一種用于測試晶體硅體少子壽命的硅片鈍化裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于測試晶體硅體少子壽命的硅片鈍化裝置，包括塑料袋結構，所述塑料袋結構包括用于在其內部放置硅片的具有防腐蝕性的塑料袋，所述塑料袋的頂端為用于裝入或取出所述硅片的開口端，所述開口端設置有能夠將所述開口端密封的封口邊，所述塑料袋的底端設置有連通所述塑料袋的內部的抽注管，所述抽注管的底部設置有密封塞；該硅片鈍化裝置能夠解決現有技術中的化學鈍化法產生的尋邊困難、容易損害儀器、有污染、測試后處理不便、無法控制鈍化液體積的問題。
【專利說明】
一種用于測試晶體硅體少子壽命的硅片鈍化裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及光伏技術領域，尤其涉及一種用于測試晶體硅體少子壽命的硅片鈍化裝置。
【背景技術】
[0002]少數載流子壽命(簡稱少子壽命)是半導體晶體硅材料的一項重要參數，它對半導體器件性能、晶體硅太陽能電池的光電轉換效率都有重要的影響。當載流子連續產生時，在太陽能電池中，壽命決定了電子和空穴的穩定數量，這些數量決定了器件產生的電壓，因此，要求使用的硅材料的晶體硅體少子壽命應該盡可能高。
[0003]現有的測試晶體硅體少子壽命的方法主要有化學鈍化法，其具體測試方法如下:I)將經過去損傷層處理后的硅片在常溫下用去離子水稀釋的氟化氫溶液漂洗，去除表面的自然氧化層，2)將漂洗后的硅片放入透明的塑料袋中，3)將適量的30?50ml碘酒(或琨氫琨溶液、氟化氫溶液)倒入塑料袋中，這時塑料袋的鈍化液在硅片上涂抹均勻，并驅走附在硅片上的氣泡，用塑料封口機將塑料袋密封，4)最后，放在WT-2000 (或WT-120)上進行測試。
[0004]這種方法不僅可以達到對硅片表面均勻的鈍化效果，而且可以使表面復合速度降低到lOOcm/s以下，成本低、易操作，尤其適用于太陽能生產和研究單位對于硅片原材料的檢測和分析。
[0005]但是，上述化學鈍化法存在很多缺點，如:
[0006]I)尋邊困難:由于硅片周圍除了透明塑料袋又增加了測試的液體，造成尋找邊極其困難，即使尋到邊也有尋邊不準的現象，甚至有的樣品都尋不到邊，因而導致測試的探頭無法準確測試；
[0007]2)容易損害儀器、有污染:由于鈍化液體多具有輕度的腐蝕性和污染性，導致測試過程中，塑料袋很容易被腐蝕壞掉，進而損壞測試儀器內的探頭，污染測試平臺；同時也增加了空氣污染，對測試人員的健康造成損害；
[0008]3)測試后處理不便:在測試完成后，塑料袋內有一定量的液體，且液體有輕微毒性，導致不能直接放入廢品間，測試人員在處理時很容易被液體傷害，尤其是在大量測試體少子壽命時；
[0009]4)無法控制鈍化液體積:每次硅片鈍化都是實驗員隨自己的操作經驗添加鈍化液體，造成硅片與硅片之間鈍化的液體的體積都無法實現一致性，從而影響測試結果。
[0010]因此，亟需一種能夠更好地測試晶體硅體少子壽命的硅片鈍化裝置。
【實用新型內容】
[0011]本實用新型的目的在于提出一種用于測試晶體硅體少子壽命的硅片鈍化裝置，能夠解決現有技術中的化學鈍化法產生的尋邊困難、容易損害儀器、有污染、測試后處理不便、無法控制鈍化液體積的問題。
[0012]為達此目的，本實用新型采用以下技術方案:
[0013]—種用于測試晶體硅體少子壽命的硅片鈍化裝置，包括塑料袋結構，所述塑料袋結構包括用于在其內部放置硅片的具有防腐蝕性的塑料袋，所述塑料袋的頂端為用于裝入或取出所述硅片的開口端，所述開口端設置有能夠將所述開口端密封的封口邊，所述塑料袋的底端設置有連通所述塑料袋的內部的抽注管，所述抽注管的底部設置有密封塞。
[0014]其中，所述塑料袋的內側涂覆有具有防腐蝕性的防腐蝕保護膜。
[0015]其中，所述塑料袋的內側涂覆有具有防電磁干擾性的防電磁干擾保護膜。
[0016]其中，所述防電磁干擾保護膜設置于所述塑料袋的內側與所述防腐蝕保護膜之間。
[0017]其中，所述防腐蝕保護膜為防腐蝕涂料涂覆后形成的保護膜，所述防電磁干擾保護膜為防電磁干擾涂料涂覆后形成的保護膜。
[0018]其中，所述硅片為長方形時，所述塑料袋的長度大于所述硅片的長度，所述塑料袋的寬度大于所述硅片的寬度，且所述塑料袋的長度比所述硅片的長度大I?2cm，所述塑料袋的寬度比所述硅片的寬度大I?2cm。
[0019]其中，所述硅片為正方形時，所述塑料袋的長度和寬度均大于所述硅片的邊長，且所述塑料袋的長度、寬度均比所述硅片的邊長大I?2cm。
[0020]其中，所述硅片為圓形時，所述塑料袋的長度和寬度均大于所述硅片的直徑，且所述塑料袋的長度、寬度均比所述硅片的直徑大I?2 cm。
[0021]其中，還包括用于與所述塑料袋結構配合使用的注射器，所述注射器包括注射管、設置于所述注射管的底端的注射頭、套設于所述注射管中的注射活塞，所述注射管設置有刻度線，使用時，所述注射頭插入所述抽注管中與所述抽注管配合，以按定量將鈍化液注入所述塑料袋的內部或從所述塑料袋的內部抽出。
[0022]本實用新型的有益效果為:
[0023]本實用新型的用于測試晶體硅體少子壽命的硅片鈍化裝置，其在使用時，通過開口端裝入硅片，將抽注管通過密封塞密封，再將鈍化液按定量從開口端倒入塑料袋的內部，之后將開口端通過封口邊密封，從而使得鈍化液和硅片存在于塑料袋的內部，將其放平后，輕微拍打使得鈍化液存在于硅片的各個方位，從而實現硅片的鈍化，在鈍化完成后，可以保持封口邊的密封不變，將密封塞打開，通過抽注管將塑料袋的內部的鈍化液擠出，擠出的鈍化液的量可以通過盛放鈍化液的容器來定量控制，而在擠出完成后，再次通過密封塞密封抽注管;通過該塑料袋結構操作后，塑料袋的內部的鈍化液較少，因而其更加有利于尋找硅片的邊緣，方便測試設備的探頭進行測試;而且每次操作時，每個塑料袋中的鈍化液的最終的體積量是確定的，因而可以較好地控制鈍化液體積，最終保證每次測試的硅片的環境一致性，保證測試結果的準確性;進一步地，由于塑料袋具有防腐蝕功能，因而其內部的鈍化液不會腐蝕損壞塑料袋，也就可以避免鈍化液漏出而損壞儀器、造成污染的問題；由于塑料袋中在鈍化完成后將鈍化液擠出，因而測試完成后的塑料袋中不存在大量的鈍化液，也就使得后續處理方便，避免傷害操作人員。
【附圖說明】
[0024]圖1是本實用新型的硅片鈍化裝置的塑料袋裝置的主視結構示意圖。
[0025]圖2是本實用新型的硅片鈍化裝置的注射器的主視結構示意圖。
[0026]圖中:1-塑料袋;2-封口邊;3-抽注管;4-密封塞；5-注射管；6_注射活塞；7_注射頭;8-刻度線。
【具體實施方式】
[0027]下面結合附圖并通過【具體實施方式】來進一步說明本實用新型的技術方案。
[0028]如圖1所示，一種用于測試晶體硅體少子壽命的硅片鈍化裝置，包括塑料袋結構，所述塑料袋結構包括用于在其內部放置硅片的具有防腐蝕性的塑料袋1，所述塑料袋I的頂端為用于裝入或取出所述硅片的開口端，所述開口端設置有能夠將所述開口端密封的封口邊2，所述塑料袋I的底端設置有連通所述塑料袋I的內部的抽注管3，所述抽注管3的底部設置有密封塞4。
[0029]在使用時，通過開口端裝入硅片，將抽注管通過密封塞密封，再將鈍化液按定量從開口端倒入塑料袋的內部，之后將開口端通過封口邊密封，從而使得鈍化液和硅片存在于塑料袋的內部，將其放平后，輕微拍打使得鈍化液存在于硅片的各個方位，從而實現硅片的鈍化，在鈍化完成后，可以保持封口邊的密封不變，將密封塞打開，通過抽注管將塑料袋的內部的鈍化液擠出，擠出的鈍化液的量可以通過盛放鈍化液的容器來定量控制，而在擠出完成后，再次通過密封塞密封抽注管;通過該塑料袋結構操作后，塑料袋的內部的鈍化液較少，因而其更加有利于尋找硅片的邊緣，方便測試設備的探頭進行測試;而且每次操作時，每個塑料袋中的鈍化液的最終的體積量是確定的，因而可以較好地控制鈍化液體積，最終保證每次測試的硅片的環境一致性，保證測試結果的準確性;進一步地，由于塑料袋具有防腐蝕功能，因而其內部的鈍化液不會腐蝕損壞塑料袋，也就可以避免鈍化液漏出而損壞儀器、造成污染的問題；由于塑料袋中在鈍化完成后將鈍化液擠出，因而測試完成后的塑料袋中不存在大量的鈍化液，也就使得后續處理方便，避免傷害操作人員。
[0030]作為本實施例中的一種優選實施方式，如圖2所示，該硅片鈍化裝置還包括用于與所述塑料袋結構配合使用的注射器，所述注射器包括注射管5、設置于所述注射管5的底端的注射頭7、套設于所述注射管5中的注射活塞6，所述注射管5設置有刻度線8，使用時，所述注射頭7插入所述抽注管3中與所述抽注管3配合，以按定量將鈍化液注入所述塑料袋I的內部或從所述塑料袋I的內部抽出。在此處，通過注射器實現鈍化液的注入或抽出，由于注射器的注射管設置有刻度線，因而可以直接通過其自身控制每次注入或抽出的鈍化液的量，從而無需額外的盛放鈍化液的容器進行測量，使得對鈍化液的量的控制更加直接及時。
[0031]優選的，在本實施例中，所述塑料袋I的內側涂覆有具有防腐蝕性的防腐蝕保護膜。進一步優選的，所述塑料袋I的內側涂覆有具有防電磁干擾性的防電磁干擾保護膜。其中，所述防電磁干擾保護膜設置于所述塑料袋I的內側與所述防腐蝕保護膜之間。通過防腐蝕保護膜可以避免鈍化液腐蝕塑料袋I，通過防電磁干擾保護膜可以避免測試時外界信號對測試的影響。硅片裝入塑料袋中時，硅片位于防電磁干擾保護膜的內側。
[0032]其中，所述防腐蝕保護膜為防腐蝕涂料涂覆后形成的保護膜，所述防電磁干擾保護膜為防電磁干擾涂料涂覆后形成的保護膜。
[0033]優選的，在本實用新型中，防腐蝕涂料可以選用環氧防腐蝕涂料、聚氯乙烯、聚乙烯、ABS塑料中的一種或多種。
[0034]優選的，電磁屏蔽主要是用來防止高頻電磁場的影響，從而有效地控制電磁波從某一區域向另一區域進行輻射傳播，其基本原理是:采用低電阻的導體材料，并利用電磁波在屏蔽導體表面的反射和在導體內部的吸收以及傳輸過程的損耗而產生屏蔽作用。在本申請中，電磁屏蔽涂料，是一種在化學溶劑中摻入導電顆粒，并能用于噴涂于塑料上，對電磁波進行屏蔽的功能性涂料。所述防電磁干擾涂料為由樹脂、稀釋劑、添加劑以及導電性填充材料等組成，其中，樹脂可以為環氧樹脂、聚氨酯、酚醛、聚酰亞胺、丙烯酸等樹脂中的一種或多種;稀釋劑和添加劑用以降低樹脂的粘度，浸潤填充物，常用的由甲基溶纖劑、松木油、乙二醇丁醚醋酸等，稀釋劑一般不采用溶劑型的，以避免發生氣泡而降低導電性和粘接劑。添加劑用來改進導電膠的性能，如分散劑能使導電填料充分分散，補強劑能增大附著力等。導電性填料一般是炭黑或者石墨等非金屬粉末。
[0035]在本實用新型中，塑料袋I的尺寸需要大于硅片的尺寸，該尺寸一般是指長、寬尺寸，用于保證硅片能夠放入其中。
[0036]作為一種優選方式，所述硅片為長方形時，所述塑料袋I的長度大于所述硅片的長度，所述塑料袋I的寬度大于所述硅片的寬度，且所述塑料袋I的長度比所述硅片的長度大I?2cm，所述塑料袋I的寬度比所述硅片的寬度大I?2cm。
[0037]作為另一種優選方式，所述硅片為正方形時，所述塑料袋I的長度和寬度均大于所述硅片的邊長，且所述塑料袋I的長度、寬度均比所述硅片的邊長大I?2cm。
[0038]作為再一種優選方式，所述硅片為圓形時，所述塑料袋I的長度和寬度均大于所述硅片的直徑，且所述塑料袋I的長度、寬度均比所述硅片的直徑大I?2cm。
[0039]本實用新型的硅片鈍化裝置，用于對晶體硅體少子壽命測試，其通過防腐蝕和防電磁干擾的保護膜實現對塑料袋的防腐蝕和對測試時的防電磁干擾，保證測試過程安全可靠，測試結果準確度高;通過開口端實現硅片的放入和取出，同時也實現鈍化液的倒入，并可在開口端將多余的空氣擠出；通過封口邊實現塑料袋的密封，從而防止測試時鈍化液漏出；另外，也通過抽注管實現封口邊密封之后的鈍化液的抽出與注入，以及空氣的排放，形成雙重管控；因此，多余的鈍化液都被抽走，避免了測試設備的探頭尋邊困難，又防止液體泄露，避免損壞測試設備的探頭，減少污染;且處理更加簡單快捷，污染性降到最低，可以控制鈍化液的體積，實現精準測試。
[0040]以上結合具體實施例描述了本實用新型的技術原理。這些描述只是為了解釋本實用新型的原理，而不能以任何方式解釋為對本實用新型保護范圍的限制。基于此處的解釋，本領域的技術人員不需要付出創造性的勞動即可聯想到本實用新型的其它【具體實施方式】，這些方式都將落入本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種用于測試晶體硅體少子壽命的硅片鈍化裝置，其特征在于，包括塑料袋結構，所述塑料袋結構包括用于在其內部放置硅片的具有防腐蝕性的塑料袋(I )，所述塑料袋(I)的頂端為用于裝入或取出所述硅片的開口端，所述開口端設置有能夠將所述開口端密封的封口邊(2)，所述塑料袋(I)的底端設置有連通所述塑料袋(I)的內部的抽注管(3)，所述抽注管(3)的底部設置有密封塞(4)。2.根據權利要求1所述的硅片鈍化裝置，其特征在于，所述塑料袋(I)的內側涂覆有具有防腐蝕性的防腐蝕保護膜。3.根據權利要求2所述的硅片鈍化裝置，其特征在于，所述塑料袋(I)的內側涂覆有具有防電磁干擾性的防電磁干擾保護膜。4.根據權利要求3所述的硅片鈍化裝置，其特征在于，所述防電磁干擾保護膜設置于所述塑料袋(I)的內側與所述防腐蝕保護膜之間。5.根據權利要求4所述的硅片鈍化裝置，其特征在于，所述防腐蝕保護膜為防腐蝕涂料涂覆后形成的保護膜，所述防電磁干擾保護膜為防電磁干擾涂料涂覆后形成的保護膜。6.根據權利要求1所述的硅片鈍化裝置，其特征在于，所述硅片為長方形時，所述塑料袋(I)的長度大于所述硅片的長度，所述塑料袋(I)的寬度大于所述硅片的寬度，且所述塑料袋(I)的長度比所述硅片的長度大I?2cm，所述塑料袋(I)的寬度比所述硅片的寬度大I?2cm07.根據權利要求1所述的硅片鈍化裝置，其特征在于，所述硅片為正方形時，所述塑料袋(I)的長度和寬度均大于所述硅片的邊長，且所述塑料袋(I)的長度、寬度均比所述硅片的邊長大I?2cm。8.根據權利要求1所述的硅片鈍化裝置，其特征在于，所述硅片為圓形時，所述塑料袋(I)的長度和寬度均大于所述硅片的直徑，且所述塑料袋(I)的長度、寬度均比所述硅片的直徑大I?2cm。9.根據權利要求1所述的硅片鈍化裝置，其特征在于，還包括用于與所述塑料袋結構配合使用的注射器，所述注射器包括注射管(5)、設置于所述注射管(5)的底端的注射頭(7)、套設于所述注射管(5)中的注射活塞(6)，所述注射管(5)設置有刻度線(8)，使用時，所述注射頭(7)插入所述抽注管(3)中與所述抽注管(3)配合，以按定量將鈍化液注入所述塑料袋(I)的內部或從所述塑料袋(I)的內部抽出。
【文檔編號】G01R31/26GK205539353SQ201620250571
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年3月29日
【發明人】李琰琪, 王栩生, 邢國強
【申請人】蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司