一種石墨烯加速度傳感器的制造方法
【技術領域】
[0001 ]本實用新型涉及一種石墨烯加速度傳感器。
【背景技術】
[0002]隨著電子機械系統研究的深入及電子設備的智能化，各種類型的傳感器得到極大發展。加速度傳感器廣泛應用于運動系統監測和控制，其種類很多，最主要的是電容式加速度傳感器。現有公開的專利如ZL2010202554428公開的《電容式加速度傳感器》，它包括測量電極組、配重電極以及電容測量接口電路，這種加速度傳感器存在的缺陷在于:結構偏復雜，成本高，而且不能測量微小加速度。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的是提供一種能夠測量微小加速度，且制作成本低，結構簡單的石墨稀加速度傳感器。
[0004]實現本實用新型目的的技術方案是一種石墨烯加速度傳感器，包括殼體、石墨烯膜、配重塊和電極;所述石墨烯膜和配重塊懸空設置在殼體內部，配重塊放置在石墨烯膜上;所述電極設置在殼體的外部，包括連接石墨烯膜的第一電極、連接殼體的上殼的第二電極和連接殼體的下殼的第三電極。
[0005]所述石墨烯膜通過石墨烯膜固定邊框懸空設置在殼體內部。
[0006]所述殼體上設置抽氣孔;所述抽氣孔處設置密封塞。
[0007]所述殼體的上殼上設置可開閉的配重塊更換窗;或者上殼為可開閉式結構。
[0008]所述配重塊粘在石墨烯膜上。
[0009]—種石墨烯加速度傳感器還包括連接電極的引出導線以及與引出導線連接的主控機。
[0010]所述上殼和下殼為硅片。
[0011]采用了上述技術方案，本實用新型具有以下的有益效果:(1)本實用新型充分利用石墨烯膜的高靈敏度，將配重塊放在石墨烯膜上，通過電極測量運動中上殼與石墨烯膜之間的電容、石墨烯膜與下殼之間的電容的變化，就可以計算出加速度，結構簡單，而且由于石墨烯靈敏度高，因此可以測量出非常微小的加速度。
[0012](2)本實用新型設置抽氣孔，可以通過抽氣使得殼體內部為真空狀態，這樣的測量更加準確。
[0013](3)本實用新型還設置有可以更換配重塊的結構，這樣可以根據需要更換不同標準重量的配重塊，適應性更廣。
[0014](4)本實用新型還可以自帶主控機，做成便攜式的加速度傳感器。
[0015](5)本實用新型能提高傳統的加速度傳感器的靈敏度和響應速度。
【附圖說明】
[0016]為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中
[0017]圖1為本實用新型的結構不意圖。
[0018]附圖中標號為:
[0019]殼體1、上殼11、下殼12、石墨烯膜2、配重塊3、電極4、第一電極41、第二電極42、第三電極43、石墨稀膜固定邊框5。
【具體實施方式】
[0020](實施例1)
[0021 ]見圖1，本實施例的一種石墨烯加速度傳感器，包括殼體1、石墨烯膜2、配重塊3、電極4和石墨烯膜固定邊框5;石墨烯膜2通過石墨烯膜固定邊框5懸空設置在殼體1內部，配重塊3放置在石墨烯膜2上；電極4設置在殼體1的外部，包括連接石墨烯膜2的第一電極41、連接殼體1的上殼11的第二電極42和連接殼體1的下殼12的第三電極43。殼體1上設置抽氣孔；抽氣孔處設置密封塞。為了便于更換配重塊3，殼體1的上殼11上設置可開閉的配重塊更換窗，上殼11和下殼12為硅片。
[0022]測量傳感器加速運動時的上殼11和石墨烯膜2之間的電容，以及下殼12和石墨烯膜2之間的電容的變化量，從已知的配重塊3的重量參數，既可以測算出配重的加速度。
[0023]以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種石墨烯加速度傳感器，其特征在于:包括殼體(1)、石墨烯膜(2)、配重塊(3)和電極(4);所述石墨烯膜(2)和配重塊(3)懸空設置在殼體(1)內部，配重塊(3)放置在石墨烯膜(2)上;所述電極(4)設置在殼體(1)的外部，包括連接石墨烯膜(2)的第一電極(41)、連接殼體(1)的上殼(11)的第二電極(42)和連接殼體(1)的下殼(12)的第三電極(43)。2.根據權利要求1所述的一種石墨烯加速度傳感器，其特征在于:所述石墨烯膜(2)通過石墨烯膜固定邊框(5)懸空設置在殼體(1)內部。3.根據權利要求1或2所述的一種石墨烯加速度傳感器，其特征在于:所述殼體(1)上設置抽氣孔;所述抽氣孔處設置密封塞。4.根據權利要求3所述的一種石墨烯加速度傳感器，其特征在于:所述殼體(1)的上殼(11)上設置可開閉的配重塊更換窗;或者上殼(11)為可開閉式結構。5.根據權利要求4所述的一種石墨烯加速度傳感器，其特征在于:所述配重塊(3)粘在石墨烯膜(2)上。6.根據權利要求5所述的一種石墨烯加速度傳感器，其特征在于:還包括連接電極的引出導線以及與引出導線連接的主控機。7.根據權利要求6所述的一種石墨烯加速度傳感器，其特征在于:所述上殼(11)和下殼(12)為硅片。
【專利摘要】本實用新型公開了一種石墨烯加速度傳感器，包括殼體、石墨烯膜、配重塊和電極；所述石墨烯膜和配重塊懸空設置在殼體內部，配重塊放置在石墨烯上；所述電極設置在殼體的外部，包括連接石墨烯膜的第一電極、連接殼體的上殼的第二電極和連接殼體的下殼的第三電極。本實用新型充分利用石墨烯膜的高靈敏度，將配重塊放在石墨烯膜上，通過電極測量運動中上殼與石墨烯膜之間的電容、石墨烯膜與下殼之間的電容的變化，就可以計算出加速度，結構簡單，而且由于石墨烯靈敏度高，因此可以測量出非常微小的加速度。
【IPC分類】G01P15/125
【公開號】CN205067524
【申請號】CN201520897004
【發明人】金虎, 尉長虹
【申請人】常州二維光電科技有限公司
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年11月11日