非接觸式oled在線光譜檢測裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種檢測裝置,具體為一種非接觸式OLED在線光譜檢測裝置，其特征在于腔體內設置對位載片架，OLED器件基片固定于頂部呈十字型的對位載片架上；基片下方設置光譜采集分析儀，光譜采集分析儀的熒光光譜采集探頭安裝于升降導軌上，熒光光譜采集探頭與基片垂直；光源設備設置于光譜采集分析儀外側，光源設備的光束經光柵單色儀傾斜照射于基片上。本裝置減小占用空間，并可以提高工作效率，同時保證了高真空傳遞和測試，提高結果的可信度。
【專利說明】
非接觸式OLED在線光譜檢測裝置
技術領域
[0001 ]本實用新型涉及一種檢測裝置，具體為一種裝置于OLED有機鍍膜設備內部，專門用于檢測未鍍頂層電極的非接觸式OLED在線光譜檢測裝置。
【背景技術】
[0002]在OLED(有機發光二極管)器件的多層有機膜蒸鍍過程中，鍍膜工藝中的膜厚和參雜率等關鍵因素的細微變化會造成器件發射光譜發生變化，在器件的大規模批量化生產時，這種光譜變化會導致產品的一致性變差，導致良品率降低。
[0003]膜厚和參雜率的波動存在較大的不可控性，其原因很多，包括電磁干擾造成的晶振信號波動、蒸發料結塊造成的鍍膜速率波動、坩禍口結料堵塞以及材料熱應力釋放導致的噴料等等諸多復雜原因。上述諸多因素都會導致鍍膜工藝中膜厚和摻雜比例的波動和突變，最終導致器件光譜變化，產品一致性差，良率降低。
[0004]現有技術對于帶有IC電路的不合格器件無法有效回收。原因在于:雖然器件的有機層可以使用無腐蝕性的有機溶液有效清除，但是OLED器件的頂層電極和封裝薄膜無法有效清除，因為清除ITO(氧化銦錫)和鎂銀合金等形成的頂層電極和金屬氧化物密封層需要酸堿腐蝕法，會破壞器件IC電路和電極，導致器件性能下降;而沒有封裝和頂電極器件無法正常通電發光，也就無從判斷器件的發射光譜和色度是否達標。
[0005]由于現有的OLED器件發光原理都屬于熒光或磷光的電致光發射，而這兩類材料都可以實現光致發光，即使用光子能量高于材料禁帶寬度的光能將電子推入高能帶，當電子躍迀時發射能量與材料禁帶寬度相對應的光子，產生特定波長的光譜，即光致光譜。光致光譜的產生不需要對器件施加電壓，只需要特定波段的光源照射即可。因此，光致光譜測量法可以避免探針接觸污染器件，并可以在沒有頂電極的情況下獲得器件的發射光譜。
[0006]目前未有一種利用光致光譜法測量OLED器件合格率的檢測裝置。
【發明內容】
[0007]為解決解決無封裝無電極器件無法測量、有封裝電極器件清洗回收困難這一矛盾，本專利提出一種利用光致光譜的激發原理的非接觸式OLED在線光譜檢測裝置。本實用新型的非接觸式OLED在線光譜檢測裝置，其特征在于內置于OLED鍍膜設備的高真空腔體內，包括光源設備和光譜采集分析儀構成，其中:
[0008]腔體內設置對位載片架，OLED器件基片固定于頂部呈十字型的對位載片架上;基片下方設置光譜采集分析儀，光譜采集分析儀的熒光光譜采集探頭安裝于升降導軌上，熒光光譜采集探頭與基片垂直;光源設備設置于光譜采集分析儀外側，光源設備的光束經光柵單色儀傾斜照射于基片上。
[0009]所述的光源設備采用50-400nm的紫外光源設備。
[0010]作為優選，光源設備光束與OLED器件基片法線夾角為30?60°。
[0011]紫外光源產生的光線經過光柵單色儀后將不同波段的紫外光入射到頂發射OLED器件表面。光源設備和光柵單色儀可根據實際所使用的有機發光材料的吸收光譜進行替換。采集熒光光譜時，可通過升降導軌將熒光光譜采集探頭上移至基片附近，可提高散射熒光的收集效果，測試完畢后可將探頭下移，避免取放基片時被觸碰。
[0012]該裝置內置于OLED鍍膜設備的高真空預對準腔室內，利用鍍膜設備本身的基片對準機構完成本光譜檢測裝置的光路對準，不但可以節約制造成本，而且減小占用空間，并可以提高工作效率，同時保證了高真空傳遞和測試，提高結果的可信度。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的俯視圖；
[0014]圖2為本實用新型的側視圖；
[0015]其中，基片I，對位載片架2，光譜采集分析儀3，升降導軌4，光柵單色儀5，光源設備
6ο
【具體實施方式】
[0016]實施例1:非接觸式OLED在線光譜檢測裝置，其特征在于內置于OLED鍍膜設備的高真空腔體內，包括光源設備6和光譜采集分析儀3構成，其中:腔體內設置對位載片架2，OLED器件基片I固定于頂部呈十字型的對位載片架2上;基片I下方設置光譜采集分析儀3，光譜采集分析儀3的熒光光譜采集探頭安裝于升降導軌4上，熒光光譜采集探頭與基片I垂直;光源設備6設置于光譜采集分析儀3外側，光源設備6的光束經光柵單色儀5傾斜照射于基片I上。所述的光源設備6采用50-400nm的紫外光源設備6，光源設備6光束與OLED器件基片I法線夾角為30?60°。
[0017]使用時熒光光譜采集探頭下降，用機械手將基片I放置于對位載片架2上，進行基片I對準;基片I對準完成后，將熒光光譜探頭上移至基片I附近，打開光源并調節光柵單色儀5將不同波段的紫外光照射在基片I表面;使用光譜采集探頭收集熒光光譜信號，將信號輸出至控制電腦;將采集到的光譜與標準光譜比對，超出標定范圍的器件暫停工藝并發出報警信號。
【主權項】
1.非接觸式OLED在線光譜檢測裝置，其特征在于內置于OLED鍍膜設備的高真空腔體內，包括光源設備(6)和光譜采集分析儀(3)構成，其中: 腔體內設置對位載片架(2)，0LED器件基片(I)固定于頂部呈十字型的對位載片架(2)上;基片(I)下方設置光譜采集分析儀(3)，光譜采集分析儀(3)的熒光光譜采集探頭安裝于升降導軌(4)上，熒光光譜采集探頭與基片(I)垂直;光源設備(6)設置于光譜采集分析儀(3)外側，光源設備(6)的光束經光柵單色儀(5)傾斜照射于基片(I)上。2.如權利要求1所述的非接觸式OLED在線光譜檢測裝置，其特征在于所述的光源設備(6)采用50-400nm的紫外光源設備。3.如權利要求1所述的非接觸式OLED在線光譜檢測裝置，其特征在于光源設備(6)光束與OLED器件基片(I)法線夾角為30?60°。
【文檔編號】G01N21/64GK205484059SQ201620232462
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年3月24日
【發明人】朱亞安, 段瑜, 孫浩, 王燦, 張燕, 宋立媛
【申請人】云南北方奧雷德光電科技股份有限公司