芯片測試機的監控裝置的制造方法
【專利摘要】公開了一種芯片測試機的監控裝置，所述芯片測試機的監控裝置包括：位移檢測模塊，用于獲得所述芯片測試機的機械臂的位置坐標；主處理器模塊，接收所述芯片測試機的機械臂的位置坐標，并且在所述芯片測試機的機械臂的位置坐標不在預定范圍內時，生成報警信息；以及無線傳輸模塊，將所述報警信息發送到上位機。所述監控裝置能夠及時發現機械臂的運轉異常提高芯片測試機的效率。
【專利說明】
芯片測試機的監控裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及芯片測試技術領域，具體涉及一種芯片測試機的監控裝置。
【背景技術】
[0002]半導體集成電路的制造過程，大致上可分為產品設計、晶圓制造、晶圓測試、切割、封裝及成品測試。成品測試是通過芯片測試機完成的。
[0003]現有技術的芯片測試機包括測試機臺、進料機構、出料機構以及機械臂。在芯片測試時，會將載滿芯片的測試盤送至進料機構，機械臂將芯片送入測試機臺的芯片座進行測試，測試完成后再通過機械臂將芯片通過出料機構送回測試盤。
[0004]芯片進入量產階段，就需要對成品芯片進行大批量測試，以檢驗其種類繁多的功能及參數。測試機的運轉效率，單顆芯片測試時間長短，將直接影響產能輸出，高的測試效率，同時也保證了如期交貨給客戶。為了提高產能，提高芯片測試機的運轉效率，芯片測試機需要長時間不間斷運轉，而測試機用于傳送待測芯片的機械臂的傳送定位精確度的大小，能否準確將待測芯片傳送到指定的位置坐標的測試機臺芯片座，直接影響到測試機運轉正常與否以及被測芯片測試準確率。此外，芯片測試機長時間不停的運轉，不可避免的會造成測試機機械臂位置坐標出現偏差。
[0005]現有技術通過定期的人工檢測和精度修正來保持芯片測試機的正常運轉，人工檢測的弊端是檢測不及時，只能定期維護檢修檢測無法做到定時監測監控，一旦由于檢修不及時，就會造成芯片檢測不良率增加，同時意味著一旦停機檢修，影響效率、效益。
【實用新型內容】
[0006]本實用新型提出一種芯片測試機的監控裝置，能夠實時監控機械臂的運轉異常并報警，提高芯片測試機的效率。
[0007]根據本實用新型的一個方面，提供一種芯片測試機的監控裝置，包括:位移檢測模塊，用于獲得所述芯片測試機的機械臂的位置坐標;主處理器模塊，接收所述芯片測試機的機械臂的位置坐標，并且在所述芯片測試機的機械臂的位置坐標不在預定范圍內時，生成報警信息；以及無線傳輸模塊，將所述報警信息發送到上位機;其中，所述主處理器模塊包括接口電路，所述主處理器模塊通過所述接口電路接收所述芯片測試機的機械臂的位置坐標。
[0008]優選地，所述監控裝置還包括電源模塊，用于為所述監控裝置供電。
[0009]優選地，所述電源模塊為可充電電池。
[0010]優選地，所述位移檢測模塊包括三軸加速度計。
[0011]優選地，所述接口電路為I2C接口。
[0012]優選地，所述無線傳輸模塊包括WiFi單元。
[0013]根據本實用新型的另一方面，提供一種芯片測試機的機械臂的監控方法，包括:獲得所述機械臂的位置坐標;判斷所述機械臂的位置坐標是否在預定范圍內，并在所述機械臂的位置坐標不在預定范圍內時，生成報警信息;將所述報警信息發送到上位機。
[0014]優選地，所述機械臂的位置坐標通過三軸加速度計獲得。
[0015]優選地，所述報警信息通過WiFi單元傳輸到上位機。
[0016]根據本實用新型的又一個方面，提供一種芯片測試機，所述芯片測試機包括如上所述的監控裝置。
[0017]本實用新型的芯片測試機的監控裝置通過位移監測單元獲得機械臂的位置坐標，通過主處理器單元判斷機械臂的位置坐標是否在預定范圍內，當所述芯片測試機的機械臂的位置坐標不在預定范圍內時，生成報警信息，及時通知工作人員進行停機維護，避免造成更大的經濟損失，提高了效率，延長了測試機的壽命。
【附圖說明】
[0018]通過以下參照附圖對本實用新型實施例的描述，本實用新型的上述以及其它目的、特征和優點將更為清楚，在附圖中:
[0019]圖1是根據本實用新型實施例的芯片測試機的監控裝置的結構框圖；
[0020]圖2是主處理器模塊的示意性結構框圖；以及
[0021 ]圖3是根據本實用新型實施例的芯片測試機的監控方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0022]以下基于實施例對本實用新型進行描述，但是本實用新型并不僅僅限于這些實施例。在下文對本實用新型的細節描述中，詳盡描述了一些特定的細節部分。對本領域技術人員來說沒有這些細節部分的描述也可以完全理解本實用新型。為了避免混淆本實用新型的實質，公知的方法、過程、流程、元件和電路并沒有詳細敘述。
[0023]此外，本領域普通技術人員應當理解，在此提供的附圖都是為了說明的目的，并且附圖不一定是按比例繪制的。
[0024]同時，應當理解，在以下的描述中，“電路”是指由至少一個元件或子電路通過電氣連接或電磁連接構成的導電回路。當稱元件或電路“連接到”另一元件或稱元件/電路“連接在”兩個節點之間時，它可以是直接耦接或連接到另一元件或者可以存在中間元件，元件之間的連接可以是物理上的、邏輯上的、或者其結合。相反，當稱元件“直接耦接到”或“直接連接到”另一元件時，意味著兩者不存在中間元件。
[0025]除非上下文明確要求，否則整個說明書和權利要求書中的“包括”、“包含”等類似詞語應當解釋為包含的含義而不是排他或窮舉的含義;也就是說，是“包括但不限于”的含義。
[0026]本實用新型屬于芯片成品測試應用領域，提供一種用于當前量產芯片測試的芯片測試機、芯片測試機的監控裝置及監控方法。所述監控裝置利用其內部各模塊軟硬件協作處理，監測芯片測試機的機械臂位置坐標偏移誤差，當坐標偏移誤差大于預設范圍時，通過該裝置無線報警模塊，及時遠程報警，通知值班人員，立即停機檢修故障。
[0027]參照圖1，本實用新型實施例的芯片測試機的監控裝置100包括:位移檢測模塊110、主處理器模塊120以及無線傳輸模塊130。
[0028]位移檢測模塊110用于實時監測機械臂的位置坐標和角度。例如位移檢測模塊110包括三軸加速度計，通過三軸加速度計實時監測機械臂的位置坐標和角度。
[0029]三軸加速度計大多采用壓阻式、壓電式和電容式工作原理，產生正比于加速度的電阻、電壓和電容的變化。加速度是個空間矢量，一方面，要準確了解物體的運動狀態，必須測得其三個坐標軸上的分量;另一方面，在預先不知道物體運動方向的場景下，應用三軸加速度傳感器來檢測加速度信號，來準確實時得到坐標信息，以便及時作出響應。本專利對于三軸加速度計的特殊應用，正是基于在預先不知道芯片測試機所偏離運動軌跡方向的場合下，利用三軸加速度計來準確得到相應空間矢量坐標的優勢特點。通過三軸加速度計，使得當測試機偏離既定軌跡時，主控模塊能夠及時作出修正措施，這也是普通二維及一維位置傳感器無法實現的。
[0030]位移檢測模塊110連接主處理器模塊120，并將所述機械臂的位置坐標和角度發送到主處理器模塊120。
[0031]主處理器模塊120用于實時接收來自位移檢測模塊110的機械臂的位置坐標和角度數據。主處理器模塊120判斷機械臂的位置坐標和角度數據是否在預定范圍內，也即判斷機械臂的位置坐標是否偏移超出預定誤差范圍。當機械臂的位置坐標和角度數據不在預定范圍內，主處理器模塊120生成報警信息，并通過無線傳輸模塊130發送到上位機200。上位機200例如為設置在遠程監控中心的服務器，工作人員從上位機200獲得報警信息，進行芯片測試機的維修。
[0032]無線傳輸模塊130的無線通信方式例如:GPRS(General Packet Rad1 Service，通用分組無線服務)N CDMA (Code Divis1nMultiple Access，碼分多址)、WCDMA(WidebandCode Divis1n Multiple Access，寬帶碼分多址)、LTE(Long Term Evolut1n，長期演進)、WiFi(wireless fidelity，無線保真)、藍牙等。在優選的實施例中，無線傳輸模塊130包括WiFi單元。
[0033]在優選的實施例中，監控裝置100還包括電源模塊，電源模塊用于為監控裝置100供電。電源模塊例如為可充電電池。在優選的實施例中，電源模塊為可充電的鋰電池。
[0034]參照圖2，主處理器模塊120進一步包括:主處理器121、非易失性存儲器122、動態存儲器123以及接口電路124。
[0035]主處理器121用于完成整個裝置的系統控制:包括接收機械臂的位置坐標信息、判斷機械臂的位置坐標和角度數據是否在預定范圍內，生成報警信息、控制無線傳輸模塊130發送報警信息、與接口電路124通信等。
[0036]例如，芯片測試機在工作時，機械臂按照預定的軌跡運行，動態存儲器123預存該預定軌跡的坐標。主處理器121接收到位移檢測模塊110發送的機械臂的位置坐標信息后，計算該時刻的機械臂的位置坐標與對應的預定軌跡在該時刻的位置坐標的偏差，如果該偏差大于預設的閾值，主處理器121生成報警信息并控制無線傳輸模塊130發送該報警信息。
[0037]非易失性存儲器122保存主處理器模塊120系統啟動代碼及配置信息。
[0038]動態存儲器123為主處理器121工作的內存單元。
[0039]接口電路124完成主控制器模塊120分別與位移檢測模塊110、無線傳輸模塊130的通信控制和相關配置功能。接口電路124例如為I2C總線接口，I2C總線是同步通信的一種形式，具有接口線少，控制方式簡單，器件封裝形式小，通信速率較高等優點。
[0040]在工作中，監控裝置100通過位移檢測模塊110實時監控機械臂空間位置坐標及角度，通過主處理器模塊120，實時接收來自位移檢測模塊110的機械臂位置坐標數據，當機械臂的位置坐標超出預定范圍時，通過無線傳輸模塊130及時發送報警信息到遠程計算機監控中心。
[0041]本實施例的監控裝置的有益效果是解決傳統芯片測試機的機械臂的坐標位移軌跡缺乏實時監控，測試機長時間工作過程中，不可避免的會引起測試機機械臂偏移預定的移動軌跡，引起測試故障。在傳統的芯片測試機上設置本實用新型的監控裝置能夠實用新型實時監控測試機的機械臂坐標移動軌跡，當位置坐標發生偏離超過誤差范圍后，通過無線傳輸進行遠程報警，便于維修人員及時發現故障及異常。本實施例的監控裝置可任意移動位置，可擴展應用到其它關于坐標位移實時監測監控場合。本實用新型的監控裝置采用模塊化設計，進行簡單的拆卸及改裝即可用在其他需要位置軌跡監控的場合。使用三軸加速度計可以實現對位置軌跡的三維監控，可以實現雙軸正負90度或雙軸0-360度的傾角。采用Wif i單元傳輸命令與數據，不涉及復雜布線，空間移動便利。
[0042]本實用新型還有提出一種芯片測試機，該芯片測試機包括上述實施例的監控裝置。
[0043]參照圖3，本實用新型實施例的芯片測試機的機械臂的監控方法，包括:
[0044]在步驟S101、獲得所述機械臂的位置坐標，例如通過三軸加速度計獲得所述機械臂的位置坐標。
[0045]在步驟S102、判斷所述機械臂的位置坐標是否在預定范圍內，并在所述機械臂的位置坐標不在預定范圍內時，生成報警信息。
[0046]在步驟S103、將所述報警信息發送到上位機，例如通過WiFi單元傳輸到上位機。
[0047]本實用新型的芯片測試機的監控裝置通過位移監測單元獲得機械臂的位置坐標，通過主處理器單元判斷機械臂的位置坐標是否在預定范圍內，當所述芯片測試機的機械臂的位置坐標不在預定范圍內時，生成報警信息，及時通知工作人員進行停機維護，避免造成更大的經濟損失，提高了效率，延長了測試機的壽命。
[0048]以上所述僅為本實用新型的優選實施例，并不用于限制本實用新型，對于本領域技術人員而言，本實用新型可以有各種改動和變化。凡在本實用新型的精神和原理之內所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種芯片測試機的監控裝置，其特征在于，包括: 位移檢測模塊，用于獲得所述芯片測試機的機械臂的位置坐標； 主處理器模塊，接收所述芯片測試機的機械臂的位置坐標，并且在所述芯片測試機的機械臂的位置坐標不在預定范圍內時，生成報警信息；以及無線傳輸模塊，將所述報警信息發送到上位機； 其中，所述主處理器模塊包括接口電路，所述主處理器模塊通過所述接口電路接收所述芯片測試機的機械臂的位置坐標。2.根據權利要求1所述的監控裝置，其特征在于，所述監控裝置還包括電源模塊，用于為所述監控裝置供電。3.根據權利要求2所述的監控裝置，其特征在于，所述電源模塊為可充電電池。4.根據權利要求1所述的監控裝置，其特征在于，所述位移檢測模塊包括三軸加速度i+o5.根據權利要求1所述的監控裝置，其特征在于，所述接口電路為I2C接口。6.根據權利要求1所述的監控裝置，其特征在于，所述無線傳輸模塊包括WiFi單元。
【文檔編號】G01B21/00GK205506009SQ201520947951
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2015年11月24日
【發明人】潘子升, 宋斌俊, 魏建中
【申請人】杭州士蘭微電子股份有限公司