提高機器生產率的系統及其方法

專利名稱：提高機器生產率的系統及其方法
技術領域：
本發明涉及提高機器生產率的系統及其方法，更具體地說，例如涉及通過能夠對生產電子器件等的機器進行遠程監視，來提高機器的利用率(可動率)等，從而提高生產率的生產率提高系統及其方法。
背景技術：
近年來，隨著制造者之間的開發競爭的更加激烈化，工業產品，尤其是電子器件產品的壽命的制造者，提供一種能夠確保、維持產品的高生產率的制造設備。更具體地說，就是要求提供在相同的時間內能夠制造出更多產品的，或者能夠用更少的設備生產出相同數量的產品的制造設備。
為了確保以及維持高生產率，需要有效地使用用于生產產品的機器。在工廠中，用于生產的機器的使用管理，通常，是以利用率為指標進行的。一般來說，機器的利用率，雖然在設備制造者的試驗條件下其值是一定的，但是，會根據客戶的利用條件的不同而不同。這里，機器的利用率在提供機器的銷售商和作為用戶的制造者之間決定。例如，對于某一臺機器，當設定利用率為90％的運行標準時，使用機器的制造者及提供機器的技術支持(support)的銷售商為了使機器的運行狀態達到上述值，對機器進行維護管理。
維護管理大致可分為改良維護、事后維護及預防維護。一般的，在開始使用機器的初期，主要進行改良維護來使機器穩定運行。然后，在機器達到規定的利用率，并達到穩定運行的狀態后，為了維持機器的運行狀態，事后維護及預防維護變得很重要。事后維護是指在機器發生故障以后進行的、事后的維護管理。同時，預防維護是指鑒別可能會發生故障的部分，并對該部分重點進行維護管理的、預防性維護管理。
此外，利用率可以用[(可運行時間)-(停止時間)]/(可運行時間)×100％來表示。所述的可運行時間就是機器能夠處于運行狀態的時間。因此，可運行時間減去停止時間得到的值表示機器的有效(實際)運行時間。由此式可知，要想獲得高利用率來確保高生產能力，就需要縮短機器的運行停止時間。
眾所周知，作為縮短停止時間的方法有將進行機器維護管理(事后維護)的維護管理系統自動化，從而縮短如發生故障時的突發的停止時間。上述可以通過，例如，對在銷售商和制造者(用戶)之間進行的、有關機器的運行狀態、故障狀況等的信息交換實行網絡化、自動化來進行。日本專利特開平11-15520號公報公開了一種使這種事后維護更有效的、僅在銷售商和制造者之間進行的遠程監視(遠程維護)系統。
上述所公開的遠程維護系統由配置在多個工廠中的機器、配置在各工廠中并用于監視的主計算機、配置在供應機器的銷售商企業中并用于管理的計算機構成，其中，所述用于管理的計算機與工廠方的主計算機通過通信線路連接。工廠(制造者)方的主計算機時常監視著機器。另一方面，銷售方的主計算機監視是否有故障發生的報告，若有故障發生的報告則獲得該報告。然后，銷售方的主計算機對故障發生的報告進行分析，向工廠方發送對策信息。
但是，對于上述所公開的遠程系統，用于監視的主計算機直接與設備連接，構成發送信息的結構，然而從安全的角度考慮，監視和信息的發送最好能分別進行。而且，因為生產是設備的最主要任務，所以，這種將包含用于遠程維護的數據外、還包含其它數據的大量數據經主計算機向銷售方發送的方法，很有可能會降低設備的生產能力，因此并不現實。
但是，近年來，并不是「損壞之后再修理」的事后維護，而是「損壞之前就進行修理」的預防維護逐漸成為主流。預防維護能夠預防故障發生于未然，并且，充分的預防維護還能夠減少設備的突發性停止。但是，在進行預防維護的時候需要停止機器，因此，頻繁或低效率的預防維護也會使機器的利用率降低、抑制機器的生產率。然而，預防維護可以不是突發性的，而是有計劃的維護，從而可以有計劃地進行生產。因此，作為用于確保機器高利用率的系統，應該是一種能夠有效地進行包含預防維護的維護管理的系統。

發明內容
鑒于上述問題，本發明的目的是提供一種提高機器生產率的系統及方法。
并且，本發明的另一目的是提供一種能夠有效進行機器的維護管理的系統及方法。
為了達到上述目的，本發明的第一技術方案的是一種為了提高機器生產率而對所述機器進行遠程監視的系統，其特征在于，具有接收裝置，通過通信與所述機器連接，從所述機器接收表示所述機器運行狀態的運行信息；監視裝置，根據在所述接收裝置中接收的運行信息，監視所述機器。
根據上述結構，所述監視裝置根據所述運行信息，通過通信進行遠程監視。這樣，通過通信直接連接機器和監視設備，可以對機器進行實時監視，進而能夠進行有效的維護管理。
所述監視裝置根據所述運行信息，檢測所述機器的故障，并且在確定了該機器的故障部件時，可以進行用于替換該故障部件的部件的訂購處理或訂購準備處理。于是，能夠減少由于沒有庫存部件等而使機器停止運行的時間，進而能夠進行高效的維護管理。
所述監視裝置，也可以根據所述機器的運行信息導出該機器最佳定期檢查周期，并將導出的該機器最佳定期檢查周期反饋給所述機器。
所述接收裝置還可以從所述機器接收與所述機器的替換部件有關的維護數據。此時，所述監視裝置根據在所述接收裝置中接收的維護信息，監視所述機器。于是，在該監視裝置中，幾乎能夠實時掌握關于機器的維護數據。
所述維護數據是在替換構成所述機器的部件時獲得的、與該部件的替換時間、種類、使用時間有關的數據。同時，所述監視裝置可以根據所述維護數據導出所述部件的最佳替換周期，并反饋給所述機器。于是，能夠通過將導出部件的最佳替換周期發送到機器一側，并反饋到機器的使用上，來提高機器的生產率。
所述監視裝置也可以根據所述維護數據，進行替換部件的訂購處理或者訂購準備處理。于是，能夠減少由于沒有庫存部件等而使機器停止運行的時間，進而能夠進行高效的維護管理。
所述運行信息可以包含，所述機器對所述被處理件進行規定處理的規定工序的處理條件參數。所述處理條件參數可以包含所述機器容器(chamber)內的溫度、壓力、氣體流量或者它們的組合。根據所述結構，監視裝置(例如，計算機)可以從各種參數的變化知道機器的運行狀態。通過各種參數的變化來判斷機器狀態，能夠進行高可靠性的遠程監視。同時，除了設備銷售商指定的方法以外，設備用戶有時也自行設置參數來排除這種簡單錯誤，從而能夠獲得高利用率。
所述運行信息也可以包含圖像數據。即，可以具有如下結構在機器上設置傳感器裝置，使用作為該傳感器裝置的攝像設備來獲得與機器的運行狀態有關的圖像數據，并根據獲得的圖像數據對機器進行監視。于是，能夠從多個方面對機器的運行狀態進行監視。
所述運行信息也可以包含所述機器的成品率(步留まり)數據。所述運行信息還可以包含用所述機器處理的被處理件的數量。所述機器可以是半導體器件或液晶顯示器件的制造設備。
為了達到上述目的，本發明的第二技術方案是一種系統，其特征在于，具有機器，所述機器具有傳感裝置，能夠獲得表示機器運行情況的運行信息；及發送裝置，發送在所述傳感裝置中獲得的運行信息；監視設備，所述監視設備具有接收裝置，通過通信與所述機器連接，接收由所述機器的發送裝置發送的運行信息，及監視裝置，根據在該接收裝置中接收的運行信息，監視所述機器。
根據上述結構，監視設備根據在機器自身具有的傳感裝置中獲得的機器自身的運行狀態數據，通過通信對機器進行遠程監視。這樣，通過通信直接連接機器和遠處的監視設備，從而能夠在監視設備上對機器進行實時監視，進而能夠進行有效的維護管理。
所述監視裝置檢測所述機器的故障，并在確定了該機器的故障部件時，可以進行用于替換該故障部件的部件的訂購處理或訂購準備處理。
所述監視裝置，也可以根據所述機器的運行信息導出該機器最佳定期檢查周期，并將導出的最佳定期檢查周期反饋給所述機器。
所述機器也可以具有能夠輸入與替換該機器的部件有關的維護數據的輸入裝置。此時，所述發送裝置將從所述輸入裝置輸入的維護數據發送到所述監視裝置中。
所述維護數據可以是在替換所述機器的部件時獲得的、與該部件的替換時間、種類、使用時間有關的數據。同時，所述監視裝置可以從所述維護數據導出所述部件的最佳替換周期，并反饋給所述機器。
所述監視裝置也可以根據所述維護數據，進行替換部件的訂購處理或訂購準備處理。
所述機器可以進行規定工序，從而對所述被處理件進行規定處理。并且，所述運行信息也可以包含所述工序的處理條件參數。
所述機器具有容器，而所述處理條件參數可以包含所述容器內的溫度、壓力、氣體流量或者它們的組合。
所述運行信息可以包含圖像數據。所述運行信息也可以包含所述機器的成品率數據。所述運行信息還可以包含通過所述機器處理的被處理件的數量。所述機器可以是半導體器件或液晶顯示器件的制造設備。
為了達到上述目的，本發明第三技術方案是一種為了提高機器生產率而對所述機器進行遠程監視的方法，其特征在于，該方法具有接收工序，通過通信從所述機器接收表示所述機器的運行狀態的運行信息；監視工序，根據在所述接收工序中接收的運行信息，監視所述機器。
所述監視工序根據所述運行信息檢測所述機器的故障，并在確定了該機器的故障部件時，可以進行用于替換該故障部件的部件的訂購處理或者訂購準備處理。
所述監視工序可以根據所述機器的運行信息導出該機器的最佳定期檢查周期，并將導出的最佳定期檢查周期反饋給所述機器。
所述接收工序還可以從所述機器接收與替換所述機器的部件有關的維護數據。此時，所述監視工序根據在所述接收工序接收的維護信息，監視所述機器。
所述維護數據可以是在替換構成所述機器的部件時獲得的、與該部件的替換時間、種類、使用時間有關的數據。此時，所述監視工序從所述維護數據導出所述部件的最佳替換周期，并反饋給所述機器。
所述監視工序也可以根據所述維護數據，進行替換部件的訂購處理或訂購準備處理。
所述運行信息可以包含所述機器對所述被處理件進行規定處理的規定工序的處理條件參數。并且，所述處理條件參數可以包含所述機器容器內的溫度、壓力、氣體流量或者它們的組合。所述機器例如是半導體器件或液晶顯示器件的制造設備。
附圖的簡要說明圖1是本發明實施方式的系統結構圖。
圖2表示本發明實施方式的歷史信息數據庫的一個例子。
圖3表示本發明實施方式的歷史信息數據庫的一個例子。
圖4表示本發明實施方式的概況(profile)信息數據庫的一個例子。
圖5表示本發明實施方式的概況信息數據庫的的一個例子。
圖6表示本發明實施方式的聯絡方式數據庫的一個例子。
圖7表示本發明實施方式的聯絡方式數據庫的一個例子。
圖8表示本發明實施方式的替換周期數據庫的一個例子。
圖9是本發明實施方式的系統動作流程圖。
圖10是本發明實施方式的系統動作流程圖。
圖11是本發明實施方式的工廠結構圖。
圖12是本發明實施方式的CVD設備結構圖。
圖13是圖12的控制器結構圖。
圖14表示本發明實施方式的歷史信息數據庫的一個例子。
圖15表示本發明實施方式的替換周期數據庫的一個例子。
發明的最佳實施方式下面，參照附圖，對本發明實施方式的提高機器生產率的系統及其方法進行說明。在本實施方式中，以銷售商是半導體制造設備的制造者、而制造者是半導體器件的制造者的場合為例進行說明。
圖1是本發明實施方式的系統結構圖。
如圖1所示，本實施方式的系統由使用銷售商提供的機器10的工廠101、離工廠101很遠的銷售商的企業102及連接工廠101和銷售商企業102的通信線路100構成。
工廠101例如是半導體制造工廠，其內部配有機器10、工廠方計算機11及連接機器10和工廠方計算機11的廠內配線網絡12。
機器10是一臺或多臺由銷售商提供的用于生產的機器。機器10為半導體制造設備，例如是，用于前工序的機器(成膜設備、熱處理設備等)、用于后工序的機器(安裝設備、試驗設備等)及存儲各種數據的計算機(服務器)，在本實施方式中，以具有容器的設備為例進行說明。
如圖1所示，機器10具有中央處理部分13、監視部分14、通信控制設備15、輸入輸出控制部分16及存儲部分17。
中央處理部分13具有在圖中沒有示出的RAM和ROM等，通過進行規定處理來控制機器10整體的動作。監視部分14具有傳感器等監視設備，對機器10的運行狀態進行監視。而且，中央處理部分13利用監視部分14(監視設備18)依次獲得機器10的運行狀態數據。
通信控制設備15在LAN(Local Area Network，局域網)等廠內配線網路12中起機器10側的接口作用。中央處理部分13經過通信控制設備15，與外部進行收發信息。
輸入輸出控制器16連接在配電盤等輸入輸出設備19上。輸入輸出設備19起人機接口的作用。工廠101內的操作員從輸入輸出設備19對機器10進行主要控制。而且，在對部件進行了定期替換或修理替換時，操作員從輸入輸出設備19輸入部件的替換日期、部件的種類、使用時間等維護數據。另外，維護數據中還包含設備所具有的日志數據(log data)。日志數據和時間戳(timestamp)是數據化了的該設備所有的動作歷史，從中能夠知道，操作員對該設備進行了何種操作、設備的某個傳感器何時進行了何種動作、設備的軟件何時進入到何種程序(routine)以及何時向設備內的存儲部分(存儲器)輸入了何種數據等。
存儲部分17存儲監視設備18獲得的運行狀態數據及從輸入輸出設備19輸入的維護數據。監視設備18例如是容器所具備的壓力傳感器、溫度傳感器、流量傳感器等。運行狀態數據是通過這些傳感器得到的與容器內的壓力、溫度、氣體流量等有關的數據。中央處理部分13向工廠方計算機11實時發送存儲在機器部分17內的運行狀態數據。同時，每當有新的維護數據輸入時，中央處理部分13就將這些維護數據發送到工廠方計算機11內。此外，在圖1中，存儲部分17被設置在機器10內，但是，例如也可以將存儲部分11設置在機器10外。
工廠方計算機11對在工廠101中使用的多臺機器10進行集中管理。如圖1所示，工廠方計算機11具有中央處理部分20、存儲部分21、輸入輸出控制部分22及通信控制設備23。
中央處理部分20具有在圖中沒有示出的RAM和ROM等，并通過進行規定處理來控制工廠方計算機11的動作。存儲部分21存儲經過廠內配線網絡12從各工廠10接收的運行狀態數據和部件替換日期等的維護數據。
中央處理部分20時常監視著接收的運行狀態數據，并且，當檢測到機器10的狀態(運行狀態)出現異常的時候，向工廠101內的操作員及銷售商報告發生了故障。此時，若能夠通過來自銷售商的、對應于故障的應答信息進行修復時，即，例如能夠通過更新軟件等進行修復時，中央處理部分20，從銷售商的計算機26下載規定軟件，自動進行修復處理。
從機器10經過廠內配線網絡12向工廠方計算機11發送的運行狀態數據，經過通信線路100，同樣地被發送到銷售方。同時，從機器10定期發送的、與部件替換有關的維護數據，也經過工廠方計算機11，被發送到銷售方。此外，也可以從銷售方連接工廠方計算機11，來獲得運行狀態數據和維護數據。
輸入輸出控制部分22與具有顯示器、鍵盤等的輸入輸出設備25連接。輸入輸出設備25起人機接口的作用。工廠101內的操作員通過輸入輸出設備25，對工廠方計算機11及與之相連接的機器10進行控制。并且，當發生故障時，通過輸入輸出設備25向操作員告知在機器10內發生了故障，此時，操作員有時也通過輸入輸出設備25進行必要的維護操作。
然而，機器10一般都配置在無塵室內。但是，因為操作員進入無塵室之前，必須要穿防塵服、進行空氣淋浴及洗手，所以，也可以將機器10的輸入輸出設備25設置在無塵室以外。例如，當通過改變設定在機器10內的處理條件(配方)來對機器10內發生的工序異常狀況做對應處理的時候，操作員可以不進入無塵室，而是在無塵室外對輸入輸出設備25進行操作來改變配方。這里，最好在機器10內一發生故障就向輸入輸出設備25發送發生故障的信息，從而使在無塵室外也能夠知道機器10發生了故障。
通信控制設備23在廠內配線網絡12及通信線路100中，起工廠方計算機11一側的接口的作用。中央處理部分20經通信控制設備23與機器10及銷售商進行收發信息。
通信線路100，例如，可以使用能夠高速通信的互聯網、ISDN、光纖等公用線路或專用線路。并且，也可以是公用線路網。而作為連接，可以使用時常連接或者每次使用時連接的方法。
通信線路100連接著上述工廠101、使用銷售商提供的機器10的多個工廠110、120及銷售商企業102。多個工廠110、120具有與上述工廠101相同的結構(沒有圖示)。例如，多個工廠110、120具有集中管理機器10的工廠方計算機。各工廠110、120內的機器10的維護管理信息通過該工廠方計算機向銷售商發送。
銷售商企業102具有銷售方計算機26。如圖1所示，銷售方計算機26具有中央處理部分27、通信控制設備28、存儲部分29、輸入輸出控制部分30。
中央處理部分27具有在圖中沒有示出的RAM、ROM，并通過進行規定處理來控制銷售方計算機26的動作。通信控制設備28在通信線路100中起銷售方計算機26一側的接口的作用。中央處理部分27通過通信控制裝置28與多個工廠方計算機11進行收發信息。
輸入輸出控制部分30與具有顯示器(畫面)、鍵盤等的輸入輸出設備31連接。輸入輸出設備31起人機接口的作用。銷售方操作員(operator)通過輸入輸出設備31對銷售方計算機26進行控制。而且，在發生故障時，銷售方操作員能夠用郵件等向工廠101一側發送對應的處理信息，并且，能夠確認各機器10的運行狀態等。
存儲部分29具有歷史信息數據庫(DB)32、概況信息數據庫33、聯絡方式信息數據庫34以及替換周期信息數據庫35。
歷史信息數據庫32，存儲從工廠方計算機11接收的運行狀態數據和維護數據。歷史信息數據庫32中所存儲的信息是從多個工廠101、110、120等中的運行的各機器10獲得的、規定期間內的運行狀態數據和維護數據。
圖2表示存儲在歷史信息數據庫32中的運行狀態數據的一個例子。如圖2所示，歷史信息數據庫32收集機器10的收貨方(制造者)、使用的工廠、每個個體(序列號)的運行狀態數據。運行狀態數據是表示機器10的運行狀態的物理數據，例如是，在利用機器10對被處理件進行規定的處理工序中，基于容器內的溫度、壓力、氣體流量等參數的物理量。運行狀態數據通過機器10的監視設備18取得，并定期向銷售方計算機26發送。歷史信息數據庫32例如存儲作為溫度數據的如圖2中的*1所示的數據。
圖3表示本發明實施方式的歷史信息數據庫的一個例子。
如圖3所示，與運行狀態數據一樣，在歷史信息數據庫中存儲著收貨方、工廠及每個個體的維護數據。每當機器10替換部件的時候從機器10的一側發送維護數據。
銷售方計算機26將接收的維護數據作為構成機器10的各部件的替換歷史(時間)及使用時間數據來存儲。如后所述，從存儲在歷史信息數據庫32中的使用時間數據導出各部件的最佳替換周期。
概況信息數據庫33存儲機器10的每個動作工序的參數(溫度、壓力等)的基準概況。例如，在機器10進行規定工序的時候，該工序中的溫度變化是已經規定好了的。概況信息數據庫33中存儲著與各工序的各種參數有關的基準概況。
圖4是概況信息數據庫33內的、機器10的工序A、B等中的各參數的基準概況的一個例子。如圖4所示，作為在工序A中變化的參數，使用壓力和溫度等。因此，作為各參數的概況，存儲著如*2(壓力)、*3(溫度)所示的基準概況。
同時，如圖5所示，概況信息數據庫33中存儲每個機器10的工序表。工序表表示各收貨方(制造者)、各工廠及每個機器10的使用計劃，這些是預先由制造方向銷售商通知的。例如，工序表如圖5的*4所示。在此例中，機器10連續進行工序A、B、C后停止，然后重新進行工序A、B、C。
在機器10的動作中，銷售方計算機26按照圖5所示的工序表，并關于各參數，讀取圖4所示的基準概況，同時，對從機器10接收的實際運行狀態數據中的、各參數的變化概況和讀取的基準概況進行比較，來監視機器10的狀態。例如，各參數的實際變化概況與基準概況間的誤差不在5％范圍內時，銷售方計算機26判斷為機器10處于異常狀態。
聯絡方式信息數據庫34存儲構成機器10的每個部件的部件供應商與其聯絡方式(郵件地址、移動電話號碼等)。圖6是部件供應商的聯絡方式數據庫34的一個例子。當銷售方計算機26從機器10接收到維護數據(部件替換信息)時，就進行訂購處理或者訂購準備處理。即，銷售方計算機26參照圖6所示的聯絡方式信息數據庫34，向供應部件的供應生產商(業者)發送該部件的訂購信息。
同時，銷售方計算機26在監視動作中檢測機器10的異常，當判斷出需要替換特定的部件時，參照聯絡方式信息數據庫34，向生產商發送該部件的訂購信息(訂購處理或訂購準備處理)。
此外，聯絡方式信息數據庫34中存儲工廠方操作員及銷售商操作員(現場工程師)的聯絡方式(郵件地址等)。圖7是已建立的數據庫的一個例子。在圖7所示的數據庫中，鏈接著與各機器10有關的、收貨方(制造者)、收貨方負責部門(人)的郵件地址，以及銷售商負責部門(人)的郵件地址。
銷售方計算機26在檢測出運行狀態異常的時候，參照如圖7所示的聯絡方式信息數據庫34，向工廠方及銷售方報告發生了故障的信息及故障內容。工廠方的責任操作員，基于報告的信息，確認機器10的狀態，并進行必要的處理。同時，銷售商的責任操作員基于報告的信息，根據需要，攜帶替換部件到發生故障的機器10所在的工廠101，進行修復作業。
替換周期數據庫35存儲構成機器10的各部件的最佳替換周期。圖8是替換周期數據庫35的一個例子。存儲在替換周期數據庫35中的部件替換周期，作為初始數據，存儲著銷售商向用戶交付所述機器10的時候作為使用條件向用戶側提供的周期。
中央處理部分27，參照上述初始信息和存儲在歷史信息數據庫32中的維護數據，通過規定的程序算出各部件的最佳替換周期。中央處理部分27在每次取得新的維護數據時都進行上述處理，并將算出的新的最佳替換周期更新存儲到替換周期信息數據庫35中。存儲在替換周期信息數據庫35中的最佳替換周期，作為能夠反饋到機器10的使用中的信息，定期被發送到工廠方。
這里，作為初始數據最初存儲在替換周期信息數據庫35中的部件替換周期，是銷售商從設計或制造時進行的耐久試驗得出的值，而不是實際使用條件下的值。此外，為了避免故障的發生，該值一般設定的要比實際預想的小一些，因此，可能會與實際使用條件下的值有很大的差距。此時，若按照上述替換周期進行部件替換等預防維護，則會無法有效使用機器，實際上會降低利用率。而且，還會對實際中尚能完全繼續使用的部件進行了替換，造成成本的浪費。
但是，如上所述，通過積累來自機器10的、實際使用條件下的維護數據，并實施最適合于所積累的維護數據的處理，使更新存儲在替換周期數據庫35中的各部件的替換周期，隨著接收的數據量的增加逐漸接近實際值。此外，銷售商所積累的數據，并不局限于同一個用戶(制造者)、而是能夠從多個不同用戶收集。由此，增加了所得的數據量，而所導出的值也比只從單獨用戶收集的值更可靠。
于是，發送到用戶側的最佳替換周期，作為更有效的機器的使用條件，將此信息反饋到用戶方。用戶方將接收到的替換周期信息和各自的工廠的操作計劃組合起來，使預防維護更有率，從而能夠以更高的效率使用機器。
下面，參照


上述系統的動作。圖9、圖10表示銷售方計算機26的動作流程。當然，在圖9、圖10中所示的流程僅是銷售方計算機26的動作的一個例子，只要能夠產生同樣的效果，可以采用任何一種結構。
監視動作中，銷售方計算機26接收設在機器10上的監視設備18所獲得的機器10的實時運行狀態數據(步驟S11)。銷售方計算機26將接收到的運行狀態數據存儲到歷史信息數據庫32中(步驟S12)。
銷售方計算機26從歷史信息數據庫32的運行狀態數據中，讀出規定參數，例如，基于溫度的數據(變化概況)(步驟S13)。
其次，銷售方計算機26參照存儲在概況信息數據庫33中的與溫度有關的基準概況，和讀出的(實測)數據的概況進行比較(步驟S14)。
接下來，銷售方計算機26判斷實測的概況與基準概況之間的差是否在規定誤差范圍內(例如，5％)(步驟S15)。
在步驟S15中，當判斷為實測的概況與基準概況之間的差在規定誤差范圍內時(步驟S15Yes)，返回到步驟S11，銷售方計算機26接收運行狀態數據繼續監視機器10。
相反，當判斷為兩者的差不在規定誤差范圍內時(步驟S15No)，銷售方計算機26判斷為機器10發生了故障。于是，銷售方計算機26通過工廠方計算機11的輸入輸出設備25向工廠101側通知發生了故障及其狀況，同時，從聯絡方式數據庫34讀取制造方(收貨方)的負責維護的部門(人)的郵件地址等聯絡方式信息，向負責維護的部門告知發生了故障(步驟S16)。
此外，銷售方計算機26還通過銷售方計算機26的輸入輸出設備31向銷售方操作員通知發送了故障及其狀況，同時，從聯絡方式信息數據庫34讀取銷售方的負責維護的部門(人)的郵件地址等聯絡方式信息，向負責維護的部門(現場工程師)告知發生了故障(步驟S16)。
工廠101一側及銷售方的操作員根據來自銷售方計算機26的通知，進行對應的處理。當然，用于通知工廠101一側及銷售方的負責維護的部門的通知裝置并不局限于郵件，也可以是移動電話、無線電尋呼機等。
而且，銷售方計算機26可以從運行狀態數據確定導致發生異常的部件，并判斷為需要替換部件時，參照存儲在聯絡方式信息數據庫34中的供應替換部件的生產商的聯絡方式信息，向所述生產商發送訂購信息。
例如，銷售方計算機26判斷出是與氣體流量有關的數據概況出現了異常，并從積累的數據等判斷出需要替換閥時，向現場工程師指示進行替換閥的同時，參照聯絡方式信息數據庫34，讀取閥供應生產商的聯絡方式信息，向生產商發送訂購信息。
檢測出發生了故障的銷售方計算機26向工廠101一側發送進行處理所必要的維護信息(步驟S17)。這里，若是輕微故障、或是軟件上的故障時，工廠方計算機11例如能夠通過從銷售方計算機26下載規定軟件等來自動進行修復處理。若不是這種情況，就由接收到銷售方計算機26的報告的銷售方及工廠101一側的操作員直接進行修復處理。
以上，根據圖9所示的流程，銷售方計算機26對配置在工廠101內的機器10進行遠程監視。銷售方計算機26從設在機器10上的監視設備18所取得的溫度等運行狀態數據判斷機器10的運行狀態。當判斷出機器10處于異常狀態時，銷售方計算機26向工廠101一側及銷售方的操作員報告發生異常的情況。此時，銷售方計算機26如果判斷出需要替換部件時，則同時進行替換部件的訂購。這樣，因為銷售方計算機26對機器10進行遠程監視，所以能夠對故障進行快速反應，從而能夠縮短因故障而導致機器10停止的停止時間。因此，能夠延長機器10的運行時間，進而能夠提高機器10的利用率。
此外，銷售方計算機26并不僅如上述那樣對機器10進行遠程監視，而且還收集與機器10有關的維護數據，并對應所得維護數據實施規定的處理動作。
從機器10向銷售方計算機26，一般逐次發送運行狀態數據，而在進行部件替換等維護作業時，發送由操作員輸入的與維護有關的數據。
這里，機器10的部件替換在機器10的定期檢查(定期分解檢修)中的替換期到來時，或者因為部件的原因發生了故障，必須要進行替換修理時進行。替換部件的時候，操作員先停止機器10后替換應替換的部件。替換作業結束后，操作員從機器10上的輸入輸出設備19輸入所替換部件的種類、日期、使用期限等維護數據。維護數據存儲在存儲部分17中。中央處理部分13將存儲在存儲部分17中的維護數據，通過廠內配線網絡12發送到工廠方計算機11中。工廠方計算機11將接收的維護數據存儲到存儲部分21中，同時，通過通信線路100發送到銷售方計算機26中。
下面，參照圖10所示的流程，對銷售方計算機26的進行維護數據處理時的動作進行說明。
首先，銷售方計算機26從工廠101一側接收維護數據(步驟S21)。銷售方計算機26(中央處理部分27)將接收的維護數據存儲到歷史信息數據庫32中(步驟S22)。
然后，銷售方計算機26從存儲在歷史信息數據庫32中的維護數據中讀出替換部件的種類，并參照圖6所示的聯絡方式信息數據庫34讀出該部件供應生產商的聯絡方式，向所述供應生產商發送訂購信息(步驟S23)。
回到圖10，接下來，銷售方計算機26進一步對存儲在歷史信息數據庫32中的維護數據進行規定的分析處理。即，對于定期替換或修理替換的部件，算出每種部件的平均使用時間，并對所得值取規定的幅度(margin)，導出最佳替換周期(步驟S24)。
導出的最佳替換周期被更新存儲到替換周期信息數據庫35中(步驟S25)。于是，每當對多個機器10進行部件替換，從而獲得新的維護數據時，存儲在替換周期信息數據庫35中的部件的替換周期就會得到優化。
通過上述處理得到的部件的最佳替換周期，定期的，例如，每隔1～2周，被發送到所有的工廠101、110、120一側。而工廠101、110、120，能夠參照所接收的替換周期信息，制定新計劃，使得機器10及工廠101等能夠更有效地運行。同時，為了避免發生故障，一般要設定部件的替換周期比實際預想的短一些，因此，隨著部件的最佳替換周期的可靠性的提高，部件的替換周期會變長。于是，能夠有效使用機器。
以上，按照如圖10所示的流程，銷售方計算機26處理包含部件替換周期的維護數據。銷售方計算機26在進行替換部件的訂購的同時，根據所得的部件的使用時間等進行規定的分析處理，導出部件的最佳替換周期。通過分析處理得到的信息，被發送到用戶(工廠101等)方，并被反饋到機器10的使用中。
其次，將設有CVD設備等機器10的工廠101為例，對系統進行說明。圖11表示本發明實施方式的工廠101的結構。如圖11所示，工廠101具有工廠方計算機11和多臺機器10，并且，各機器10和工廠方計算機11之間通過廠內配線網絡12連接。機器10具有n臺CVD(Chemical Vapor Deposition，化學汽相沉積)設備36(361～36n)、其他機器(在圖11中是m臺氧化設備37(371～37m))及j臺測定設備(411～41j)。n臺CVD設備36(361～36n)具有同樣的結構，并分別裝載半導體晶片等被處理件，并通過CVD對被處理件進行成膜處理。作為機器10的一個例子，參照圖12，對CVD設備36的一個結構例進行說明。
如圖12所示，CVD設備36是批量式設備，它具有由內管302a和外管302b所構成的雙重管結構的反應管302，在反應管302的下面設有筒形金屬管道(manifold)321。反應管302內設有多片晶片W，例如，構成被處理件的150片晶片W上下以一定間隔水平地配置在晶片槽323上，成隔板形狀。該晶片槽323由蓋324上的保溫筒325支承著。
反應管302的周圍設有五段結構的加熱器331～335。加熱器331～335通過電力控制器336～340，分別獨立供電，并能夠獨立控制。反應管302、管道321及加熱器331～335構成加熱爐。反應管302被加熱器331～335分成五個區域。
此外，在管道321中設有向內管302a內供應氣體的3根氣體供應管341、342、343。經質量流控制器(MFC)344、345、346，用于成膜的原料氣體和載體氣體分別被供應到氣體供應管341、342、343內。而且，管道321連接著排氣管327，以便從內管302a和外管302b之間的空隙排氣。同時，在反應管302內設有用于測定反應管302內的壓力的壓力傳感器(圖中沒有示出)。
，作為監視設備18的5個溫度傳感器(熱電偶)S1～S5在內管302a的內表面上沿垂直方向排成一列。為了防止晶片W受金屬污染，溫度傳感器S1～S5被石英管等完全覆蓋，并分別配置在每個區域內。
CVD設備36具有控制器400，用于控制反應管302內的處理氣氛的溫度、氣體流量、壓力等處理條件參數。圖13表示控制器400的結構。如圖13所示，控制器400和上述系統一樣，具有中央處理部分13、監視部分14、通信控制設備15、輸入輸出控制部分16及存儲部分17。監視部分14具有包含溫度傳感器S1～S5、MFC344～346、電力控制器336～340的監視設備18。而且，控制器400的通信控制設備15通過廠內配線網絡12與工廠方計算機11連接，而工廠方計算機11通過通信線路100與銷售方計算機26(通信控制設備28)連接。
此外，銷售方計算機26的存儲部分29具有歷史信息數據庫32、概況信息數據庫33、聯絡方式信息數據庫34及替換周期信息數據庫35。
歷史信息數據庫32存儲運行狀態數據、維護數據及晶片W的測定數據。運行狀態數據和維護數據的構成與上述系統的數據幾乎相同。此外，運行狀態數據還存儲表示在替換或清潔規定部件后的第幾次運行(或者第幾時間)的RAN次數(RAN時間)。這是因為在晶片W上所成的膜的物性也會根據CVD設備36的RAN次數的不同而不同。如圖14所示，測定數據是利用CVD設備36在晶片W上形成的膜的膜厚、膜的均勻性等數據，與運行狀態數據對應存儲。測定數據由測定設備41測定，并定期被發送到銷售方計算機26中。
替換周期信息數據庫35存有構成機器的各部件的最佳替換周期等。圖15表示替換周期信息數據庫35的一個例子。如圖15所示，替換周期信息數據庫35除了存儲替換部件的最佳周期外，還存儲清潔部件的清潔周期。
此外，概況信息數據庫33和聯絡方式信息數據庫34的構成與上述系統的數據相同。
下面，參照圖9，說明使用如上述構成的CVD設備36的系統的動作。
在監視動作中，銷售方計算機26接收由設在CVD設備36上的溫度傳感器S1～S5等監視設備18獲得的、CVD設備36的實時運行狀態數據(步驟S11)。然后，銷售方計算機26將接收的運行狀態數據存儲到歷史信息數據庫32中(步驟S12)。
其次，銷售方計算機26從歷史信息數據庫32的運行狀態數據中讀出規定參數，如基于溫度的數據(變化概況)(步驟S13)。銷售方計算機26參照存儲在概況信息數據庫33內的與溫度有關的基準概況，和讀出的(實測)數據的概況進行比較(步驟S14)。這里，在本實施方式中，預先備有針對每個區域已經調整好的基準概況(溫度配方)，并且在每一區域，比較實測的概況與基準概況，使得晶片W的表面之間的、以及面內的處理結果均勻。
接下來，銷售方計算機26判斷實測概況與基準概況的溫度差是否在規定范圍內(例如，5％)(步驟S15)。
銷售方計算機26，當判斷為實測概況與基準概況的溫度差在規定范圍5％內的時候(步驟S15Yes)，返回到步驟S11，接收運行狀態數據，繼續監視CVD設備。
銷售方計算機26，當判斷為實測概況與基準概況的溫度差大于規定范圍5％的時候(步驟S15No)，判斷在CVD設備36內發生了故障。
銷售方計算機26向銷售商操作員通知發生了故障及其狀況，同時，向銷售方的負責維護的部門(現場工程師)告知發生了故障(步驟S16)。同時，銷售方計算機26向配有CVD設備36的工廠方通知發生了故障及其狀況，同時，向制造方的負責維護的部門報告發生了故障(步驟S16)。
銷售方計算機26根據實測概況和運行狀態數據內存儲的數據確定發生異常的原因。然后，銷售方計算機26可以從運行狀態數據確定導致發生異常的部件，并且在判斷為需要替換部件的時候，向供應替換部件的生產商發送訂購信息。例如，銷售方計算機26，判斷出反應管302的最上部分區域的溫度的數據概況出現了異常，并且盡管指示控制器400升高加熱器331的溫度，反應管302的最上部分區域的溫度還是很低，而且根據累計數據等來看需要替換最上部分的加熱器331時，銷售方計算機26指示現場工程師對加熱器331進行替換，同時，向加熱器的供應生產商發送訂購加熱器的信息。
銷售方計算機26向工廠方發送進行處理所必要的維護信息(步驟S17)。然后，工廠方及銷售方的操作員根據來自銷售方計算機26的通知，進行對應的處理。
此外，銷售方計算機26也可以通知工廠方及銷售方的操作員，使他們根據存儲在歷史信息數據庫32中的測定數據和存儲在歷史信息數據庫32中的積累數據，改變加熱器331～335的溫度、反應管內的壓力等。由此，能夠將測定設備41的測定結果反饋到CVD設備36的成膜條件中。此時，并不局限于測定結果在規定的誤差范圍以外的場合，例如，也可以是成膜膜厚雖然符合規格但還稍微厚的、測定結果在規定的誤差范圍內的場合。
接下來，參照圖10，銷售方計算機26處理維護數據時的動作進行說明。
首先，銷售方計算機26從中央處理部分15經過工廠方計算機11，接收存儲在存儲部分17中的維護數據(步驟S21)。銷售方計算機26將接收的維護數據存儲在歷史信息數據庫32內(步驟S22)。
其次，銷售方計算機26從存儲在歷史信息數據庫32內的維護數據中讀出替換部件的種類，并向該部件的供應生產商發送訂購信息(步驟S23)。
接著，銷售方計算機26進一步對維護數據進行規定的分析處理，導出最佳替換周期(步驟S24)，并更新存儲到替換周期信息數據庫35中(步驟S25)。通過上述處理獲得的部件的最佳替換周期，定期地，例如，每隔1～2周被發送到工廠101一側。工廠101一側，則參照接收的替換周期信息，能夠制定新計劃，使得CVD設備36能夠更有效地運行。
此外，銷售方計算機26還會根據機器的使用次數、使用時間，向工廠方及銷售方的操作員報告需要替換部件等信息。例如，銷售方計算機26從存儲在歷史信息數據庫32中的運行狀態數據判斷CVD設備36進行晶片W的成膜處理的次數。然后，銷售方計算機26參照如圖15所示的替換周期信息數據庫35，在進行了規定次數如××次晶片W的成膜處理后(RUN××次)，向工廠方及銷售方的操作員通知需要清潔晶槽323。而且，當銷售方計算機26判斷出進行了○○次晶片W的成膜處理的時候(RUN○○次)，向工廠方及銷售方的操作員通知需要更換晶槽323。
如以上說明，根據本發明的系統，根據機器10的監視設備18所獲得的運行狀態數據，銷售方計算機26對機器10進行遠程監視。同時，從機器10向銷售方計算機26發送與部件替換有關的維護數據。銷售方計算機26從維護數據算出部件的最佳替換周期，并以數據庫形式進行存儲。形成數據庫的信息，定期被發送到工廠101一側，而工廠方，能夠將該信息作為機器10的更有效的使用條件以反饋的方式使用。因此，用戶方將接收的替換周期信息和各自的使用計劃結合起來，從而可提高預防維護的效率，并能夠以更高的利用率運行機器10。進而，能夠提高使用機器10的產品的生產率。
本發明并不局限于上述的實施方式，可以進行各種變形和應用。下面，對能夠適用于本發明的上述實施方式的變形例進行說明。
在上述的實施方式中，與部件替換有關的維護數據，是通過設在機器10上的輸入輸出設備19輸入的。但是，并不局限于此，維護數據也可以從工廠方計算機11輸入，并發送到銷售方計算機26。此外，從機器10發送的運行狀態數據及維護數據通過廠內配線網絡12被發送到銷售方計算機26中，但是，也可以將設在機器10內的通信控制設備15直接連接在互聯網等通信線路上，直接將上述數據發送到銷售方計算機26中。
在上述實施方式中，設在機器10上的監視設備18是溫度傳感器、壓力傳感器、流量傳感器等。同時，從機器10發送的運行信息數據是與溫度、壓力、氣體流量等有關的物理數據。但是，運行狀態數據因為只要是表示機器10的運行狀態的物理數據就可以，所以，例如也可以包含經機器10處理過的半導體晶片等被處理件的數量。此時，例如只要使銷售方計算機26監視單位時間內的處理量(生產量)就可以。而且，此時，也可以在工廠方進行顯示，使工廠方每次在處理規定片數的晶片后更換規定部件。
此外，運行狀態數據還可以包含成品率數據。此時，也可以使工廠101一側的操作員從機器10的輸入輸出設備19輸入機器10的成品率數據，并將此成品率數據發送到銷售方計算機26中。這樣，通過對表示機器10的運行狀態的各種物理數據進行組合，能夠從各種角度對機器10的運行狀態進行監視。
在上述的實施方式中，銷售方計算機26將從機器10接收的運行狀態數據，和對應于機器10的使用計劃(工序表)的、與規定參數有關的基準概況作比較，從而判斷機器10的運行狀態。此時，當與規定的基準概況的差在規定的誤差范圍外時，判斷為機器10出現了異常狀態。但是，判斷方法并不局限于此，也可以使用其它既知的判斷方法，或者與它組合起來使用。
此外，銷售方計算機26也可以是通過CCD圖像、SEM圖像等來判斷機器10的狀態的結構。此時，監視設備18具有CCD、SEM等攝影設備。例如，用CCD圖像數據對機器10的狀態進行判斷時，定期對容器的構成部件進行攝影，并從所攝的圖象判斷各部件的惡化狀態。此外，使用SEM圖像數據時，例如，先獲得處理后的晶片表面的SEM圖像數據后，比較所得圖像與基準圖像(期望的處理后圖像)，判斷有無微粒(particle)、圖形(pattern)缺陷等，從而判斷機器10的運行狀態。此外，也可以將這種圖像數據和上述物理數據組合起來，對機器10的運行狀態進行多方面的監視。
在上述實施方式中，銷售方計算機26對從機器10獲得的維護信息進行分析處理，算出部件的最佳替換周期，并反饋給用戶(工廠)側。但是，并不局限于此，如果能夠反饋到機器10的使用上，則可以通過維護信息的分析處理，導出任何信息。
例如，也可以將反饋到用戶側的信息作為機器10的定期檢查周期。一般，機器10在進行部件替換以外，還定期進行檢查作業，以便進行機器的清潔、機構部件的潤滑油添加(grease up)等。銷售方將機器10交給用戶側的時候，還將通過試驗得到的、與定期檢查周期有關的數值提供給用戶。因此，和部件替換周期一樣，所得的定期檢查周期也和實際的使用條件不符。于是，如下述，通過對實際的使用數據進行收集、處理，能夠優化定期檢查周期。
此時，例如，可以選擇各種從機器10向銷售方計算機26發送的信息(運行信息、維護信息)。具體的說，可以將從機器10發送的維護信息作為機器10的晶片處理片數，從和處理片數間的關系求出最佳定期檢查周期，或者，作為監視設備18使用微粒計數器(particle counter)，通過和由微粒計數器得到的容器內微粒量的增減間的關系求得最佳定期檢查周期等，并反饋到用戶側。這樣，對定期檢查周期進行優化后，反饋到用戶側，也能夠使將預防維護包含在內的維護管理效率化。
在上述的實施方式中，銷售方計算機26從收集的維護數據導出部件的最佳替換周期，并形成數據庫，向用戶側定期發送。該數據庫形式的部件的最佳替換周期，也可以具有通過在銷售方計算機26及工廠方計算機11上配置各自的瀏覽器，從而能夠在互聯網上公開或檢索的結構。
在上述實施方式中，通過工廠方計算機11與銷售方計算機26連接的機器都是同一類型的機器。但是，也可以在一個工廠內配置多種類型的機器，并由銷售方計算機26通過與上述實施方式相同的結構，管理每個機器的維護管理信息。此時，銷售方計算機26按種類分別建立數據庫來管理維護管理信息。
在上述實施方式中，工廠101是半導體制造工廠，在工廠101所使用的機器是半導體器件、液晶顯示器件等的制造設備。但是，并不局限于此，本發明的系統也能夠適用于CCD、太陽能電池等其他器件的，乃至，其他普通工業產品的制造工廠。
根據本發明，能夠提高生產率。同時，能夠更有效地進行維護管理。
工業實用性本發明可以用于如電子器件產品等工業產品的制造設備中。
本發明是以2001年1月22日申請的日本專利申請號2001-13571為基礎的，其中，包括它的說明書、權利要求書、附圖及說明書摘要。在本說明書中以引例的方式包含了在上述申請中所公開的全部內容。
權利要求
1.一種系統，該系統是為了提高機器(10)的生產率而對所述機器(10)進行遠程監視的系統(26)，其特征在于，具有接收裝置(28)，通過通信與所述機器(10)連接，從所述機器(10)接收表示所述機器(10)的運行狀態的運行信息；監視裝置(27)，根據在所述接收裝置(28)中接收的運行信息，監視所述機器(10)。
2.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述監視裝置(27)，根據所述運行信息，檢測所述機器(10)的故障，并在確定了該機器(10)的故障部件時，進行用于替換該故障部件的部件的訂購處理或訂購準備處理。
3.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述監視裝置(27)，根據所述機器(10)的運行信息，導出該機器(10)的最佳定期檢查周期，并將導出的最佳定期檢查周期反饋給所述機器(10)。
4.如權利要求2所述的系統，其特征在于，所述監視裝置(27)，根據所述機器(10)的運行信息，導出該機器(10)的最佳定期檢查周期，并將導出的最佳定期檢查周期反饋給所述機器(10)。
5.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述接收裝置(28)，還從所述機器(10)接收與所述機器(10)的部件替換有關的維護數據；所述監視裝置(27)，根據在所述接收裝置(28)中接收的維護數據，監視所述機器(10)。
6.如權利要求5所述的系統，其特征在于，所述維護數據是在替換構成所述機器(10)的部件時獲得的、與該部件的替換日期、種類、使用時間有關的數據；所述監視裝置(27)，從所述維護數據導出所述部件的最佳替換周期，并反饋給所述機器(10)。
7.如權利要求5所述的系統，其特征在于，所述監視裝置(27)，根據所述維護數據，進行替換部件的訂購處理或訂購準備處理。
8.如權利要求6所述的系統，其特征在于，所述監視裝置(27)，根據所述維護數據，進行替換部件的訂購處理或訂購準備處理。
9.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述運行信息包含所述機器(10)對被處理件進行規定處理的規定工序的處理條件參數。
10.如權利要求9所述的系統，其特征在于，所述處理條件參數包含所述機器(10)容器內的溫度、壓力、氣體流量或者它們的組合。
11.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述運行信息包含圖像數據。
12.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述運行信息包含所述機器(10)的成品率數據。
13.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述運行信息包含通過所述機器處理的被處理件的數量。
14.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述機器(10)是半導體器件或液晶顯示器件的制造設備。
15.一種系統，其特征在于，具有機器(10)，該機器(10)具有傳感裝置(18)，獲得表示機器(10)的運行狀態的運行信息；及發送裝置(15)，發送在所述傳感裝置(18)中獲得的運行信息；監視設備(26)，該監視設備(26)具有接收裝置(28)，通過通信(100)與所述機器(10)連接，接收由所述機器(10)的發送裝置(15)發送的運行信息；監視裝置(26)，根據在該接收裝置(28)中接收的運行信息，監視所述機器(10)。
16.如權利要求15所述的系統，其特征在于，所述監視裝置(27)，檢測所述機器(10)的故障，并在確定了該機器(10)的故障部件時，進行用于替換該故障部件的部件的訂購處理或訂購準備處理。
17.如權利要求15所述的系統，其特征在于，所述監視裝置(27)，根據所述機器(10)的運行信息，導出該機器(10)的最佳定期檢查周期，并將導出的最佳定期檢查周期反饋給所述機器(10)。
18.如權利要求16所述的系統，其特征在于，所述監視裝置(27)，根據所述機器(10)的運行信息，導出該機器(10)的最佳定期檢查周期，并將導出的最佳定期檢查周期反饋給所述機器(10)。
19.如權利要求15所述的系統，其特征在于，所述機器(10)，還具有能夠輸入與該機器(10)的部件替換有關的維護數據的輸入裝置(19)；所述發送裝置(15)，向所述監視裝置(27)發送從所述輸入裝置(19)輸入的維護數據。
20.如權利要求19所述的系統，其特征在于，所述維護數據是在替換構成所述機器(10)的部件時獲得的、與該部件的替換日期、種類、使用時間有關的數據；所述監視裝置(27)，從所述維護數據導出所述部件的最佳替換周期，并反饋給所述機器(10)。
21.如權利要求19所述的系統，其特征在于，所述監視裝置(27)，根據所述維護數據，進行替換部件的訂購處理或訂購準備處理。
22.如權利要求20所述的系統，其特征在于，所述監視裝置(27)，根據所述維護數據，進行替換部件的訂購處理或訂購準備處理。
23.如權利要求15所述的系統，其特征在于，所述機器(10)進行規定工序，從而對被處理件進行規定處理；所述運行信息包含所述工序的處理條件參數。
24.如權利要求23所述的系統，其特征在于，所述處理條件參數包含所述容器內的溫度、壓力、氣體流量或者它們的組合。
25.如權利要求15所述的系統，其特征在于，所述運行信息包含圖像數據。
26.如權利要求15所述的系統，其特征在于，所述運行信息包含所述機器(10)的成品率數據。
27.如權利要求15所述的系統，其特征在于，所述運行信息包含通過所述機器(10)處理的被處理件的數量。
28.如權利要求15所述的系統，其特征在于，所述機器(10)是半導體器件或液晶顯示器件的制造設備。
29.一種方法，為了提高機器生產率而對所述機器進行遠程監視，其特征在于，具有接收工序，通過通信從所述機器接收表示所述機器的運行狀態的運行信息；監視工序，根據在所述接收工序中接收的運行信息，對所述機器進行監視。
30.如權利要求29所述的方法，其特征在于，所述監視工序，根據所述運行信息，檢測所述機器的故障，并在確定了該機器的故障部件時，進行用于替換該故障部件的部件的訂購處理或訂購準備處理。
31.如權利要求29所述的方法，其特征在于，所述監視工序，根據所述機器的運行信息，導出該機器的最佳定期檢查周期，并將導出的最佳定期檢查周期反饋給所述機器。
32.如權利要求29所述的方法，其特征在于，所述接收工序，還從所述機器接收與所述機器的部件替換有關的維護數據；所述監視工序，根據在所述接收工序中接收的維護數據，監視所述機器。
33.如權利要求32所述的方法，其特征在于，所述維護數據是在替換構成所述機器的部件時獲得的、與該部件的替換日期、種類、使用時間有關的數據；所述監視工序，從所述維護數據導出所述部件的最佳替換周期，并反饋給所述機器。
34.如權利要求32所述的方法，其特征在于，所述監視工序，根據所述維護數據，進行替換部件的訂購處理或訂購準備處理。
35.如權利要求29所述的方法，其特征在于，所述運行信息，包含所述機器對被處理件進行規定處理的規定工序的處理條件參數；所述處理條件參數，包含所述機器容器內的溫度、壓力、氣體流量或者它們的組合。
36.如權利要求29所述的方法，其特征在于，所述機器是半導體器件或液晶顯示器件的制造設備。
全文摘要
本發明提供了一種提高機器生產率的系統及方法。銷售方計算機(26)經過通信線路(100)獲得由設在機器(10)上的監視設備(18)獲得的運行狀態數據，并對機器(10)的運行狀態進行遠程監視。機器(10)還發送進行部件替換時的維護數據，而接收到維護數據的銷售方計算機(26)則根據這些數據算出部件的最佳替換周期。算出的各部件的最佳替換周期被發送到工廠(101)中。在工廠(101)一側，將最佳替換周期反饋到機器(10)的使用中，從而，能夠提高生產率。
文檔編號G05B23/02GK1531671SQ0280363
公開日2004年9月22日 申請日期2002年1月22日 優先權日2001年1月22日
發明者唐澤涉 申請人:東京毅力科創株式會社