假片裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提出了一種假片裝置，所述假片裝置包括基板和載物板，所述載物板上設有凹槽，所述基板安裝于所述凹槽內部，所述載物板包括一底板和一鏤空板，所述鏤空板和所述底板對位黏貼，所述鏤空板上中間位置開有鏤空，所述鏤空處與底板組合形成所述凹槽，所述假片裝置外沿呈圓形。本實用新型通過此結構為模擬晶圓片進行基板的測試創造了條件。
【專利說明】
假片裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及基于探針臺的基板測試，尤其涉及一種可在探針臺實現測試矩形基板的假片裝置。
【背景技術】
[0002]目前，測試行業內還沒有針對基板測試的專用設備，基板測試無法進行批量的生產，如果按照基板測試的特征進行專用設備的研發，又會存在:研發周期長，資金投入大，維護要求高，生產適用性低的問題。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型提出一種假片裝置，解決了現有技術中的問題。
[0004]本實用新型的技術方案是這樣實現的:
[0005]—種假片裝置，所述假片裝置包括基板和載物板，所述載物板上設有凹槽，所述基板安裝于所述凹槽內部。
[0006]作為本實用新型的優選方案，所述載物板包括一底板和一鏤空板，所述鏤空板和所述底板對位黏貼。
[0007]作為本實用新型的優選方案，所述鏤空板上中間位置開有鏤空，所述鏤空處與底板組合形成所述凹槽。
[0008]作為本實用新型的優選方案，所述假片裝置外沿呈圓形。
[0009]本實用新型提出一種可在探針臺實現測試矩形基板的假片裝置，利用現有的探針臺設備進行基板測試，降低設備投資成本，提供探針臺設備適用性。本實用新型選用符合12寸晶圓標準的圓型薄片以及設置在圓型薄片上面的鏤空圓型薄片，基板放置在凹槽，形成探針臺可以識別的假片。
[0010]與現有技術相比較，本實用新型的有益效果是，無需增加設備投入，利用工廠內現有的探針臺設備。
【附圖說明】
[0011]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1為本實用新型的假片組合順序示意圖；
[0013]圖2為本實用新型未放入基板的假片狀態示意圖；
[0014]圖3為本實用新型放入基板的假片狀態示意圖。
[0015]其中，基板I，鏤空板2，底板3，凹槽4。
【具體實施方式】
[0016]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0017]本實用新型的關鍵在于:探針臺無法直接測試矩形的基板。將基板放入假片上的凹槽，并使基板與假片模擬成了假片，這樣，探針臺就可以識別到假片，并且按照晶圓片的方式進行測試。
[0018]如圖1-3所示，一種假片裝置，包括基板I和載物板，載物板上設有凹槽4，基板I安裝于所述凹槽內部。
[0019]載物板包括一底板3和一鏤空板2，鏤空板2和底板3對位黏貼。
[0020]鏤空板2上中間位置開有鏤空，鏤空處與底板3組合形成凹槽4。假片裝置外沿呈圓形。
[0021]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種假片裝置，其特征在于，所述假片裝置包括基板和載物板，所述載物板上設有凹槽，所述基板安裝于所述凹槽內部，所述載物板包括一底板和一鏤空板，所述鏤空板和所述底板對位黏貼。2.根據權利要求1所述的一種假片裝置，其特征在于，所述鏤空板上中間位置開有鏤空，所述鏤空處與底板組合形成所述凹槽。3.根據權利要求1所述的一種假片裝置，其特征在于，所述假片裝置外沿呈圓形。
【文檔編號】G01R1/04GK205643394SQ201521133798
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2015年12月30日
【發明人】孔曉琳
【申請人】深圳安博電子有限公司