一種組合式探針檢測頭的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及自動化檢測技術領域，尤其涉及一種組合式探針檢測頭。
【背景技術】
[0002]探針是電測試的接觸媒介，探針通常包括探針殼、探針頭，探針頭與探針殼之間彈性連接，探針頭可在探針套內伸縮。探針通常用來測試一些微型電子元器件的參數，例如測量電子元器件上兩個焊點之間的電阻、電流、電壓等。晶元是生產集成電路所用的載體，通常通過探針對進行檢測，由于一個晶元片上存在上百個晶元，單個探針檢測效率低，無法滿足生產檢測需求，需要多組探針同時檢測，然而目前沒有專門用于多組探針固定的夾具。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型為了解決現有技術中的多組探針難以同時安裝定位的問題，提供了一種結構簡單、緊湊，制造成本低，能用于多組探針同時安裝定位、提高探針檢測效率的組合式探針檢測頭，尤其適用于晶元芯片檢測。
[0004]為了實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案:
[0005]—種組合式探針檢測頭，包括探針座，所述的探針座呈回字形結構，所述探針座的四個內壁分別向內延伸形成支撐塊，探針座內部未被支撐塊遮擋的空間形成卍字形通槽，所述支撐塊的底面與探針座的底端平齊，支撐塊的頂面為斜面，支撐塊的外端厚度大于內端厚度，所述探針座的頂面上與支撐塊的連接處設有凹槽，所述凹槽的底面由支撐塊上的斜面延伸形成，每個凹槽內設有一組探針，所述的探針通過絕緣膠與探針座連接，探針的頭部位于卍字形通槽內，所述探針的頭部高出探針座頂面。該種組合式探針檢測頭直接安裝到自動化監測設備上，能快速對呈陣列分布的電子元器件進行檢測，尤其適合晶元片上的晶元檢測，四個支撐塊的分布非常緊湊，從而可以很大程度的縮減探針座的尺寸，更有利于測量排列緊密的晶元，而且從底部的卍字形通槽中還能直觀的看到探針與待檢測物品的接觸狀態。
[0006]作為優選，所述的探針包括探針套、探針頭，探針頭可在探針套內彈性伸縮，探針頭的外端彎曲形成檢測端子，所述的檢測端子的軸線與探針座的端面垂直。檢測時，檢測端子保持與晶元片垂直，使得探針受力穩定，提高探針使用壽命。
[0007]作為優選，所述檢測端子的端面為球面。球面能防止檢測端子移動時在晶元表面產生刮痕。
[0008]作為優選，所述的探針座的四個角上分別設有連接孔。
[0009]因此，本實用新型具有結構簡單、緊湊，制造成本低，能用于多組探針同時安裝定位、提高探針檢測效率的有益效果。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的正面結構示意圖。
[0011]圖2為本實用新型的底面結構不意圖。
[0012]圖3為圖1中A-A處截面圖。
[0013]圖4為探針的結構示意圖。
[0014]圖中:探針座1、支撐塊2、卍字形通槽3、凹槽4、探針5、絕緣膠6、連接孔7、探針套50、探針頭51、檢測端子52。
【具體實施方式】
[0015]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步描述:
[0016]如圖1和圖2所示的一種組合式探針檢測頭，包括探針座I，探針座I呈回字形結構，探針座的底面與頂面平行，探針座I的四個內壁分別向內延伸形成支撐塊2，探針座I內部未被支撐塊遮擋的空間形成卍字形通槽3，支撐塊2的底面與探針座I的底端平齊，如圖3所示，支撐塊2的頂面為斜面，支撐塊的外端厚度大于內端厚度，探針座I的頂面上與支撐塊的連接處設有凹槽4，凹槽4的底面由支撐塊上的斜面延伸形成，每個凹槽4內設有一組探針5，探針靠在支撐塊的斜面上，探針5通過絕緣膠6與探針座I連接，探針5的頭部位于卍字形通槽3內，探針的頭部高出探針座頂面;探針座I的四個角上分別設有連接孔7。
[0017]如圖4所示，探針5包括探針套50、探針頭51，探針頭可在探針套內彈性伸縮，探針頭51的外端彎曲形成檢測端子52，檢測端子52的軸線與探針座I的端面垂直，檢測端子52的端面為球面。
[0018]該種組合式探針檢測頭直接安裝到自動化監測設備上，能快速對呈陣列分布的電子元器件進行檢測，尤其適合晶元片上的晶元檢測，四個支撐塊的分布非常緊湊，從而可以很大程度的縮減探針座的尺寸，更有利于測量排列緊密的晶元，而且從底部的卍字形通槽中還能直觀的看到探針與待檢測物品的接觸狀態。本實用新型結構簡單、緊湊，制造成本低，能用于多組探針同時安裝定位、提高探針檢測效率的有益效果。
【主權項】
1.一種組合式探針檢測頭，其特征是，包括探針座，所述的探針座呈回字形結構，所述探針座的四個內壁分別向內延伸形成支撐塊，探針座內部未被支撐塊遮擋的空間形成卍字形通槽，所述支撐塊的底面與探針座的底端平齊，支撐塊的頂面為斜面，支撐塊的外端厚度大于內端厚度，所述探針座的頂面上與支撐塊的連接處設有凹槽，所述凹槽的底面由支撐塊上的斜面延伸形成，每個凹槽內設有一組探針，所述的探針通過絕緣膠與探針座連接，探針的頭部位于卍字形通槽內，所述探針的頭部高出探針座頂面。2.根據權利要求1所述的一種組合式探針檢測頭，其特征是，所述的探針包括探針套、探針頭，探針頭可在探針套內彈性伸縮，探針頭的外端彎曲形成檢測端子，所述的檢測端子的軸線與探針座的端面垂直。3.根據權利要求2所述的一種組合式探針檢測頭，其特征是，所述檢測端子的端面為球面。4.根據權利要求1所述的一種組合式探針檢測頭，其特征是，所述的探針座的四個角上分別設有連接孔。
【專利摘要】本實用新型涉及自動化檢測工裝技術領域，公開了一種組合式探針檢測頭，包括探針座，探針座呈回字形結構，探針座的四個內壁分別向內延伸形成支撐塊，探針座內部未被支撐塊遮擋的空間形成卍字形通槽，支撐塊的底面與探針座的底端平齊，支撐塊的頂面為斜面，支撐塊的外端厚度大于內端厚度，探針座的頂面上與支撐塊的連接處設有凹槽，凹槽的底面由支撐塊上的斜面延伸形成，每個凹槽內設有一組探針，探針通過絕緣膠與探針座連接，探針的頭部位于卍字形通槽內，探針的頭部高出探針座頂面。本實用新型結構簡單、緊湊，制造成本低，能用于多組探針同時安裝定位、提高探針檢測效率的有益效果。
【IPC分類】G01R1/04, G01R1/073
【公開號】CN205229202
【申請號】CN201521035608
【發明人】張旆
【申請人】普鑠電子(上海)有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請日】2015年12月12日