也可以不包含時刻數據。行駛驅動單元45控制圖中沒有表示的行駛電動機，到達由區域控制器32指定的下一個控制周期中的目標位置地產生速度指令、控制行駛電動機。為了與緩沖區或裝載口之間移載物品，橫送單元46橫送升降驅動單元48和θ驅動單元47。θ驅動單元47使升降驅動單元48圍繞鉛垂軸旋轉，調整FOUP的朝向等。升降驅動單元48具備卷揚機等機構， 使支持FOUP的升降臺在裝載口、緩沖區等之間升降。驅動單元45 48分別具備至少一個電動機，用電流傳感器56按電動機檢測其電流值。受電單元50從配置在行駛軌道中的圖中沒有表示的非接觸供電線受電，線性傳感器52檢測沿行駛軌道設置的磁鐵等標記，求出標記基準的位置。高度傳感器53檢測升降臺的高度位置，具體為從升降驅動單元48的升降電動機的轉速等檢測高度位置。振動傳感器54被安裝在升降臺上，檢測施加在搬運中的物品上的振動。音量傳感器55檢測行駛臺車10內產生的音量，既可以在行駛驅動單元45等中設置1個，也可以按每個單元設置。 并且，電流傳感器56檢測各驅動單元的電動機的消耗電流。機上控制器41控制整個行駛臺車10，在地圖42中記載有關行駛路徑的數據，記載著例如標記的絕對坐標。通過將從線性傳感器52來的數據加到地圖42中的標記的絕對坐標中，能夠求出行駛路徑上的絕對坐標。其中絕對坐標為能夠唯一地確定行駛路徑上的位置的坐標，在例如圖1所示那樣行駛路徑被劃分成多條路線的情況下，由表示當前位置為哪一條路線的數據和該路線內距基準點的相對坐標構成。存儲器43存儲行駛臺車10內產生的各種數據，尤其將從異常檢測用傳感器54 56來的數據與數據產生的時刻、行駛臺車在該時刻的位置、速度、加速度及空載/負載、物品在移載中/停止中/行駛中等狀態一起存儲。圖4表示系統控制器30的結構，60為通信單元，與區域控制器32通信，此外還與圖中沒有表示的上位控制器之間進行通信，要求搬運FOUP等，報告搬運結果。61為指令生成單元，63為指定單元，將從單元61、63來的指令合成，通過區域控制器32從通信單元60 指令給行駛臺車。指令生成單元61生成下一個控制周期中的目標位置、分支方向、移載的執行/停止及其他與行駛和移載有關的指令，指定單元63生成檢測位置和指定了對哪個項目進行檢測的與檢測有關的指令。檢測位置用絕對坐標表示。存儲器62存儲行駛臺車的位置和時刻、速度、加速度、狀態、傳感器數據等，按控制周期通過通信單元60獲得每輛行駛臺車的數據，用指令生成單元61以這些數據為基礎生成與行駛和移載有關的指令，用指定單元63生成與檢測有關的指令。兩種指令在通信單元60中合成，通知給行駛臺車。因此行駛臺車側按每一個控制周期接受指令，在下一個控制周期內執行，并且執行指定的檢測。由于存儲器62中存儲行駛臺車的當前位置，指令生成 單元61指定下一個控制周期中的目標位置，因此當下一個控制周期經過檢測位置時指令檢測。檢測并不是在按控制周期來進行，只要在指定了檢測位置和檢測項目時進行就可以，當指定了檢測位置和檢測項目時，行駛臺車在指定的位置執行檢測。將存儲器62中的數據中的由振動傳感器、音量傳感器、電流傳感器等求得的診斷用數據存儲在存儲器65中。在存儲器65中將這些數據與行駛臺車的ID、檢測時刻、檢測位置、檢測時的速度、加速度、負載/空載的區別等狀態關聯起來進行存儲。并且，也可以用行駛臺車側的存儲器臨時存儲檢測數據，將多個檢測數據統一起向系統控制器側通信。預處理單元66用例如FFT (快速傅立葉轉換單元)等構成，對振動數據和/或音量數據等伴隨頻率的數據進行傅立葉轉換等。也可以在行駛臺車側執行傅立葉轉換，將傅立葉轉換后的數據通知系統控制器。診斷數據用行駛臺車分析單元68對每輛行駛臺車進行分析，用基礎設施分析單元70對行駛軌道或裝載口、緩沖區等每臺軌道側設備進行分析。 雖然分析單元68、70因分析對象是行駛臺車還是地面側設施不同而異，但分析手法本身是相同的。瞬時值分析單元72對振動數據、音量數據、電流數據等分析瞬時值，區分為正常范圍、注意范圍和異常范圍等3種。這些范圍中例如以正常范圍為中心，其兩外側為注意范圍，再兩外側為異常范圍。并且，正常/注意/異常的臨界值因行駛臺車的速度、加速度、負載/空載、以及檢測位置的種類等而不同。即，因行駛軌道間的接縫處、分支部或匯合部的行駛和轉彎區間等的檢測位置不同相對于行駛時狀態的臨界值改變。并且，對于移載，因與裝載口的移載、與緩沖區的移載、升降臺的升降速度和升降加速度、橫送量等不同而改變正常/注意/異常的臨界值。并且，瞬時值分析單元72例如產生異常數據時要求再檢測。例如在軌道接縫處檢測到了異常的情況下，要求檢測到了異常的行駛臺車在下一個軌道接縫處再檢測。同樣，對于檢測到了異常的軌道接縫，要求其他行駛臺車再檢測。通過這些判別異常的原因是在行駛臺車側還是在軌道等一側。時序分析單元73根據位于相同位置的多個行駛臺車以及同一行駛臺車的在多個位置的振動、音量、電流等時序數據預測行駛臺車和基礎設施今后的狀態，預測進入正常/ 注意/異常中的哪一個等級。另外，今后狀態的預測并不局限于對行駛臺車和基礎設施兩者來進行，根據狀況，也可以省略對一個的預測。進入正常/注意/異常中的哪一個等級的預測也根據行駛臺車的速度、加速度、負載/空載等改變臨界值。時序分析中以時間為變量求出例如檢測數據的平均和方差等，通過將這些數據向未來外插求出預測值。或者將這些分布數據中的靠近異常側的數據向未來外插求出預測值。并且求出每一次檢測的數據的變化量，即求出上次的檢測與這次的檢測的變化量，根據這些變化量的大小求出臺車或軌道等的狀態是否穩定。并且，在在預定時間內一例如在今后1天-今后1周以內有達到異常值的可能的情況下，使行駛臺車向維修路線行駛，進行維修。在行駛軌道或緩沖區等設備的情況下，禁止該設備的使用，指令維修。集體分析單元74分析作為集體的行駛臺車的狀態或者作為集體的行駛軌道等地面側設備的狀態。求出對所有臺車的例如振動及噪音、電動機電流等數據的平均值和方差、 以及平均值和方差的變動傾向等。并且求出軌道等地面側設備在各位置的振動、噪音等數據的平均值及其方差、變化的傾向等。通過這樣求出作為整體的臺車的狀態和作為整體的行駛路徑的狀態。如果求出這些狀態，則能夠求出大大超出整個系統的平均的臺車或行駛路徑上的位置等，以這些作為維修的對象。因此預防維護變得容易。如果考慮行駛臺車系統在設置后的舉動，剛剛設置后存在初始故障，在這些故障消除后，產生部件的磨損等時效疲勞引起的故障。集體分析單元74通過對集體進行這樣的分析，能夠掌握系統的狀態。并且能夠檢測脫離集體的平均舉動的行駛臺車和行駛路徑上的位置。相關分析單元75中在維修等事件前后求出維修過的行駛臺車或維修過的行駛路徑上的部件的狀態怎樣變化了，并且檢測各種數據間的相關。由各分析單元72 75獲得的結果輸出給監視器78和打印機80等，并且向維修路線發出行駛指令等，向指令生成單元 61輸出。集體分析單元74和相關分析單元75也可以不設置。圖5表示診斷數據的預處理，快速傅立葉轉換振動數據和音量數據，變換成頻率數據，根據振動數據或音量數據的頻率特性來確定異常部位或異常原因。如果進行小波 (wavelet)轉換取代快速傅立葉轉換，展開為伴隨振動數據和音量數據的頻率特性、振動數據或音量數據的信號的產生時刻、行駛臺車移動的信號的空間性推移，則能夠更準確地確定異常部位。并且，將進行檢測的位置、時刻、行駛臺車的ID、各種傳感器數據、速度、加速度、電流值等作為診斷數據輸入分析單元。瞬時值分析的內容表示在圖6中，將傳感器數據同與行駛臺車的狀態相對應的臨界值相比較，分類成正常/注意/異常等。并且，根據“異常”的程度和/或“注意”的級別是否反復產生等的再次發生性判斷是否需要維修，抽出需要維修的部位。在需要維修的情況下，將維修的指令與異常的內容和傳感器數據一起作為指示數據輸出。這樣一來，由于能夠判明是由于什么樣的異常引起需要什么樣的維修，因此能夠容易地維修。時序分析中，像圖7所示那樣根據傳感器數據的時序對行駛臺車和行路路徑的各位置求出今后狀態的預測值。并且抽出需要維修的部位，指令維修的行駛臺車或行駛路徑上的位置處的傳感器數據和維修。因此，行駛臺車和行駛路徑能夠進行預防維護。集體分析中，像圖8所示那樣，對所有行駛臺車或者整個行駛軌道等求出振動數據、音量數據、各電動機的電流值等的平均和方差、它們的變化傾向。并且抽出脫離了平均的行駛臺車和行駛路徑上的位置。圖9所示的相關分析中，搜尋傳感器數據之間的相關。例如正常進行維修的話，維修后傳感器數據應該穩定在正常值，但檢驗實際上是否是這樣。而且調查“注意區域”和/ 或“異常區域”有無群集。如果將振動、噪音、速度、加速度、電流值等視為各個維數的話，1 次的傳感器數據能夠視為多維空間的1個點。群集為這些點集合的區域，“注意區域”或“異常區域”存在群集暗示各種要素復合成為故障的原因。并且如果通過相關分析獲得結果，則輸出結果，使其反映到其他的分析單元中。通過實施例能夠獲得以下的效果。(1)由于用絕對坐標指定檢測位置，因此能夠對軌道的接縫等精確指定檢測位置。 并且由于能夠對相同的位置進行反復檢測，因此能夠準確地求出“注意區域”和“異常區域” 的信號的再次發生性。(2)在按每個控制周期從系統控制器給行駛臺車指令目標位置的系統中，系統的處理能力雖然高，但故障的影響也大。這樣的系統中如果進行預防維護，則尤其有效。并且， 通信能夠與通常的指令通信同時進行。
(3)由于將檢測數據與臺車的速度和加速度關聯起來存儲，因此能夠修正這些影響，能夠進行客觀的分析。(4)檢測位置能夠具體地指定行駛軌道的接縫處、分支部、匯合部、轉彎區間等。檢測臺車在這些位置的行駛中的狀態。檢測例如行駛中的振動、噪音、行駛電動機的電流值等。在與裝載口或緩沖區等之間進行移載的情況下，檢測移載中的狀態。檢測例如移載中升降臺受到的振動和/或移載中的噪音、升降電動機等的電流值。并且能夠根據檢測對象從系統控制器指定檢測項目。另外也可以不指定檢測項目，總是在每次檢測要求所有的數據。(5)如果時序分析傳感器數據，能夠預測今后的趨勢。因此能夠在實際的故障發生之前進行預防性維修。(6)如果頻率分析從振動傳感器來的信號和/或從音量傳感器來的信號，能夠判別電動機的異常、行駛軌道的臺階、連結部松動、車輪等磨損等“注意”和/或“異常”的原因。(7)如果分別給行駛臺車和行駛路徑設置瞬時值分析單元、時序分析單元和集體分析單元，能夠通過瞬時值分析單元求出單個臺車或者行駛路徑上的位置的異常而進行維修。并且，通過時序分析單元預測今后的趨勢，能夠實施預防維修。而且，通過集體分析單元能夠分析系統的現狀。(8)能夠將所有的行駛臺車和地面側基礎設施的異常檢測、維修、重新啟動等綜合性履歷數據保存到地面控制器(系統控制器)中。將這些數據作為維護用數據，能夠用于預測行駛臺車和地面側基礎設施今后的狀態，用于行駛臺車系統的趨向管理和壽命管理。結果，能夠將整個系統保持在正常狀態。
權利要求
1.一種行駛臺車系統，多個行駛臺車沿著行駛路徑行駛，檢測到異常時向地面側控制器進行報告，其特征在于地面側控制器具備通過唯一確定行駛路徑上的位置的絕對坐標、將異常檢測用傳感器進行檢測的位置指定給行駛臺車的指定單元；行駛臺車具備異常檢測用傳感器，以及用異常檢測用傳感器在指定的位置進行檢測、 將包含檢測位置和檢測時刻的檢測數據向地面側控制器報告的報告單元。
2.如權利要求1所述的行駛臺車系統，其特征在于地面側控制器按預定的控制周期將目標位置指示給行駛臺車，并且在目標位置的指示的通信中指定進行檢測的位置；使行駛臺車到達指示的目標位置地按控制周期進行速度控制，并且在指定的位置處進行檢測。
3.如權利要求1所述的行駛臺車系統，其特征在于在地面側控制器中設置有存儲單元，該存儲單元將上述傳感器的檢測數據與行駛臺車的至少速度和加速度關聯地進行存儲。
4.如權利要求1所述的行駛臺車系統，其特征在于行駛臺車具備與行駛有關的異常檢測用傳感器以及與移載有關的異常檢測用傳感器；地面側控制器指定行駛路徑上的行駛軌道的接縫、分支部、匯合部和轉彎區間作為用與行駛有關的異常檢測用傳感器進行檢測的位置；并且對行駛臺車的移載裝置和地面側的移載設備指定移載物品的位置，作為用與移載有關的異常檢測用傳感器進行檢測的位置。
5.如權利要求1所述的行駛臺車系統，其特征在于地面側控制器具備確定單元，該確定單元根據相同位置的多個行駛臺車的檢測數據、 或者相同的行駛臺車在多個位置上的檢測數據，確定行駛路徑上的需要維修的地方以及需要維修的行駛臺車。
6.如權利要求1所述的行駛臺車系統，其特征在于地面側控制器具備時序分析檢測數據的時序分析單元。
7.如權利要求1所述的行駛臺車系統，其特征在于行駛臺車具備振動傳感器和音量傳感器作為異常檢測用傳感器；在行駛臺車或地面側控制器上設置有頻率分析來自振動傳感器的數據和來自音量傳感器的數據的頻率分析單元。
8.如權利要求1所述的行駛臺車系統，其特征在于地面側控制器具備用來自異常檢測用傳感器的檢測數據分析行駛臺車的狀態的行駛臺車分析單元、以及用來自異常檢測用傳感器的檢測數據分析行駛路徑的狀態的基礎設施分析單元；各分析單元具備根據檢測數據的瞬時值分析異常的瞬時值分析單元、時序分析檢測數據的時序分析單元、以及分析針對行駛臺車整體的檢測數據或者針對行駛路徑整體的檢測數據的集體分析單元。
9.一種行駛臺車系統的自我診斷方法，搭載有異常檢測用傳感器的多個行駛臺車沿著行駛路徑行駛，檢測到異常時向地面側控制器進行報告，其特征在于地面側控制器用唯一確定行駛路徑上的位置的絕對坐標將異常檢測用傳感器進行檢測的位置指定給行駛臺車；行駛臺車在指定的位置用異常檢測用傳感器進行檢測，將包含檢 測位置和檢測時刻的檢測數據向地面側控制器報告。
全文摘要
本發明提供一種行駛臺車系統及其自我診斷方法，自我診斷多個行駛臺車由地面側控制器的指示沿行駛路徑行駛的系統。地面側控制器用唯一確定行駛路徑上的位置的絕對坐標將異常檢測用傳感器進行檢測的位置指定給行駛臺車，行駛臺車用異常檢測用傳感器在指定的位置進行檢測，向地面側控制器報告包含檢測位置和檢測時刻的檢測數據。
文檔編號G05B23/02GK102213963SQ201110067620
公開日2011年10月12日 申請日期2011年3月21日 優先權日2010年4月7日
發明者林孝雄 申請人:村田機械株式會社