一種基板檢測裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種基板檢測裝置，屬于基板檢測技術領域，其可解決現有的基板邊緣缺陷檢測效率低，易漏檢的問題。本實用新型的基板檢測裝置中，承載臺與基板邊緣之間設有多個墊塊，所述墊塊包括空心墊塊，其中的空心墊塊用于與基板相鄰的面設有凹部，所述凹部連接氣體管道，通過氣體管道抽吸凹部的空氣，根據凹部真空吸附值差異感知基板邊緣的缺陷，該基板檢測裝置檢測方便，且檢測效率高、精度高，不易出現漏檢。本實用新型的基板檢測裝置適用于檢測各種顯示基板。
【專利說明】
一種基板檢測裝置
技術領域
[0001 ]本實用新型屬于基板檢測技術領域，具體涉及一種基板檢測裝置。
【背景技術】
[0002]現有技術中檢查基板邊角缺失有以下方法:
[0003]方法1:利用缺陷傳感器，如圖1所示，在基板6傳輸過程中進行檢測，一般基板6平行的兩邊應該長度相同，如果基板6的第一邊61無缺陷，第二邊62的第一位置63處有邊角缺失，則傳感器感知基板6平行的第一邊61、第二邊62的時間不同，進而報警。該方法會對基板6加載速度有限制，加載速度太快會影響檢測時間。且一般傳感器多用來掃描與加載路線平行的基板6的長邊，故基板6的短邊中部的缺失無法檢測。
[0004]方法2:如圖2所示，大面積的基板6—般放置在承載臺1(或稱檢測臺)上進行檢測，承載臺I上設置吸附單元5，吸附單元5將基板6吸附，若第二位置64處有缺陷，會導致吸附單元5吸附異常，發生警報。該方法適于檢測大的缺陷，不適于檢測基板6邊緣處的小缺陷。
[0005]方法3:人工檢測基板6缺陷，該方法會浪費檢測時間且容易漏檢。
【實用新型內容】
[0006]本實用新型針對現有的基板邊緣缺陷檢測效率低，易漏檢的問題，提供一種基板檢測裝置。
[0007]解決本實用新型技術問題所采用的技術方案是:
[0008]—種基板檢測裝置，包括:
[0009]承載臺，用于承載基板；
[0010]多個墊塊，設置于所述承載臺上與基板邊緣對應的位置，其中，所述墊塊包括空心墊塊，所述空心墊塊與基板相鄰的面設置有凹部，所述凹部連接氣體管道，所述氣體管道用于抽吸凹部的空氣。
[0011]優選的，所述基板檢測裝置還包括夾持單元，設于承載臺上，用于夾持基板邊緣。
[0012]優選的，所述夾持單元包括至少兩對，每對夾持單元設置于基板相對的兩側邊。
[0013]優選的，所述墊塊還包括實心墊塊，用于設于被夾持單元夾持的基板邊緣處與承載臺之間。
[0014]優選的，所述氣體管道連接真空度檢測單元，用于檢測凹部的真空度。
[0015]優選的，所述真空度檢測單元包括報警器，用于當凹部的真空度超過閾值時，進行報警。
[0016]優選的，所述承載臺上設有吸附單元，用于吸附基板。
[0017]優選的，所述氣體管道設于空心墊塊與承載臺相鄰的面。
[0018]本實用新型的基板檢測裝置中，承載臺與基板邊緣之間設有多個墊塊，所述墊塊包括空心墊塊，其中空心墊塊與基板相鄰的面設有凹部，所述凹部連接氣體管道，通過氣體管道抽吸凹部的空氣，根據凹部真空吸附值差異感知基板邊緣的缺陷，該基板檢測裝置檢測方便，且檢測效率高、精度高，不易出現漏檢。本實用新型的基板檢測裝置適用于檢測各種顯示基板。
【附圖說明】
[0019]圖1為現有的檢查基板的一種不意圖；
[0020]圖2為現有的檢查基板的另一種不意圖；
[0021 ]圖3為本實用新型的實施例1的基板檢測裝置示意圖；
[0022]圖4為本實用新型的實施例2的基板檢測裝置示意圖；
[0023]圖5為本實用新型的實施例2的基板檢測裝置的空心墊塊立體示意圖；
[0024]圖6為本實用新型的實施例2的基板檢測裝置的空心墊塊側視示意圖；
[0025]圖7為本實用新型的實施例2的基板檢測裝置的實心墊塊示意圖；
[0026]圖8為本實用新型的實施例2的基板檢測裝置的使用狀態示意圖；
[0027]其中，附圖標記為:1、承載臺；2、空心墊塊;3、實心墊塊;4、夾持單元;5、吸附單元；
6、基板;61、第一邊;62、第二邊;63、第一位置;64、第二位置;65、第三位置。
【具體實施方式】
[0028]為使本領域技術人員更好地理解本實用新型的技術方案，下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細描述。
[0029]實施例1:
[0030]本實施例提供一種基板檢測裝置，如圖3所示，包括:
[0031]承載臺I，用于承載基板；
[0032]多個墊塊，設置于承載臺I上與基板邊緣對應的位置，其中，墊塊包括空心墊塊2，空心墊塊2與基板相鄰的面設置有凹部，凹部連接氣體管道，氣體管道用于抽吸凹部的空氣。
[0033]本實施例的基板檢測裝置中，通過氣體管道抽吸凹部的空氣，根據凹部真空吸附值差異感知基板邊緣的缺陷，該基板檢測裝置檢測方便，且檢測效率高、精度高，不會出現漏檢。本實用新型的基板檢測裝置適用于檢測各種顯示基板。
[0034]實施例2:
[0035]本實施例提供一種基板檢測裝置，如圖4-8所示，包括:
[0036]承載臺I，用于承載基板6;
[0037]多個墊塊，設置于承載臺I與基板6邊緣對應的位置，其中，墊塊包括空心墊塊2，空心墊塊2與基板6相鄰的面設置有凹部，凹部連接氣體管道，氣體管道用于抽吸凹部的空氣。
[0038]本實施例的基板6檢測裝置，承載臺I與基板6邊緣之間設有墊塊，其中，如圖5、圖6所示，空心墊塊2用于與基板6相鄰的面設有凹部，通過氣體管道抽吸凹部的空氣，根據凹部真空吸附值差異感知基板6邊緣的缺陷。
[0039]具體的，使用時，如圖8所示，將基板6放到承載臺I，基板6四周邊緣會與空心墊塊2接觸，氣體管道開始抽吸凹部的空氣，在吸附力作用下基板6與空心墊塊2緊密接觸，此時凹部接近真空，凹部真空值會在一個固定的真空吸附值上下波動，波動范圍較小，且其真空吸附值接近真空閾值。若基板6的第三位置65缺失，對應該段的空心墊塊2凹槽則裸漏出來，在基板6遠離空心墊塊2的一面感知到輕微氣流，空心墊塊2真空吸附值與真空閾值差異大。
[0040]該基板檢測裝置檢測方便，且檢測效率高、精度高，不會出現漏檢。本實用新型的基板檢測裝置適用于檢測各種顯示基板。
[0041]優選的，基板檢測裝置還包括夾持單元4，設于承載臺I上，用于夾持基板6邊緣。
[0042]也就是說，承載臺I上設有用于固定基板6的夾持單元4，其中，如圖4所示，通常夾持單元4成對設置于基板6相對的兩邊，保證基板6兩側受力均勻，從而使得基板6對位精確，不移動，進而提尚基板6邊緣的檢測效率和精度。
[0043]優選的，夾持單元4包括至少兩對，每對夾持單元4設置于基板6相對的兩側邊。
[0044]也就是說，為了充分固定基板6，夾持單元4可以設置兩對，即在基板6的四條邊均設置夾持單元4。
[0045]優選的，墊塊還包括實心墊塊3，用于設于被夾持單元4夾持的基板6邊緣處與承載臺I之間。
[0046]也就是說，如圖7所示，夾持單元4夾持固定基板6，不可避免的，基板6會受到來自夾持單元4的夾力，由于基板6是精密儀器，在被單元夾持夾持的部位設置實心墊塊3可以有效保護基板6。
[0047]優選的，氣體管道連接真空度檢測單元，用于檢測凹部的真空度。
[0048]也就是說，設置相應的真空度檢測單元，這樣氣體管道抽吸凹部的空氣后，可以根據真空度檢測單元檢測出的凹部的真空值，自動判斷基板6邊緣位置是否有缺陷。
[0049]優選的，真空度檢測單元包括報警器，用于當凹部的真空度超過閾值時，進行報塾目ο
[0050]也就是說，空度檢測單元設置報警器，這樣如果空心墊塊2真空吸附值超過真空閾值，報警器就會發出報警，提示工作人員，相應位置處有缺陷。具體的，可采用PLC(可編程邏輯控制器)實時的精確監控基板6每個位置處的真空吸附值。其中，為了檢測出基板6整個邊緣的缺陷，空心墊塊2可以沿基板6邊緣設置一圈，同時為了提高檢測效率和精度，空心墊塊2尺寸可以進行調整，設置PLC(可編程邏輯控制器)單獨控制每個空心墊塊2。
[0051]優選的，承載臺I上設有吸附單元5，用于吸附基板6。
[0052]也就是說，以上的空心墊塊2主要檢測基板6邊緣位置處的缺陷，基板6板體大部分的缺陷可以采用吸附單元5進行大面積檢測，提高檢測效率。
[0053]優選的，氣體管道設于空心墊塊2與承載臺I相鄰的面。
[0054]也就是說，原則上氣體管道聯通于空心墊塊2的任意位置處均可，為了操作方便，氣體管道優選設于空心墊塊2與承載臺I相鄰的面。
[0055]顯然，上述各實施例的【具體實施方式】還可進行許多變化;例如:空心墊塊的具體尺寸、基板每條邊上設置空心墊塊的數量可以根據基板的大小進行調整。
[0056]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領域內的普通技術人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種基板檢測裝置，其特征在于，包括: 承載臺，用于承載基板； 多個墊塊，設置于所述承載臺上與基板邊緣對應的位置，其中，所述墊塊包括空心墊塊，所述空心墊塊與基板相鄰的面設置有凹部，所述凹部連接氣體管道，所述氣體管道用于抽吸凹部的空氣。2.根據權利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述基板檢測裝置還包括夾持單元，設于承載臺上，用于夾持基板邊緣。3.根據權利要求2所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述夾持單元包括至少兩對，每對夾持單元設置于基板相對的兩側邊。4.根據權利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述墊塊還包括實心墊塊，設于被夾持單元夾持的基板邊緣處與承載臺之間。5.根據權利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述氣體管道連接真空度檢測單元，用于檢測凹部的真空度。6.根據權利要求5所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述真空度檢測單元包括報警器，用于當凹部的真空度超過閾值時，進行報警。7.根據權利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述承載臺上設有吸附單元，用于吸附基板。8.根據權利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述氣體管道設于空心墊塊與承載臺相鄰的面。
【文檔編號】G01N33/00GK205426893SQ201620208284
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2016年3月16日
【發明人】鄭云蛟, 陳鵬, 李堅, 高越, 車靜
【申請人】鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司, 京東方科技集團股份有限公司