專利名稱：一種氣體質流控制器的轉換裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型是關于一種氣體質流控制器的轉換裝置，具體地說是由馬達與可變電阻器連動調節流量控制閥的一種氣體質流控制器的轉換裝置。
背景技術：
常用氣體流量控制系統與質流控制器之間是通過一與可變電阻器連動的馬達，調節齒輪轉動方向而改變流量控制閥的開口大小。由于該馬達能與常用氣體流量控制系統輸出的10V電壓相容，因此能適用。但實用新型的質流控制器的控制電壓為5V，明顯與常用氣體質流控制系統輸出的10V電壓不相容，因而衍生下列問題1、若將常用的氣體流量控制系統全改為直接控制實用新型的質流控制器(MFC)，因系統更改勢必要耗費龐大費用，不符合經濟效益，且舊系統廢棄不用，殊為可惜。
2、若延用原有的流量控制裝置，則一旦損壞，目前市面上難以買到適合的零件更換。
3、常用的流量控制器的舊零件因多年使用，多數已到使用年限，若不及時更換，則可能造成氣體外泄的意外或工廠停擺的損失。
4、常用的流量控制器與質流控制閥非一體成型，若無校正，可能造成誤差。
本實用新型發明人鑒于上述常用氣體流量控制系統與實用新型質流控制器之間的不相容所衍生的各項缺點，乃亟思加以改良創新，并經多年苦心孤詣潛心研究后，終于成功研發完成本氣體質流控制器的轉換裝置，期待能以最低成本解決此一龐大且迫切的需求。
實用新型內容本實用新型的第一個目的在于提供一種低成本的氣體質流控制器的轉換裝置；本實用新型的第二個目的在于提供一種快速解決常用氣體流量控制系統與實用新型質流控制器之間不相容問題的可行裝置；本實用新型的第三個目的在于提供一種具有伺服控制功能的氣體質流控制器的轉換裝置。
可達到上述實用新型目的的氣體質流控制器的轉換裝置包括馬達、第一可變電阻器、第二可變電阻器、連動器、第一連接頭、第二連接頭及金屬外殼，其內部電線按功能區分為紅、黑、白三種顏色。
氣體質流控制系統通過該第一連接頭下達指令，通過比較器執行伺服控制功能，驅動馬達同步調整第一、第二可變電阻器，可使10V及5V的輸入電壓作等比例變化，再經該第二連接頭傳送到質流控制器，達到轉換電壓范圍及控制流量的目的。
本實用新型的有益效果是
1.取代原有的氣體流量控制器，僅在實用新型氣體質流控制器上加裝一轉接裝置，故可大幅減少設備系統修改支出。
2.本實用新型具有輸入電壓與輸出電壓在不同范圍的特性，并具有伺服控制的功能。
3.因本實用新型使用實用新型MFC在出廠時已完成校正，故可減少流量誤差。
4.目前有許多高離子植入機，皆面臨原有氣體流量控制系統與實用新型質流控制器不相容的問題，因此本實用新型將有廣泛的使用空間。
圖1為常用氣體流量控制系統圖。
圖2為加裝轉換裝置的氣體質流控制系統圖。
圖3為該氣體質流控制器的轉換裝置的內部構造圖。
圖4為該氣體質流控制器的轉換裝置的電路圖。
圖5為該氣體質流控制器的轉換裝置與質流控制器組合的外觀圖。
具體實施方式
如圖1所示為常用氣體流量控制系統圖，系統內部的比較器同時接受系統輸入電壓V1(最大為10V)及由可變電阻器3經b伺服的馬達2動作電壓V2，該動作電壓V2是由于馬達轉動之后帶動齒輪4，同時調整可變電阻3(兩端的最大電壓也為10V)的電阻及氣體質流控制閥1而獲得，V1和V2進行比較后，將信息由a傳入馬達2，再經齒輪傳動而調節氣體質流控制閥1。
如圖2所示為加裝轉換裝置的氣體質流控制系統圖，系統內部的比較器同時接受系統輸入電壓V1(最大為10V)及由第一可變電阻器6經d伺服的馬達5動作電壓V3，該動作電壓V3是由于馬達5動作后經連動器8調整第一可變電阻器6(兩端最大電壓為10V)的電阻而獲得，V1及V3進行比較后，若V1＞V3，則信息由C傳入馬達5經連動器8同時增大第一可變電阻器6及第二可變電阻器7；同理，若V1＜V3，則信息由C傳入馬達5經連動器8同時減小第一可變電阻器6及第二可變電阻器7(兩端的最大電壓為5V)，如此反覆循環構成伺服控制，直到V1＝V3時，馬達5停止轉動，外加的5V電壓經調整后的第二個可變電阻器7變為V4由f輸出至質流控制器(Mass Flow Controller，MFC)則V4必在0～5V之間，故無電壓過大可能。
如圖3所示為該轉換裝置的內部構造圖，第一連接頭9是與氣體流量控制系統連接的部位，第二連接頭10是與MFC連接的部位，第一可變電阻器6與第二可變電阻器7共同裝置于一圓柱體構造內部，連動器8具有抗震及抗阻尼的結構，并具有一支持構造11，馬達5則位于尾端。其內部電線顏色共三種，分別為紅(火線)、黑(地線)及白色(調整可變電阻用)。外覆一長方體金屬外殼13，連接頭則裸露于外。
如圖4所示為該氣體質流控制器的轉換裝置的電路圖，第一可變電阻用)。外覆一長方體金屬外殼13，連接頭則裸露于外。
如圖4所示為該氣體質流控制器的轉換裝置的電路圖，第一可變電阻器6兩端FH輸入電壓為10V，第二可變電阻器7兩端AC輸入電壓為5V，其中AH接紅色火線，CFI接黑色地線，BG接白線，兩可變電阻器與馬達5雙連(虛線)，FG兩端電壓V3回傳至比較器與系統輸入電壓V1作伺服控制的比較，再將二者的壓差傳至J以控制馬達運轉，同時改變兩可變電阻，而B、C兩端的電壓V4則輸出至MFC。
如圖5所示為該氣體質流控制器的轉換裝置與質流控制器組合的外觀圖，本實用新型若要達到控制空氣流量的目的，則該轉換裝置須和MFC組合搭配使用，圖中長方體為本實用新型的轉接裝置，質流控制器有一進氣孔及一出氣孔。
上例詳細說明是針對本實用新型的一個可行實施例的具體說明，該實用新型并非用以限制本實用新型的專利范圍，凡未脫離本實用新型技術精神所進行的等效實施或變更，均應包含于本實用新型的專利范圍中。
權利要求1.一種氣體質流控制器的轉換裝置，其特征在于所述轉換裝置，其內部具有一馬達(5)及一第一可變電阻器(6)以及一第二可變電阻器(7)，該馬達(5)的最大控制電壓為10V；一質流控制器(12)，其最大控制電壓為5V，該轉換裝置內部的馬達(5)與氣體質流控制系統相連接，該馬達(5)與兩個可變電阻器連動，該第二可變電阻器(7)再與質流控制器(12)相連接。
2.按權利要求1所述的轉換裝置，其特征在于該轉換裝置包括一第一可變電阻器(6)、一第二可變電阻器(7)、一馬達(5)、一連動器(8)、一第一連接頭(9)以及一第二連接頭(10)；該第一連接頭(9)與該第一可變電阻器(6)及該馬達(5)相連，該馬達(5)與該第一可變電阻器(6)及該第二可變電阻器(7)通過連動器(8)連動，該第二可變電阻器(7)則與該第二連接頭(10)相連。
3.按權利要求2所述的轉換裝置，其特征在于該第一可變電阻器(6)的最佳實施以可變電阻值為10KΩ為單位。
4.按權利要求2所述的轉換裝置，其特征在于該第二可變電阻器(7)的最佳實施以可變電阻值為10KΩ為單位。
5.按權利要求2所述的轉換裝置，其特征在于該第一連接頭(9)的外觀為長方形，具有復數接腳。
6.按權利要求2所述的轉換裝置，其特征在于該第二連接頭(1 0)的外觀為圓柱形。
7.按權利要求2所述的轉換裝置，其特征在于該連動器(8)具有抗震、抗阻尼結構。
專利摘要一種氣體質流控制器的轉換裝置，包括馬達、一第一可變電阻器和第二可變電阻器，一質流控制器，該轉換裝置內部的馬達與氣體質流控制系統相連接，該馬達與兩個可變電阻器連動，該第二可變電阻器再與質流控制器相連接。本實用新型的特點在于轉換裝置具有伺服控制功能，在氣體流量控制系統零件汰舊換新之際取代原有流量控制器，避免系統大幅更新，省下一筆可觀的設備費用。
文檔編號G05D7/06GK2665770SQ0324895
公開日2004年12月22日 申請日期2003年9月29日 優先權日2003年9月29日
發明者童拱照 申請人:亞泰半導體設備股份有限公司