底片檢查機缺陷識別能力測試裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及底片檢查機領域，特別涉及一種底片檢查機缺陷識別能力測試裝置。
【背景技術】
[0002]底片檢查機是一種將底片掃描成的電子圖像與底片的原始電子資料進行對比查錯的檢測設備。在線路板生產過程中，越來越多的制造商在進行底片檢查時，使用底片檢查機檢查來代替放大鏡人工檢查，以降低漏檢導致的后工序報廢。所以底片檢查機對缺陷識別的能力對后期品質影響重大。
[0003]目前行業通用的測試方法就是在如圖1所示的正常底片12上隨機添加不同類型、不同等級缺陷圖案11，用底片檢查機檢查并標記后與工程資料逐個缺陷點對比，以能正確檢出缺陷的大小/長度作為檢查機能力。但是，這種方式需要花費較長的測試時間。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型提供了一種結構簡單、成本低、測試效率高的底片檢查機缺陷識別能力測試裝置。
[0005]為解決上述問題，作為本實用新型的一個方面，提供了一種底片檢查機缺陷識別能力測試裝置，包括:缺陷底片，缺陷底片上形成有至少一種缺陷圖案，缺陷圖案包括多個不同等級的缺陷子圖案;與缺陷底片重疊起來配合使用的標識底片，標識底片上形成有與每個缺陷子圖案對應的標識字符。
[0006]優選地，缺陷圖案包括短路圖案、和/或開路圖案、和/或突起圖案。
[0007]優選地，缺陷底片上還形成有第一對齊方向孔，標識底片上還形成有與第一對齊方向孔配合使用的第二對齊方向孔。
[0008]優選地，第一對齊方向孔和第二對齊方向孔的個數均為兩個。
[0009]優選地，缺陷圖案通過印刷、或刻蝕、電鍍的方式形成在缺陷底片的表面上。
[0010]優選地，標識字符通過印刷、或刻蝕、電鍍的方式形成在標識底片的表面上。
[0011]本實用新型可以方便而快速地得到底片檢查機的缺陷識別能力，具有結構簡單、成本低、測試效率高的特點。
【附圖說明】
[0012]圖1示意性地示出了現有技術中的正常底片的結構示意圖；
[0013]圖2示意性地示出了本實用新型中的缺陷底片的結構示意圖；
[0014]圖3示意性地示出了貼上了標簽紙后的缺陷底片的結構示意圖；
[0015]圖4示意性地示出了標識底片的結構示意圖；
[0016]圖5示意性地示出了缺陷底片和標識底片重疊后的示意圖。
[0017]圖中附圖標記:1、缺陷底片；2、缺陷子圖案；3、標識底片；4、標識字符;5、短路圖案;6、開路圖案;7、突起圖案;8、第一對齊方向孔;9、第二對齊方向孔；10、標簽紙；11、缺陷圖案；12、正常底片。
【具體實施方式】
[0018]以下結合附圖對本實用新型的實施例進行詳細說明，但是本實用新型可以由權利要求限定和覆蓋的多種不同方式實施。
[0019]請參考圖2至圖5，本實用新型提供了一種底片檢查機缺陷識別能力測試裝置，包括:缺陷底片I，缺陷底片I上形成有至少一種缺陷圖案，缺陷圖案包括多個不同等級的缺陷子圖案2;與缺陷底片I重疊起來配合使用的標識底片3，標識底片3上形成有與每個缺陷子圖案2 對應的標識字符4。本專利中的缺陷底片I和標識底片3為透明的。
[0020]使用時，將預先形成有一種或多種缺陷圖案的缺陷底片1(如圖2)，然后，利用底片檢查機對缺陷底片I上的各種缺陷圖案進行檢查，并根據檢查結果利用底片檢查機的定位功能通過人工的方式標記出檢查結果中對應的缺陷圖案。例如，可通過人工的方式將檢查結果中檢查到的缺陷用圖3所示的標簽紙10貼在缺陷底片I上來表示。然后，把貼好標簽紙的圖3所示的缺陷底片I與圖4中的標識底片重疊在一起，從而形成如圖5所示的狀態。因此，在圖5中可以很容易地找到未被底片檢查機檢查出的缺陷。例如，在圖5中，底片檢查機僅檢查出了 1um等級的開路缺陷，因此，該底片檢查機對開路缺陷的識別能力為1um等級。在圖5中，該底片檢查機未能檢查出5um等級的短路、1um等級的突起缺陷。
[0021]可見，由于采用了上述技術方案，本實用新型可以方便而快速地得到底片檢查機的缺陷識別能力，具有結構簡單、成本低、測試效率高的特點。
[0022]優選地，如圖2，缺陷圖案包括短路圖案5、和/或開路圖案6、和/或突起圖案7。優選地，缺陷圖案通過印刷、或刻蝕、電鍍的方式形成在缺陷底片I的表面上。優選地，標識字符4通過印刷、或刻蝕、電鍍的方式形成在標識底片3的表面上。這樣，缺陷圖案和標識字符4可以是印刷層、刻蝕層或金屬層等。
[0023]圖2示出了本實用新型中的缺陷底片I的結構示意圖，如圖2所示，在缺陷底片I上形成有多個區域A、區域B和區域C，在區域A中為短路圖案5，在區域B內為開路圖案6，在區域C內為突起圖案7。每種缺陷圖案分別具有5um、10um和15um等多個等級。
[0024]優選地，缺陷底片I上還形成有第一對齊方向孔8，標識底片3上還形成有與第一對齊方向孔8配合使用的第二對齊方向孔9。優選地，第一對齊方向孔8和第二對齊方向孔9的個數均為兩個。通過第一對齊方向孔8和第二對齊方向孔9可以方便而快速地將缺陷底片I和標識底片3對齊。
[0025]本實用新型將不同類型的缺陷圖案分區域設置，并按不同等級集中排列后繪制成缺陷底片，同時繪制只有缺陷等級標識的標識底片。這樣，當底片檢查機按缺陷類型分區域多次完成缺陷底片的檢查后，可利用其定位功能人工標記檢出的對應缺陷點，然后將標識底片覆蓋在缺陷底片上，從而快速地確認底片檢查機對不同缺陷的檢查能力，縮短了測試時間。
[0026]以上所述僅為本實用新型的優選實施例而已，并不用于限制本實用新型，對于本領域的技術人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種底片檢查機缺陷識別能力測試裝置，其特征在于，包括: 缺陷底片(I)，所述缺陷底片(I)上形成有至少一種缺陷圖案，所述缺陷圖案包括多個不同等級的缺陷子圖案(2); 與所述缺陷底片(I)重疊起來配合使用的標識底片(3)，所述標識底片(3)上形成有與每個所述缺陷子圖案(2) 對應的標識字符(4)。2.根據權利要求1所述的底片檢查機缺陷識別能力測試裝置，其特征在于，所述缺陷圖案包括短路圖案(5)、和/或開路圖案(6)、和/或突起圖案(7)。3.根據權利要求1所述的底片檢查機缺陷識別能力測試裝置，其特征在于，所述缺陷底片(I)上還形成有第一對齊方向孔(8)，所述標識底片(3)上還形成有與所述第一對齊方向孔(8)配合使用的第二對齊方向孔(9)。4.根據權利要求3所述的底片檢查機缺陷識別能力測試裝置，其特征在于，所述第一對齊方向孔(8)和所述第二對齊方向孔(9)的個數均為兩個。5.根據權利要求1所述的底片檢查機缺陷識別能力測試裝置，其特征在于，所述缺陷圖案通過印刷、或刻蝕、電鍍的方式形成在所述缺陷底片(I)的表面上。6.根據權利要求1所述的底片檢查機缺陷識別能力測試裝置，其特征在于，所述標識字符(4)通過印刷、或刻蝕、電鍍的方式形成在所述標識底片(3)的表面上。
【專利摘要】本實用新型提供了一種底片檢查機缺陷識別能力測試裝置，包括：缺陷底片，缺陷底片上形成有至少一種缺陷圖案，缺陷圖案包括多個不同等級的缺陷子圖案；與缺陷底片重疊起來配合使用的標識底片，標識底片上形成有與每個缺陷子圖案一一對應的標識字符。本實用新型可以方便而快速地得到底片檢查機的缺陷識別能力，具有結構簡單、成本低、測試效率高的特點。
【IPC分類】G01N21/88
【公開號】CN205246561
【申請號】CN201521071724
【發明人】馬卓, 王銘釧
【申請人】深圳市迅捷興電路技術有限公司
【公開日】2016年5月18日
【申請日】2015年12月21日