一種無損傷檢測pss的裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開一種無損傷檢測PSS的裝置，屬于PSS制程檢測領域，包括機架、分別安裝在機架上的樣品盒和暗室、及設置在機架外側的圖像輸出裝置；暗室內設有承載臺、第二驅動裝置、平行光源發生器、與平行光源發生器連接的調焦裝置、及設置在暗室內壁上的光學收集器，樣品盒和暗室間設有第一驅動裝置，第一驅動裝置上設有樣品傳動裝置，第一驅動裝置包括上下驅動機構和水平旋轉驅動機構，上下驅動機構用于將樣品盒內不同高度樣品取出，水平旋轉驅動機構通過驅動樣品傳動裝置將樣品送至暗室內承載臺上。該裝置在不破壞樣本的前提下，方便、準確的獲取樣本信息，具有成本低、反應迅速，能全面監控生產的優點，適用于生產管控。
【專利說明】
一種無損傷檢測PSS的裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種檢測裝置，具體涉及一種無損傷檢測PSS的裝置，屬于PSS制程檢測領域。
【背景技術】
[0002]LED作為一種新型光源，具有節能、環保、壽命長的優勢，在資源日益匱乏的今天得到廣泛關注。LED的發光效率依賴于PSS襯底微觀形貌及均勻性。PSS即圖案化藍寶石襯底，可減少LED外延中的位錯密度，改善晶體質量，提高LED的發光效率。但是PSS的結構受制程影響極其敏感，需要針對PSS的微觀結構進行制程管控。
[0003]目前，普遍采用SEM(掃描電子顯微鏡)和AFM(原子力顯微鏡)兩種檢測方式，但是SEM需要將樣品破壞，觀察斷面，此方法耗時長，成本高，不適用于生產管控;AFM測試通過探針探測掃描PSS表面形貌，但是其探針使用壽命短，需要經常更換，維護費用昂貴，同樣不適用于生產管控。
【發明內容】
[0004]針對上述現有技術存在的問題，本實用新型提供一種無損傷檢測PSS的裝置，檢測樣品無損傷、耗時短，可批量測試，管控方便。
[0005]為了實現上述目的，本實用新型采用的一種無損傷檢測PSS的裝置，包括機架、分別安裝在機架上的樣品盒和暗室、及設置在機架外側的圖像輸出裝置；
[0006]所述暗室內設有承載臺、第二驅動裝置、設置在第二驅動裝置上的平行光源發生器、與平行光源發生器連接的調焦裝置、及設置在暗室內壁上的光學收集器，所述第二驅動裝置驅動平行光源發生器水平移動，所述調焦裝置調節平行光源發生器產生平行光束聚焦，所述光學收集器收集PSS樣品反射光束，并將反射光束信息傳遞到圖像輸出裝置，所述圖像輸出裝置接收反射光束信息并轉變成圖像信息輸出；
[0007]所述樣品盒和暗室間設有第一驅動裝置，所述第一驅動裝置上設有樣品傳動裝置，所述第一驅動裝置包括上下驅動機構和水平旋轉驅動機構，所述上下驅動機構用于將樣品盒內不同高度樣品取出，所述水平旋轉驅動機構通過驅動樣品傳動裝置將樣品送至暗室內承載臺上。
[0008]作為改進，所述平行光源發生器設置在承載臺正上方。
[0009]作為改進，所述調焦裝置安裝在平行光源發生器上。
[0010]作為改進，所述樣品傳動裝置一端與第一驅動裝置連接，另一端延伸至暗室內，且與承載臺配合。
[0011]作為改進，所述暗室設置在機架上靠近圖像輸出裝置的一端。
[0012]與現有技術相比，本實用新型裝置利用光反射性質，發射一束入射光掃描PSS表面，該束光經過PSS表面區域會產生對應的反射光，收集該束反射光并進行數字化處理，最終輸出PSS樣本形貌及均勻性信息。該裝置在不破壞樣本的前提下，方便、準確的獲取樣本信息，具有成本低、反應迅速，能全面監控生產的優點，適用于生產管控。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的結構不意圖；
[0014]圖2為本實用新型在實施例一中的檢測結果；
[0015]圖3為本實用新型的實施例二中的檢測結果；
[0016]圖中:1、機架，2、樣品盒，3、第一驅動裝置，4、樣品傳動裝置，5、承載臺，6、平行光源發生器，7、調焦裝置，8、圖像輸出裝置，9、第二驅動裝置，10、暗室，11、光學收集器。
【具體實施方式】
[0017]為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚明了，下面通過附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。但是應該理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限制本實用新型的范圍。
[0018]除非另有定義，本文所使用的所有的技術術語和科學術語與屬于本實用新型的技術領域的技術人員通常理解的含義相同，本文中在本實用新型的說明書中所使用的術語只是為了描述具體的實施例的目的，不是旨在于限制本實用新型。
[0019]如圖1所示，一種無損傷檢測PSS的裝置，包括機架1、分別安裝在機架I上的樣品盒2和暗室1、及設置在機架I外側的圖像輸出裝置8;
[0020]所述暗室10內設有承載臺5、第二驅動裝置9、設置在第二驅動裝置9上的平行光源發生器6、與平行光源發生器6連接的調焦裝置7、及設置在暗室內壁上的光學收集器11，所述第二驅動裝置9驅動設置在承載臺5正上方的平行光源發生器6水平移動，完成承載臺5上的PSS樣品整體形貌的掃描;所述調焦裝置7安裝在平行光源發生器6上且可調節平行光源發生器6產生平行光束聚焦在PSS表面;所述光學收集器11收集PSS樣品表面反射光束，并將反射光束信息傳遞到圖像輸出裝置8，所述圖像輸出裝置8接收反射光束信息并轉變成圖像信息輸出，生產人員通過圖像信息判斷樣品的形貌、圖案化程度；
[0021]所述樣品盒2和暗室10間設有第一驅動裝置3，所述第一驅動裝置3上設有樣品傳動裝置4，所述第一驅動裝置3包括上下驅動機構和水平旋轉驅動機構，所述上下驅動機構用于將樣品盒2內不同高度樣品取出，所述水平旋轉驅動機構通過驅動樣品傳動裝置4將樣品送至暗室10內承載臺5上，最后PSS樣品由第一驅動裝置3從暗室內的承載臺5平移到暗室外的樣品盒2上，以此完成PSS樣品的形貌及均勻性檢測。
[0022]作為實施例的改進，所述樣品傳動裝置4一端與第一驅動裝置3連接，另一端延伸至暗室10內，且與承載臺5配合，實現PSS樣品在樣品盒2與承載臺5間輸送更便捷。
[0023]作為實施例的改進，所述暗室10設置在機架I上靠近圖像輸出裝置8的一端，結構設計合理，使用方便。
[0024]實施例一
[0025]利用本實用新型裝置來區分不同試樣，通過機臺E測試的結果進行說明，其中試樣I為單拋藍寶石平片、試樣2和試樣3均為PSS樣品(圖2)，試樣2和試樣3的區別在于試樣2相比于試樣3圖案顆粒小，且排布較密集。
[0026]測試過程始終保持三個樣品采用同等參數設置，實例中唯一的不同在于試樣本身，按照正常流程測試結束后，得到試樣1、試樣2、試樣3的反射值分別用數字表示為C1、C2、C3，且從數據來看有C1>C2>C3;之所以出現這樣的結果原因是試樣I擁有類似于鏡面反射的表面，故其反射值最大;試樣2和試樣3均比試樣I粗糙，存在散射和漫反射，故發射信息接收不完全，其反射值自然較小，然而試樣2表面圖案并沒有較大顆，所能存在的漫反射和散射不如試樣3比例多，所以介于試樣I和試樣3間。
[0027]通過三組試樣的測試可以清楚地作出判斷:測試樣品若在機臺E上得到的反射值與C1、C2、C3存在大小關系，那么該樣品的圖案化程度也會與試樣1、試樣2、試樣3存在著聯系。因此，生產人員可根據樣品檢測結果準確判斷圖案化程度。
[0028]實施例二
[0029]本實施例測試用的機臺和方法與實例一相同，不同之處在于本實例介紹的是在PSS加工過程中出現異常圖案，然后利用本新型介紹的方法去判定。如圖3所示，PSS加工過程中會出現圖中a、b和c三種情形，通過測試得到其反射值分別為Ca、Cb、Cc，且反射值間存在一種序列關系，根據這三個反射值的關系也可以得到圖2所得三種不同圖案的PSS襯底。
[0030]通過對比圖3中三組試樣的測試可以知道:測試樣品均在同等生產條件下進行加工，其反射值得差異，反映了其具有的圖案也存在差異，可以根據反射值判斷當前生產是否按照預期進行。因此，本實用新型的檢測裝置，在不破壞樣本的前提下，可方便、準確的獲取樣本信息，具有成本低、反應迅速，能全面監控生產的優點，適用于生產管控。
[0031]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換或改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種無損傷檢測PSS的裝置，其特征在于，包括機架(I)、分別安裝在機架(I)上的樣品盒(2)和暗室(10)、及設置在機架(I)外側的圖像輸出裝置(8); 所述暗室(10)內設有承載臺(5)、第二驅動裝置(9)、設置在第二驅動裝置(9)上的平行光源發生器(6)、與平行光源發生器(6)連接的調焦裝置(7)、及設置在暗室內壁上的光學收集器(11)，所述第二驅動裝置(9)驅動平行光源發生器(6)水平移動，所述調焦裝置(7)調節平行光源發生器(6)產生平行光束聚焦，所述光學收集器(11)收集PSS樣品反射光束，并將反射光束信息傳遞到圖像輸出裝置(8)，所述圖像輸出裝置(8)接收反射光束信息并轉變成圖像信息輸出； 所述樣品盒(2)和暗室(10)間設有第一驅動裝置(3)，所述第一驅動裝置(3)上設有樣品傳動裝置(4)，所述第一驅動裝置(3)包括上下驅動機構和水平旋轉驅動機構，所述上下驅動機構用于將樣品盒(2)內不同高度樣品取出，所述水平旋轉驅動機構通過驅動樣品傳動裝置(4)將樣品送至暗室(10)內承載臺(5)上。2.根據權利要求1所述的一種無損傷檢測PSS的裝置，其特征在于，所述平行光源發生器(6)設置在承載臺(5)正上方。3.根據權利要求1或2所述的一種無損傷檢測PSS的裝置，其特征在于，所述調焦裝置(7)安裝在平行光源發生器(6)上。4.根據權利要求1所述的一種無損傷檢測PSS的裝置，其特征在于，所述樣品傳動裝置(4)一端與第一驅動裝置(3)連接，另一端延伸至暗室(10)內，且與承載臺(5)配合。5.根據權利要求1所述的一種無損傷檢測PSS的裝置，其特征在于，所述暗室(10)設置在機架(I)上靠近圖像輸出裝置(8)的一端。
【文檔編號】G01B11/24GK205537541SQ201620262797
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年3月31日
【發明人】涂亮亮, 劉亞坤, 林建男, 魏明德
【申請人】徐州同鑫光電科技股份有限公司